JPS5965734U - 化学気相成長装置 - Google Patents
化学気相成長装置Info
- Publication number
- JPS5965734U JPS5965734U JP15977482U JP15977482U JPS5965734U JP S5965734 U JPS5965734 U JP S5965734U JP 15977482 U JP15977482 U JP 15977482U JP 15977482 U JP15977482 U JP 15977482U JP S5965734 U JPS5965734 U JP S5965734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- chemical vapor
- deposition equipment
- chamber
- deposition apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の化学気相成長装置、第２図は本考案によ
る一実施例の化学気相成長装置である。 図において、２はチャンバー、４は基板、２１は加熱ヒ
ーター、３１はハロゲンランプ、２２・３２は温度調整
器を示す。
る一実施例の化学気相成長装置である。 図において、２はチャンバー、４は基板、２１は加熱ヒ
ーター、３１はハロゲンランプ、２２・３２は温度調整
器を示す。
Claims (1)
- チャンバー内に反応ガスを導入し、基板上に成長膜を形
成する化学気相成長装置において、前記チャンバーの内
壁を所定温度に加熱する加熱機構を設けたことを特徴と
する化学気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15977482U JPS5965734U (ja) | 1982-10-21 | 1982-10-21 | 化学気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15977482U JPS5965734U (ja) | 1982-10-21 | 1982-10-21 | 化学気相成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965734U true JPS5965734U (ja) | 1984-05-02 |
Family
ID=30351606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15977482U Pending JPS5965734U (ja) | 1982-10-21 | 1982-10-21 | 化学気相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965734U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51149882A (en) * | 1975-06-18 | 1976-12-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Chemical condensation apparatus |
-
1982
- 1982-10-21 JP JP15977482U patent/JPS5965734U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51149882A (en) * | 1975-06-18 | 1976-12-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Chemical condensation apparatus |
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