JPS58195643U - 原料ガス供給装置 - Google Patents

原料ガス供給装置

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JPS58195643U
JPS58195643U JP9312182U JP9312182U JPS58195643U JP S58195643 U JPS58195643 U JP S58195643U JP 9312182 U JP9312182 U JP 9312182U JP 9312182 U JP9312182 U JP 9312182U JP S58195643 U JPS58195643 U JP S58195643U
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JP
Japan
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raw material
carrier gas
gas supply
temperature
container
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JP9312182U
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JPS6023290Y2 (ja
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幅崎　利己
宮後　哲夫
豪太郎 田中
民男 釣田
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Sumitomo Electric Industries Ltd
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Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication date
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  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は光フアイバ用母材の製造設備における従来の塩
化アルミニウム供給装置の供給系統を表す概念図、第２
図は本考案による原料ガ又供給装置７を第１図に示した
ものに応用した一実施例の供給系統を表す概念図であり
、図中の符号で、１１は液体、１２は恒温槽、１３は塩
化アルミ冊つム、１４は原料容器、１６はキャリアガス
供給管、１９はキャリアガス、２０は流量制御装置、２
１は凝縮管、２２は原料ガス供給口、２５は反応装置、
２６は冷却通路である。　　　　゛補正　昭５８．　２
．　７ 実用新案登録請求の範囲を次のように補正する。 ０実用新案登録請求の範囲 常に一定温度に制御された液体が貯留された恒温槽と、
この恒温槽内に設置され且つ内部に固相或いは液相の原
料物質が貯留された原料容器と、一端がこの原料容器の
内部に連通ずると共に他端が一定流量のキャリアガスを
前記原料容器の内部へ供給するキャリアガス供給器に接
続し且つ前記原料容器の外周に巻き付けられて前記キャ
リアガスの温度を前記原料容器の温度と同一にするキャ
リアガス供給管とを具えた原料ガス供給装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 常に一定温度に制御された液体が貯留された恒温槽と、
    この恒温槽内に設置され且つ内部に固相或いは液相の原
    料物質が貯留された原料容器と、一端がこの原料容器の
    内部に連通ずると共に他端が一定流量のキャリアガスを
    前記原料容器の内部へ供給するキャリアガス供給器に接
    続し且つ前記原料容器の外周に巻き付けられて前記キャ
    リアガスの温度を前記原料容器の温度と同一にするキャ
    リアガス供給管と、前記原料容器の上端にこの原料容器
    と一体に突設され且つ前記恒温槽外に位置する上端部に
    前記キャリアガスと気相の前記原料物質とを導き出す原
    料ガス供給口が形成されると共に周囲から温度制御を受
    けて過飽和となった前記気相の原料物質を凝縮させてこ
    の気相の原料物質の供給量を制御する凝縮管とを具えた
    原料ガス供給装置。
JP9312182U 1982-06-23 1982-06-23 原料ガス供給装置 Expired JPS6023290Y2 (ja)

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JPS58195643U true JPS58195643U (ja) 1983-12-26
JPS6023290Y2 JPS6023290Y2 (ja) 1985-07-11

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017094265A (ja) * 2015-11-24 2017-06-01 古河電気工業株式会社 原料気化供給装置および原料気化供給方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2017094265A (ja) * 2015-11-24 2017-06-01 古河電気工業株式会社 原料気化供給装置および原料気化供給方法

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JPS6023290Y2 (ja) 1985-07-11

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