JPS5820003A - ストリツプラインの製造方法 - Google Patents
ストリツプラインの製造方法Info
- Publication number
- JPS5820003A JPS5820003A JP11986481A JP11986481A JPS5820003A JP S5820003 A JPS5820003 A JP S5820003A JP 11986481 A JP11986481 A JP 11986481A JP 11986481 A JP11986481 A JP 11986481A JP S5820003 A JPS5820003 A JP S5820003A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- electrode film
- full
- strip line
- center electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 abstract description 9
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 6
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N Beryllium oxide Chemical compound O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P3/00—Waveguides; Transmission lines of the waveguide type
- H01P3/02—Waveguides; Transmission lines of the waveguide type with two longitudinal conductors
- H01P3/08—Microstrips; Strip lines
- H01P3/085—Triplate lines
Landscapes
- Waveguides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、特性がすぐれたストリップラインミナやベ
リリアからなる誘電体基板２の一方主表面に中心電極２
が形成され、他方主表面に全面電極３が形成されたもの
である。
リリアからなる誘電体基板２の一方主表面に中心電極２
が形成され、他方主表面に全面電極３が形成されたもの
である。
このような構造では、中心電極２の上方に誘電体基板２
のそれと異なる誘電率をもつたとえば空気が存在するた
め、■実効Ｅｒが基板２のｆｌｙの騒〜にに小さくなる
、■放射損失が生じる、■完などの欠点がある。
のそれと異なる誘電率をもつたとえば空気が存在するた
め、■実効Ｅｒが基板２のｆｌｙの騒〜にに小さくなる
、■放射損失が生じる、■完などの欠点がある。
そξで、■実効誘電率を大キクシて、ストリップライン
を小形にする、■放射損失をな（する、■完全なＴＢＭ
モー自こし、外界の影響を受けなξζようにして、設計
が容品になるようにする。などを目的として、片面に全
面電極を設けた一対の誘電体基板の他面間に中心電極を
存在さゼでなる構造のストリップラインが提案されてい
る。
を小形にする、■放射損失をな（する、■完全なＴＢＭ
モー自こし、外界の影響を受けなξζようにして、設計
が容品になるようにする。などを目的として、片面に全
面電極を設けた一対の誘電体基板の他面間に中心電極を
存在さゼでなる構造のストリップラインが提案されてい
る。
ところで、ストリップラインの損失αは一般に次のよａ
に表される。
に表される。
ｇ ａｇ ４１４ 十ａ Ｃ＋ａ ｒ
ζこで、ａｄは誘電体基板の誘電損失、ａＣは電極の電
気抵抗による損失（銅損） 、’ｒは放射、損失である
。本発明の実施例で用いる材料の−１は通常１Ｇ−’の
オーダーなの１、αに占めるａｄの大り専はａＣやαｔ
に比べて一般に小さい。ｔｒ：。
気抵抗による損失（銅損） 、’ｒは放射、損失である
。本発明の実施例で用いる材料の−１は通常１Ｇ−’の
オーダーなの１、αに占めるａｄの大り専はａＣやαｔ
に比べて一般に小さい。ｔｒ：。
ａｊは上述したような誘電体基板間に中心電極が存在す
る構造だと０である。したがって銅損をできるだけ小さ
くすることがストリップラインの損失を小さくすること
につながる。
る構造だと０である。したがって銅損をできるだけ小さ
くすることがストリップラインの損失を小さくすること
につながる。
それゆえにこの発明の目的は、損失を小さくしたストリ
ップラインを提供することである。
ップラインを提供することである。
この発明の要旨は、たとえば（ＢａＣａ） ＺｒＯ３＋
ＭｎＯ□系材料、Ｃａ Ｚ ｒ Ｏｓ ＋Ｍｎ Ｏｚ糸
材料ノヨうな、第１、第２の誘電性グリーンシートのそ
れぞれの第１の主表面にＮｉからなる全面電極膜を存在
さセるとともに、前記第４、！！！２の誘電体グリーン
シートのそれぞれの第２の主表面間にＮｉからなる中心
電極膜を存在さ＋ｉた後、第１、第２のグリーンシート
を圧着し、還元雰囲気中でシートと電極を同時に焼成す
ることである。
ＭｎＯ□系材料、Ｃａ Ｚ ｒ Ｏｓ ＋Ｍｎ Ｏｚ糸
材料ノヨうな、第１、第２の誘電性グリーンシートのそ
れぞれの第１の主表面にＮｉからなる全面電極膜を存在
さセるとともに、前記第４、！！！２の誘電体グリーン
シートのそれぞれの第２の主表面間にＮｉからなる中心
電極膜を存在さ＋ｉた後、第１、第２のグリーンシート
を圧着し、還元雰囲気中でシートと電極を同時に焼成す
ることである。
ここで、電極にＮｉを使用するのは、通常電極として用
いられるｐｔやＰｄよりも、Ｎｉの電気抵抗が小さいた
めであり、また、焼付を還元雰囲気中で行うのはＮ１電
極の酸化を防ぎ電気抵抗を小さく保つためのものである
。しかし通常の誘電体シートを還元雰囲気中で焼付する
と、誘電体が還元され、半導体化してしまう。し１こが
って防電体材料ニ１．ｔ、前述したような、（ＢａＣａ
）ＺｒＯ３＋ＭｎＯ□系↑ＣａＺｒ０１＋ＭｎＯ□材料
系のような還元雰囲気中で焼付しても半導体化しない非
還元性誘電体材料を使わねばならない。
いられるｐｔやＰｄよりも、Ｎｉの電気抵抗が小さいた
めであり、また、焼付を還元雰囲気中で行うのはＮ１電
極の酸化を防ぎ電気抵抗を小さく保つためのものである
。しかし通常の誘電体シートを還元雰囲気中で焼付する
と、誘電体が還元され、半導体化してしまう。し１こが
って防電体材料ニ１．ｔ、前述したような、（ＢａＣａ
）ＺｒＯ３＋ＭｎＯ□系↑ＣａＺｒ０１＋ＭｎＯ□材料
系のような還元雰囲気中で焼付しても半導体化しない非
還元性誘電体材料を使わねばならない。
この発明のその他の目的と特徴は以下にのべる実施例か
らもあきらかになる。
らもあきらかになる。
第２図はこの発明の一実施例で得られたものであり、１
１は上述したような従来公知のｒｉ’ｔ：Ｌえば特開昭
５３−９８０９９号公報、特開昭５３−９８１００号公
報）材料からなる第１の誘電体、１２は、第１の誘電体
１１と同様の第２の誘電体、１３はＮｉからなる中心電
極で１．第１、第２の誘電体間に存在する。１４．１５
はＮｉからなる全面電極で、それぞれ第１、第２の誘電
体を介して中心電極１３と対となるよう第１、第２の誘
電体の表面に存在する。
１は上述したような従来公知のｒｉ’ｔ：Ｌえば特開昭
５３−９８０９９号公報、特開昭５３−９８１００号公
報）材料からなる第１の誘電体、１２は、第１の誘電体
１１と同様の第２の誘電体、１３はＮｉからなる中心電
極で１．第１、第２の誘電体間に存在する。１４．１５
はＮｉからなる全面電極で、それぞれ第１、第２の誘電
体を介して中心電極１３と対となるよう第１、第２の誘
電体の表面に存在する。
つぎに、第３図にしたがって製造方法を説明する。
上述したような材料を用いて第１の誘電体グリーンシー
ト１１の一方面に中心電極膜１３を印刷、蒸着などの方
法で形成する。第１の誘電体グリーンシー）１１の他方
面には全面電極膜１４を印刷、蒸着などの方法で形成す
る。第２の防電体グ・リーンシート１２の一方面に全面
電極膜１５を印刷、・蒸着などの方法で形成する。第２
の誘電体グリーンシート１２の他方面を第１の誘電体グ
リーンシー）１１の一方面、すなわち中心電極膜１３が
設けてめる面に圧着する。その後Ｎ２とＮ２との混合気
中で還元焼成すると第１、第２の誘電体グリーンシート
１１．１２が融着する。中心電極膜１３は第４図に示す
ように複数個設けてもよいし、第２〜３図やＩ！Ｊ４図
のものをたとえば第５図に示すように複数層重ねて構成
してもよい。
ト１１の一方面に中心電極膜１３を印刷、蒸着などの方
法で形成する。第１の誘電体グリーンシー）１１の他方
面には全面電極膜１４を印刷、蒸着などの方法で形成す
る。第２の防電体グ・リーンシート１２の一方面に全面
電極膜１５を印刷、・蒸着などの方法で形成する。第２
の誘電体グリーンシート１２の他方面を第１の誘電体グ
リーンシー）１１の一方面、すなわち中心電極膜１３が
設けてめる面に圧着する。その後Ｎ２とＮ２との混合気
中で還元焼成すると第１、第２の誘電体グリーンシート
１１．１２が融着する。中心電極膜１３は第４図に示す
ように複数個設けてもよいし、第２〜３図やＩ！Ｊ４図
のものをたとえば第５図に示すように複数層重ねて構成
してもよい。
以上の実施例からもあきらかなように、この発明による
と、第１、第２の非還元性誘電体グリーンシートのそれ
ぞれの第１の主表面にＮｉからなる全面電極膜を存在さ
セるとともに、前記第１、第２の非還元性誘電体グリー
ンシートのそれぞれの第２の主表面間にＮｉからなる中
心電極膜を存在さゼた後、還元雰囲気中で焼成したので
、放射、シ 損失のない構造において、銅損の少ない電極を用いるこ
とができ、さらに特性を向上さセることができる。
と、第１、第２の非還元性誘電体グリーンシートのそれ
ぞれの第１の主表面にＮｉからなる全面電極膜を存在さ
セるとともに、前記第１、第２の非還元性誘電体グリー
ンシートのそれぞれの第２の主表面間にＮｉからなる中
心電極膜を存在さゼた後、還元雰囲気中で焼成したので
、放射、シ 損失のない構造において、銅損の少ない電極を用いるこ
とができ、さらに特性を向上さセることができる。
このよう゛な効果があるので、本発明は、たとえば分岐
器やフィルタに応用できるなど有益な発明である。
器やフィルタに応用できるなど有益な発明である。
第１図は、従来例９）側面図、第２図は、本発明一実施
例の側面図、第３図は、同、分解斜視図、第４図は、同
、変形例の側面図、第５図は、同、変形例の側面図であ
る。 １１は第１の誘電体、１２は第２の誘電体、１３＃よ中
心電極、１４．１５は全面電極。 特許出願人 株式会社、村田製作所 Ｙ／ｍ
例の側面図、第３図は、同、分解斜視図、第４図は、同
、変形例の側面図、第５図は、同、変形例の側面図であ
る。 １１は第１の誘電体、１２は第２の誘電体、１３＃よ中
心電極、１４．１５は全面電極。 特許出願人 株式会社、村田製作所 Ｙ／ｍ
Claims (1)
- 第１％第２の非還元性誘電体グリーンシートのそれぞれ
の第１の主表面に組からなる全面電極膜を存在さ（ると
ともに、前記第１、第２の非還元性誘電体グリーンシー
トのそれぞれの第２の主表面間にＮｉかもなる中心電極
膜を存在さ−＋また後、還元算囲気中で焼成することを
特徴とする、ストリップラインの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11986481A JPS5820003A (ja) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | ストリツプラインの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11986481A JPS5820003A (ja) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | ストリツプラインの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5820003A true JPS5820003A (ja) | 1983-02-05 |
| JPS632362B2 JPS632362B2 (ja) | 1988-01-19 |
Family
ID=14772154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11986481A Granted JPS5820003A (ja) | 1981-07-29 | 1981-07-29 | ストリツプラインの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5820003A (ja) |
-
1981
- 1981-07-29 JP JP11986481A patent/JPS5820003A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS632362B2 (ja) | 1988-01-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4533931A (en) | Reduction reoxidation type semiconductor ceramic condenser | |
| JPS5820003A (ja) | ストリツプラインの製造方法 | |
| JPS59222917A (ja) | 積層セラミツクコンデンサの製造方法 | |
| JPS5924534B2 (ja) | 積層複合部品 | |
| JPS6323646B2 (ja) | ||
| JPS62237714A (ja) | 積層セラミツクコンデンサ | |
| JPS5820004A (ja) | ストリツプラインの製造方法 | |
| JPH04260314A (ja) | セラミック積層体 | |
| JPS636121B2 (ja) | ||
| JPH08115844A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| JPS5821902A (ja) | ストリツプラインの製造方法 | |
| JPH0935986A (ja) | セラミック積層電子部品及びその製造方法 | |
| EP0109589A1 (en) | Electroluminescent thin film display device | |
| JPS5858716A (ja) | 積層セラミツクコンデンサ | |
| JP3159440B2 (ja) | 角形チップ抵抗器 | |
| JPS63241846A (ja) | 耐熱性黒色電極およびその製造方法 | |
| JPS6317218B2 (ja) | ||
| JPS6336680Y2 (ja) | ||
| JPH04243173A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH01175191A (ja) | チップ型アレスタ | |
| JPS62112313A (ja) | 貫通コンデンサ | |
| JPS6214929B2 (ja) | ||
| GB1438559A (en) | Method for manufacturing a composite sintered structure | |
| JPS5850586A (ja) | 透明電極基板の形成方法 | |
| JPH0650303U (ja) | 固定抵抗部品 |