JPS5818740B2 - 放射線像増強管の真空容器およびその製造方法 - Google Patents
放射線像増強管の真空容器およびその製造方法Info
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- JPS5818740B2 JPS5818740B2 JP55070760A JP7076080A JPS5818740B2 JP S5818740 B2 JPS5818740 B2 JP S5818740B2 JP 55070760 A JP55070760 A JP 55070760A JP 7076080 A JP7076080 A JP 7076080A JP S5818740 B2 JPS5818740 B2 JP S5818740B2
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- metal ring
- metal
- radiation image
- vacuum container
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はX線蛍光増倍管のようなX線、ガンマ線、その
他類似の放射線を用いて被検物体の像を増強して再現す
る放射線像増強管のとくに真空容器の構造、およびそれ
を製造する方法に関する。
他類似の放射線を用いて被検物体の像を増強して再現す
る放射線像増強管のとくに真空容器の構造、およびそれ
を製造する方法に関する。
例えばX線蛍光増倍管において、真空容器の一部をなす
X線入力窓を、比較的機械的強度が高く、X線透過性が
すぐれ、且つX線散乱が少ないAl(アルミニウム)ま
たはA1合金(以下、単にAA材と配す)で構成するこ
とが試みられている。
X線入力窓を、比較的機械的強度が高く、X線透過性が
すぐれ、且つX線散乱が少ないAl(アルミニウム)ま
たはA1合金(以下、単にAA材と配す)で構成するこ
とが試みられている。
一方 真空容器の出力部は加速電極の放電防止とともに
可視光像あるいは管の内部で変換された電気信号のよう
な像増強信号を外部に導き出すためにガラスもしくはセ
ラミック絶縁体で構成しなければならない。
可視光像あるいは管の内部で変換された電気信号のよう
な像増強信号を外部に導き出すためにガラスもしくはセ
ラミック絶縁体で構成しなければならない。
周知のようにガラスとAl材との気密接合はもちろん、
セラミックとAl材との直接的な気密接合は容易でなく
、とくに直径が比較的大きいこの種放射線像増強管にお
いてはこれらの材料間の安定な気密接合技術は末だ十分
完成していない。
セラミックとAl材との直接的な気密接合は容易でなく
、とくに直径が比較的大きいこの種放射線像増強管にお
いてはこれらの材料間の安定な気密接合技術は末だ十分
完成していない。
そこで、ガラス、セラミックと安定な気密接合が可能な
鉄(Fe )もしくはコバールで知られる鉄(Fe)、
ニッケル(N1)、コバルト(Co)合金のようなFe
合金製の中間シリンダーを介してAl材に気密接合する
構成が実用上望ましい。
鉄(Fe )もしくはコバールで知られる鉄(Fe)、
ニッケル(N1)、コバルト(Co)合金のようなFe
合金製の中間シリンダーを介してAl材に気密接合する
構成が実用上望ましい。
この構成においてAl材とFeまたはFe合金(以下、
単にFe材と記す)との気密接合をいかなる構造と方法
で実現するかが重要な問題である。
単にFe材と記す)との気密接合をいかなる構造と方法
で実現するかが重要な問題である。
この真空容器におけるAl材とFe材との気密接合技術
として、両者間に銀(Ag)、もしくはNiとAgとの
薄い層をメッキまたは蒸着して介在させ、これらを加熱
、加圧して拡散接合する技術がUSP4,153,85
4明細書に開示されている。
として、両者間に銀(Ag)、もしくはNiとAgとの
薄い層をメッキまたは蒸着して介在させ、これらを加熱
、加圧して拡散接合する技術がUSP4,153,85
4明細書に開示されている。
また両者間にスズ(Sn)および銅(Cu)、もしくは
金(Au)メッキを施して共晶による接合を行なう技術
も特開昭52−138861号公報に開示されている。
金(Au)メッキを施して共晶による接合を行なう技術
も特開昭52−138861号公報に開示されている。
さらにまた、両者に表面にNiメッキ層を形成するか、
もしくは両者間にNi薄板をはさんでアーク溶接する技
術も実公昭49−25810号公報に開示されている。
もしくは両者間にNi薄板をはさんでアーク溶接する技
術も実公昭49−25810号公報に開示されている。
加熱圧着あるいは共晶による上述の公知技術は、1つの
解決策として有効であるが、材料の高価格性が工業的な
大量生産に不都合であり。
解決策として有効であるが、材料の高価格性が工業的な
大量生産に不都合であり。
また機械的な接合強度の点てなお改善を要する。
また上述の溶接による方法や拡散接合における異種金属
相互の拡散の度合が過度になると、もろい金属間化合物
を生成しやすいため実用上まだ充分には採用されえてい
ない。
相互の拡散の度合が過度になると、もろい金属間化合物
を生成しやすいため実用上まだ充分には採用されえてい
ない。
本発明は以上の事情に鑑みてなされたもので、比較的大
量生産に適するNi、Cu、AAのいずれかもしくは複
数のメッキ層、蒸着層をAA材とFe材との間に介在し
て加熱圧着し、きわめて安定で強度の充分な気密接合部
をもつ放射線像増強管の真空容器、およびより一層安定
して製作容易なその製造方法を提供するものである。
量生産に適するNi、Cu、AAのいずれかもしくは複
数のメッキ層、蒸着層をAA材とFe材との間に介在し
て加熱圧着し、きわめて安定で強度の充分な気密接合部
をもつ放射線像増強管の真空容器、およびより一層安定
して製作容易なその製造方法を提供するものである。
以下、X線蛍光増倍管の場合を例に図面を参照してその
実施例を説明する。
実施例を説明する。
なお同一部分は同一符号であられす。
第1図ないし第4図に示す実施例は、次の構成を有する
。
。
このX線蛍光増倍管21は第1図に示すように磁気シー
ルド円筒22、鉛板23aを内張すしたカメラレンズ取
付台23の内部に収納されて用いられるもので、X線入
力窓24、有底円筒状ガラスを主要部品とする胴部25
および出力部26により真空容器が構成されている。
ルド円筒22、鉛板23aを内張すしたカメラレンズ取
付台23の内部に収納されて用いられるもので、X線入
力窓24、有底円筒状ガラスを主要部品とする胴部25
および出力部26により真空容器が構成されている。
この容器の内部には、図の上方から順に、X線励起蛍光
体層および光電陰極面21を有する入力基板28、グリ
ッド29、アノード30、出力蛍光板31が所定の位置
関係を保って配設されている。
体層および光電陰極面21を有する入力基板28、グリ
ッド29、アノード30、出力蛍光板31が所定の位置
関係を保って配設されている。
真空容器の入力窓24はアルミニウム(Al)または強
度を増すためA[に約0.5 %以上のSi、Cu。
度を増すためA[に約0.5 %以上のSi、Cu。
Mn、Mgの少くとも1つを含むA7合金(以下、単に
AA材と配す)で、0.5〜2.0mmの厚さを有する
。
AA材と配す)で、0.5〜2.0mmの厚さを有する
。
そしてこの入力窓24は外側に球状にふくらんだ凸構造
を有するが、これに限らず小形管のような場合は平坦な
形状にしてもよい。
を有するが、これに限らず小形管のような場合は平坦な
形状にしてもよい。
さてこの入力窓24は管軸に垂直な平面をもつ周縁部4
1を有し、この因縁部は半断面がクランク状をなす中間
金属リング42に後述する方法により気密接合されてい
る。
1を有し、この因縁部は半断面がクランク状をなす中間
金属リング42に後述する方法により気密接合されてい
る。
一方、胴部25のガラス円筒絶縁体25aの開口端部2
5bには、シリンダー状のコバールからなる封着用リン
グ43が気密溶着されており、その開口端部には上記中
間金属リング42のシリンダ一部42aおよびフランジ
42bの外側に密に嵌合接触しうるシリンダ一部43a
1およびフランジ43bがそれぞれ設けられている。
5bには、シリンダー状のコバールからなる封着用リン
グ43が気密溶着されており、その開口端部には上記中
間金属リング42のシリンダ一部42aおよびフランジ
42bの外側に密に嵌合接触しうるシリンダ一部43a
1およびフランジ43bがそれぞれ設けられている。
管の組立てにあたっては、各電極を配置したあと、入力
窓24に一体的に気密接合された中間金属リング42と
、胴部25に一体的に接合されたコバール製封着用リン
グ43とが相互に嵌合され、両フランジ42b、43b
の先端が全周にわたって不活性ガスアーク溶接のような
局部的加熱による溶接で気密封着される。
窓24に一体的に気密接合された中間金属リング42と
、胴部25に一体的に接合されたコバール製封着用リン
グ43とが相互に嵌合され、両フランジ42b、43b
の先端が全周にわたって不活性ガスアーク溶接のような
局部的加熱による溶接で気密封着される。
この封着部を符号44てあられし、この溶接部分はまた
この管21と外側の磁気シールド材22とを固定するの
にも利用される。
この管21と外側の磁気シールド材22とを固定するの
にも利用される。
中間金属リング42は、コバール剰余A IJソング3
との溶接が容易な材料であって、鉄(Fe)、またはF
e−Ni−Cr合金(ステンレス)、Fe−Ni−Cu
合金(パー70イなどの強磁性材)、あるいはF e
−N i −Co合金(コバール)のようなFe合金(
以下、単にFe材と記す)が用いられ、その厚さは0.
5〜2.0mmが適当である。
との溶接が容易な材料であって、鉄(Fe)、またはF
e−Ni−Cr合金(ステンレス)、Fe−Ni−Cu
合金(パー70イなどの強磁性材)、あるいはF e
−N i −Co合金(コバール)のようなFe合金(
以下、単にFe材と記す)が用いられ、その厚さは0.
5〜2.0mmが適当である。
次にAA材の入力窓24とFe材の中間金属リング42
との気密接合部を、好ましい製造方法にしたがって説明
する。
との気密接合部を、好ましい製造方法にしたがって説明
する。
まずあらかじめ中間金属リング42の全表面にNiのメ
ッキ層45を被着する。
ッキ層45を被着する。
このNiメッキ層は100μm以下、好ましくは約5〜
20μmの厚さである。
20μmの厚さである。
そして第3図および第4図に示すように加熱用ヒータ4
6.47を有する上下一対のプレス装置48.49の間
に、充分脱脂、洗浄した各部品を図の下からN i メ
ッキ層をもつ中間金属リング42の平坦部4201人力
窓入力窓41、および0.2〜1.071m厚のFe材
あるいはNi材のような入力窓のA7材よりも軟化温度
の高い金属材料からなるワッシャリング50の順に積み
重ねて配置し、これらが管軸に垂直な面で接触しあうよ
うに置かれる。
6.47を有する上下一対のプレス装置48.49の間
に、充分脱脂、洗浄した各部品を図の下からN i メ
ッキ層をもつ中間金属リング42の平坦部4201人力
窓入力窓41、および0.2〜1.071m厚のFe材
あるいはNi材のような入力窓のA7材よりも軟化温度
の高い金属材料からなるワッシャリング50の順に積み
重ねて配置し、これらが管軸に垂直な面で接触しあうよ
うに置かれる。
プレス装置48.49のリング状先端48a 、49a
は、気密接合部の幅に対して同等の幅もしくは下側・4
8aをわずかに幅広く接する寸法に選ばれる。
は、気密接合部の幅に対して同等の幅もしくは下側・4
8aをわずかに幅広く接する寸法に選ばれる。
なおこの実施例では上側のプレス装置の先端49aの幅
よりもワッシャリング50の幅を広くしである。
よりもワッシャリング50の幅を広くしである。
各プレス装置のヒータに加熱電源51.52を通じ、温
度を上げる。
度を上げる。
なおプレス装置は硬度および耐熱性のすぐれた材料であ
って例えばFe合金で形成される。
って例えばFe合金で形成される。
また各先端48a 、49aの温度は、中間金属リング
42に接する図の下側48aを例えば約580℃、ワッ
シャリング50を介して入力窓AA材に接する上側49
aを約500°Cにし、接合すべき金属相互を約470
℃にする。
42に接する図の下側48aを例えば約580℃、ワッ
シャリング50を介して入力窓AA材に接する上側49
aを約500°Cにし、接合すべき金属相互を約470
℃にする。
この温度差にすることによって、入力窓の過熱を防ぎ、
変形を防止することができる。
変形を防止することができる。
この加熱と同時に、プレス装置に図の上下から符号Fの
如く力り圧し、数分以上保持する。
如く力り圧し、数分以上保持する。
加圧力Fは接合部の温度によって制御するが、470℃
のとき1,100kg/i、 630℃のとき250
kg/c11¥程度の割合で加えるのが望ましい。
のとき1,100kg/i、 630℃のとき250
kg/c11¥程度の割合で加えるのが望ましい。
これによってFe材からなる中間金属リング42とA7
材からなる入力窓とは、Ni薄層45を介して熱圧着さ
れ、気密接合が得られる。
材からなる入力窓とは、Ni薄層45を介して熱圧着さ
れ、気密接合が得られる。
この接合部断面は第4図のように観測される。
そして注目できることは一点鎖線で示す上下のプレス装
置先端部48a 、49aで加圧された領域において入
力窓24のl’材は薄く圧縮されて塑性変形され、この
状態で中間金属リング42にこの領域で強固に圧接接合
されており、ワッシャリング50も気密性はないが入力
窓のAA材に付着していることである。
置先端部48a 、49aで加圧された領域において入
力窓24のl’材は薄く圧縮されて塑性変形され、この
状態で中間金属リング42にこの領域で強固に圧接接合
されており、ワッシャリング50も気密性はないが入力
窓のAA材に付着していることである。
なお、ワッシャリング50と上側のプレス装置49aと
はまったく付着しあわない。
はまったく付着しあわない。
このワッシャリング50はこのように入力窓A7材と中
間金属リングとの気密熱圧接を助けるとともにAl材と
プレス装置との付着を防止するはたらきと、入力窓の周
縁部の補強作用をもつので変形を抑制するはたらきとを
もつ。
間金属リングとの気密熱圧接を助けるとともにAl材と
プレス装置との付着を防止するはたらきと、入力窓の周
縁部の補強作用をもつので変形を抑制するはたらきとを
もつ。
したがってこのワッシャリングは管製品にそのまま付属
されてもよく、あるいはもし入力窓と中間金属リングと
の気密接合部の破損をまねくことなく除去できるのであ
れば、これらを接合したあとワッシャリングだけをはが
し去れはよい。
されてもよく、あるいはもし入力窓と中間金属リングと
の気密接合部の破損をまねくことなく除去できるのであ
れば、これらを接合したあとワッシャリングだけをはが
し去れはよい。
このワッシャリングは以上のようなはたらきをするもの
であるから、中間金属リング42あるいはプレス装置の
材料と同等の硬さをもっていることが望ましいのである
。
であるから、中間金属リング42あるいはプレス装置の
材料と同等の硬さをもっていることが望ましいのである
。
また、以上の方法によって熱圧接した断面部分の金属元
素プロファイルをX線マイクロアナライザで測定した結
果の例を第5図により紹介する。
素プロファイルをX線マイクロアナライザで測定した結
果の例を第5図により紹介する。
図において特性図の横軸は圧接部のX−X線における位
置、縦軸は検出量をあられしている。
置、縦軸は検出量をあられしている。
この結果から、Fe、Ni、A7とも互に境界を比較的
はっきり分けて存在しており、相手の領域中に深く拡散
してしまってはいないことがわかる。
はっきり分けて存在しており、相手の領域中に深く拡散
してしまってはいないことがわかる。
したがってこれはもろい金属間化合物を厚く生成する恐
れがなく、物理的、機械的に安定な熱圧接状態を示すも
のであることをあられしている。
れがなく、物理的、機械的に安定な熱圧接状態を示すも
のであることをあられしている。
さらにまた、以上の実施例によれば、Ni薄層45は中
間金属リング42の全面にメッキにより被着させればよ
いため、その厚さと被着強度の充分な制御が容易であり
、またそのまま符号44の位置での気密溶接も確実、容
易になしうるので、メッキ層の材料の低価格さとも相俟
って工業的にきわめて有効である。
間金属リング42の全面にメッキにより被着させればよ
いため、その厚さと被着強度の充分な制御が容易であり
、またそのまま符号44の位置での気密溶接も確実、容
易になしうるので、メッキ層の材料の低価格さとも相俟
って工業的にきわめて有効である。
しかもこれは比較的薄肉のAl材からなる入力窓には金
属薄層を形成しなくともよいため、一層製造が容易であ
る。
属薄層を形成しなくともよいため、一層製造が容易であ
る。
さらにまた、あらかじめ入力窓と中間金属リングとを一
体的に接合するので、取扱いが容易であり、要すればこ
のあと入力窓の内面に直接放射線励起蛍光層および光電
陰極層を形成して第1図の入力基板28を省く構成にも
適用しうる。
体的に接合するので、取扱いが容易であり、要すればこ
のあと入力窓の内面に直接放射線励起蛍光層および光電
陰極層を形成して第1図の入力基板28を省く構成にも
適用しうる。
第6図に示す実施例は、ワッシャリング50の半径方向
の幅W1を、これに当接する上側プレス装置49の先端
49aの幅W2よりも狭く設定したものである。
の幅W1を、これに当接する上側プレス装置49の先端
49aの幅W2よりも狭く設定したものである。
これによって、入力窓24と中間金属リング42との気
密接合領域は、ワッシャリング50の幅W1 と同等に
することができる。
密接合領域は、ワッシャリング50の幅W1 と同等に
することができる。
したがってこのワッシャリング50の幅W1を所望に応
じて選ぶことにより、気密接合幅を任意に制御すること
ができる。
じて選ぶことにより、気密接合幅を任意に制御すること
ができる。
第7図に示す実施例は、入力窓24の周縁部41の両面
、およびワッシャリング50の全面にもNiメッキ薄層
51.52を被着させたものである。
、およびワッシャリング50の全面にもNiメッキ薄層
51.52を被着させたものである。
入力窓24の周縁部に被着させるNiメッキ薄層51は
、入射X線の減衰を生じないように有効入力面よりも外
側にとどめる。
、入射X線の減衰を生じないように有効入力面よりも外
側にとどめる。
このように積み重ねる3つの部品のすべてにNiメッキ
薄層を被着させることにより、熱圧着の品位はさらに高
められる。
薄層を被着させることにより、熱圧着の品位はさらに高
められる。
しかも同じNiメッキ層を用いることにより、製作も容
易であり、かつ気密接合が確実である。
易であり、かつ気密接合が確実である。
またワッシャリングも強固に付着するの・て、入力窓の
周縁部の補強がさらに高まる。
周縁部の補強がさらに高まる。
以上の実施例では金属メッキ薄層としてNiの場合につ
いて述べたが、これに限らず銅のメッキ層、又はAlの
蒸着層もしくはこれらの金属の中から選ばれた1又は複
数の金属薄層の組み合わせてもよく、それによって安定
した熱圧接が可能である。
いて述べたが、これに限らず銅のメッキ層、又はAlの
蒸着層もしくはこれらの金属の中から選ばれた1又は複
数の金属薄層の組み合わせてもよく、それによって安定
した熱圧接が可能である。
なお、加熱圧接工程における接合部の湿度と圧力との適
当な値は、Niメッキ層を形成した場合が前述の如き温
度と圧力との割合で行ない、またCuメッキ層を形成し
た場合が、接合部湿度310°Cて圧力を960 kg
/cyst、 500°Cて圧力を520ky/ff
lの割合にするとよい。
当な値は、Niメッキ層を形成した場合が前述の如き温
度と圧力との割合で行ない、またCuメッキ層を形成し
た場合が、接合部湿度310°Cて圧力を960 kg
/cyst、 500°Cて圧力を520ky/ff
lの割合にするとよい。
実用上は湿度を250°C〜650°C1圧力250〜
1500 ky/iとする。
1500 ky/iとする。
なおA[蒸着層を用いる場合は、その厚さを300μm
以下好ましくは5〜10μmとする。
以下好ましくは5〜10μmとする。
第8図ないし第10図に示す実施例は、次の構成を有す
る。
る。
すなわちまず半断面クランク状のFe材からなる中間金
属リング42に、Niメッキ薄層45を施し、その内側
平坦部42c上に、半断面がL字状のAl材からなるA
[中間リング53を置き、さらにその上にNiメッキを
施したワッシャリング50を置いて上下のプレス装置4
8.49の間に配置し、前述の実施例と同様に熱圧接す
る。
属リング42に、Niメッキ薄層45を施し、その内側
平坦部42c上に、半断面がL字状のAl材からなるA
[中間リング53を置き、さらにその上にNiメッキを
施したワッシャリング50を置いて上下のプレス装置4
8.49の間に配置し、前述の実施例と同様に熱圧接す
る。
次に、ワッシャリング50を管の内側になるようにして
AA材からなる入力窓24の周縁部41を、1中間リン
グ53の内側に嵌合し、その同縁とAl中間リング53
の上端部53aとをAC(交流) −T I G溶接の
ような方法で全周を気密溶接する。
AA材からなる入力窓24の周縁部41を、1中間リン
グ53の内側に嵌合し、その同縁とAl中間リング53
の上端部53aとをAC(交流) −T I G溶接の
ような方法で全周を気密溶接する。
図中の符号54はこの気密溶接により盛られたAl材を
あられす。
あられす。
この実施例は、Al材の中間リング53とFe材材中金
金属リング42を熱圧接し、さらにAd材同士の中間リ
ング53と入力窓とを溶接して真空容器を構成するもの
である。
金属リング42を熱圧接し、さらにAd材同士の中間リ
ング53と入力窓とを溶接して真空容器を構成するもの
である。
ワッシャリング50はA7中間リング53とFe材材中
金金属リング42の熱圧接を確実にするために用いられ
る。
金金属リング42の熱圧接を確実にするために用いられ
る。
Al材同士の中間リングと入力窓との気密溶接は、容易
に行ない得るので、入力窓の変形を防止するのに有効で
ある。
に行ない得るので、入力窓の変形を防止するのに有効で
ある。
第11図に示す実施例は、半断面り字状のAA中間リン
グ53の外側面53bをFe材からなる中間金属リング
42の内側面から少し離すように構成し、また入力窓2
4の周縁部41を管軸と平行に、かつ上記Al中間リン
グ53の端部53aに沿って図の上方に折り曲げ、両者
の全周を符号54て示すように気密溶接したものである
。
グ53の外側面53bをFe材からなる中間金属リング
42の内側面から少し離すように構成し、また入力窓2
4の周縁部41を管軸と平行に、かつ上記Al中間リン
グ53の端部53aに沿って図の上方に折り曲げ、両者
の全周を符号54て示すように気密溶接したものである
。
これは溶接部54を、中間金属リング42の内側面から
離隔して設けるので、溶接が容易であるとともに入力窓
に対して局部的な温度上昇にとどめて気密溶接できるの
で、さらに入力窓の変形を抑制することができる。
離隔して設けるので、溶接が容易であるとともに入力窓
に対して局部的な温度上昇にとどめて気密溶接できるの
で、さらに入力窓の変形を抑制することができる。
第12図および第13図に示す実施例は、真空容器の胴
部25を、入力側24に近い方からAl材でなるととも
に径大部と径小部とが一体化されたシリンダー55、A
l材からなるAl中間リング56、Fe材からなる中間
金属リング57、ガラスあるいはセラミックと気密接合
容易なFe材からなる封着用リング58、およびガラス
あるいはセラミックからなる出力部の絶縁体25aて構
成されている。
部25を、入力側24に近い方からAl材でなるととも
に径大部と径小部とが一体化されたシリンダー55、A
l材からなるAl中間リング56、Fe材からなる中間
金属リング57、ガラスあるいはセラミックと気密接合
容易なFe材からなる封着用リング58、およびガラス
あるいはセラミックからなる出力部の絶縁体25aて構
成されている。
そこでまず、Al中間リング56とFe材材中金金属リ
ング5フを、管の内側に管軸と垂直面で接し合うように
折り曲げたフランジ56a 、57aにおいて前述の各
実施例と同様にNi、Cu、AAの中から選ばれた1ま
たは複数の組合せからなる金属薄層を介して熱圧着する
。
ング5フを、管の内側に管軸と垂直面で接し合うように
折り曲げたフランジ56a 、57aにおいて前述の各
実施例と同様にNi、Cu、AAの中から選ばれた1ま
たは複数の組合せからなる金属薄層を介して熱圧着する
。
すなわち第13図に示すように上下のプレス装置48.
49の間に両フランジ56a 、57aをはさみ、外器
の変形を防ぐための2分割硬質金属リング59をはめて
固定し、加熱、加圧する。
49の間に両フランジ56a 、57aをはさみ、外器
の変形を防ぐための2分割硬質金属リング59をはめて
固定し、加熱、加圧する。
そしてAl材同士の入力窓24の外周縁部41とシリン
ダー55の外方に折り曲げたフランジ55aとを符号6
0て示すようにAC−TIG溶接し、またシリンダー5
5の下側フランジ55bとAl中間リング56の外側へ
折曲げたフランジ56bとを符号61で示すように同じ
<AC−TIG溶接する。
ダー55の外方に折り曲げたフランジ55aとを符号6
0て示すようにAC−TIG溶接し、またシリンダー5
5の下側フランジ55bとAl中間リング56の外側へ
折曲げたフランジ56bとを符号61で示すように同じ
<AC−TIG溶接する。
真空容器を気密に閉じる最終に、Fe材同士の中間金属
リング57と封着用リング58とを各々の外方フランジ
57b 、58aを符号62て示すようにAC−TIG
溶接する。
リング57と封着用リング58とを各々の外方フランジ
57b 、58aを符号62て示すようにAC−TIG
溶接する。
これらの溶接は同じ材料同士で、しかも容器の外側にお
いて行なうことができるので確実、容易に気密接合しう
る。
いて行なうことができるので確実、容易に気密接合しう
る。
なお、本発明は真空容器の一部をなす胴部を、Al材と
Fe材との異種金属リングの相互気密接合を特徴とする
ものであり、Al材からなる入力窓と、ガ゛ラスあるい
はセラミックからなる出力部絶縁体との間にこれらAl
材とFe材との接合部が1箇所もしくは複数筒所有する
構造について適用しうるものである。
Fe材との異種金属リングの相互気密接合を特徴とする
ものであり、Al材からなる入力窓と、ガ゛ラスあるい
はセラミックからなる出力部絶縁体との間にこれらAl
材とFe材との接合部が1箇所もしくは複数筒所有する
構造について適用しうるものである。
例えばガラス絶縁体に直接接合するコバール製封着用リ
ングさ、入力窓もしくは中間リングのAl材とを接合す
る場合にも本発明は適用しつる。
ングさ、入力窓もしくは中間リングのAl材とを接合す
る場合にも本発明は適用しつる。
以上のように、Al材からなる入力窓もしくはこの入力
窓に接合される他のAl材からなる中間リングと、ガラ
スまたはセラミックに気密接合されるFe材の中間金属
リングとを、そのいずれか一方、もしくは両方にNi、
Cu、Alから選ばれた1または複数のメッキ層を被着
し、熱圧接して気密に接合し真空容器を構成する本発明
は、低価格で、かつ安定した接合を得ることができ、大
量生産に好適する。
窓に接合される他のAl材からなる中間リングと、ガラ
スまたはセラミックに気密接合されるFe材の中間金属
リングとを、そのいずれか一方、もしくは両方にNi、
Cu、Alから選ばれた1または複数のメッキ層を被着
し、熱圧接して気密に接合し真空容器を構成する本発明
は、低価格で、かつ安定した接合を得ることができ、大
量生産に好適する。
また、Al材に補助金属リングとしてワッシャリングを
当接して熱圧接することにより、この気密接合を一層確
実にし、比較的軟弱なAl材の補強も兼ねるので、実用
性の高い放射線像増強管を実現できる。
当接して熱圧接することにより、この気密接合を一層確
実にし、比較的軟弱なAl材の補強も兼ねるので、実用
性の高い放射線像増強管を実現できる。
また加熱圧接のためのプレス装置として加熱ヒータが内
蔵された装置を用いることにより、接合部を所望の温度
に比較的高精度に保持することができ、しかも変形しや
すいAl材の他の部分を不所望に過熱しないで済み変形
を抑制することができる。
蔵された装置を用いることにより、接合部を所望の温度
に比較的高精度に保持することができ、しかも変形しや
すいAl材の他の部分を不所望に過熱しないで済み変形
を抑制することができる。
したがって薄肉のl’材製入力窓の接合にはとくに有効
である。
である。
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第2図はそ
の要部拡大図、第3図はその製造工程における縦縦面図
、第4図はその接合部拡大断面図、第5図は同じくその
接合部のFe、Ni、AAのプロファイル図、第6図は
本発明の他の実施例を示す工程中の縦断面図、第7図は
さらに他の実施例を示す要部断面図、第8図はさらに他
の実施例を示す要部縦断面図、第9図はその工程中の要
部断面図、第10図は同じく工程中の断面図、第11図
はさらに他の実施例を示す要部縦断面図、第12図はさ
らに他の実施例を示す縦断面図、第13図はその工程中
の要部断面図である。 21・・・・・・X線蛍光増倍管、24・・・・・・A
l材入力窓、25・・・・・団商部、26・・・・・・
出力部、25a・・・・・・絶縁体、41・・・・・・
入力窓周縁部、42.57・・・・・・Fe材材中金金
属リング43.58・・・・・・封着用リング、53.
56・・・・・・A7材中間リング、50・・・・・・
ワッシャ(補助)リング、45.51.52・・・・・
・金属薄層、48.49・・・・・・プレス装置。
の要部拡大図、第3図はその製造工程における縦縦面図
、第4図はその接合部拡大断面図、第5図は同じくその
接合部のFe、Ni、AAのプロファイル図、第6図は
本発明の他の実施例を示す工程中の縦断面図、第7図は
さらに他の実施例を示す要部断面図、第8図はさらに他
の実施例を示す要部縦断面図、第9図はその工程中の要
部断面図、第10図は同じく工程中の断面図、第11図
はさらに他の実施例を示す要部縦断面図、第12図はさ
らに他の実施例を示す縦断面図、第13図はその工程中
の要部断面図である。 21・・・・・・X線蛍光増倍管、24・・・・・・A
l材入力窓、25・・・・・団商部、26・・・・・・
出力部、25a・・・・・・絶縁体、41・・・・・・
入力窓周縁部、42.57・・・・・・Fe材材中金金
属リング43.58・・・・・・封着用リング、53.
56・・・・・・A7材中間リング、50・・・・・・
ワッシャ(補助)リング、45.51.52・・・・・
・金属薄層、48.49・・・・・・プレス装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 I AA又はA1合金(以下、Al材)からなる放射
線入力窓と、この入力窓の反対側に設けられ一部が放射
線像の変換信号を導出するための出力部として用いられ
るガラス又はセラミックス絶縁体と、上記入力窓および
絶縁体をつなぐ真空容器壁の一部をなしその一端部が上
記入力窓に直接もしくはA7材製の第1金属リングを介
し且つ管軸に垂直な面で気密接合され、他端部が上記絶
縁体に直接もしくはFeまたはFe合金(以下、Fe材
)製の他のリングを介して気密接合されるFe材からな
る第2金属リングとを具備してなる放射線像増強管の真
空容器において、上記入力窓又は第1金属リングと第2
金属リングとの気密接合は、上記第2リングの被接合面
にNi、Cu、Alの中から選ばれた金属のメッキ又は
蒸着金属薄層が被覆されており、この金属薄層上に上記
入力窓又は第1金属リングが重ね合わせられこの入力窓
又は第1金属リングの被接合部が塑性変形された状軛で
前記金属薄層と圧接接合されてなることを特徴とする放
射線像増強管の真空容器。 2 金属薄層は、厚さが100μm以下である特許請求
の範囲第1項記載の放射線像増強管の真空容器。 3 Al又はA[合金(以下、Al材)からなる放射線
入力窓と、この入力窓の反対側に設けられ一部が放射線
像の変換信号を導出するための出力部として用いられる
ガラス又はセラミックス絶縁体と、上記入力窓および絶
縁体をつなぐ真空容器壁の一部をなしその一端部が上記
入力窓に直接もしくはAA材製の第1金属リングを介し
且つ管軸に垂直な面で気密接合され、他端部が上記絶縁
体に直接もしくはFeまたはFe合金(以下、Fe材)
製の他のリングを介して気密接合されるFe材からなる
第2金属リングとを具備してなる放射線像増強管の真空
容器において、上記入力窓又は第1金属リングと第2金
属リングとの気密接合は、上記第2金属リングの被接合
面にNi、Cu、Alの中から選ばれた金属のメッキ又
は蒸着金属薄層が被覆されており、この金属薄層上に上
記入力窓又は第1金属リングが重ね合わせられこの入力
窓又は第1金属リングの被接合部が塑性変形された状態
で前記金属薄層と圧接接合されてなるとともに、上記入
力窓又は第1金属リングの、上記Fe材製第2金属リン
グと反対側の外面にAl材よりも軟化点の高い金属から
なる補助リングが一体的に圧接されてなることを特徴と
する放射線像増強管の真空容器。 4 Al又はA1合金(以下、Al材)からなる放射線
入力窓と、この入力窓の反対側に設けられ一部が放射線
像の変換信号を導出するための出力部として用いられる
ガラス又はセラミックス絶縁体と、上記入力窓および絶
縁体をつなぐ真空容器壁の一部をなしその一端部が上記
入力窓に直接もしくはAl材製の第1金属リングを介し
且つ管軸に垂直な面で気密接合され、他端部が上記絶縁
体に直接もしくはFeまたはFe合金(以下、Fe材)
製の他のリングを介して気密接合されるFe材からなる
第2金属リングとを具備してなる放射線像増強管の真空
容器の製造方法において、上記入力窓又は第1金属リン
グと第2金属リングとの気密接合部は、あらかじめ上記
第2金属リングの被接合面にNi、Cu、Alの中から
選ばれた金属薄層をメッキ又は蒸着により被覆し、この
金属薄層を介して両者を互いに管軸に垂直な面で重ね合
わせるとともに加熱ヒータが内蔵されたプレス装置で挾
んで加熱しながら管軸方向に加圧して気密接合すること
を特徴とする放射線像増強管の真空容器の製造方法。 5 接合部を250〜650℃の範囲内の温度に加熱し
、250〜150 okg7=の範囲内の加圧力て圧接
接合する特許請求の範囲第4項記載の放射線像増強管の
真空容器の製造方法。 6 プレス装置の加熱温度は、その入力窓又は第1金属
リングに接する加圧先端部の温度を、Fe材製の第2金
属リングに接する加圧先端部の温度よりも低く設定して
圧接接合する特許請求の範囲第4項記載の放射線像増強
管の真空容器の製造方法。 7 Al又はAA金合金以下、Al材)からなる放射
線入力窓と、この入力窓の反対側に設けられ一部が放射
線像の変換信号を導出するための出力部として用いられ
るガラス又はセラミックス絶縁体と、上記大力窓および
絶縁体をつなぐ真空容器壁の一部をなしその一端部が上
記入力窓に直接もしくはAl材製の第1金属リングを介
し且つ管軸に垂直な面で気密接合され、他端部が上記絶
縁体に直接もしくはFeまたはFe合金(以下、Fe材
)製の他のリングを介して気密接合されるFe材からな
る第2金属リングとを具備してなる放射線像増強管の真
空容器の製造方法において、上記入力窓又は第1金属リ
ングと第2金属リングとの気密接合部は、あらかじめ上
紀第2金属リングの被接合面にNi、Cu、AAの中か
ら選ばれた金属薄層をメッキ又は蒸着により被覆し、こ
の金属薄層を介して両者を互いに管軸に垂直な面で重ね
合わせるとともに加熱ヒータが内蔵されたプレス装置て
挾さみ、且つ上記入力窓又は第1金属リングとプレス装
置との間に、l材よりも軟化点の高い金属からなる補助
リングを介在し、これらを同時に加熱しながら管軸方向
に加圧して気密接合することを特徴とする放射線像増強
管の真空容器の製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55070760A JPS5818740B2 (ja) | 1980-05-29 | 1980-05-29 | 放射線像増強管の真空容器およびその製造方法 |
| US06/260,399 US4423351A (en) | 1980-05-06 | 1981-05-04 | Vacuum container of radiation image multiplier tube and method of manufacturing the same |
| GB8113785A GB2075890B (en) | 1980-05-06 | 1981-05-06 | Vacuum container of radiation image multiplier tube and method of manufacturing the same |
| FR8108997A FR2482366B1 (fr) | 1980-05-06 | 1981-05-06 | Enveloppe sous vide pour un tube multiplicateur d'images de rayonnement, et son procede de fabrication |
| US06/467,918 US4516715A (en) | 1980-05-06 | 1983-02-18 | Vacuum container of radiation image multiplier tube and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55070760A JPS5818740B2 (ja) | 1980-05-29 | 1980-05-29 | 放射線像増強管の真空容器およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56167247A JPS56167247A (en) | 1981-12-22 |
| JPS5818740B2 true JPS5818740B2 (ja) | 1983-04-14 |
Family
ID=13440779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55070760A Expired JPS5818740B2 (ja) | 1980-05-06 | 1980-05-29 | 放射線像増強管の真空容器およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5818740B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000007213A1 (fr) * | 1998-07-27 | 2000-02-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Tube imageur a rayons x et son procede de fabrication |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59158059A (ja) * | 1983-02-28 | 1984-09-07 | Shimadzu Corp | X線イメ−ジ管 |
| JP2523531B2 (ja) * | 1986-09-29 | 1996-08-14 | 株式会社東芝 | X線像増倍管 |
| JPS6314355U (ja) * | 1987-04-09 | 1988-01-30 | ||
| DE19734915C1 (de) * | 1997-08-12 | 1999-03-04 | Siemens Ag | Röntgenbildverstärker mit Aluminiumeingangsfenster sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4925810U (ja) * | 1972-06-10 | 1974-03-05 | ||
| NL7210011A (ja) * | 1972-07-20 | 1974-01-22 | ||
| JPS5329140Y2 (ja) * | 1973-06-04 | 1978-07-21 |
-
1980
- 1980-05-29 JP JP55070760A patent/JPS5818740B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000007213A1 (fr) * | 1998-07-27 | 2000-02-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Tube imageur a rayons x et son procede de fabrication |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56167247A (en) | 1981-12-22 |
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