JPS6236735B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6236735B2 JPS6236735B2 JP11078481A JP11078481A JPS6236735B2 JP S6236735 B2 JPS6236735 B2 JP S6236735B2 JP 11078481 A JP11078481 A JP 11078481A JP 11078481 A JP11078481 A JP 11078481A JP S6236735 B2 JPS6236735 B2 JP S6236735B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gear
- turntable
- shaft
- vacuum
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、蒸着装置、スパツタリング装置、ド
ライエツチング装置、プラズマCVD装置、電子
ビーム溶接機等、高真空、あるいは低真空中にお
ける基板などの被処理物体の主として表面加工を
行なう真空処理装置に関する。
ライエツチング装置、プラズマCVD装置、電子
ビーム溶接機等、高真空、あるいは低真空中にお
ける基板などの被処理物体の主として表面加工を
行なう真空処理装置に関する。
この種の真空処理装置においては、被処理物体
を載せるターンテーブルを真空容器外から回転さ
せ、かつ上下位置を移動させるために、墜常はタ
ーンテーブルの軸を真空シール状態のもとに真空
容器外に取り出し、この軸を回転させたり、ある
いは上下運動させるようにつくられている。その
ため、２種類の異なる運動の相互の干渉を避ける
ための機能が必要となるが、従来の装置では、こ
の２種の動作を行なわせるための動力源としてそ
れぞれ別箇のモータを使用するなど複雑な構成に
なり、かつ設備費も高くなるという欠点があつ
た。
を載せるターンテーブルを真空容器外から回転さ
せ、かつ上下位置を移動させるために、墜常はタ
ーンテーブルの軸を真空シール状態のもとに真空
容器外に取り出し、この軸を回転させたり、ある
いは上下運動させるようにつくられている。その
ため、２種類の異なる運動の相互の干渉を避ける
ための機能が必要となるが、従来の装置では、こ
の２種の動作を行なわせるための動力源としてそ
れぞれ別箇のモータを使用するなど複雑な構成に
なり、かつ設備費も高くなるという欠点があつ
た。
本発明の目的は、１個のモータを使用した簡単
な構成によりターンテーブルを回転および上下移
動することのできる経済的な真空処理装置を提供
するにある。
な構成によりターンテーブルを回転および上下移
動することのできる経済的な真空処理装置を提供
するにある。
本発明によれば、真空容器中にほぼ水並におか
れた被処理物を保持するターンテーブルと、該タ
ーンテーブルに固着され、真空シール部を経て前
記真空容器外に引き延ばされた部分に螺旋状のネ
ジ部を有する回転軸と、軸孔に切られたメネジの
部分が前記回転軸のネジ部にかみ合うように取付
けられた第１の歯車と、前記回転軸の他の部分に
軸方向にのみ相対的に摺動するように取付けられ
た第２の歯車と、前記第１の歯車と第２の歯車と
を結合させたり、前記第１の歯車と第２の歯車と
の結合を解いて該第２の歯車を停止を停止させた
りする歯車結合手段とを備え、１つのモータによ
り前記第１の歯車を駆動し、前記歯車結合手段を
制御しわけることによつて前記ターンテーブルを
上下に移動、または回転するようにしたことを特
徴とする真空処理装置が得られる。
れた被処理物を保持するターンテーブルと、該タ
ーンテーブルに固着され、真空シール部を経て前
記真空容器外に引き延ばされた部分に螺旋状のネ
ジ部を有する回転軸と、軸孔に切られたメネジの
部分が前記回転軸のネジ部にかみ合うように取付
けられた第１の歯車と、前記回転軸の他の部分に
軸方向にのみ相対的に摺動するように取付けられ
た第２の歯車と、前記第１の歯車と第２の歯車と
を結合させたり、前記第１の歯車と第２の歯車と
の結合を解いて該第２の歯車を停止を停止させた
りする歯車結合手段とを備え、１つのモータによ
り前記第１の歯車を駆動し、前記歯車結合手段を
制御しわけることによつて前記ターンテーブルを
上下に移動、または回転するようにしたことを特
徴とする真空処理装置が得られる。
ここで、本発明との比較を容易にするために、
スパツタリング装置に適用した真空処理装置の従
来例について第１図の側断面図を参照して説明す
る。図において、真空容器１内の上部にスパツタ
リングターゲツト２があり、これに基板３を載せ
たターンテーブル４が対向している。ターンテー
ブル４の中心には軸５が固定されており、真空シ
ール６を経て下部から大気中に伸びている。この
軸５の中央部分を囲み、外面に螺旋状にネジ７を
切つた円筒状の金具８が取り付けられている。こ
の金具８は、軸５と同心関係において固定されて
いるが、相互の回転は自由であり、全く固定され
ていない。なお、図からは明らかではないが、円
筒金具８自体は装置本体の固定系から見れば、回
転に対しては固定されており、上下動に対しては
自由である。歯車９は、中央部にネジ７とかみ合
うメネジを有する孔が開けられていて、円筒金具
８に嵌合されている。更に、歯車９は歯車１０を
介してモータ１１に結合されている。このモータ
１１の駆動によつて、円筒金具８はターンテーブ
ル４を上下に移動させることができる。軸５のさ
らに下方には、縦方向に長い歯車１２が同心的に
取り付けられ、歯車１３を介してモータ１４に結
合されている。このモータ１４の駆動によつて、
歯車１２に固定されている軸５を回転させること
ができる。
スパツタリング装置に適用した真空処理装置の従
来例について第１図の側断面図を参照して説明す
る。図において、真空容器１内の上部にスパツタ
リングターゲツト２があり、これに基板３を載せ
たターンテーブル４が対向している。ターンテー
ブル４の中心には軸５が固定されており、真空シ
ール６を経て下部から大気中に伸びている。この
軸５の中央部分を囲み、外面に螺旋状にネジ７を
切つた円筒状の金具８が取り付けられている。こ
の金具８は、軸５と同心関係において固定されて
いるが、相互の回転は自由であり、全く固定され
ていない。なお、図からは明らかではないが、円
筒金具８自体は装置本体の固定系から見れば、回
転に対しては固定されており、上下動に対しては
自由である。歯車９は、中央部にネジ７とかみ合
うメネジを有する孔が開けられていて、円筒金具
８に嵌合されている。更に、歯車９は歯車１０を
介してモータ１１に結合されている。このモータ
１１の駆動によつて、円筒金具８はターンテーブ
ル４を上下に移動させることができる。軸５のさ
らに下方には、縦方向に長い歯車１２が同心的に
取り付けられ、歯車１３を介してモータ１４に結
合されている。このモータ１４の駆動によつて、
歯車１２に固定されている軸５を回転させること
ができる。
しかし、このような構成によると、円筒金具８
のような複雑な機構を要するのみでなく、モータ
も２個必要となり、結局、大きなスペースを占め
ることになつて種々の部品の配置等にも影響を与
え、調整を面倒にしている。このような例以外に
も、種々の試みはあるが、ターンテーブルを回転
させ、かつ上下移動させるためには、なんらかの
形で金具８に類似する機構を用いるとか、回転時
には上下移動の機構を外すなどの操作が必要であ
る。いずれの場合でもモータ２個が使用されるこ
とに変わりはない。強いて切替えにより１個のモ
ータで駆動しようとすれば、機構的にも操作上に
もかえつて複雑になつてしまう。
のような複雑な機構を要するのみでなく、モータ
も２個必要となり、結局、大きなスペースを占め
ることになつて種々の部品の配置等にも影響を与
え、調整を面倒にしている。このような例以外に
も、種々の試みはあるが、ターンテーブルを回転
させ、かつ上下移動させるためには、なんらかの
形で金具８に類似する機構を用いるとか、回転時
には上下移動の機構を外すなどの操作が必要であ
る。いずれの場合でもモータ２個が使用されるこ
とに変わりはない。強いて切替えにより１個のモ
ータで駆動しようとすれば、機構的にも操作上に
もかえつて複雑になつてしまう。
次に、本発明による真空処理装置について実施
例を挙げ、図面を参照して説明する。
例を挙げ、図面を参照して説明する。
第２図は、スパツタリング装置に適用した場合
の本発明による実施例の構成を側断面図により示
したものである。この例は、ターンテーブルの軸
に回転運動と上下運動とをそれぞれ与える２枚の
歯車を直接結合させ、回転運動を行なわせる場合
には、本来は上下運動を行なわせる歯車もテーブ
ルの回転と同一の回転速度を与えることで見かけ
上その作用を除去しており、その反対に上下運動
を行なわせる時には、回転運動を受持つ歯車がテ
ーブルの回転を止めるため、上下運動を受持つ歯
車の作用が現われるように機能する。
の本発明による実施例の構成を側断面図により示
したものである。この例は、ターンテーブルの軸
に回転運動と上下運動とをそれぞれ与える２枚の
歯車を直接結合させ、回転運動を行なわせる場合
には、本来は上下運動を行なわせる歯車もテーブ
ルの回転と同一の回転速度を与えることで見かけ
上その作用を除去しており、その反対に上下運動
を行なわせる時には、回転運動を受持つ歯車がテ
ーブルの回転を止めるため、上下運動を受持つ歯
車の作用が現われるように機能する。
第２図において、ターンテーブル４から真空シ
ール６を介して大気中に伸ばされた軸５′の一部
には、直接螺旋状のネジ１５が切られており、こ
の部分には中央部に孔を空けメネジを切つた歯車
９′が嵌合されている。歯車９′と結合されている
歯車１０′には、該歯車の一方の軸を介してモー
タ１１′が結合され、他方の軸を介してクラツチ
ブレーキユニツト１８が接続されている。クラツ
チブレーキユニツト１８の他端は歯車１９に結合
され、更にターンテーブル４の軸５′に嵌合され
ている歯車２０に連結される。なお、軸５′の一
部にはキー溝２１が設けられ、また歯車２０の中
央の孔の一部には中心に向けて突起したコロ２２
が付加されている。そして、このコロ２２はキー
溝２１に入り込んでいるため、軸５′は、歯車２
０に対して相対的に回転はできないが、上下方向
の移動が可能である。勿論、軸５′に直線的な突
起を設け、歯車２０の中央の孔に凹みを設けても
よい。なお、クラツチブレーキユニツト１８中の
ブレーキは歯車１９側に作用するように設置され
ている。
ール６を介して大気中に伸ばされた軸５′の一部
には、直接螺旋状のネジ１５が切られており、こ
の部分には中央部に孔を空けメネジを切つた歯車
９′が嵌合されている。歯車９′と結合されている
歯車１０′には、該歯車の一方の軸を介してモー
タ１１′が結合され、他方の軸を介してクラツチ
ブレーキユニツト１８が接続されている。クラツ
チブレーキユニツト１８の他端は歯車１９に結合
され、更にターンテーブル４の軸５′に嵌合され
ている歯車２０に連結される。なお、軸５′の一
部にはキー溝２１が設けられ、また歯車２０の中
央の孔の一部には中心に向けて突起したコロ２２
が付加されている。そして、このコロ２２はキー
溝２１に入り込んでいるため、軸５′は、歯車２
０に対して相対的に回転はできないが、上下方向
の移動が可能である。勿論、軸５′に直線的な突
起を設け、歯車２０の中央の孔に凹みを設けても
よい。なお、クラツチブレーキユニツト１８中の
ブレーキは歯車１９側に作用するように設置され
ている。
いま、クラツチブレーキユニツト１８がクラツ
チON、ブレーキOFFの状態におかれると、モー
タ１１′の回転によつて歯車１０′、クラツク、歯
車１９、歯車２０を通じて、軸５′、すなわちタ
ーンテーブル４を回転させる。この時、歯車９′
は歯車２０と同一速度で回転しており、従つて軸
５′とは相対的に固定されているから、軸５′に対
する作用は全くない。ついで、クラツチOFF、
ブレーキONの条件におかれると、ブレーキの作
用により歯車１９および歯車２０は固定されるた
め、軸５′、すなわちターンテーブル４は回転し
ない。従つて、歯車９′の回転はターンテーブル
４の上下方向の移動に対して作用する。なお、こ
の例においては、回転時と上下方向移動時におい
てモータの回転速度を変えることが要求される
が、その場合は、モータとして２段スピードモー
タを用い、スピード切換えをクラツチブレーキユ
ニツトと同じスイツチで連動させることによつて
容易に達成される。又、配置に関係して、必要な
れば、モータ１１′の代りに歯車１０″を介してモ
ータ１１″を使用することもできる。
チON、ブレーキOFFの状態におかれると、モー
タ１１′の回転によつて歯車１０′、クラツク、歯
車１９、歯車２０を通じて、軸５′、すなわちタ
ーンテーブル４を回転させる。この時、歯車９′
は歯車２０と同一速度で回転しており、従つて軸
５′とは相対的に固定されているから、軸５′に対
する作用は全くない。ついで、クラツチOFF、
ブレーキONの条件におかれると、ブレーキの作
用により歯車１９および歯車２０は固定されるた
め、軸５′、すなわちターンテーブル４は回転し
ない。従つて、歯車９′の回転はターンテーブル
４の上下方向の移動に対して作用する。なお、こ
の例においては、回転時と上下方向移動時におい
てモータの回転速度を変えることが要求される
が、その場合は、モータとして２段スピードモー
タを用い、スピード切換えをクラツチブレーキユ
ニツトと同じスイツチで連動させることによつて
容易に達成される。又、配置に関係して、必要な
れば、モータ１１′の代りに歯車１０″を介してモ
ータ１１″を使用することもできる。
上記の実施例においては、スパツタリング装置
への適用例を挙げたが、蒸着装置、、ドライエツ
チング装置、プラズマCVD装置などの真空処理
装置一般に対しても全く同様に適用できることは
言うまでもない。又、この例では、ターンテーブ
ルが上向きであり、その上面に被処理物体が載つ
ているが、必要なれば、下面に被処理物体を保持
することも可能であり、又、ターンテーブルが上
方から吊り下げられるような構造も成立する。こ
れらの場合にも、本発明による構成が可能である
ことは明らかである。さらに、この例では、電気
的なクラツチ・ブレーキ機構を採用しているが、
これを機械的に行なうことも可能であることは容
易に理解できよう。
への適用例を挙げたが、蒸着装置、、ドライエツ
チング装置、プラズマCVD装置などの真空処理
装置一般に対しても全く同様に適用できることは
言うまでもない。又、この例では、ターンテーブ
ルが上向きであり、その上面に被処理物体が載つ
ているが、必要なれば、下面に被処理物体を保持
することも可能であり、又、ターンテーブルが上
方から吊り下げられるような構造も成立する。こ
れらの場合にも、本発明による構成が可能である
ことは明らかである。さらに、この例では、電気
的なクラツチ・ブレーキ機構を採用しているが、
これを機械的に行なうことも可能であることは容
易に理解できよう。
以上の説明により明らかなように、本発明によ
れば、１個のモータを使用した簡単な構成により
ターンテーブルの回転および上下移動が可能とな
ることは勿論、部品等の取り付けの自由度も増
し、操作も容易となり、さらにブレーキの作用は
停止の際の精度を増すことになつて、結果的に装
置の操作性能および設備の経済性を向上すべく得
られる効果は大なるものがある。
れば、１個のモータを使用した簡単な構成により
ターンテーブルの回転および上下移動が可能とな
ることは勿論、部品等の取り付けの自由度も増
し、操作も容易となり、さらにブレーキの作用は
停止の際の精度を増すことになつて、結果的に装
置の操作性能および設備の経済性を向上すべく得
られる効果は大なるものがある。
第１図は真空処理装置の従来例の構成を示す側
断面図、第２図は本発明による実施例の構成を示
す側断面図である。 図において、１は真空容器、４はターンテーブ
ル、５，５′はターンテーブルの回転軸、６は真
空シール、９，９′１０，１０′，１０″，１９，
２０は歯車、１１，１１′，１１″はモータ、１５
は螺旋状のネジ、１８はクラツチブレーキユニツ
ト、２１はキー溝、２２はコロである。
断面図、第２図は本発明による実施例の構成を示
す側断面図である。 図において、１は真空容器、４はターンテーブ
ル、５，５′はターンテーブルの回転軸、６は真
空シール、９，９′１０，１０′，１０″，１９，
２０は歯車、１１，１１′，１１″はモータ、１５
は螺旋状のネジ、１８はクラツチブレーキユニツ
ト、２１はキー溝、２２はコロである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空容器中にほぼ水平におかれた被処理物を
保持するターンテーブルと、該ターンテーブルに
固着され、真空シール部を経て前記真空容器外に
引き延ばされた部分に螺旋状のネジ部を有する回
転軸と、軸孔に切られたメネジの部分が前記回転
軸のネジ部にかみ合うように取付けられた第１の
歯車と、前記回転軸の他の部分に軸方向にのみ相
対的に摺動するように取付けられた第２の歯車
と、前記第１の歯車と第２の歯車とを結合させた
り、前記第１の歯車と第２の歯車との結合を解い
て該第２の歯車を停止させたりする歯車結合手段
とを備え、１つのモータにより前記第１の歯車を
駆動し、前記歯車結合手段を制御しわけることに
よつて前記ターンテーブルを上下に移動、または
回転するようにしたことを特徴とする真空処理装
置。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載の真空処理装置
において、前記歯車結合手段がクラツチブレーキ
ユニツトで構成されたことを特徴とする真空処理
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11078481A JPS5814939A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11078481A JPS5814939A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814939A JPS5814939A (ja) | 1983-01-28 |
| JPS6236735B2 true JPS6236735B2 (ja) | 1987-08-08 |
Family
ID=14544529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11078481A Granted JPS5814939A (ja) | 1981-07-17 | 1981-07-17 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814939A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60139608U (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-14 | 日野自動車株式会社 | トラクタのシヨツクアブソ−バ |
| JPS61119684A (ja) * | 1984-11-14 | 1986-06-06 | Ulvac Corp | スパツタエツチング装置 |
| JP2015185757A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
| CN112095069A (zh) * | 2020-09-09 | 2020-12-18 | 安徽鼎恒实业集团有限公司 | 等离子喷涂式再制造轨道机车轮对轮柄的装备 |
-
1981
- 1981-07-17 JP JP11078481A patent/JPS5814939A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5814939A (ja) | 1983-01-28 |
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