JPS5899184A - 炭化珪素焼結体のメタライジング法 - Google Patents
炭化珪素焼結体のメタライジング法Info
- Publication number
- JPS5899184A JPS5899184A JP19454781A JP19454781A JPS5899184A JP S5899184 A JPS5899184 A JP S5899184A JP 19454781 A JP19454781 A JP 19454781A JP 19454781 A JP19454781 A JP 19454781A JP S5899184 A JPS5899184 A JP S5899184A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- sintered body
- carbide sintered
- layer
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は新規な炭化珪素焼結体のメタライズ法に係り、
特に、極めて接着強度が優ｎｓ Ｌかも接着強度のば
らつきの小さいメタライズ法に関する。
特に、極めて接着強度が優ｎｓ Ｌかも接着強度のば
らつきの小さいメタライズ法に関する。
炭化珪素焼結体のメタライズに関しては、Ｎ１−Ｗ：＄
あるいはＭＯ−Ｗ系の焼付法かめるが、これらメタライ
ズ品は極めて高い接着強度を有するが、中には接着強度
の小さいものができることがあった。本発明はこれら接
着強度の小さいものについて、原因を追求している中で
見いだし、完成するに至ったものである。
あるいはＭＯ−Ｗ系の焼付法かめるが、これらメタライ
ズ品は極めて高い接着強度を有するが、中には接着強度
の小さいものができることがあった。本発明はこれら接
着強度の小さいものについて、原因を追求している中で
見いだし、完成するに至ったものである。
不発明は、炭化ケイ素を主成分とする焼結体に該焼結体
と接合強度の高い第１の金属層を設け、該金属層上に第
２の金属層を形成させることｔ−特徴とする。
と接合強度の高い第１の金属層を設け、該金属層上に第
２の金属層を形成させることｔ−特徴とする。
第１の金属、層として、マンガン、チタン、タングステ
ン粉の１種以上を有するベースｌ塗布し、乾燥後又は焼
付は後、第１の金ｌＩ４１１１上に金属ろう又はニッケ
ル粉、モリブデン粉の１種または２１１Ｉの金属粉ペー
ストを塗布し、好ましくは非酸化性雰囲気で焼付けるの
が好ましい。
ン粉の１種以上を有するベースｌ塗布し、乾燥後又は焼
付は後、第１の金ｌＩ４１１１上に金属ろう又はニッケ
ル粉、モリブデン粉の１種または２１１Ｉの金属粉ペー
ストを塗布し、好ましくは非酸化性雰囲気で焼付けるの
が好ましい。
本発明においては、５７７７７７層を下嗜にニッケル、
モリブデン及びタングステンの１種または２種以上のメ
タルｍｔ上層に２＠に塗布することを必須としており、
夫々１層の場合に比し、接着強度が大きくなるはかりで
なく、接着強度のばらつき幅も小さくなる。
モリブデン及びタングステンの１種または２種以上のメ
タルｍｔ上層に２＠に塗布することを必須としており、
夫々１層の場合に比し、接着強度が大きくなるはかりで
なく、接着強度のばらつき幅も小さくなる。
炭化珪素を主成分とする焼結体にニッケルータングステ
ン層およびモリブデン−タングステン層を夫々１−で焼
付けたもので、接着強度の小さいものは、メタライズ層
の表面が炭化珪素とニッケル、モリブデンのメタライズ
材とが反応して生成するカー・ボンで１＠被覆さ扛る構
造になっていることがオージェ電子分光分析で明らかに
なった。
ン層およびモリブデン−タングステン層を夫々１−で焼
付けたもので、接着強度の小さいものは、メタライズ層
の表面が炭化珪素とニッケル、モリブデンのメタライズ
材とが反応して生成するカー・ボンで１＠被覆さ扛る構
造になっていることがオージェ電子分光分析で明らかに
なった。
さらに中間生成物としてはニッケルシリサイド。
ニッケルカーバイド、モリブデンシリサイドおよびモリ
ブデンカーバイドなどが王生成物であり、メタライズ最
適温度範囲ではタングステンは比較的灰石しにくいもの
でろることがわかつ九。そこでメタライズ時にカーボン
層が生成しにくいように反応抑制法として、炭化珪素焼
結体に直接マンガ／、チタン及びタングステン層を塗布
し、焼付ける方法では、メタライズ層の表面がカーボン
層で被覆されることなく、接着強度が大きく、ばらつき
幅も小さい。乾燥後、その上層に金楓ろう又はニッケル
、モリブデン及びタングステンの１橿または２種以上の
メタル層を塗布、焼付けることでメタライズ層表面のカ
ーボン層の生成を防止でき、接着強度が大きく、ばらつ
き幅の小さいものができた。
ブデンカーバイドなどが王生成物であり、メタライズ最
適温度範囲ではタングステンは比較的灰石しにくいもの
でろることがわかつ九。そこでメタライズ時にカーボン
層が生成しにくいように反応抑制法として、炭化珪素焼
結体に直接マンガ／、チタン及びタングステン層を塗布
し、焼付ける方法では、メタライズ層の表面がカーボン
層で被覆されることなく、接着強度が大きく、ばらつき
幅も小さい。乾燥後、その上層に金楓ろう又はニッケル
、モリブデン及びタングステンの１橿または２種以上の
メタル層を塗布、焼付けることでメタライズ層表面のカ
ーボン層の生成を防止でき、接着強度が大きく、ばらつ
き幅の小さいものができた。
比較的
炭化珪素粉と焼結助剤として２重量部のＢｅＯを混合し
、２０５０ｒ−３０−で真空ホットプレス成形した炭化
珪素焼結体に、肇４隼師←トメタライズペース）ｔ−印
ｊｌｉｌＪ塗布し、焼付けたメタライズの接着強度は第
１表に示すように、ばらつき幅が大きく、メタライズと
して不充分でめった。
、２０５０ｒ−３０−で真空ホットプレス成形した炭化
珪素焼結体に、肇４隼師←トメタライズペース）ｔ−印
ｊｌｉｌＪ塗布し、焼付けたメタライズの接着強度は第
１表に示すように、ばらつき幅が大きく、メタライズと
して不充分でめった。
実施ガ１
炭化珪素粉と焼結助剤として２重量部のＢｅＯを混合し
、２０５０ｒ−３０分の真空ホットプレス成形し九炭化
珪素焼結体に、タングステンベーストを塗布し、乾燥後
第１ｆｉに示すメタライズベース）ｆタングステン層に
重ねて塗布し乾燥後、焼付けたメタライズｊｆＩの接着
強度を測定した。結果はｌ！２表に示すように、ばらつ
きが小さく、接着強度の大きいメタライズｌ−かで舞る
。
、２０５０ｒ−３０分の真空ホットプレス成形し九炭化
珪素焼結体に、タングステンベーストを塗布し、乾燥後
第１ｆｉに示すメタライズベース）ｆタングステン層に
重ねて塗布し乾燥後、焼付けたメタライズｊｆＩの接着
強度を測定した。結果はｌ！２表に示すように、ばらつ
きが小さく、接着強度の大きいメタライズｌ−かで舞る
。
炭化珪素焼結体は室温で１０＋１０（７）以上の比抵抗
を有する電気４Ｐ！縁材であった。本実施例の炭化珪素
焼結体の製法及びその他の特性は特願昭５５−７５６０
１号に示すとおりである。
を有する電気４Ｐ！縁材であった。本実施例の炭化珪素
焼結体の製法及びその他の特性は特願昭５５−７５６０
１号に示すとおりである。
ペーストのビヒクルは、７％エチルセルローズ／カルピ
トールアセテート（粘度約１０万センチボイズ）である
。
トールアセテート（粘度約１０万センチボイズ）である
。
実施例２
炭化珪素粉と焼結助剤として２重量部の酸化ベリリウム
を混合し、２０５０Ｃ−３０−で真空ポットプレス成形
した炭化珪素焼結体に、第３衆に示すように、メタライ
ズベースＩｆ印刷塗布し、！付けたメタライズの接着強
度を測足した。その結果、ばらつき幅が小さく、接着強
度の大きいメタライズができる。この炭化珪素焼結体は
室温で１０１１０備以上の比抵抗を有する電気絶縁性で
めった。その他の特性及び組成等Ｆｉ特願昭５５−７°
５６０１号に示すとおりである。
を混合し、２０５０Ｃ−３０−で真空ポットプレス成形
した炭化珪素焼結体に、第３衆に示すように、メタライ
ズベースＩｆ印刷塗布し、！付けたメタライズの接着強
度を測足した。その結果、ばらつき幅が小さく、接着強
度の大きいメタライズができる。この炭化珪素焼結体は
室温で１０１１０備以上の比抵抗を有する電気絶縁性で
めった。その他の特性及び組成等Ｆｉ特願昭５５−７°
５６０１号に示すとおりである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、炭化ケイ素を主成分とする焼結体に該焼結体と接合
強度の高い第１の金属層を形成させた後、該第１の金属
層上に第２の金属層を形成させることｔｒｐｔｔ微とす
る炭化珪素焼結体のメタライジング法。 １古 ２、前記第１の金属１ｆｉｆｉ）タングステン、マンガ
ン及びチタンの１種または２種以上の金属粉ペーストを
塗布し、非酸化性雰囲気中で焼付けられたものでるる特
許請求の範囲＠１項記載の炭化珪素焼結体のメタライジ
ング法。 ３、前記第２の金属層は金属ろう又はニッケル。 モリブデン反びタングステンの１種又は２種以上の金属
粉ペーストを塗布し、焼付けらｎたものである％杵請求
の範囲第１項又は第２項に記載の炭化珪素焼結体のメタ
ライジング法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19454781A JPS5899184A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 炭化珪素焼結体のメタライジング法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19454781A JPS5899184A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 炭化珪素焼結体のメタライジング法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5899184A true JPS5899184A (ja) | 1983-06-13 |
Family
ID=16326345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19454781A Pending JPS5899184A (ja) | 1981-12-04 | 1981-12-04 | 炭化珪素焼結体のメタライジング法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5899184A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58151384A (ja) * | 1982-03-01 | 1983-09-08 | 日本特殊陶業株式会社 | 炭化珪素焼結体表面の金属化法 |
| JPH0540188U (ja) * | 1991-10-24 | 1993-05-28 | 東洋アルミニウム株式会社 | 金属粉ペースト包装体 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5455015A (en) * | 1977-10-12 | 1979-05-01 | Hitachi Chemical Co Ltd | Method of bonding copper and ceramic |
| JPS54161617A (en) * | 1978-06-12 | 1979-12-21 | Fujitsu Ltd | Metal coating formation for insulator substrate |
-
1981
- 1981-12-04 JP JP19454781A patent/JPS5899184A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5455015A (en) * | 1977-10-12 | 1979-05-01 | Hitachi Chemical Co Ltd | Method of bonding copper and ceramic |
| JPS54161617A (en) * | 1978-06-12 | 1979-12-21 | Fujitsu Ltd | Metal coating formation for insulator substrate |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58151384A (ja) * | 1982-03-01 | 1983-09-08 | 日本特殊陶業株式会社 | 炭化珪素焼結体表面の金属化法 |
| JPH0540188U (ja) * | 1991-10-24 | 1993-05-28 | 東洋アルミニウム株式会社 | 金属粉ペースト包装体 |
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