JPS58206182A - ガスレ−ザ電源 - Google Patents
ガスレ−ザ電源Info
- Publication number
- JPS58206182A JPS58206182A JP57089101A JP8910182A JPS58206182A JP S58206182 A JPS58206182 A JP S58206182A JP 57089101 A JP57089101 A JP 57089101A JP 8910182 A JP8910182 A JP 8910182A JP S58206182 A JPS58206182 A JP S58206182A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas laser
- output
- power supply
- laser
- reactor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明Ｑ−［ガスｂ（市励起にょるレーザの市ゆ；（に
関するものである１、 従来のレーザ電源においてレーザ出力を制御するために
は電源を直流化し放電電流制御素ｒ−を１月いるのが通
例であろ６、第１図にこの直流ｌｊ式の出力制御回路を
小寸１、四国において、１１′Ｆガスレーザ管で、電源
２の交流電圧を昇圧トランス３で４圧して整流器４で整
流し真空管５を介してガスレーザ管１の放電電極１ａ、
１ｂに］Ｊ＋＋えｌ’） ｔｒる１、レーザ光線出力１
Ｃは出力センサ６に与え、その出力を制御器７に加えて
真空管５のコンダクタンスを制御する。この構成では、
放電電圧が高い場合電流制御素子として半導体を用いる
ことがてきず高価で供給が困難な大型真空管を素子とし
で用いなければならない。またこの真空管５の部分での
電力損が大きくエネルギ効率が悪いなどの欠点がある。
関するものである１、 従来のレーザ電源においてレーザ出力を制御するために
は電源を直流化し放電電流制御素ｒ−を１月いるのが通
例であろ６、第１図にこの直流ｌｊ式の出力制御回路を
小寸１、四国において、１１′Ｆガスレーザ管で、電源
２の交流電圧を昇圧トランス３で４圧して整流器４で整
流し真空管５を介してガスレーザ管１の放電電極１ａ、
１ｂに］Ｊ＋＋えｌ’） ｔｒる１、レーザ光線出力１
Ｃは出力センサ６に与え、その出力を制御器７に加えて
真空管５のコンダクタンスを制御する。この構成では、
放電電圧が高い場合電流制御素子として半導体を用いる
ことがてきず高価で供給が困難な大型真空管を素子とし
で用いなければならない。またこの真空管５の部分での
電力損が大きくエネルギ効率が悪いなどの欠点がある。
一方、電源を交流のｉｔ用いろことも試みｌ’Ｊｌてい
る。この場合は電流制御にリアクタを用いることができ
著しいコストダウンを図ることができる。しかし電流制
御の範囲が構成リアクタの値によって限定されそのま＼
では希望のレーザ出力値に制御することが困難である。
る。この場合は電流制御にリアクタを用いることができ
著しいコストダウンを図ることができる。しかし電流制
御の範囲が構成リアクタの値によって限定されそのま＼
では希望のレーザ出力値に制御することが困難である。
本発明は交流放電リアクタ方式のこの欠点を解消した電
源を提供するもので、本発明を用いることによ−〕で極
めて広範囲の設定出力において安定出力かえられる凶ザ
を構成することができる３、以Ｔニー図面を用いて本発
明の一実施例を説明する。
源を提供するもので、本発明を用いることによ−〕で極
めて広範囲の設定出力において安定出力かえられる凶ザ
を構成することができる３、以Ｔニー図面を用いて本発
明の一実施例を説明する。
本発明の一実癩例を第２図に示す。図において、ガスレ
ーザ管１の放電電極１ａ、１ｂに夫々昇圧トランス３の
高圧側３ａの出力を接続する。図で←Ｌ直接接続する方
式を記したがこの間に第１図のように整流素子４を介在
させ一口派流電流にしてもよい。昇圧トランス３の低圧
側３ｂの入力は可変リアクタ８を介して交流電源（商用
電源）４に接続する。可変リアクタ８の制御巻線８ｂは
制御器９によって直重さねる。制御器９の入力にはレー
ザ管１の出力、レーザ丸線１Ｃを受けて電気出力を生じ
る出力センサ６を接続する。出力センサ６はレー・ザ出
力の平均ｆ１ｆ＋々いし実効値に対応する素子−を用い
る。これには出力センサ６の時定数を交流のリップル周
期より充分大きくとればよい。可変リアクタ８としては
電流制御型の可飽和リアクタを使用するとよい。公知の
ように可飽和リアクタは制御巻線８ｂの直流電流の量に
よって主巻線＆のインダクタンスを可変できるものであ
る。この構成によるとレーザ出力が増大したとき出力セ
ンサ６の出力電圧が増大し制御器９の出ツノ電流か／＋
、ｊｔ。
ーザ管１の放電電極１ａ、１ｂに夫々昇圧トランス３の
高圧側３ａの出力を接続する。図で←Ｌ直接接続する方
式を記したがこの間に第１図のように整流素子４を介在
させ一口派流電流にしてもよい。昇圧トランス３の低圧
側３ｂの入力は可変リアクタ８を介して交流電源（商用
電源）４に接続する。可変リアクタ８の制御巻線８ｂは
制御器９によって直重さねる。制御器９の入力にはレー
ザ管１の出力、レーザ丸線１Ｃを受けて電気出力を生じ
る出力センサ６を接続する。出力センサ６はレー・ザ出
力の平均ｆ１ｆ＋々いし実効値に対応する素子−を用い
る。これには出力センサ６の時定数を交流のリップル周
期より充分大きくとればよい。可変リアクタ８としては
電流制御型の可飽和リアクタを使用するとよい。公知の
ように可飽和リアクタは制御巻線８ｂの直流電流の量に
よって主巻線＆のインダクタンスを可変できるものであ
る。この構成によるとレーザ出力が増大したとき出力セ
ンサ６の出力電圧が増大し制御器９の出ツノ電流か／＋
、ｊｔ。
少する。従って可飽和リアクタ８の制御巻線８ｂの制御
電流が減少し主巻線８ａのインダクタンスが増加する。
電流が減少し主巻線８ａのインダクタンスが増加する。
このインダクタンスの増加によ−）て昇圧トランス３の
一次電圧は減少するので！ｊ１圧トシトランス３次電圧
も降下し放電電流が減少してレーザ出力が減衰する０こ
の負帰還作用によ−・てレーザ出力は結果的に一定値に
保たれ変動することがない。
一次電圧は減少するので！ｊ１圧トシトランス３次電圧
も降下し放電電流が減少してレーザ出力が減衰する０こ
の負帰還作用によ−・てレーザ出力は結果的に一定値に
保たれ変動することがない。
なお制御器９の設定条件をかえてその入出力コンダクタ
ンスを変えればレーザ出力の安定設定点を広範囲に変え
ることができる０ 以上のように、本発明は高圧側をガスレーザ管の放電電
極に接続した昇圧トランスの低圧側に可変リアクタを直
列に接続し、この可変リアクタのインダクタンスをレー
ザ出力によって匍制御することによってレーザ出力を安
定化せしめるものであり、簡易な部品構成で効率よく安
定なレーザシステムを構成しうるものである。
ンスを変えればレーザ出力の安定設定点を広範囲に変え
ることができる０ 以上のように、本発明は高圧側をガスレーザ管の放電電
極に接続した昇圧トランスの低圧側に可変リアクタを直
列に接続し、この可変リアクタのインダクタンスをレー
ザ出力によって匍制御することによってレーザ出力を安
定化せしめるものであり、簡易な部品構成で効率よく安
定なレーザシステムを構成しうるものである。
第１図は従来のガスレーザ電源の一例を示す結宋図、第
２図ｄ本発明の一実施例におけるガスレーザ電源を示す
結線図である。 １・・・・・・ガスレーザ管、１ａ、１ｂ・・・・・・
放電電極、２・・・・・・電源、３・・・・・・３″１
圧トランス、６・・・・・・出力センサ、８・・・・・
・可変リアクタ、９・・・・・・制御器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
２図ｄ本発明の一実施例におけるガスレーザ電源を示す
結線図である。 １・・・・・・ガスレーザ管、１ａ、１ｂ・・・・・・
放電電極、２・・・・・・電源、３・・・・・・３″１
圧トランス、６・・・・・・出力センサ、８・・・・・
・可変リアクタ、９・・・・・・制御器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
Claims (2)
- （１） ｌｊ、圧トランスの高圧側をカスレーザ管の
放電電極に接続し、低１１−側に交流電源およびｉ丁亥
リアクタを接続し、ガスレーザ管のレーザ出力に応じて
前記可変リアクタリインダクタンスを制御することを特
徴とするガスレーザ電源１゜ - （２） 可変りアクタとして電流制御型可飽和リアク
タを用いることを特徴とする特許、請求の範囲第１項記
載のガスレーザ電源３．
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57089101A JPS58206182A (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | ガスレ−ザ電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57089101A JPS58206182A (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | ガスレ−ザ電源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58206182A true JPS58206182A (ja) | 1983-12-01 |
| JPS6342433B2 JPS6342433B2 (ja) | 1988-08-23 |
Family
ID=13961493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57089101A Granted JPS58206182A (ja) | 1982-05-26 | 1982-05-26 | ガスレ−ザ電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58206182A (ja) |
-
1982
- 1982-05-26 JP JP57089101A patent/JPS58206182A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6342433B2 (ja) | 1988-08-23 |
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