JPS608568B2 - 真空機器の製造方法 - Google Patents
真空機器の製造方法Info
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- JPS608568B2 JPS608568B2 JP12840280A JP12840280A JPS608568B2 JP S608568 B2 JPS608568 B2 JP S608568B2 JP 12840280 A JP12840280 A JP 12840280A JP 12840280 A JP12840280 A JP 12840280A JP S608568 B2 JPS608568 B2 JP S608568B2
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 39
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 39
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 23
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000012255 powdered metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- APTZNLHMIGJTEW-UHFFFAOYSA-N pyraflufen-ethyl Chemical compound C1=C(Cl)C(OCC(=O)OCC)=CC(C=2C(=C(OC(F)F)N(C)N=2)Cl)=C1F APTZNLHMIGJTEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空しや断器、真空ヒューズ、真空リレーおよ
び真空ァレスター等の真空機器の製造方法に関するもの
である。
び真空ァレスター等の真空機器の製造方法に関するもの
である。
従来、真空機器においてはその構成部品である絶縁筒に
ガラス絶縁筒やアルミナセラミツク絶縁筒を用いていた
が、その後新たにガラスを高温にて結晶化させて製造す
る結晶化ガラス絶縁筒が考えられた。
ガラス絶縁筒やアルミナセラミツク絶縁筒を用いていた
が、その後新たにガラスを高温にて結晶化させて製造す
る結晶化ガラス絶縁筒が考えられた。
この結晶化ガラス絶縁筒は機械的強度および価格におい
てガラス絶縁筒とアルミナセラミツク絶縁筒の中間にあ
るもので、又８５０００まで高温熱負荷をかけられる長
所を有している。上記の結晶化ガラス絶縁筒を用いて真
空機器を製造する場合、まず第１図に示すように結晶化
ガラス絶縁筒１の上下の端部にシール金属２を溶着し、
次にしや閉筒３と固定接点４を有する支持柱５とを取付
けられた金属製上蓋６をシール金属２に取付けるととも
に〜可動接点７を有する支持柱８に一端を取付けた金属
べローズ９の池端を取付けられた金属製下蓋１０をシー
ル金属２に取付ける。各部材間の接合は１０‐５〜１０
‐６側Ｈｇ以下の圧力の真空中においてロー付け接合に
よって行う。しかるに、結晶化ガラス絶縁筒１は結晶化
ガラスが軟化するために８５０ｏｏ以上の熱負荷をかけ
ることができない。一方、シール金属２は結晶化ガラス
との接合性を良好にするために結晶化ガラスの熱膨張率
にほぼ等しい特殊ステンレス鋼を使用しており、９５０
ｏｏ以上で１０‐５〜１０‐６肋Ｈｇ以下の圧力の真空
中におけるロー付けでなければステンレス鋼表面の酸化
膜特に酸化クロムが除去されず、各蓋６，１０とのロー
付けができない。このため、シ−ル金属２の表面にニッ
ケルメッキを施すかあるいは８５０００禾満でロー付け
可能な金属をあらかじめ接合しておき、各部材のロー付
けを８５０℃未満１０‐５〜１０‐６柳Ｈｇ以下の圧力
の真空中で行つていた。しかしもニッケルメッキは厳重
な工程管理を必要とし「又メッキ被膜とステンレスを良
くなじませるとともに脱ガスしてロー付け時のふくれＥ
ｊ‐クや密着不良を防止するために約婁００００Ｇの温
度の水素ガス中でのシン夕−リングを必要としト作工数
が極めて増大し「 コスト高となった。
てガラス絶縁筒とアルミナセラミツク絶縁筒の中間にあ
るもので、又８５０００まで高温熱負荷をかけられる長
所を有している。上記の結晶化ガラス絶縁筒を用いて真
空機器を製造する場合、まず第１図に示すように結晶化
ガラス絶縁筒１の上下の端部にシール金属２を溶着し、
次にしや閉筒３と固定接点４を有する支持柱５とを取付
けられた金属製上蓋６をシール金属２に取付けるととも
に〜可動接点７を有する支持柱８に一端を取付けた金属
べローズ９の池端を取付けられた金属製下蓋１０をシー
ル金属２に取付ける。各部材間の接合は１０‐５〜１０
‐６側Ｈｇ以下の圧力の真空中においてロー付け接合に
よって行う。しかるに、結晶化ガラス絶縁筒１は結晶化
ガラスが軟化するために８５０ｏｏ以上の熱負荷をかけ
ることができない。一方、シール金属２は結晶化ガラス
との接合性を良好にするために結晶化ガラスの熱膨張率
にほぼ等しい特殊ステンレス鋼を使用しており、９５０
ｏｏ以上で１０‐５〜１０‐６肋Ｈｇ以下の圧力の真空
中におけるロー付けでなければステンレス鋼表面の酸化
膜特に酸化クロムが除去されず、各蓋６，１０とのロー
付けができない。このため、シ−ル金属２の表面にニッ
ケルメッキを施すかあるいは８５０００禾満でロー付け
可能な金属をあらかじめ接合しておき、各部材のロー付
けを８５０℃未満１０‐５〜１０‐６柳Ｈｇ以下の圧力
の真空中で行つていた。しかしもニッケルメッキは厳重
な工程管理を必要とし「又メッキ被膜とステンレスを良
くなじませるとともに脱ガスしてロー付け時のふくれＥ
ｊ‐クや密着不良を防止するために約婁００００Ｇの温
度の水素ガス中でのシン夕−リングを必要としト作工数
が極めて増大し「 コスト高となった。
さらにも このシンターリングは約８５０ｏｏでも可能
であるが、シンターリング効果が充分でなくもロー付け
時に気密漏れを生じ易い。この欠点は１０００ｏｏのシ
ンターリングで完全に除去されるが、結晶化ガラスが１
０００００に耐えないためシール金属蟹を絶縁筒亀に溶
着した後ではシン夕−リングを行うことができない。従
って〜 シール金属率もこニッケルメッキをしシン夕−
リングを行った後にシール金属２を絶縁筒川ご気密に溶
着する必要があり又シール金属２の絶縁筒８との接合部
分は気密性を良好にするために適当に酸化させる必要が
あるため該接合部分はニッケルメッキ時にマスクする必
要があり〜作業が複雑となってやはりコスｆ高となった
。又「 シール金属２に８５０ｏｏ未満でロー付け可能
な金属をロー付けすることも作業性が悪〈ちコスト高と
なった。本発明は上記の欠点を除去して、真空機器の製
作を作業性良く安価に行うことができるとともに、真空
機器の真空気密性を向上することができる真空機器の製
造方法を提供することを目的とする。
であるが、シンターリング効果が充分でなくもロー付け
時に気密漏れを生じ易い。この欠点は１０００ｏｏのシ
ンターリングで完全に除去されるが、結晶化ガラスが１
０００００に耐えないためシール金属蟹を絶縁筒亀に溶
着した後ではシン夕−リングを行うことができない。従
って〜 シール金属率もこニッケルメッキをしシン夕−
リングを行った後にシール金属２を絶縁筒川ご気密に溶
着する必要があり又シール金属２の絶縁筒８との接合部
分は気密性を良好にするために適当に酸化させる必要が
あるため該接合部分はニッケルメッキ時にマスクする必
要があり〜作業が複雑となってやはりコスｆ高となった
。又「 シール金属２に８５０ｏｏ未満でロー付け可能
な金属をロー付けすることも作業性が悪〈ちコスト高と
なった。本発明は上記の欠点を除去して、真空機器の製
作を作業性良く安価に行うことができるとともに、真空
機器の真空気密性を向上することができる真空機器の製
造方法を提供することを目的とする。
近年、結晶化ガラスの原料中にあらかじめ金属を単体又
は酸化物として混入させておきしガラス生成後に還元処
理しもガラス表面にこの金属を膜状に析出させる技術が
考えられた。
は酸化物として混入させておきしガラス生成後に還元処
理しもガラス表面にこの金属を膜状に析出させる技術が
考えられた。
本発明はこの技術を応用したものである。以下本発明の
実施例を図面とともに説明する。まず「第２図に示すよ
うに、結晶化ガラスの原料中に８５０ｑ○未満約６００
０Ｃ以上の温度で１０‐５〜１０‐６側Ｈｇ以下の圧力
の真空中でロー付け可能な粉末状の金属又は金属酸化物
例えば銅、縮合金、銀、銀合金を混入し溶融成形して絶
縁筒のシール部雷電を形成し「 このシール部１１を適
宜の熱処理により結晶化するとともに還元性雰囲気中で
の熱処理により表面に混入金属を膜状に析出する。小方
も結晶化ガラスの原料を溶融成形し適宜の熱処理により
結晶化して絶縁筒本体電′を形成する。そしても絶縁筒
本体富′の両端に表面に金属膜蟹傘を析出したシール部
電竜をガラス付け等により気密接合して絶縁筒を形成す
る。尚Ｌ この際「金属膜墓菱の絶縁筒本体雷′側部分
は再びシール都電亀内に拡散して消失する。次に金属膜
富乳こ８５０ＣＧ未満約６００００以上の温度で１０−
５〜１０‐６物Ｈｇ以下の圧力の真空中で前記と同様必
要部品を取付けられた各蓋８７ 富麗を夫々ロー付けし
て真空機器を製造する。尚〜金属膜包鷲の陣さままＩＱ
〜２Ｇミクロンで充分でありも結晶化ガラスの原料中に
混入する金属の重量％は数％で良い。
実施例を図面とともに説明する。まず「第２図に示すよ
うに、結晶化ガラスの原料中に８５０ｑ○未満約６００
０Ｃ以上の温度で１０‐５〜１０‐６側Ｈｇ以下の圧力
の真空中でロー付け可能な粉末状の金属又は金属酸化物
例えば銅、縮合金、銀、銀合金を混入し溶融成形して絶
縁筒のシール部雷電を形成し「 このシール部１１を適
宜の熱処理により結晶化するとともに還元性雰囲気中で
の熱処理により表面に混入金属を膜状に析出する。小方
も結晶化ガラスの原料を溶融成形し適宜の熱処理により
結晶化して絶縁筒本体電′を形成する。そしても絶縁筒
本体富′の両端に表面に金属膜蟹傘を析出したシール部
電竜をガラス付け等により気密接合して絶縁筒を形成す
る。尚Ｌ この際「金属膜墓菱の絶縁筒本体雷′側部分
は再びシール都電亀内に拡散して消失する。次に金属膜
富乳こ８５０ＣＧ未満約６００００以上の温度で１０−
５〜１０‐６物Ｈｇ以下の圧力の真空中で前記と同様必
要部品を取付けられた各蓋８７ 富麗を夫々ロー付けし
て真空機器を製造する。尚〜金属膜包鷲の陣さままＩＱ
〜２Ｇミクロンで充分でありも結晶化ガラスの原料中に
混入する金属の重量％は数％で良い。
以上のように本発明においては「結晶化ガラスの原料中
に８５０００未満約６００００以上の温度で１０‐５〜
弧‐６柳Ｈｇ以下の圧力の真空中でロー付け可能な金属
を混入し溶融成形してシール部を形成しもこのシール部
の表面に混入金属の金属艇を析出し〜結晶化ガラスの原
料から成る絶縁筒本体の両端にシール部を気密接合して
絶縁筒を形成しＬ金属膜に金属部材をロー付けして真空
機器を製造している。
に８５０００未満約６００００以上の温度で１０‐５〜
弧‐６柳Ｈｇ以下の圧力の真空中でロー付け可能な金属
を混入し溶融成形してシール部を形成しもこのシール部
の表面に混入金属の金属艇を析出し〜結晶化ガラスの原
料から成る絶縁筒本体の両端にシール部を気密接合して
絶縁筒を形成しＬ金属膜に金属部材をロー付けして真空
機器を製造している。
従って、従来のようなシール金属は不要となりもシンタ
ーリングも不要となる。このためも真空機器の製造に際
して作業性が良くなり「 コストダウンすることができ
る。又〜絶縁筒本体とシール部は共に基本的には結晶化
ガラスから成っているのでその結合は良好で〜又金属膜
はシール部の内部から析出したものであるためこの両者
の結合は強固で気密性が良く〜 さらに金属膜と金属部
材は金属間接合でやはり気密性が良い。このため〜真空
機器の真空気密性を向上することができる。
ーリングも不要となる。このためも真空機器の製造に際
して作業性が良くなり「 コストダウンすることができ
る。又〜絶縁筒本体とシール部は共に基本的には結晶化
ガラスから成っているのでその結合は良好で〜又金属膜
はシール部の内部から析出したものであるためこの両者
の結合は強固で気密性が良く〜 さらに金属膜と金属部
材は金属間接合でやはり気密性が良い。このため〜真空
機器の真空気密性を向上することができる。
第電図は従来の真空機器の縦断正面図Ｌ第２図は本発明
に係る真空機器の縦断正面図。 富′……絶縁筒本体〜 ６……金属製上蓋「 富鶴……
金属製下蓋、富奪……シール部〜 １２・…。 ・金属膜。餓鬼図 灘２図
に係る真空機器の縦断正面図。 富′……絶縁筒本体〜 ６……金属製上蓋「 富鶴……
金属製下蓋、富奪……シール部〜 １２・…。 ・金属膜。餓鬼図 灘２図
Claims (1)
- １ 結晶化ガラスの原料中に８５０℃未満約６００℃以
上の温度で１０＾−＾５〜１０＾−＾６ｍｍＨｇ以下の
圧力の真空中でロー付け可能な粉末状の金属又は金属酸
化物を混入し溶融成形して絶縁筒のシール部を形成し、
このシール部を適宜の熱処理により結晶化するとともに
還元処理して表面に混入金属を膜状に析出し、このシー
ル部を結晶化ガラスの原料を溶融成形し適宜の熱処理に
より結晶化して成る絶縁筒本体の両端にガラス付け等に
より気密接合して絶縁筒を形成し、前記析出した金属膜
に８５０℃未満６００℃以上の温度で１０＾−＾５〜１
０＾−＾６ｍｍＨｇ以下の圧力の真空中で金属部材をロ
ー付けすることにより真空機器を製造することを特徴と
する真空機器の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12840280A JPS608568B2 (ja) | 1980-09-16 | 1980-09-16 | 真空機器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12840280A JPS608568B2 (ja) | 1980-09-16 | 1980-09-16 | 真空機器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56123634A JPS56123634A (en) | 1981-09-28 |
| JPS608568B2 true JPS608568B2 (ja) | 1985-03-04 |
Family
ID=14983897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12840280A Expired JPS608568B2 (ja) | 1980-09-16 | 1980-09-16 | 真空機器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS608568B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10954647B2 (en) | 2017-07-04 | 2021-03-23 | Takeuchi Construction Co., Ltd. | Foundation structure for building, and construction method therefor |
| US11566394B2 (en) | 2019-12-02 | 2023-01-31 | Takeuchi Construction Co., Ltd. | Building foundation structure, and construction method therefor |
-
1980
- 1980-09-16 JP JP12840280A patent/JPS608568B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10954647B2 (en) | 2017-07-04 | 2021-03-23 | Takeuchi Construction Co., Ltd. | Foundation structure for building, and construction method therefor |
| US11566394B2 (en) | 2019-12-02 | 2023-01-31 | Takeuchi Construction Co., Ltd. | Building foundation structure, and construction method therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56123634A (en) | 1981-09-28 |
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