JPS58156295A - 圧電変換器 - Google Patents
圧電変換器Info
- Publication number
- JPS58156295A JPS58156295A JP57039627A JP3962782A JPS58156295A JP S58156295 A JPS58156295 A JP S58156295A JP 57039627 A JP57039627 A JP 57039627A JP 3962782 A JP3962782 A JP 3962782A JP S58156295 A JPS58156295 A JP S58156295A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- polarization
- piezoelectric
- counter electrode
- piezoelectric transducer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、アレイトランスデユーサ型の圧電変換器およ
びその製造方法に関するものであり、このような圧電変
換器は、たとえば超音波診断器筐の振動子などに用いら
れる。
びその製造方法に関するものであり、このような圧電変
換器は、たとえば超音波診断器筐の振動子などに用いら
れる。
従来、多数の電気音響変換素子を配列し九アレイトラン
スデューサ型の圧電変換器が知られているが、このもの
は、各々独立のエレメントとなっている圧電素子を多数
個組み込んで製造するものである念め、その製造工程が
繁雑で手間がかかる。
スデューサ型の圧電変換器が知られているが、このもの
は、各々独立のエレメントとなっている圧電素子を多数
個組み込んで製造するものである念め、その製造工程が
繁雑で手間がかかる。
また、これらの圧電素子は、均一材料を均一に分極させ
た構造のものであるため、周波数特性は、第１図に示す
ように、感度が零となる周波数部分を有する帯域制限的
々ものとなって、実用上大変に不便である。これを解決
した振動子としては、Ｖａｎ ｄｅｒ ｐａｕｗ 構造
、すなわちストライプ電極直下の分極の強さが奥に行く
に従って減少して零に収束する構造の振動子が知られて
いる。しかし、この振動子は、そのエレメント単位とし
て、ストライプ電極を対にしたものを用いる必要があり
、各ストライプ電極を１つ１つの独立したエレメントと
して用いることができず、そのうえエレメントの幅は、
分極分布の深さに対してその自由度が制限されるので不
便である。また、Ｖａｎ ｄｓｒ ｐａｗｗ構造に近似
し次構造の振動子としては多層圧電材料による振動子が
あるが、これは専用の圧電板を必要とし、一般の汎用材
料を用いることができず、その製造方法も繁雑なもので
ある。
た構造のものであるため、周波数特性は、第１図に示す
ように、感度が零となる周波数部分を有する帯域制限的
々ものとなって、実用上大変に不便である。これを解決
した振動子としては、Ｖａｎ ｄｅｒ ｐａｕｗ 構造
、すなわちストライプ電極直下の分極の強さが奥に行く
に従って減少して零に収束する構造の振動子が知られて
いる。しかし、この振動子は、そのエレメント単位とし
て、ストライプ電極を対にしたものを用いる必要があり
、各ストライプ電極を１つ１つの独立したエレメントと
して用いることができず、そのうえエレメントの幅は、
分極分布の深さに対してその自由度が制限されるので不
便である。また、Ｖａｎ ｄｓｒ ｐａｗｗ構造に近似
し次構造の振動子としては多層圧電材料による振動子が
あるが、これは専用の圧電板を必要とし、一般の汎用材
料を用いることができず、その製造方法も繁雑なもので
ある。
本発明は、そのインパルス応答が広いスペクトラムを有
する単一パルスとなるＶａｎ ｄａｒ ｐａｕｗ 構造
を有し、かつ、ストライプ電極の各々が十分に独立した
音響学的エレメントの１つ１つにこまかいピッチでなる
ようなアレイトランスデユーサ屋の圧電変換器と、この
ような圧電変換器を容易に製造することができる製造方
法とを提供することを目的とする。
する単一パルスとなるＶａｎ ｄａｒ ｐａｕｗ 構造
を有し、かつ、ストライプ電極の各々が十分に独立した
音響学的エレメントの１つ１つにこまかいピッチでなる
ようなアレイトランスデユーサ屋の圧電変換器と、この
ような圧電変換器を容易に製造することができる製造方
法とを提供することを目的とする。
本発明の圧電変換器は、板状圧電材料の一方の面に複数
の駆動電極を形成し、その他方の面に対向電極を形成し
、この駆動電極直下の圧電材料の分極の強さが駆動電極
から対向電極に向う最短距離方向に漸次に減少するよう
に構成したことを特徴とする。
の駆動電極を形成し、その他方の面に対向電極を形成し
、この駆動電極直下の圧電材料の分極の強さが駆動電極
から対向電極に向う最短距離方向に漸次に減少するよう
に構成したことを特徴とする。
また、本発明の製造方法は、板状圧電材料の一方のＷＪ
Ｋ複数の駆動電極を配設する第１の工程と、隣接する各
駆動電極への印加電圧が互いに逆極性となるようにして
各駆動電極に分極付与電圧の印加を行う第２の工程と、
板状圧電材料の他方の面に対向電極を設ける第３の工程
とを含むことを特徴とする。
Ｋ複数の駆動電極を配設する第１の工程と、隣接する各
駆動電極への印加電圧が互いに逆極性となるようにして
各駆動電極に分極付与電圧の印加を行う第２の工程と、
板状圧電材料の他方の面に対向電極を設ける第３の工程
とを含むことを特徴とする。
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第２図は、本発明製造方法を用いて製造した本発明の第
１実施例圧電変換器の側断面図である。
１実施例圧電変換器の側断面図である。
同図において、１は圧電板であり、ｐｚＴ（ジＡ、 コ
ア ｆ ｆｉ ７酸鉛： Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ ）０５
）、 ＰｂＮｂ２０４（メタニオブ酸鉛）などの圧電セ
ランツク材料でできている。この圧電板１の一方の面に
は、駆動電極として複数のストライプ電極２．、 ２ｂ
ｘ ２゜、・・・・・・、２ｎをピッチ間隔Ｐの等間
隔で配設する。このストライプ電極２．．２ｂ、・・−
・・・、２ｎは、その幅Ｗが２ Ｐ程度であることが望
ましい。それぞれのストライプ電極２ａ、２ｂ、・・・
・・・２ｎにはリード線諷、３ｂ、・・・・・・、３ｎ
を接続する。また、その他方の面には全面に対向電極４
を被着し、この対向電極４ｔリード線で接地する。各ス
トライプ電極２ＩＬ％ ２ｂｓ・・・・・・、２ｎの直
下の圧電板１０分極の強さは、第３図に自線■で示すよ
うに、この各ストライプ電極２．．２ｂ、・・・・・・
、２ｎから最短距離を通って対向電極４に達する方向に
漸次に減少し、この対向電極４の付近でほぼ零に収束し
ている。そして、その分極の極性は、第２図中におりて
垂直方向を向いていて、隣接するストライプ電極毎に交
互に逆極性となっている。
ア ｆ ｆｉ ７酸鉛： Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ ）０５
）、 ＰｂＮｂ２０４（メタニオブ酸鉛）などの圧電セ
ランツク材料でできている。この圧電板１の一方の面に
は、駆動電極として複数のストライプ電極２．、 ２ｂ
ｘ ２゜、・・・・・・、２ｎをピッチ間隔Ｐの等間
隔で配設する。このストライプ電極２．．２ｂ、・・−
・・・、２ｎは、その幅Ｗが２ Ｐ程度であることが望
ましい。それぞれのストライプ電極２ａ、２ｂ、・・・
・・・２ｎにはリード線諷、３ｂ、・・・・・・、３ｎ
を接続する。また、その他方の面には全面に対向電極４
を被着し、この対向電極４ｔリード線で接地する。各ス
トライプ電極２ＩＬ％ ２ｂｓ・・・・・・、２ｎの直
下の圧電板１０分極の強さは、第３図に自線■で示すよ
うに、この各ストライプ電極２．．２ｂ、・・・・・・
、２ｎから最短距離を通って対向電極４に達する方向に
漸次に減少し、この対向電極４の付近でほぼ零に収束し
ている。そして、その分極の極性は、第２図中におりて
垂直方向を向いていて、隣接するストライプ電極毎に交
互に逆極性となっている。
各ストライプ電極２＆、２ｂ、・・・・−・、２ｎのピ
ッチ間隔Ｐと圧電板１の厚さｔとの比Ｐ／ｌの値はほぼ
１となっている。
ッチ間隔Ｐと圧電板１の厚さｔとの比Ｐ／ｌの値はほぼ
１となっている。
このように圧電変換器を構成すると、第４図に示すよう
に、その周波ｔ＆特性に感度零の点がなくなり、広いス
ペクトラムを有するインパルス応答の良好な振動子を得
ることができる。
に、その周波ｔ＆特性に感度零の点がなくなり、広いス
ペクトラムを有するインパルス応答の良好な振動子を得
ることができる。
この圧電変換器の使用法として、念とえば超音波診断装
置の振動子のりニヤスキャン、らるいはセクタスキャン
に用いる場合について説明する。
置の振動子のりニヤスキャン、らるいはセクタスキャン
に用いる場合について説明する。
この場合には、対向電極４に対して各ストライプ電極２
ａ、２ｂ、・・・・・・、２ｎをそれぞれ独立した１つ
のエレメントとして取り扱い、対向電極４と各ストライ
プ電極２ａｑ２ｂ、・・・・−％ ２ｎとの間で信号の
送受を行う。各エレメントの分極の極性は交互に逆方向
となっているが、両極性の送波パルスを発生するとその
処理が複雑となるので、ストライプ電極は、奇数番目２
ａ１２゜、・・・−・、２ｎ ｓ あるいは偶数番目２
ｋｌ、２（Ｌ、・・・・・・、２１Ｅｌのいずれか一方
のみを使用する。このように分極が交互に反転している
ので、探触子を含む回路のコモンモード・ノイズが打消
されることにな夛有利である。豐信に際しては、受信波
の極性反転が簡単にできるので、全ストライプ電極２ａ
、２ｋｌｓ−・−１２ｎを用いる。
ａ、２ｂ、・・・・・・、２ｎをそれぞれ独立した１つ
のエレメントとして取り扱い、対向電極４と各ストライ
プ電極２ａｑ２ｂ、・・・・−％ ２ｎとの間で信号の
送受を行う。各エレメントの分極の極性は交互に逆方向
となっているが、両極性の送波パルスを発生するとその
処理が複雑となるので、ストライプ電極は、奇数番目２
ａ１２゜、・・・−・、２ｎ ｓ あるいは偶数番目２
ｋｌ、２（Ｌ、・・・・・・、２１Ｅｌのいずれか一方
のみを使用する。このように分極が交互に反転している
ので、探触子を含む回路のコモンモード・ノイズが打消
されることにな夛有利である。豐信に際しては、受信波
の極性反転が簡単にできるので、全ストライプ電極２ａ
、２ｋｌｓ−・−１２ｎを用いる。
第５図は、本発明の第２実施例圧電変換器の側断面図で
ある。
ある。
この変換器では、各ストライプ電極２１．２ｂ、・・・
・・・、２ｎの間の圧電板ｌの面に溝部１１１％ ｌｂ
、・−・・・・、Ｉｎを形成して各エレメントの独立性
を増している。
・・・、２ｎの間の圧電板ｌの面に溝部１１１％ ｌｂ
、・−・・・・、Ｉｎを形成して各エレメントの独立性
を増している。
ストライプ電極２＆ 、２ｂ ％ 由・・・、２ｎの上
には、石英ガラス層５とトリアセチルセルロース層６と
からなる対負荷マツチング層を設け、さらにその上にシ
リコンゴムレンズ７を取シ付ける。また対向電１ｉｉ４
０１１にはバッキング材８を散り付ける。
には、石英ガラス層５とトリアセチルセルロース層６と
からなる対負荷マツチング層を設け、さらにその上にシ
リコンゴムレンズ７を取シ付ける。また対向電１ｉｉ４
０１１にはバッキング材８を散り付ける。
このような構成にすると、望ましくない振動を除去でき
るとと−に、砿検体に対する整合を良好なものにするこ
とができる。
るとと−に、砿検体に対する整合を良好なものにするこ
とができる。
次に上述の圧電変換器の製造方法について説明する。
第６図に示すように、まず圧電板１の一方の面にストラ
イプ電極２ａ、２ｂ、・・・・・・％ ２ｎをピッチ間
隔Ｐで配設する。この配設け、圧電板１の厚さをｔとす
るとき、Ｐ／ｌの値がα１ないし１０＠度、特にＩ１５
ないし２程度となることが実用上置も望ましく、本実施
例では、Ｐ／ｌζ１である。
イプ電極２ａ、２ｂ、・・・・・・％ ２ｎをピッチ間
隔Ｐで配設する。この配設け、圧電板１の厚さをｔとす
るとき、Ｐ／ｌの値がα１ないし１０＠度、特にＩ１５
ないし２程度となることが実用上置も望ましく、本実施
例では、Ｐ／ｌζ１である。
次に、奇数番目のストライプ電極２１．２゜、・・・・
・・、２ｎを一括して正電圧電源に、また偶数番目のス
トライプ電極２ｂ、２ｄ、・・・・・・、２ｍを一括し
て負電圧電源にそれぞれ接続し、隣夛合うストライプ電
極への電圧印加が互いに逆極性となるようにして、分極
付与電圧の印加を行う。すると、［７図に示すように、
圧電板１の内部では、正電圧側ストライプ電極から負電
圧側ストライプ電極に向う矢印（イ）で示す電界が生じ
る。この電界は、ストライプ電極２＆、２ｂ、・・・・
・・、２ｎの直下で最も強く、分極付与電圧を適当に選
ぶことにより、対向電極４の付近ではほぼ零となる。付
与される分極の強さは、第３図の画線（、ａ）で示すよ
うに、ストライプ電１ｊ２ａ、２ｂ、・・・・−１２ｎ
から対向電極４に向う方向に漸次に減少して対向電極４
付近でほぼ零に収束する。ま次、分極の極性は、第６図
で垂直方向を向いていて、隣シ合うストライプ電極２ａ
、２ｂ、・・・・・・、２ｎ毎に逆方向を向いた本のと
なる。なお、第７図中の点線（ロ）は等電位線である。
・・、２ｎを一括して正電圧電源に、また偶数番目のス
トライプ電極２ｂ、２ｄ、・・・・・・、２ｍを一括し
て負電圧電源にそれぞれ接続し、隣夛合うストライプ電
極への電圧印加が互いに逆極性となるようにして、分極
付与電圧の印加を行う。すると、［７図に示すように、
圧電板１の内部では、正電圧側ストライプ電極から負電
圧側ストライプ電極に向う矢印（イ）で示す電界が生じ
る。この電界は、ストライプ電極２＆、２ｂ、・・・・
・・、２ｎの直下で最も強く、分極付与電圧を適当に選
ぶことにより、対向電極４の付近ではほぼ零となる。付
与される分極の強さは、第３図の画線（、ａ）で示すよ
うに、ストライプ電１ｊ２ａ、２ｂ、・・・・−１２ｎ
から対向電極４に向う方向に漸次に減少して対向電極４
付近でほぼ零に収束する。ま次、分極の極性は、第６図
で垂直方向を向いていて、隣シ合うストライプ電極２ａ
、２ｂ、・・・・・・、２ｎ毎に逆方向を向いた本のと
なる。なお、第７図中の点線（ロ）は等電位線である。
圧電板ｌへの分極の付与が終了し九ら、圧電板１の他方
の面に全面に対向電極４を被着して圧電変換器とする。
の面に全面に対向電極４を被着して圧電変換器とする。
第５図に示した例のように、ストライプ電極間に溝部を
形成する場合には、圧電［１に分極を付与した俵に行う
。それ以前に行うと前述し要覧界分布が得られないので
、Ｖａｎ ｄｌｒ ｐａｕＷ構造を得ることができない
。
形成する場合には、圧電［１に分極を付与した俵に行う
。それ以前に行うと前述し要覧界分布が得られないので
、Ｖａｎ ｄｌｒ ｐａｕＷ構造を得ることができない
。
なお、分極電圧の印加をＰ ）） ｔの関係において行
うと、電界はそのはとんどがストライプ電極間を水平方
向に向く成分だけとな夛、そこが役に豆皮ない水平方向
に分極されるだけで、ストライプ電極直下に満足できる
Ｖａｎ ｄｅｒ ｐａｕｗ構造を得ることができず、望
ましくない。第３図の点線■はこの場合の分極分布を示
したものである。
うと、電界はそのはとんどがストライプ電極間を水平方
向に向く成分だけとな夛、そこが役に豆皮ない水平方向
に分極されるだけで、ストライプ電極直下に満足できる
Ｖａｎ ｄｅｒ ｐａｕｗ構造を得ることができず、望
ましくない。第３図の点線■はこの場合の分極分布を示
したものである。
ま九、Ｐ （（ｔであるときには、第３ＷＪの点線■に
示すような圧電板ｌの内部で分極の強さが零に収束して
しまう分極分布となる。この場合には、Ｖａｎ ｄｅｒ
ｐａｕｗ構造を得ることはできるが、各ストライプ電
極２１Ｌ、２ｂ、・・曲、２ｎを各々独立し次エレメン
トとすることが難しくなシ、やはり望ましくなｈｏ 本製造方法にシいて、対向電極４の被着を分極付与電圧
の印加より後に行うことが望ましい理由は次の通シであ
る。
示すような圧電板ｌの内部で分極の強さが零に収束して
しまう分極分布となる。この場合には、Ｖａｎ ｄｅｒ
ｐａｕｗ構造を得ることはできるが、各ストライプ電
極２１Ｌ、２ｂ、・・曲、２ｎを各々独立し次エレメン
トとすることが難しくなシ、やはり望ましくなｈｏ 本製造方法にシいて、対向電極４の被着を分極付与電圧
の印加より後に行うことが望ましい理由は次の通シであ
る。
すなわち、先に対向電極４を被着すると、分極付与電圧
を印加しても、圧電板１の中での電界と電気力線とが対
向電極４のある方へ呼びよせられて、ストライプ電極ｋ
、２ｂ、”・・・・、２ｎと対向電極４との間に一様な
電界分布が生じ、分極の強さが対向電極４付近に向って
徐々に零に収束するというＶａｎ ｄｅｒ ｐａｕｗ構
造を得ることがてきなくなる。もつとも、Ｐ＜＜ｔであ
るときには、対向電極４が先に被着されていても、はと
んど影響はないが、この場合には前述したように、各ス
トライプ電極を各々独立したエレメントとし雛くなる。
を印加しても、圧電板１の中での電界と電気力線とが対
向電極４のある方へ呼びよせられて、ストライプ電極ｋ
、２ｂ、”・・・・、２ｎと対向電極４との間に一様な
電界分布が生じ、分極の強さが対向電極４付近に向って
徐々に零に収束するというＶａｎ ｄｅｒ ｐａｕｗ構
造を得ることがてきなくなる。もつとも、Ｐ＜＜ｔであ
るときには、対向電極４が先に被着されていても、はと
んど影響はないが、この場合には前述したように、各ス
トライプ電極を各々独立したエレメントとし雛くなる。
したがって、対向電極４を先に被着するか否かは、上述
の問題点およびＰ／ｌの比をよ〈考直して行う必要があ
る。
の問題点およびＰ／ｌの比をよ〈考直して行う必要があ
る。
本発明圧電変換器に用いる圧電材料は、本実施例に示し
たものに限定されるものではなく、いわゆる強鐸電圧電
材料であれば何でもよい。また、本発明圧電変換器を探
触子等に実装するに際しての実施態様、すなわち音響イ
ンピーダンスの整合構造、圧電板の加工形状、駆動およ
び対向電極の形状およびその配置位置などは、本実施例
に制限される−のでないことは勿論のことである。
たものに限定されるものではなく、いわゆる強鐸電圧電
材料であれば何でもよい。また、本発明圧電変換器を探
触子等に実装するに際しての実施態様、すなわち音響イ
ンピーダンスの整合構造、圧電板の加工形状、駆動およ
び対向電極の形状およびその配置位置などは、本実施例
に制限される−のでないことは勿論のことである。
以上説明し友ように、本発明によれば、Ｖａｎｄ＠ｒ
ｐｌＬｕＷ構造を有し、かつ、ストライプ電極缶々が十
分Ｋｆｉ立した音響的エレメントとなるアレイトランス
デユーサ蓋の圧電変換器を得ることができる。このよう
な圧電変換器は、広帯斌スペクトラムを有する単一パル
スを良好に発生できるというインパルス応答が優れたも
のであり、その実用的価値祉極めて嶌い。
ｐｌＬｕＷ構造を有し、かつ、ストライプ電極缶々が十
分Ｋｆｉ立した音響的エレメントとなるアレイトランス
デユーサ蓋の圧電変換器を得ることができる。このよう
な圧電変換器は、広帯斌スペクトラムを有する単一パル
スを良好に発生できるというインパルス応答が優れたも
のであり、その実用的価値祉極めて嶌い。
また本発明製造方法によれば、従来のアレイトランスデ
ューザのように多数の圧電素子をそれぞれ組み込むとい
った繁雑な工程が必要でなくなシ、上述の圧電変換器を
極めて簡単に製造することができる。さらに、圧電材料
は汎用のもので足りるので、その製造単価も安価にでを
る。
ューザのように多数の圧電素子をそれぞれ組み込むとい
った繁雑な工程が必要でなくなシ、上述の圧電変換器を
極めて簡単に製造することができる。さらに、圧電材料
は汎用のもので足りるので、その製造単価も安価にでを
る。
第１図は従来の圧電変換器の周液数特性図。
第２図は本発明の第１実施例圧電変換器の儒断面図。
第３図は圧電板内の分極の強さの分布図。
第４図は本発明圧電変換器の周波数特性図。
第５図は本発明の第２実施例圧電変換器の儒断面図。
第６図は本発明製造方法を説明するための図。
第７図は圧電板内での電界分布を説明する図。
１・−・圧電板、２・・・ストライプ電極、４・・・対
向電極。 特許出願人 株式会社横河電機製作所 代理人 弁理士 井 出 直 孝 市３（２１児４０
向電極。 特許出願人 株式会社横河電機製作所 代理人 弁理士 井 出 直 孝 市３（２１児４０
Claims (6)
- （１） 板状圧電材料の一方の面に値数Ｏ駆動電極が
形成され、その他方の面に対向電極が形成され、上記駆
動電極直下の上記圧電材料Ｏ分極の強さがこの駆動電極
から上記対向電＠に向う最短距離方向に漸次に減少する
ように構成され友圧電変換器。 - （２） 対向電極に向って漸次に減少する分極の強さ
がこの対向電極付近でほぼ零に収束する特許請求の範囲
第（１）項に記載の圧電変換器。 - （３）隣接する駆動電極直下Ｏ分極の極性が互いに逆極
性である特許請求ＯＳｍ第（１）項または第（２）項に
記載の圧電変換器。 - （４）隣接する駆動電極間Ｏ圧電材料函に溝部が形成さ
れた特許請求の範囲第（１）項ないし第（３）項のいず
れかの項に記載の圧電変換器。 - （５）板状圧電材料の一方０１ｊＫ複数の駆動電極を配
設する第１の工程と、 隣接する上記各駆動電極への印加電圧が互いに逆極性と
なるようにして上記各駆動電極に分極付与電圧の印加を
行う第２の工程と、 上記板状圧電材料の他方の面に対向電極を設ける第５の
工程とを含む圧電変換器の製造方法。 - （６）板状圧電材料の厚さをｔとし、駆動電極が隣接し
て配列されるピッチ間隔をｐとするとき、’／ｌの値が
α５ないし２となるようにこの駆動電極を配設する特許
請求の範囲第（５）項に記載の圧電変換器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57039627A JPS58156295A (ja) | 1982-03-12 | 1982-03-12 | 圧電変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57039627A JPS58156295A (ja) | 1982-03-12 | 1982-03-12 | 圧電変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58156295A true JPS58156295A (ja) | 1983-09-17 |
| JPS6133517B2 JPS6133517B2 (ja) | 1986-08-02 |
Family
ID=12558336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57039627A Granted JPS58156295A (ja) | 1982-03-12 | 1982-03-12 | 圧電変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58156295A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59207137A (ja) * | 1983-05-11 | 1984-11-24 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子 |
| JPS63125244A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-28 | コ−リン電子株式会社 | 生物医学用トランスジュ−サ |
| JPH0431046U (ja) * | 1990-07-10 | 1992-03-12 | ||
| JP2007135953A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Aloka Co Ltd | 超音波診断装置の受信回路 |
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| JPWO2022071522A1 (ja) * | 2020-10-02 | 2022-04-07 |
-
1982
- 1982-03-12 JP JP57039627A patent/JPS58156295A/ja active Granted
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| JPWO2022071522A1 (ja) * | 2020-10-02 | 2022-04-07 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6133517B2 (ja) | 1986-08-02 |
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