JPS58171Y2 - ガラスマスクのガイドブッシュ - Google Patents
ガラスマスクのガイドブッシュInfo
- Publication number
- JPS58171Y2 JPS58171Y2 JP1977169692U JP16969277U JPS58171Y2 JP S58171 Y2 JPS58171 Y2 JP S58171Y2 JP 1977169692 U JP1977169692 U JP 1977169692U JP 16969277 U JP16969277 U JP 16969277U JP S58171 Y2 JPS58171 Y2 JP S58171Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass mask
- guide
- bushing
- hole
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、フォトレジストによるパターン焼付において
使用するガラスマスクの位置合わせ用ガイドブツシュに
関する。
使用するガラスマスクの位置合わせ用ガイドブツシュに
関する。
一般に、フォトレジストを用いる写真技術によるパター
ン焼付においては、得ようとするパターンの寸法精度に
応じて、フィルムマスクまたはガラスマスクが使われる
。
ン焼付においては、得ようとするパターンの寸法精度に
応じて、フィルムマスクまたはガラスマスクが使われる
。
通常、これらマスクと被焼付物との位置合わせは、マス
クと被焼付物のそれぞれに設けたガイド孔をガイドピン
で相互に結合することにより行われる。
クと被焼付物のそれぞれに設けたガイド孔をガイドピン
で相互に結合することにより行われる。
従来、前記ガイド孔は、フィルムマスクの場合は、ポン
チとダイスによるパンチング加工によって容易に形成し
ているが、ガラスマスクの場合は、このようなパンチン
グ加工は不可能であった。
チとダイスによるパンチング加工によって容易に形成し
ているが、ガラスマスクの場合は、このようなパンチン
グ加工は不可能であった。
したがって、ガラスマスクのガイド孔は、まず、円筒状
のダイヤモンドカッタでガラスマスクを貫通する下孔を
あけたのち、あらかじめガイド孔の加工されたブツシュ
を、この下孔に接着固定している。
のダイヤモンドカッタでガラスマスクを貫通する下孔を
あけたのち、あらかじめガイド孔の加工されたブツシュ
を、この下孔に接着固定している。
前記した従来のブツシュは、ガラスマスクに一方向から
貫通した下孔に固定するものであるため、ガラスマスク
とブツシュとの間の接着強度は、ガラスマスク下孔の内
面の粗さに依存するしかない。
貫通した下孔に固定するものであるため、ガラスマスク
とブツシュとの間の接着強度は、ガラスマスク下孔の内
面の粗さに依存するしかない。
このため、被焼付物とのガイドピン結合を行う際に、ブ
ツシュが抜は落ちてしまうという欠点があった。
ツシュが抜は落ちてしまうという欠点があった。
本考案の目的は、前記した従来の欠点を除去し、ガラス
マスクの下孔からブツシュが抜けることのない構造のガ
ラスマスクのガイドブツシュを提供することである。
マスクの下孔からブツシュが抜けることのない構造のガ
ラスマスクのガイドブツシュを提供することである。
本考案の特徴は、ブツシュを固定する下孔を、従来のご
とく、一方向からの貫通孔とせず、ガラスマスクの両面
から相互に偏心させて加工し、孔内面に段差を有せしめ
た下孔として、この下孔にブツシュを接着固定すること
によって、ブツシュの抜けを防止すると共に、相互に偏
心した下孔形状により、ブツシュの回転も防止すること
ができることにある。
とく、一方向からの貫通孔とせず、ガラスマスクの両面
から相互に偏心させて加工し、孔内面に段差を有せしめ
た下孔として、この下孔にブツシュを接着固定すること
によって、ブツシュの抜けを防止すると共に、相互に偏
心した下孔形状により、ブツシュの回転も防止すること
ができることにある。
次に、図面により詳細に説明する。
第１図は、従来におけるガラスマスクのガイドブツシュ
部の断面図で、ガラスマスク１の一方の面には、パター
ンを形成した膜面２が被着されており、このガラスマス
ク１の一方向から貫通した下孔３内に、ガイド孔６を有
するガイドブツシュ５を接着剤４により固定している。
部の断面図で、ガラスマスク１の一方の面には、パター
ンを形成した膜面２が被着されており、このガラスマス
ク１の一方向から貫通した下孔３内に、ガイド孔６を有
するガイドブツシュ５を接着剤４により固定している。
第２図は、第１図のガラスマスク１と被焼付物９とを、
ガラスマスクのガイド孔６と被焼付物９のガイド孔１０
とにガイドピン７を挿入して位置合わせ結合した状態を
示したものである。
ガラスマスクのガイド孔６と被焼付物９のガイド孔１０
とにガイドピン７を挿入して位置合わせ結合した状態を
示したものである。
なお、８はフォトレジストである。
このような従来世においては、前述したごとく、ガイド
プツシｉ５がガラスマスク１から抜は落ちる恐れが多分
にある。
プツシｉ５がガラスマスク１から抜は落ちる恐れが多分
にある。
第３図は、本考案によるガラスマスクのガイドブツシュ
の断面図で、ガラスマスク１に形成するガイドブツシュ
用下孔１１は、ガラスマスク１の両面よりガイド孔中心
から相互に偏心させて、下孔１１の内面に段差１２を設
けている。
の断面図で、ガラスマスク１に形成するガイドブツシュ
用下孔１１は、ガラスマスク１の両面よりガイド孔中心
から相互に偏心させて、下孔１１の内面に段差１２を設
けている。
このように形成した下孔１１にガイド孔６を設けたガイ
ドブツシュ５を接着剤４により固定する。
ドブツシュ５を接着剤４により固定する。
第４図は、第３図に示した本考案のガラスマスク１と被
焼付物９とを、ガイドピン７により結合した状態を示す
。
焼付物９とを、ガイドピン７により結合した状態を示す
。
なお、ガイドブツシュ５のガイド孔６は、ガイドブツシ
ュ５をガラスマスク１に固定した後に形成してもよい。
ュ５をガラスマスク１に固定した後に形成してもよい。
以上説明したように、本考案によれば、ガイドブツシュ
５が固定されるガラスマスク１の下孔に設けられた段差
１２により、ガイドピン７の抜き差し方向に対して強固
に保持されると共に、回転に対しても堅固に固定される
ので、パターン焼付工程において、ガラスマスク１と被
焼付物９との位置を確実に保持することができる。
５が固定されるガラスマスク１の下孔に設けられた段差
１２により、ガイドピン７の抜き差し方向に対して強固
に保持されると共に、回転に対しても堅固に固定される
ので、パターン焼付工程において、ガラスマスク１と被
焼付物９との位置を確実に保持することができる。
第１図は、従来のガラスマスクのガイドブツシュの断面
図、第２図は、従来のガラスマスクと被焼付物との結合
状態を示す断面図、第３図は、本考案によるガラスマス
クのガイドブツシュの断面図、第４図は、本考案のガラ
スマスクと被焼付物との結合状態を示す断面図である。 １・・・・・・ガラスマスク、２・・・・・・パターン
膜、３・・・・・・ガイドブツシュ用下孔、４・・・・
・・接着剤、５・・・・・・ガイドブツシュ、６・・・
・・・ガイドブツシュのガイド孔、７・・・・・・ガイ
ドピン、８・・・・・・フォトレジスト、９・・・・・
・被焼付物、１０・・・・・・被焼付物のガイド孔、１
１・・・・・・ガイドブツシュ用偏心状下孔、１２・・
・・・・段差。
図、第２図は、従来のガラスマスクと被焼付物との結合
状態を示す断面図、第３図は、本考案によるガラスマス
クのガイドブツシュの断面図、第４図は、本考案のガラ
スマスクと被焼付物との結合状態を示す断面図である。 １・・・・・・ガラスマスク、２・・・・・・パターン
膜、３・・・・・・ガイドブツシュ用下孔、４・・・・
・・接着剤、５・・・・・・ガイドブツシュ、６・・・
・・・ガイドブツシュのガイド孔、７・・・・・・ガイ
ドピン、８・・・・・・フォトレジスト、９・・・・・
・被焼付物、１０・・・・・・被焼付物のガイド孔、１
１・・・・・・ガイドブツシュ用偏心状下孔、１２・・
・・・・段差。
Claims (1)
- ガラスマスクの両面から相互に偏心させて加工すること
により、内面に段差を形成した下孔を設け、ガイド孔を
形成したガイドブツシュを前記下孔内に挿入固着した、
ガラスマスクのガイドブツシュ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1977169692U JPS58171Y2 (ja) | 1977-12-19 | 1977-12-19 | ガラスマスクのガイドブッシュ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1977169692U JPS58171Y2 (ja) | 1977-12-19 | 1977-12-19 | ガラスマスクのガイドブッシュ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5496158U JPS5496158U (ja) | 1979-07-07 |
| JPS58171Y2 true JPS58171Y2 (ja) | 1983-01-05 |
Family
ID=29171990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1977169692U Expired JPS58171Y2 (ja) | 1977-12-19 | 1977-12-19 | ガラスマスクのガイドブッシュ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58171Y2 (ja) |
-
1977
- 1977-12-19 JP JP1977169692U patent/JPS58171Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5496158U (ja) | 1979-07-07 |
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