JPS58151384A - 炭化珪素焼結体表面の金属化法 - Google Patents
炭化珪素焼結体表面の金属化法Info
- Publication number
- JPS58151384A JPS58151384A JP3259582A JP3259582A JPS58151384A JP S58151384 A JPS58151384 A JP S58151384A JP 3259582 A JP3259582 A JP 3259582A JP 3259582 A JP3259582 A JP 3259582A JP S58151384 A JPS58151384 A JP S58151384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- sintered body
- buffer layer
- reaction layer
- metallization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
数置な炭化珪素焼結体は、熱衝撃強度、高温時の機械的
強ＩＩ！勢の耐熱ｗＩ特性に優れ、化学的にも高い安定
性を示し、しかも高い耐摩耗性を臭えている魁から１Ｉ
ｌｌＩｉｌ用の機械部材、特に最近においては内燃機関
の各部材として高アルミナ質１１４１に代って注−され
るようになったが、例えばロッカーアームの一動部のチ
ップとして用いる場合のように金属の如き異種材料と強
固に接合する金属化面の生成に難があった。
強ＩＩ！勢の耐熱ｗＩ特性に優れ、化学的にも高い安定
性を示し、しかも高い耐摩耗性を臭えている魁から１Ｉ
ｌｌＩｉｌ用の機械部材、特に最近においては内燃機関
の各部材として高アルミナ質１１４１に代って注−され
るようになったが、例えばロッカーアームの一動部のチ
ップとして用いる場合のように金属の如き異種材料と強
固に接合する金属化面の生成に難があった。
この１由は、炭化珪素焼結体の４１ ｘ １０−＠で示
される低い熱＊＊係数が上記の耐熱Ｕ特性に大きく寄与
する反面、異種材料の熱廖鰻係数、特に鋼材の／１ ｘ
１０−”／Ｃと大きく懸隔し、同じセラ建ツクスであ
る高アルミナ質磁器の１．０×／ ｆ’／Ｃとの関にも
大龜な差異があるため、＾温で加熱される四−着作業時
、更には為亀で使用された場合において綴金される異種
材料との間に大きな熱膨張差をもたらして綴金強度を低
下させていた。
される低い熱＊＊係数が上記の耐熱Ｕ特性に大きく寄与
する反面、異種材料の熱廖鰻係数、特に鋼材の／１ ｘ
１０−”／Ｃと大きく懸隔し、同じセラ建ツクスであ
る高アルミナ質磁器の１．０×／ ｆ’／Ｃとの関にも
大龜な差異があるため、＾温で加熱される四−着作業時
、更には為亀で使用された場合において綴金される異種
材料との間に大きな熱膨張差をもたらして綴金強度を低
下させていた。
本発明は、％に異種材料との接合強度を格段と為める炭
化珪素焼結体表面の金属化法に係り該炭化珪素と反応性
の高い金属からなる反応層と、展延性に富む金属からな
る緩衝層の一層を物理蒸着法によって形成することを特
徴とするものである。
化珪素焼結体表面の金属化法に係り該炭化珪素と反応性
の高い金属からなる反応層と、展延性に富む金属からな
る緩衝層の一層を物理蒸着法によって形成することを特
徴とするものである。
しかして、上記炭化珪素焼結体の表向に形成する反応層
は、炭化珪素と＾い反応性を有する金属、Ｔｉ ＋ Ｃ
ｒ ｌ Ｍｏ ＊ Ｚｒ Ｉ Ｈｆ ｅ Ｗ等、および
これらを含む合金、例えばＮｉＣｒから撰ばれるがその
膜厚はこれら金属が剛性であり、かつ熱膨鰻係数が基盤
の窒化珪素焼結体に比して著しく＾い理由および蒸着に
要する時間を短縮する目的から可能な＠抄薄くすること
が望ましいが、薄すぎる場合は蒸着時において全体が反
応して上向の緩衝層との関に必要な接合強度が得られな
いため少なく共１００ムは必要であり、それ以上は略々
膜厚に応じて接合強度を高めるが一〇〇〇Ｘ付近から鈍
化すると共に、過度の膜厚は上記の理由によって耐久性
を劣化する慣れがあるだけでなく、蒸着に長時間を賛す
るので最大ｔｏｏｏｏ ｉ８！度、コ０ｏ −Ｊｏｙａ
＠の範囲内が好ましい。
は、炭化珪素と＾い反応性を有する金属、Ｔｉ ＋ Ｃ
ｒ ｌ Ｍｏ ＊ Ｚｒ Ｉ Ｈｆ ｅ Ｗ等、および
これらを含む合金、例えばＮｉＣｒから撰ばれるがその
膜厚はこれら金属が剛性であり、かつ熱膨鰻係数が基盤
の窒化珪素焼結体に比して著しく＾い理由および蒸着に
要する時間を短縮する目的から可能な＠抄薄くすること
が望ましいが、薄すぎる場合は蒸着時において全体が反
応して上向の緩衝層との関に必要な接合強度が得られな
いため少なく共１００ムは必要であり、それ以上は略々
膜厚に応じて接合強度を高めるが一〇〇〇Ｘ付近から鈍
化すると共に、過度の膜厚は上記の理由によって耐久性
を劣化する慣れがあるだけでなく、蒸着に長時間を賛す
るので最大ｔｏｏｏｏ ｉ８！度、コ０ｏ −Ｊｏｙａ
＠の範囲内が好ましい。
次に、反応層の表面に緩衝層を形成する目的Ｆｉ異種材
料とのロー着を容島にすると共に、接合層間の熱膨張差
を１収するだめのものであるから、展延性に富む金属、
Ｃｕ ｔ ＡＩ ＋ Ａｕ ＊ Ａｇ等およびこれらを
含む合金、または展延性において上記の金属に比して若
干低下するがロー材との濡れ性の高いＮｌも使用でき、
価格の面からＣｕ ｒ Ｎｉ ＋ ＡＩが最も実用に適
し、その膜厚は上記の層内から反応層とは逆に厚い方が
望ましいが、過度に失した場合はこの緩衝層自体の熱膨
張によって耐久性を劣化させる慣れがあるだけでなく、
蒸着に長時間を要して量産性を低下する。また薄すぎる
場合はロー材が下方の反応層まで侵入、拡散して該緩衝
層および反応層の機能に悪影響を及ばずのでその範囲は
Ｑｊ −ｊμ程度、特に／−４ｊμが好ましく、咳緩衝
層および上記反応層の膜厚はそれら金属の組合せＫよっ
て決定される。
料とのロー着を容島にすると共に、接合層間の熱膨張差
を１収するだめのものであるから、展延性に富む金属、
Ｃｕ ｔ ＡＩ ＋ Ａｕ ＊ Ａｇ等およびこれらを
含む合金、または展延性において上記の金属に比して若
干低下するがロー材との濡れ性の高いＮｌも使用でき、
価格の面からＣｕ ｒ Ｎｉ ＋ ＡＩが最も実用に適
し、その膜厚は上記の層内から反応層とは逆に厚い方が
望ましいが、過度に失した場合はこの緩衝層自体の熱膨
張によって耐久性を劣化させる慣れがあるだけでなく、
蒸着に長時間を要して量産性を低下する。また薄すぎる
場合はロー材が下方の反応層まで侵入、拡散して該緩衝
層および反応層の機能に悪影響を及ばずのでその範囲は
Ｑｊ −ｊμ程度、特に／−４ｊμが好ましく、咳緩衝
層および上記反応層の膜厚はそれら金属の組合せＫよっ
て決定される。
また、本発明において上記反応層および緩衝層を形成す
る手段として物理蒸着法を特定した理由は、該物理蒸着
法が上記両層の材質および膜厚を自由Ｋｌｌ定しうる旭
であって、これＫよって従来セラ建ツクスに金属化面を
形成する手段として慣用されている、メタライズペース
トを基盤の表′Ｗｉにスクリーン印刷した俵、非酸化性
雰囲気中において加熱するメタライズ（厚膜）法におけ
る欠点、すなわち咳メタライズ法の場合は基盤上に形成
される金属化面がＭｏあるいはＷを主体とする剛性の金
属に限定せられ、しかもその膜厚がｉｏ−コＯμという
厚１［Ｋなるため、異種材料間の熱膨張差を吸収できな
い信頼性の低さを一挙に解決することに成功したもので
ある。
る手段として物理蒸着法を特定した理由は、該物理蒸着
法が上記両層の材質および膜厚を自由Ｋｌｌ定しうる旭
であって、これＫよって従来セラ建ツクスに金属化面を
形成する手段として慣用されている、メタライズペース
トを基盤の表′Ｗｉにスクリーン印刷した俵、非酸化性
雰囲気中において加熱するメタライズ（厚膜）法におけ
る欠点、すなわち咳メタライズ法の場合は基盤上に形成
される金属化面がＭｏあるいはＷを主体とする剛性の金
属に限定せられ、しかもその膜厚がｉｏ−コＯμという
厚１［Ｋなるため、異種材料間の熱膨張差を吸収できな
い信頼性の低さを一挙に解決することに成功したもので
ある。
しかして、−１ｌＨ着法としては真空蒸着を初めとして
イオンビーム蒸着、スパッタリング等があるが、そのい
ずれをも採用することかでき縦化物焼結体基−には常圧
焼結晶、反応焼結晶のいずれをも使用で龜る。
イオンビーム蒸着、スパッタリング等があるが、そのい
ずれをも採用することかでき縦化物焼結体基−には常圧
焼結晶、反応焼結晶のいずれをも使用で龜る。
実施例Ｉ
常法による常圧焼結をもって製作した純度り１＠、層論
密ｇｆｌ−で、ＪＯｘ／４）ｘｊｗからなる板状の８ｉ
Ｃ焼結体を基盤とし、ＪＯｘ １０−の一方の主表面を
＊面粗さ０．１７〜４≠ｔμＲａ Ｋ研磨加工を施し先
後、中性洗剤および流水による洗浄−アセトンによる水
分の置換−／、／、／）リクロルエタンおよびアセトン
洗浄−乾燥の各工程によって清浄し、真空蒸着機（日本
真空技術■ＥＶＢ −４０Ｍ ）の真空槽内において／
０−” Ｔｏｒｒ台に減圧すると共Ｋ ３ｏｏｃ Ｋ
加熱し、上記の研磨加工を施した主表面に、基盤の８１
０と高い反応性を示す金属から選んだＴｉを電子ビーム
加熱によって溶融、蒸着して種々の膜厚の反応層を形成
し、賦反応層の上に緩衝層として［を性に富む金属から
撰んだＣｕｔ上記の真空度を保持した状態において同じ
く電子ビーム加熱によって溶融、ｌμの厚さに蒸着した
試料について、基盤の炭化珪素焼結体に対する反応層と
緩衝層とからなる金属化面の接合強度を調べるため、該
金属面をフォトエツチングによって／、 ／ Ｊ−φの
円形のパターンとし、これに端面を平坦に研磨したｉ、
ｏ−φの銅線を突合せ半田ロ一層した彼−直方向の引張
り試験を行なった結果を第１表に示す。
密ｇｆｌ−で、ＪＯｘ／４）ｘｊｗからなる板状の８ｉ
Ｃ焼結体を基盤とし、ＪＯｘ １０−の一方の主表面を
＊面粗さ０．１７〜４≠ｔμＲａ Ｋ研磨加工を施し先
後、中性洗剤および流水による洗浄−アセトンによる水
分の置換−／、／、／）リクロルエタンおよびアセトン
洗浄−乾燥の各工程によって清浄し、真空蒸着機（日本
真空技術■ＥＶＢ −４０Ｍ ）の真空槽内において／
０−” Ｔｏｒｒ台に減圧すると共Ｋ ３ｏｏｃ Ｋ
加熱し、上記の研磨加工を施した主表面に、基盤の８１
０と高い反応性を示す金属から選んだＴｉを電子ビーム
加熱によって溶融、蒸着して種々の膜厚の反応層を形成
し、賦反応層の上に緩衝層として［を性に富む金属から
撰んだＣｕｔ上記の真空度を保持した状態において同じ
く電子ビーム加熱によって溶融、ｌμの厚さに蒸着した
試料について、基盤の炭化珪素焼結体に対する反応層と
緩衝層とからなる金属化面の接合強度を調べるため、該
金属面をフォトエツチングによって／、 ／ Ｊ−φの
円形のパターンとし、これに端面を平坦に研磨したｉ、
ｏ−φの銅線を突合せ半田ロ一層した彼−直方向の引張
り試験を行なった結果を第１表に示す。
但し、上記の反応層と緩衝層とからなる金属化面は、Ｔ
１による反応層を第７表に示したそれぞれの膜厚に蒸着
した都ｆＣｕの緩衝層を／μの膜厚に蒸着して形成した
。
１による反応層を第７表に示したそれぞれの膜厚に蒸着
した都ｆＣｕの緩衝層を／μの膜厚に蒸着して形成した
。
第１表から、反応層を各種の膜厚のＴｉとし、緩衝層の
Ｃｕｔｌμの膜厚に固定した場合、反応層の膜厚がｔｏ
）、 （１ｏｏＸ以下の膜厚は測定困難のため蒸着時間
によって推定した）の場合は引張強さＫよって表わされ
る基盤との接合強度が不充分で実用性に乏しく、１ｏｏ
Ｘから急上昇して膜厚に伴なって接合強度を高め、ｚｏ
ｏｏＸｒ１ｃ達するとロー着部から剥離する程の強度が
確かめられたが、前に述べ九理由と接合強度を総合゛し
てコ０００）６度が好ましい膜厚であることが示された
。
Ｃｕｔｌμの膜厚に固定した場合、反応層の膜厚がｔｏ
）、 （１ｏｏＸ以下の膜厚は測定困難のため蒸着時間
によって推定した）の場合は引張強さＫよって表わされ
る基盤との接合強度が不充分で実用性に乏しく、１ｏｏ
Ｘから急上昇して膜厚に伴なって接合強度を高め、ｚｏ
ｏｏＸｒ１ｃ達するとロー着部から剥離する程の強度が
確かめられたが、前に述べ九理由と接合強度を総合゛し
てコ０００）６度が好ましい膜厚であることが示された
。
実施例コ
金属化面の反応層を膜厚コｏｏｏ １のＴｉ Ｋ固定し
、緩衝層としてＣｕ 、 Ｎ１ 、 ＡＩを各種の膜厚
として前と同様の試験を行なった結果を第２表に示す。
、緩衝層としてＣｕ 、 Ｎ１ 、 ＡＩを各種の膜厚
として前と同様の試験を行なった結果を第２表に示す。
但し、緩衝層ＫＡＩを用いた場合はロー材に商品名アル
ツル参ｊｐと呼ばれる日本スベリアル社のアルミニウム
用の半田を使用した。
ツル参ｊｐと呼ばれる日本スベリアル社のアルミニウム
用の半田を使用した。
第 コ 表＃Ｉλ表
から、緩衝層の膜厚はＣｕ ｔ Ｎｉ ＋ ＡＩのいず
れにおいてもＱｊμから効果を表わし、膜厚に略々比例
して接合強度を高めるが、ｔｊμ根度から鈍化または逆
に低下する傾向が示された。
から、緩衝層の膜厚はＣｕ ｔ Ｎｉ ＋ ＡＩのいず
れにおいてもＱｊμから効果を表わし、膜厚に略々比例
して接合強度を高めるが、ｔｊμ根度から鈍化または逆
に低下する傾向が示された。
実施例３
金属化面の反応層としてＴｌの他、炭化珪素と反応性の
為い金属として知られるＺｒ ｒ Ｃｒ ＋Ｍｏおよび
それらを含む金属としてｌ：コのＮトＣｒによって代表
させ、一方緩衝層として展延性があり、半田ロー材と濡
れ性のよい金楓から車輌なＣｕおよびＮｉを撰び、前者
反応層を１０００ Ａ、後者緩衝層をＪＬｊμの膜厚と
して組合せ、前と同様の試験を行なった結果を第３表に
示す。
為い金属として知られるＺｒ ｒ Ｃｒ ＋Ｍｏおよび
それらを含む金属としてｌ：コのＮトＣｒによって代表
させ、一方緩衝層として展延性があり、半田ロー材と濡
れ性のよい金楓から車輌なＣｕおよびＮｉを撰び、前者
反応層を１０００ Ａ、後者緩衝層をＪＬｊμの膜厚と
して組合せ、前と同様の試験を行なった結果を第３表に
示す。
２／
第３表から、Ｚｒ ｒ Ｃｒ ＊ Ｍｏ ＋ Ｔｉ 、
Ｎｉ−Ｃｒからなる反応層と、Ｃｕ ＊ Ｎｉからなる
緩衝層とによって形成された金属化面はいずれの組合せ
においても満足すべき接合強度を示し、特にＴ１とＣｕ
＋ ＺｒとＣｕの組合せにおいて優れた効果を示すこ
とが明らかＫされた。
Ｎｉ−Ｃｒからなる反応層と、Ｃｕ ＊ Ｎｉからなる
緩衝層とによって形成された金属化面はいずれの組合せ
においても満足すべき接合強度を示し、特にＴ１とＣｕ
＋ ＺｒとＣｕの組合せにおいて優れた効果を示すこ
とが明らかＫされた。
以上の通り、炭化珪素焼結体の表面に該炭化珪素と反応
性の嵩い金属からなる反応層と、展延性に富む金属から
なる緩衝層を、物理蒸着法によって形成することを％徴
とした本発明の縦化珪素焼障体表面の金属化法は、上記
反応層および緩衝層のそれぞれ目的に応じた材質および
膜厚を自由に撰定することができるので、基盤の炭化珪
素とＩＩＷＩＡに結合した１台の極めて薄い反応層と、
展延性に富み接合される他の材料との熱膨張差を吸収す
るに足る膜厚の緩衝層とからなり、ロー着によって他の
金属と強固に接合し、高い耐久性を具えた金属化向を工
業的に得ることができる。
性の嵩い金属からなる反応層と、展延性に富む金属から
なる緩衝層を、物理蒸着法によって形成することを％徴
とした本発明の縦化珪素焼障体表面の金属化法は、上記
反応層および緩衝層のそれぞれ目的に応じた材質および
膜厚を自由に撰定することができるので、基盤の炭化珪
素とＩＩＷＩＡに結合した１台の極めて薄い反応層と、
展延性に富み接合される他の材料との熱膨張差を吸収す
るに足る膜厚の緩衝層とからなり、ロー着によって他の
金属と強固に接合し、高い耐久性を具えた金属化向を工
業的に得ることができる。
なお、ロー着によって接合しうる相手方の材料は金属材
に限らず、酸化物あるいは窪化物等他のセラにツク焼結
体の表面に金属化面を設けたものでもよく、大蓋の炭化
珪素焼結体を得るため一体またはそれ以上に分割した炭
化珪素焼結体を接合することもできるが、熱膨張係数の
異なる異種材料とのロー着に対して特に有効である。
に限らず、酸化物あるいは窪化物等他のセラにツク焼結
体の表面に金属化面を設けたものでもよく、大蓋の炭化
珪素焼結体を得るため一体またはそれ以上に分割した炭
化珪素焼結体を接合することもできるが、熱膨張係数の
異なる異種材料とのロー着に対して特に有効である。
Claims (1)
- 炭化珪素焼結体のＩＩ函に％諌炭化珪素と反応性の＾い
金属からなる反応層と、展延性に富む金属からなる緩衝
層を、物１ｍ＠着法によって形成する仁とを特徴とした
炭化珪素焼結体表面の金属化法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3259582A JPS58151384A (ja) | 1982-03-01 | 1982-03-01 | 炭化珪素焼結体表面の金属化法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3259582A JPS58151384A (ja) | 1982-03-01 | 1982-03-01 | 炭化珪素焼結体表面の金属化法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58151384A true JPS58151384A (ja) | 1983-09-08 |
| JPH0248515B2 JPH0248515B2 (ja) | 1990-10-25 |
Family
ID=12363207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3259582A Granted JPS58151384A (ja) | 1982-03-01 | 1982-03-01 | 炭化珪素焼結体表面の金属化法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58151384A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51120951A (en) * | 1975-04-16 | 1976-10-22 | Ngk Spark Plug Co | Method of metallizing ceramics surface to obtaining high brazing strength with metal material |
| JPS51125641A (en) * | 1974-08-05 | 1976-11-02 | Ngk Insulators Ltd | Process for metallizing ceramics |
| JPS5899184A (ja) * | 1981-12-04 | 1983-06-13 | 株式会社日立製作所 | 炭化珪素焼結体のメタライジング法 |
-
1982
- 1982-03-01 JP JP3259582A patent/JPS58151384A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51125641A (en) * | 1974-08-05 | 1976-11-02 | Ngk Insulators Ltd | Process for metallizing ceramics |
| JPS51120951A (en) * | 1975-04-16 | 1976-10-22 | Ngk Spark Plug Co | Method of metallizing ceramics surface to obtaining high brazing strength with metal material |
| JPS5899184A (ja) * | 1981-12-04 | 1983-06-13 | 株式会社日立製作所 | 炭化珪素焼結体のメタライジング法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0248515B2 (ja) | 1990-10-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4624897A (en) | Clad brazing filler for bonding ceramic to metal, glass, or other ceramic and composites using such filler | |
| JPS61158876A (ja) | セラミツク対金属の直接液相結合 | |
| US5028495A (en) | Composite foil brazing material and method of using | |
| JPH0216273B2 (ja) | ||
| JPS606910B2 (ja) | 金属セラミツクス接合体 | |
| JPH0367985B2 (ja) | ||
| JPS59232979A (ja) | セラミツクとアルミニウム合金の複合体 | |
| JP3095490B2 (ja) | セラミックス−金属接合体 | |
| JPH09283656A (ja) | セラミックス回路基板 | |
| JPS60166165A (ja) | 窒化物系セラミックスと金属との接合方法 | |
| JPS58140381A (ja) | 窒化珪素焼結体表面の金属化法 | |
| JPS6033269A (ja) | 金属とセラミツクの接合方法 | |
| JPS58151384A (ja) | 炭化珪素焼結体表面の金属化法 | |
| JPS6337077B2 (ja) | ||
| JPH0725677A (ja) | セラミックスとニッケル又はニッケル系合金との接合方 法 | |
| JPS58176189A (ja) | 珪素の窒化物および炭化物焼結体表面の金属化法 | |
| JPH0223498B2 (ja) | ||
| JPH06263554A (ja) | セラミックス−金属接合基板 | |
| JPH07187839A (ja) | 窒化物系セラミックス−金属接合体およびその製造方法 | |
| JP2001048670A (ja) | セラミックス−金属接合体 | |
| JP3505212B2 (ja) | 接合体および接合体の製造方法 | |
| JPS6270284A (ja) | メタライズド炭化珪素系セラミツクス体とその製造方法 | |
| JPS6032648A (ja) | セラミックスのメタライジング方法及びセラミックスのメタライジング用合金箔 | |
| JPS59164676A (ja) | セラミツクスと金属の接合体及びその製造方法 | |
| JPS61281078A (ja) | セラミツクスと金属、同種セラミツクス同志または異種セラミツクス間の接合方法 |