JPS5819009Y2 - 真空ロ−付炉 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は高真空中で真空スイッチボトル、真空ヒユーズ
等の真空機器の真空容器をロー材する場合の真空ロー付
炉に関するものである。

一般に真空中で真空容器をロー材する場合、真空ロー付
炉の炉内に真空機器構成部品の各接合部にそれぞれロー
材を介したり、接合部の近辺にロー材を配置して、排気
装置により排気しながら所定の圧力において、ロー付温
度に加熱してロー材をおこなって真空容器を形成する。

この場合の真空容器の内部圧力は１Ｏ−５Ｔｏｒｒ（１
３，３５Ｘ１０−３ｐａ）〜１Ｏ−７Ｔｏｒｒ（１３，
３５Ｘ１０−５ｐａ）程度が要求サレルタめ、使用する
真空機器部品は、十分に洗浄および脱ガス処理されたも
のを使用するが、前記部品の保管中や、真空ロー付炉内
に配置する段階で、若干の酸化や、気中のガス分子の吸
着が必然的に発生する。

これらの酸化法や気中のガス分子を除去するために、真
空ロー付炉の炉内において排気装置の排気系により排気
を行ないつつ、ロー付温度より２００〜４００℃程度低
い４００〜６００℃の温度でベーキングし、真空機器構
成部品の脱ガスを十分おこなった後、ロー付温度に加熱
してロー材をおこなって真空容器を形成する。

このような一般的な方法では、真空容器内の排気系路と
しては各構成部品を仮組立した際、ロー材を介してのロ
ー付部分の隙間より排気するより方法がなく、この部分
に生じる隙間は非常に狭く小さいため、複数個の容器を
同時にロー材する場合は各々に生じた隙間は不均一とな
り、排気系路のコンダクタンスが不均一である。

このため同じ排気時間では、各々の真空容器内の到達圧
力に差が生じ、均一な圧力の真空容器の形成が困難であ
った。

したがって本考案の目的は、上述したような欠点を解消
するために、真空中で容器をロー材して真空容器を形成
する際の排気面積を大きくすることができ、排気時間も
短縮され、均一な真空度が得られる真空機器を製造する
ための外部操作機構を有する真空ロー付炉を提供せんと
するものである。

本考案はこの目的達成のため、真空中で容器をロー材し
て真空容器を形成する際に電極棒の位置を移動し、その
移動によって形成される隙間より排気を行ない、脱ガス
完了後電極棒を所定の位置にもどして真空容器をロー材
する操作機構を真空ロー付炉の外部に有するようにした
ものである。

以下真空スイッチボトルを例にとり説明する。

第１図Ａは複数個の真空スイッチボトルを従来の真空炉
内に設置した状態を示す側断面図でＢは同じくそのアー
ア面の断面図である。

第１図において、１は炉体、２はフタ、３は加熱ヒータ
、４ａ、４ｂ。

４Ｃはリフレクタ−１８は排気装置で構成され、真空ス
イッチボトル２０が複数個設置しである。

第２図は真空炉中に従来方法で仮組立された状態の真空
スイッチボトルを示す断面図である。

第２図において、絶縁筒２１の上側にはシールド２３を
予め取付けたフランジ２２ ａをロー材２７ ａを介し
て設置し、絶縁筒２１の下側にはフランジ２２ ｂをロ
ー材２７ ａを介して設置されている。

フランジ２２ ｂにはベローズ２５の下端がロー材２７
ａを介して設置され、ベローズ２５の上部にはベロー
ズカバー２６、可動電極棒２４ ｂをロー材２７ ａを
介して配置されている。

このような方法によれば、真空容器内からの排気面積と
しては、ロー付部分の重ね合わせた隙間Ｓを合算したも
のであるが、排気面積としては計算しがたく、同時に複
数個を排気する場合には、各々のコンダクタンスが均一
でないことは容易に想像ができ、コンダクタンスが均一
でないことは各々の真空容器の圧力は不均一となり、ま
た排気時間も長時間必要とすることになる。

第３図は本考案の一実施例による真空炉中に仮組立され
た真空スイッチボトルの固定電極棒を真空ロー付炉の外
部に設けられた外部操作機構によって吊り下げた状態を
示す断面図である。

第３図において、フランジ２２ ａの固定電極棒２４
ａの嵌合部の周りにロー材２７ ａを配し、固定電極棒
２４ａは第４図に示す真空炉の外部に設けられた外部操
作機構により吊下げられている。

このためフランジ２２ ａと固定電極棒２４ ａとの間
には、図に示すように隙間Ｓ′が形成される。

該隙間Ｓ′は真空機器部品を重ねた不均一な隙間部分の
排気面積に対し、より大きな面積が確保でき、脱ガスが
容易となる。

このようにして形成された隙間Ｓ′より排気装置８によ
って排気を行ない、温度を上げて構成部品の脱ガスを完
全に行ない、しかる後に本考案による真空ロー付炉の外
部に設けた操作機構２（こよって固定電極棒２４ ａを
フランジ２２ ａと密着するように所定の位置に設置し
、ロー材を行って真空容器を形成する。

第４図は本考案の一実施例で真空ロー付炉および炉内に
複数個の真空スイッチボトルを配置した状態を示す側断
面図である。

図において第１図と同一符号は同一または同一相当部分
を示す。

炉体１に蝶ネジなどにより締付けられたフタ２′の中央
部に穴をあけてブツシュ１０を溶着し、該ブツシュ１０
に操作棒６を挿通する。

該操作棒６とブツシュ１０にはベローズ５の両端がそれ
ぞれ溶着されて炉内の気密を保持している。

操作棒６は駆動装置７と直結されて炉体１の外部より操
作する。

第３図で示したように仮組立された状態の真空スイッチ
ボトル２０を炉体１の炉内底部に設けた台９の上に配置
し、前記真空スイッチボトル２０の固定電極棒２４ ａ
のみは操作棒６の取付部６ａに、例えばネジ込みによっ
て所定の位置に取付けておき、フタ２′と炉体１を蝶ネ
ジなどにより締付ける。

この場合固定電極棒２４ ａと、仮組立された真空スイ
ッチの各部品の中心は合致するように工夫されている。

このようにしてフランジ２２ ａと固定電極棒２４ ａ
との間に隙間Ｓ′が形成される如く、操作棒６の取付部
６ａに取付けられた固定電極棒２４ ａを引上げるよう
に駆動装置７を操作し、真空炉の真空中で排気装置８に
より排気を行ないながら各構成部品の脱ガス完了後、前
記加熱ヒータ３を更に加熱して、ロー材２７ ａの溶解
温度直前に操作棒６を駆動装置７により作動し、取付部
６に取付けられた固定電極棒２４ ａをフランジ２２
ａに接触させてロー材を完了する。

なお本考案の実施例の説明では、固定電極棒２４ａをひ
き上げて移動する例を示して説明したが、真空容器をさ
かさまに置いて下側になった固定電極棒２４ ａを引下
げて隙間Ｓ′を形成して排気を行ない、脱ガス完了後、
固定電極棒２４ ａを押上げて所定の位置にフランジ２
２ ａと密着させてロー材するような方法によっても良
いことは勿論である。

以上説明したように、仮組立された真空スイッチボトル
２０のフランジ２２ ａと固定電極棒２４ ａとの間に
隙間Ｓ′を形成するため、真空ロー付炉の外部に設けた
操作機構により、前記固定電極棒２４ａを操作すれば、
排気時間は短縮され真空容器内の真空度は均一となるた
め、真空ロー付炉としての効果は多大である。

また本考案の実施例の説明では、真空スイッチボトルに
ついて説明したが、その他の真空機器を本真空ロー付炉
を用いてロー材する場合についても、操作棒の取付部を
交換することにより可能であることを附言しておく。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａは複数個の真空スイッチボトルを従来の真空炉
内に設置した状態を示す側断面図でＢは同じくそのアー
ア面の断面図、第２図は真空炉中に従来方法で仮組立さ
れた状態の真空スイッチボトルを示す断面図、第３図は
本考案の一実施例による真空炉中に仮組立された真空ス
イッチボトルの固定電極棒を真空ロー付炉の外部に設け
られた外部操作機構によって吊り下げた状態を示す断面
図、第４図は本考案の一実施例の真空ロー付炉および炉
内に複数個の真空スイッチボトルを設置した状態を示す
側断面図である。 １・・・・・・炉体、２．２′・・・・・・フタ、３・
・・・・・加熱ヒータ、４ａ 、４ ｂ 、４ ｃ・・
・・・・リフレクタ−１５，２５・・・・・・ベローズ
、６・・・・・・操作棒、６ａ・・・・・・取付部、７
・・・・・・駆動装置、８・・・・・・排気装置、９・
・・・・・台、１０・・・・・・ブツシュ、２０・・・
・・・真空スイッチボトル、２１・・・・・・絶縁筒、
２２ ａ 、２２ ｂ・・・・・・フランジ、２３・・
・・・・シールド、２４ａ・・・・・・固定電極棒、２
４ ｂ・・・・・・可動電極棒、２６・・・・・・ベロ
ーズカバー、２７ａ・・・・・・ロー材、ｓ、ｓ’・・
・・・・隙間。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 炉体のフタ中央部に、炉外に設置される駆動装置により
   操作される操作棒を上下動可能に挿通すると共に、その
   挿通部分にベローズを設は炉内の気密を保持させるごと
   くに構成し、前記操作棒を炉内に仮組立された真空機器
   の固定電極部分に連結し、脱ガス時は前記真空機器のフ
   ランジとの間に隙間が形成されるごとく、かつ接合部に
   配したロー材の溶解時には前記フランジに接触させるご
   とくに前記固定電極部分を、外部操作機構により操作す
   るようにして成ることを特徴とする真空ロー付炉。