JPS58200150A - ガス検知素子 - Google Patents
ガス検知素子Info
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- JPS58200150A JPS58200150A JP57083442A JP8344282A JPS58200150A JP S58200150 A JPS58200150 A JP S58200150A JP 57083442 A JP57083442 A JP 57083442A JP 8344282 A JP8344282 A JP 8344282A JP S58200150 A JPS58200150 A JP S58200150A
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- JP
- Japan
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- gas
- detection element
- sensitivity
- sensitive body
- methane
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は可燃性ガスを検知するガス検知素子に関するも
のである。
のである。
近年、可燃性ガスの検知素子材料について種々の研究開
発が活発化してきている。これは、一般家庭を中心に各
種工場などで可燃性ガスによる爆発事故や有毒ガスによ
る中毒事故が多発し、大きな社会問題となっていること
にも強く起因している。特にプロパンガスは、爆発下限
界(LEL)が低く、かつ比重が空気よりも大きいため
、部屋に停、、やすいチ&おう。ヶヵ8あよオ断たず、
毎年多数の死傷者を出している。
発が活発化してきている。これは、一般家庭を中心に各
種工場などで可燃性ガスによる爆発事故や有毒ガスによ
る中毒事故が多発し、大きな社会問題となっていること
にも強く起因している。特にプロパンガスは、爆発下限
界(LEL)が低く、かつ比重が空気よりも大きいため
、部屋に停、、やすいチ&おう。ヶヵ8あよオ断たず、
毎年多数の死傷者を出している。
近年になって、酸化第二錫(81102)やガンマ型酸
化第二鉄(γ−Fe2O3)などの金属酸化物を用いた
可燃性ガス検知素子が実用化され、ガス漏れ警報器など
に応用されている。そして、ガス漏れなどの事態が発生
してもLELに至るまでの間に、プロパンガスの存在を
いち早く検知し、爆発を未然に防げるようになっている
。
化第二鉄(γ−Fe2O3)などの金属酸化物を用いた
可燃性ガス検知素子が実用化され、ガス漏れ警報器など
に応用されている。そして、ガス漏れなどの事態が発生
してもLELに至るまでの間に、プロパンガスの存在を
いち早く検知し、爆発を未然に防げるようになっている
。
ところで、日本でもメカンガスを主成分とする液化天然
ガス(LNG )が一般家庭用として用いられるように
なり、徐々に普及して来ている。したがって、このLN
Gの主成分であるメタンガスを選択性よく検出するガス
検知素子の要請も非常に大きくなってきている。
ガス(LNG )が一般家庭用として用いられるように
なり、徐々に普及して来ている。したがって、このLN
Gの主成分であるメタンガスを選択性よく検出するガス
検知素子の要請も非常に大きくなってきている。
勿論、すでにメタンガスに感応するガス検知素子は開発
されてはいるが、その多くは感応体材料に増感剤と(2
て貫金楓触媒を用いているため、種々のガスによる触媒
被毒の問題、メタンガスに対する選択度が小さい点、あ
るいは周囲湿度に対する依存性が大きい点などの課題を
抱えている。したがって、実用に際しては未だ不十分な
特性であるのが現状である。
されてはいるが、その多くは感応体材料に増感剤と(2
て貫金楓触媒を用いているため、種々のガスによる触媒
被毒の問題、メタンガスに対する選択度が小さい点、あ
るいは周囲湿度に対する依存性が大きい点などの課題を
抱えている。したがって、実用に際しては未だ不十分な
特性であるのが現状である。
本発明はこのような状況に鑑みてなされたもので、メタ
ンガスに対しても実用上十分大きな感度を持ったガス検
知素子を提供するものである。メタンガスはそれ自身非
常に安定なガスであるだけに、これに十分な感度を有す
る検知素子は非常に高活性である必要がある。したがっ
て、メタンガスに対して大きな感度を実現するためには
、従来は、貴金属触媒を感応体材料に添加して用いるか
、あるいは感応体をかなり高い温度で動作させるなどの
工夫がなされてきた。これに対し、本発明は貴金属触媒
を一切添加することなく、また比較的低い動作温度でも
対メタン感度の大きい素子を実現するものである。
ンガスに対しても実用上十分大きな感度を持ったガス検
知素子を提供するものである。メタンガスはそれ自身非
常に安定なガスであるだけに、これに十分な感度を有す
る検知素子は非常に高活性である必要がある。したがっ
て、メタンガスに対して大きな感度を実現するためには
、従来は、貴金属触媒を感応体材料に添加して用いるか
、あるいは感応体をかなり高い温度で動作させるなどの
工夫がなされてきた。これに対し、本発明は貴金属触媒
を一切添加することなく、また比較的低い動作温度でも
対メタン感度の大きい素子を実現するものである。
本発明は酸化カドミウム(CaO)をガス感応体として
用いたガス検知素子において、これに含まれる種々の陰
イオンのガス感応特性に及ぼす影響について検討してい
る中で見出されたものである。
用いたガス検知素子において、これに含まれる種々の陰
イオンのガス感応特性に及ぼす影響について検討してい
る中で見出されたものである。
すなわち、ガス感応体の母材料であるCdOが硫酸イオ
ン(804−)を含有することによりガス感応特性が飛
躍的に向上し、しかも先述のメタンガスに対しても実用
上十分大きな感度を実現し得ることを見出したことによ
ってなされたものである。
ン(804−)を含有することによりガス感応特性が飛
躍的に向上し、しかも先述のメタンガスに対しても実用
上十分大きな感度を実現し得ることを見出したことによ
ってなされたものである。
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。
〔実施例1〕
市販の酸化カドミウム(CaO)試薬に、硫酸イオンを
含有させるための添加物として種々の量の硫酸カドミウ
ム(CdSO4−LH20)粉末をそれぞれ添加混合し
、さらにこれに有機バインダーを加えて100〜200
μの大きさの粒子に整粒したいくつかの粉体を作製した
。このようにして得られた、硫酸カドミウムの含まれる
量の異るそれぞれの粉体を直方体形状に加圧成形し、空
気中で600°C1の温度で1時間焼成した。この焼結
体の表面にkを蒸尤して一対の櫛形電極を形成し、その
裏面には白金発熱体を無機接着剤で貼りつけてヒータと
し検知素子を作製した。この発熱体に電流を通じ、その
電流値を調節して素子の動作温度を制御した。
含有させるための添加物として種々の量の硫酸カドミウ
ム(CdSO4−LH20)粉末をそれぞれ添加混合し
、さらにこれに有機バインダーを加えて100〜200
μの大きさの粒子に整粒したいくつかの粉体を作製した
。このようにして得られた、硫酸カドミウムの含まれる
量の異るそれぞれの粉体を直方体形状に加圧成形し、空
気中で600°C1の温度で1時間焼成した。この焼結
体の表面にkを蒸尤して一対の櫛形電極を形成し、その
裏面には白金発熱体を無機接着剤で貼りつけてヒータと
し検知素子を作製した。この発熱体に電流を通じ、その
電流値を調節して素子の動作温度を制御した。
素体温度を400°Cに保持して、そのガス感応特性を
測定した。
測定した。
空気中における抵抗値(Ra)については、乾燥した空
気が乱流のできない程度にゆっくり攪拌されている容積
601の測定容器中で測定し、ガス中での抵抗値(Rg
)はこの容器の中に純度99チ以上のメタン(CHす、
プロパン(05H8) 、イソブタン(i−(4H+の
及び水素(H2)の各ガスを容量比率にして1 OFF
/秒の割合で流入させ、その濃度が0.1容量チに達し
た時にそれぞれ測定した。測定するガス濃度を0.1容
量係に選んだのは、ガス検知素子として実用上要望され
る検知濃度がそのガスの爆発下限界濃度(LICL)の
数10分の1から数分の1の範囲であり、上記のガスの
それぞれのLELが約2容量係から6容量チであるから
である。
気が乱流のできない程度にゆっくり攪拌されている容積
601の測定容器中で測定し、ガス中での抵抗値(Rg
)はこの容器の中に純度99チ以上のメタン(CHす、
プロパン(05H8) 、イソブタン(i−(4H+の
及び水素(H2)の各ガスを容量比率にして1 OFF
/秒の割合で流入させ、その濃度が0.1容量チに達し
た時にそれぞれ測定した。測定するガス濃度を0.1容
量係に選んだのは、ガス検知素子として実用上要望され
る検知濃度がそのガスの爆発下限界濃度(LICL)の
数10分の1から数分の1の範囲であり、上記のガスの
それぞれのLELが約2容量係から6容量チであるから
である。
またガス感応体に含まれる硫酸イオン(Soa−)
−の存在は赤外線吸収スペクトルで確認し、含有されて
いる量はTG−DT五凸曲線び螢光X線分析から同定し
た。次表に種々の硫酸イオン量を含むガス感応体の感応
特性を示す。また、第1図(a)。
−の存在は赤外線吸収スペクトルで確認し、含有されて
いる量はTG−DT五凸曲線び螢光X線分析から同定し
た。次表に種々の硫酸イオン量を含むガス感応体の感応
特性を示す。また、第1図(a)。
(b)はこれを感度(Ra 7 Rg)で表わしたもの
であり、第1図(IL)にはメタンとプロパン、第1図
(b)にはイソブタンと水素に対する特性を示す。
であり、第1図(IL)にはメタンとプロパン、第1図
(b)にはイソブタンと水素に対する特性を示す。
く以 下 余 白〉
上記表および第1図から明らかなように、硫酸イオ7
(804−)を0.005−10.0重量%含有するこ
とによって、ガス感応特性、特にメタンに対する感度が
飛躍的に向上していることがわかる。
(804−)を0.005−10.0重量%含有するこ
とによって、ガス感応特性、特にメタンに対する感度が
飛躍的に向上していることがわかる。
なお、本実施例において含有される硫酸イオン(804
−−) c7)量を0.005−10.0重量%に限定
したのは、まずo、o o s重量係未満では上記表に
見られるようにガス感応特性を向上せしめる効果が見ら
れず、逆に10.0重量%を超えると特性の安定性、あ
るいは機械的強度の面で実用性に欠けるからである。上
記表において4印を付したものはこれに該当するもので
あり、表中では比較例として記載した。表中のA1に示
されている様に、通常のC(10そのものではガス感応
特性が極めて小さく、そのままでは実用に供し得るもの
ではない。
−−) c7)量を0.005−10.0重量%に限定
したのは、まずo、o o s重量係未満では上記表に
見られるようにガス感応特性を向上せしめる効果が見ら
れず、逆に10.0重量%を超えると特性の安定性、あ
るいは機械的強度の面で実用性に欠けるからである。上
記表において4印を付したものはこれに該当するもので
あり、表中では比較例として記載した。表中のA1に示
されている様に、通常のC(10そのものではガス感応
特性が極めて小さく、そのままでは実用に供し得るもの
ではない。
し7かしこれに硫酸イオンが含有されることによって、
上記表及び第1図に見られる様に、メタンをはじめとす
る種々の可燃性ガスに対して大きな感度が現出するわけ
である。
上記表及び第1図に見られる様に、メタンをはじめとす
る種々の可燃性ガスに対して大きな感度が現出するわけ
である。
また一般的には、ある程度非晶質の状態の金属酸化物の
方が、結晶化されているものより可燃性ガスに対する吸
脱着現象などの物理化学現象が活性になり易いと云われ
ている。しかし、はぼ完全に近く結晶化されている本実
施例で使用した市販試薬の酸化カドミウムでも、硫酸イ
オンを含有することにより極めて高い活性度を示し、結
果的((は非常に大きなガス感応特性を示すことになる
。
方が、結晶化されているものより可燃性ガスに対する吸
脱着現象などの物理化学現象が活性になり易いと云われ
ている。しかし、はぼ完全に近く結晶化されている本実
施例で使用した市販試薬の酸化カドミウムでも、硫酸イ
オンを含有することにより極めて高い活性度を示し、結
果的((は非常に大きなガス感応特性を示すことになる
。
上記実施例1では、感応体が焼結体の場合について述べ
たが、本発明が焼結体を感応体にした時のみならず焼結
膜の場合も同様に有効であることを次の実施例2を用い
て説明する。また、実施例1では動作温度が400 ’
Cの場合のみについて述べたが、動作温度を変えること
によって本発明による素子のガス選択性(ある特定のガ
スを選択的に検出する能力を示す要素)が著しく変化す
ること、すなわち、動作温度によってガス選択性を大幅
に制御し得るという本発明のいまひとつの重要な効果に
ついても次に示す実施例2で具体的に説明することにす
る。なお実施例2においては、被検ガスとしてプロパン
ガスとほぼ同じ特性を示すイソフリンガスの代りにエタ
ノールを用いて測定した。
たが、本発明が焼結体を感応体にした時のみならず焼結
膜の場合も同様に有効であることを次の実施例2を用い
て説明する。また、実施例1では動作温度が400 ’
Cの場合のみについて述べたが、動作温度を変えること
によって本発明による素子のガス選択性(ある特定のガ
スを選択的に検出する能力を示す要素)が著しく変化す
ること、すなわち、動作温度によってガス選択性を大幅
に制御し得るという本発明のいまひとつの重要な効果に
ついても次に示す実施例2で具体的に説明することにす
る。なお実施例2においては、被検ガスとしてプロパン
ガスとほぼ同じ特性を示すイソフリンガスの代りにエタ
ノールを用いて測定した。
〔実施例2〕
市販の酸化カドミウム(CdO)の試薬と、硫酸イオン
を含有させる添加物としての種々の濃度に調製した硫酸
カドミウム(CdSO4−XH20)水溶液を準備した
。次に、上記CaOの試薬を10gづつ秤取し、これら
に上記の硫酸カドミウム水溶液をそれぞれ滴下し混合し
た。このようにして得られたいくつかの混合粉体を空気
中で400°Cの温度で2時間熱処理した。さらにこの
粉体を60〜100pに整粒し、トリエタノールアミン
を加えてペースト化した。一方、ガス検知素子の基板と
して縦、f’i7iそれぞれ5朋、厚みQ、6MMのア
ルミナ基板を用、6−1〜、この表面にQ、5111N
の間隔に櫛形に金ペースト企印刷し、焼きつけて一対の
櫛形電極を形成した。そして、アルミナ基板の裏面には
金電極の間に市販の酸化ルテニウムのグレーズ抵抗体を
印刷121、焼きつけてヒータとした。
を含有させる添加物としての種々の濃度に調製した硫酸
カドミウム(CdSO4−XH20)水溶液を準備した
。次に、上記CaOの試薬を10gづつ秤取し、これら
に上記の硫酸カドミウム水溶液をそれぞれ滴下し混合し
た。このようにして得られたいくつかの混合粉体を空気
中で400°Cの温度で2時間熱処理した。さらにこの
粉体を60〜100pに整粒し、トリエタノールアミン
を加えてペースト化した。一方、ガス検知素子の基板と
して縦、f’i7iそれぞれ5朋、厚みQ、6MMのア
ルミナ基板を用、6−1〜、この表面にQ、5111N
の間隔に櫛形に金ペースト企印刷し、焼きつけて一対の
櫛形電極を形成した。そして、アルミナ基板の裏面には
金電極の間に市販の酸化ルテニウムのグレーズ抵抗体を
印刷121、焼きつけてヒータとした。
次に、上述のペーストを基板の表面に約70μの厚みに
印刷し、室温で自然乾燥させた後、400°Cの温度に
なるまで徐々に加熱し、この温度で1時間保持した。こ
の段階でペーストが蒸発し硫酸イオンを含有する酸化カ
ドミウム(CaO)の焼結膜になった。このガス感応体
の厚みは約66μであった。このようにしてガス検知素
子を得た。
印刷し、室温で自然乾燥させた後、400°Cの温度に
なるまで徐々に加熱し、この温度で1時間保持した。こ
の段階でペーストが蒸発し硫酸イオンを含有する酸化カ
ドミウム(CaO)の焼結膜になった。このガス感応体
の厚みは約66μであった。このようにしてガス検知素
子を得た。
またガス感応膜に含まれる硫酸イオン量の同定は、上記
の各ペーストの一部を、アルミナ基板に印刷するのでは
力く、ペーストのまま上述と同じ様に400’Cの温度
で徐加熱し、これをTG −DTムならびに螢光X線分
析にかけて行なった。また硫酸イオンの存在は実施例1
と同じく赤外線吸収スペクトルを分析することにより行
なった。
の各ペーストの一部を、アルミナ基板に印刷するのでは
力く、ペーストのまま上述と同じ様に400’Cの温度
で徐加熱し、これをTG −DTムならびに螢光X線分
析にかけて行なった。また硫酸イオンの存在は実施例1
と同じく赤外線吸収スペクトルを分析することにより行
なった。
このようにして得られた検知素子について、動作温度を
360°Cおよび460°Cの2点とした以外は実施例
1と同じ方法でガス感応特性を測定した。第2図e)〜
(d)は硫酸イオン含有量と各種可燃性ガスに対する感
度(R−71g)の関係を示す特性図であり、第2図(
a)はメタン、第2図(b)はプロパン、第2図(C)
は水素、第2図(d)はエタノールに対する特性を示し
ている。
360°Cおよび460°Cの2点とした以外は実施例
1と同じ方法でガス感応特性を測定した。第2図e)〜
(d)は硫酸イオン含有量と各種可燃性ガスに対する感
度(R−71g)の関係を示す特性図であり、第2図(
a)はメタン、第2図(b)はプロパン、第2図(C)
は水素、第2図(d)はエタノールに対する特性を示し
ている。
第2図から明らかなように、硫酸イオン(SO4−)が
0.006重量%以上含まれることにより、36゜’C
,450’Cのいずれの動作温度においてもガス感応特
性が飛躍的に向上していることがわかる。
0.006重量%以上含まれることにより、36゜’C
,450’Cのいずれの動作温度においてもガス感応特
性が飛躍的に向上していることがわかる。
(ただ、この硫酸イオンが10重量%を超えて含まれる
と、実施例1の場合と同様に特性が安定せず、また機械
的強度も弱くなり実用素子としては不適当であるため第
2図ではデータを記載していない。〕いまひとつ重要な
点は、動作温度によりてガス選択性が大幅に異る点であ
る。1例として硫酸イオンが0.5重量%含まれている
時の感度と動作温度の関係を第3図に示す。第3図から
明らかなように、350′Cの動作温度においてはエタ
ノールに対する感度が他のガスのそれに比べて著しく大
きく、エタノールに対する選択性が非常に高いことがわ
かる。一方、460′Cの動作温度においては逆にエタ
ノールに対する感度が非常に小 1さく、他の
メタン、プロパン及び水素に対する感度が相対的に極め
て大きくなっている。換言すれば、この素子は動作温度
を変えることによって、エタノールとそれ以外のガスと
の相対感度を容易に制御出来る特徴を持っているという
ことになる。
と、実施例1の場合と同様に特性が安定せず、また機械
的強度も弱くなり実用素子としては不適当であるため第
2図ではデータを記載していない。〕いまひとつ重要な
点は、動作温度によりてガス選択性が大幅に異る点であ
る。1例として硫酸イオンが0.5重量%含まれている
時の感度と動作温度の関係を第3図に示す。第3図から
明らかなように、350′Cの動作温度においてはエタ
ノールに対する感度が他のガスのそれに比べて著しく大
きく、エタノールに対する選択性が非常に高いことがわ
かる。一方、460′Cの動作温度においては逆にエタ
ノールに対する感度が非常に小 1さく、他の
メタン、プロパン及び水素に対する感度が相対的に極め
て大きくなっている。換言すれば、この素子は動作温度
を変えることによって、エタノールとそれ以外のガスと
の相対感度を容易に制御出来る特徴を持っているという
ことになる。
これは実用的な見地から見れば、動作温度を周期的に変
えるなり、あるいは動作温度の異る2つの素子を併用す
るなりの工夫をすることにより、エタノール乙それ以外
のガスとを容易に識別出来る機能を有したガス検知素子
を形成することができるということを意味するものでも
ある。この点も本発明の大きな効果のひとつであり、本
発明の効用範囲を天きく広げるものである。
えるなり、あるいは動作温度の異る2つの素子を併用す
るなりの工夫をすることにより、エタノール乙それ以外
のガスとを容易に識別出来る機能を有したガス検知素子
を形成することができるということを意味するものでも
ある。この点も本発明の大きな効果のひとつであり、本
発明の効用範囲を天きく広げるものである。
なお、上記各実施例においては、出発原料として酸化カ
ドミウム(CdO)の市販試薬を用いたが、本発明は側
ら出発原料や製造工法を限定するものではない。また特
性を向上させるために更に添JJII物を加えることも
勿論可能である。
ドミウム(CdO)の市販試薬を用いたが、本発明は側
ら出発原料や製造工法を限定するものではない。また特
性を向上させるために更に添JJII物を加えることも
勿論可能である。
以上述べたように、本発明のガス検知素子はガス感応体
の母材料である酸化カドミウム(CaO)が硫酸イオン
を含有することによりガス感応特性が飛躍的に向上し、
これまで貴金属触媒を用いずには微量検知が難かしいと
されてきたメタンガスに対しても非常に大きい感度を実
現し得るものである。これは都市ガスの天然ガス(主成
分:メタンガス)化に伴って要求が大きくなりつつある
社会ニーズに的確に対応するものであり、その効果は極
めて大なるものがある。またすでに述べたように、動作
温度によってガス選択性を大幅に制御することが出来る
点も本発明の実用面から見た大きな効果である。このよ
うに、本発明のガス検知素子はますます重要性が増しつ
つある種4のガス防災分野に極めて大きな貢献をするも
のと期待される。
の母材料である酸化カドミウム(CaO)が硫酸イオン
を含有することによりガス感応特性が飛躍的に向上し、
これまで貴金属触媒を用いずには微量検知が難かしいと
されてきたメタンガスに対しても非常に大きい感度を実
現し得るものである。これは都市ガスの天然ガス(主成
分:メタンガス)化に伴って要求が大きくなりつつある
社会ニーズに的確に対応するものであり、その効果は極
めて大なるものがある。またすでに述べたように、動作
温度によってガス選択性を大幅に制御することが出来る
点も本発明の実用面から見た大きな効果である。このよ
うに、本発明のガス検知素子はますます重要性が増しつ
つある種4のガス防災分野に極めて大きな貢献をするも
のと期待される。
第1図くΔ) 、 (b)は本発明の一実施例における
硫酸イオン含有量と感度(Ra 71g) との関係
を示した特性図、第2図(&) 、 (b) 、 (C
) 、 ((1)は本発明の他の実施例におけるメタン
、プロパン、水素、エタノールの各可燃性ガスに対する
硫酸イオン含有量と感U (RlL 71g)の関係を
動作温度をパラメータにして表わした特性図、第3図は
同実施例における感度(R& 7 Rg)の動作温度依
存性の一例を示した特性図である。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 (Q+ λ丸−、イオンカ含膚量(tf’/−を第 1 図 (b) 各九由(イオシψ金有+t*f/、> 第2図 ((1) 句屹鹸イオンめ4;有−t<11%) 第21!1 +A) 石九禮斐イオ〉4含有量(! 童γOン
−第2図 (t’1 扶廼クイオンめ含有i<1 量%> 第2図 1(1)
硫酸イオン含有量と感度(Ra 71g) との関係
を示した特性図、第2図(&) 、 (b) 、 (C
) 、 ((1)は本発明の他の実施例におけるメタン
、プロパン、水素、エタノールの各可燃性ガスに対する
硫酸イオン含有量と感U (RlL 71g)の関係を
動作温度をパラメータにして表わした特性図、第3図は
同実施例における感度(R& 7 Rg)の動作温度依
存性の一例を示した特性図である。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 (Q+ λ丸−、イオンカ含膚量(tf’/−を第 1 図 (b) 各九由(イオシψ金有+t*f/、> 第2図 ((1) 句屹鹸イオンめ4;有−t<11%) 第21!1 +A) 石九禮斐イオ〉4含有量(! 童γOン
−第2図 (t’1 扶廼クイオンめ含有i<1 量%> 第2図 1(1)
Claims (2)
- (1)酸化カドミウム(CaO)を主成分とし、硫酸イ
オンが0.005〜10重量%含有されたものをガス感
応体として用いることを特徴とするガス検知素子。 - (2)感応体が加圧成型し焼成して得られる焼結体、ま
たはぺ−1ストを印刷して焼成して得られる焼結膜であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載のガ
ス検知素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57083442A JPS58200150A (ja) | 1982-05-17 | 1982-05-17 | ガス検知素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57083442A JPS58200150A (ja) | 1982-05-17 | 1982-05-17 | ガス検知素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58200150A true JPS58200150A (ja) | 1983-11-21 |
| JPS6160378B2 JPS6160378B2 (ja) | 1986-12-20 |
Family
ID=13802539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57083442A Granted JPS58200150A (ja) | 1982-05-17 | 1982-05-17 | ガス検知素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58200150A (ja) |
-
1982
- 1982-05-17 JP JP57083442A patent/JPS58200150A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6160378B2 (ja) | 1986-12-20 |
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