JPS58211730A - 光学装置 - Google Patents
光学装置Info
- Publication number
- JPS58211730A JPS58211730A JP9487582A JP9487582A JPS58211730A JP S58211730 A JPS58211730 A JP S58211730A JP 9487582 A JP9487582 A JP 9487582A JP 9487582 A JP9487582 A JP 9487582A JP S58211730 A JPS58211730 A JP S58211730A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealed container
- lens
- optical
- observed
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/0088—Inverse microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光学顕微鏡に関し、特に密封容器内の物体を拡
大して密封容器外から観察できるように改良した光学顕
微鏡に関するものである。
大して密封容器外から観察できるように改良した光学顕
微鏡に関するものである。
たとえば真空容器などのように密封された容器内の物体
の像を拡大して外部から観察しようとする場合、光学顕
微鏡の使用と電子顕微鏡の使用とが考えられる。
の像を拡大して外部から観察しようとする場合、光学顕
微鏡の使用と電子顕微鏡の使用とが考えられる。
電子顕微鏡を用いて密封容器内の物体を拡大して観察す
る場合、被観察物体が電気絶縁性の物体であると観察が
困難であること、色情報が得られないこと、比較的高価
であること、操作に高度の熟練を要すること、観察の準
備作業に手数を要すること、等の不具合がある。
る場合、被観察物体が電気絶縁性の物体であると観察が
困難であること、色情報が得られないこと、比較的高価
であること、操作に高度の熟練を要すること、観察の準
備作業に手数を要すること、等の不具合がある。
光学顕微鏡を用いて密封容器内の物体を拡大して観察す
る場合、上記のような不具合を伴わないが、欠配のよう
な技術的不具合がある。
る場合、上記のような不具合を伴わないが、欠配のよう
な技術的不具合がある。
第１図は光学顕微鏡の原理的構成図である。１は対物レ
ンズ、２は接眼レンズ、３は照明用の光源、４はハーフ
ミラ−１５はコレクタレンズである。
ンズ、２は接眼レンズ、３は照明用の光源、４はハーフ
ミラ−１５はコレクタレンズである。
光源３を出た光はコレクタレンズ５によって集１０光さ
れ、ハーフミラ−４によって被観察物体７の方向に反射
され、対物レンズ１によって被観察物体７に照射される
。被観察物体７による反射光は対物レンズ１によって集
光され、ハーフミラ−４を通過して中間像Ｐを結像する
。この中間像Ｐを接眼レンズ２で拡大して観察すること
ができる。
れ、ハーフミラ−４によって被観察物体７の方向に反射
され、対物レンズ１によって被観察物体７に照射される
。被観察物体７による反射光は対物レンズ１によって集
光され、ハーフミラ−４を通過して中間像Ｐを結像する
。この中間像Ｐを接眼レンズ２で拡大して観察すること
ができる。
この構成において、対物レンズ１と被観察物体７との間
の距離りは、顕微鏡の倍率等によって異なるが一般に数
ミリメートル以下である。このため、仮想線で示しだよ
うに対物レンズ１と被観察物体７との間に真空容器の壁
に嵌め込んだ透明板４２を位置せしめて、この透明板４
２を介して観察することは極めて困難である。
の距離りは、顕微鏡の倍率等によって異なるが一般に数
ミリメートル以下である。このため、仮想線で示しだよ
うに対物レンズ１と被観察物体７との間に真空容器の壁
に嵌め込んだ透明板４２を位置せしめて、この透明板４
２を介して観察することは極めて困難である。
即ち、密封容器の壁の一部を透明板４２で構成して、こ
の透明板４２の外側に顕微鏡を置いて密封容器内の被観
察物体７の拡大像を観察しようとすると、前記の距離り
を大きくしなければならないのでレンズの製作が困難で
あり、倍率や解像度を犠性忙しなければならない。
の透明板４２の外側に顕微鏡を置いて密封容器内の被観
察物体７の拡大像を観察しようとすると、前記の距離り
を大きくしなければならないのでレンズの製作が困難で
あり、倍率や解像度を犠性忙しなければならない。
また、光学顕微鏡全体を密封容器内に収納して密封容器
外から観察することもできるが、この場合には例えばテ
レビカメラのような光電センサを用いて顕微鏡像を一旦
電気信号に変えて密封容器外に取り出さねばならないの
で密封容器を大形にしなければならず、その上、密封容
器内に多くの機器を設置するための不具合（例えば真空
容器の場合は真空度を害すること等）を誘発する。！！
た密封容器内に設置した顕微鏡による拡大像を光ファイ
バで密封容器外から観察しようとすると解像度の低下、
密封性の低下などの不具合を伴う。
外から観察することもできるが、この場合には例えばテ
レビカメラのような光電センサを用いて顕微鏡像を一旦
電気信号に変えて密封容器外に取り出さねばならないの
で密封容器を大形にしなければならず、その上、密封容
器内に多くの機器を設置するための不具合（例えば真空
容器の場合は真空度を害すること等）を誘発する。！！
た密封容器内に設置した顕微鏡による拡大像を光ファイ
バで密封容器外から観察しようとすると解像度の低下、
密封性の低下などの不具合を伴う。
本発明は上記の事情に鑑みて為され、密封容器を著しく
大形にするこ、となく、密封容器の密封性を損う膚れ無
く、保守管理容易で製造コストが安く、シかも優れた解
像度で密封容器内の被観察物体の拡大像を密封容器外か
ら観察し得る光学装置を提供することを目的とする。
大形にするこ、となく、密封容器の密封性を損う膚れ無
く、保守管理容易で製造コストが安く、シかも優れた解
像度で密封容器内の被観察物体の拡大像を密封容器外か
ら観察し得る光学装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明は密封容器の壁の一
部を透明板によって構成し、上記の透明板を介して密封
容器の内側に対物レンズを設けるとともに１密封容器の
外側に接眼レンズ及び照明光源を設けることを特徴とす
る。
部を透明板によって構成し、上記の透明板を介して密封
容器の内側に対物レンズを設けるとともに１密封容器の
外側に接眼レンズ及び照明光源を設けることを特徴とす
る。
第２図は本発明に係る光学顕微鏡の原理的説明図である
。
。
密封容器６の壁に窓状の開口部６ａを設けて透明板４２
を気密に嵌めこむ。
を気密に嵌めこむ。
上記の透明板４２を介して密封容器の内側に、被観察物
体７に対向せしめて対物レンズ８を設けるとともに密閉
容器の外側に接眼レンズ４１を設ける。
体７に対向せしめて対物レンズ８を設けるとともに密閉
容器の外側に接眼レンズ４１を設ける。
鎖線Ａは対物レンズ８と接眼レンズ４１とによって構成
される光学顕微鏡の光軸である。
される光学顕微鏡の光軸である。
上記の光軸Ａと４５°傾斜させてハーフミ２−３９を設
け、これに対向するごとく光軸Ａと直角方向の光軸Ｂを
有する照明手段５０を構成する。３６は上記照明手段５
０の光源、３７は同じくコレクタレンズである。
け、これに対向するごとく光軸Ａと直角方向の光軸Ｂを
有する照明手段５０を構成する。３６は上記照明手段５
０の光源、３７は同じくコレクタレンズである。
以上のように構成すると光源３６を出た照明光はコレク
タレンズ３７で集光され、ハーフミラ−３９で反射され
、透明板４２を通過して対物レンズ８によυ被観察物体
７０表面に集中的に照射される。被ｒ６１．測物体７に
よって反射された光は対物レンズ８によって集光され、
透明板４２及びハーフミラ−３９を通過して中間像Ｐを
結び、接眼レンズ４１によって拡大観察することができ
る。
タレンズ３７で集光され、ハーフミラ−３９で反射され
、透明板４２を通過して対物レンズ８によυ被観察物体
７０表面に集中的に照射される。被ｒ６１．測物体７に
よって反射された光は対物レンズ８によって集光され、
透明板４２及びハーフミラ−３９を通過して中間像Ｐを
結び、接眼レンズ４１によって拡大観察することができ
る。
以上のような基本的構成によれば、密封容器内に収納す
べき光学部材は対物レンズ８およびその（＝ｊ属部材（
図示せず）のみであるから密封容器を著しく大形にする
必要が無く、また密封容器の密封性を損う虞れも無い。
べき光学部材は対物レンズ８およびその（＝ｊ属部材（
図示せず）のみであるから密封容器を著しく大形にする
必要が無く、また密封容器の密封性を損う虞れも無い。
そして、接眼レンズ４１、ハーフミラ−３９、コレクタ
レンズ３７、及ヒ光源３６等、顕微鏡構成部材の大半は
密封容器外に設けであるため保守管理が容易である。そ
の上、テレビカメラ等の光電センサ、を設ける必要が無
いので製造：ｆｆス）が安く、光ファイバを用いないの
で光ファイバによる解像度低下を生じることが無い。
レンズ３７、及ヒ光源３６等、顕微鏡構成部材の大半は
密封容器外に設けであるため保守管理が容易である。そ
の上、テレビカメラ等の光電センサ、を設ける必要が無
いので製造：ｆｆス）が安く、光ファイバを用いないの
で光ファイバによる解像度低下を生じることが無い。
上述の原理を実地に適用するだめに構成した光学顕微鍵
装置の一実施例を第３図及び第４図について次に説明す
る。
装置の一実施例を第３図及び第４図について次に説明す
る。
第３図は本実施例の光路図、第４図は同断面図である。
説明の便宜上、先ず、第３図の光路図が前述の原理図（
第４図）と異なる点を抽出して説明する。
第４図）と異なる点を抽出して説明する。
（ａ）透明板４２°として光学ガラス板を用い、これを
光軸Ａに対して垂直な姿勢から催かに（数度程度）傾斜
させて設けである。これによシ、光学ガラス板４２で表
面反射した照明光の一部が接眼レンズ４１−に入射して
観測を妨げることを防止できる。
光軸Ａに対して垂直な姿勢から催かに（数度程度）傾斜
させて設けである。これによシ、光学ガラス板４２で表
面反射した照明光の一部が接眼レンズ４１−に入射して
観測を妨げることを防止できる。
（ｂ）被観測物体７による反射光を対物レンズ８により
、一旦、はぼ平行な光束Ｃとし、密封容器外に設けたリ
レーレンズ４０によって更に集光して中間像Ｐを結ばせ
る。このように構成すると被観測物体７の光像光束がほ
ぼ平行な光束Ｃの状態で光学ガラス板４２を通過するの
で、該光学ガラス板４２によるゴーストや収差を生じる
虞れが無い。
、一旦、はぼ平行な光束Ｃとし、密封容器外に設けたリ
レーレンズ４０によって更に集光して中間像Ｐを結ばせ
る。このように構成すると被観測物体７の光像光束がほ
ぼ平行な光束Ｃの状態で光学ガラス板４２を通過するの
で、該光学ガラス板４２によるゴーストや収差を生じる
虞れが無い。
次に、第４図について本実施例の具体的構造を説明する
。
。
６は密封された真空容器、７は被観察物体である。
真空容器６の壁面に窓状の開口部６ａを設けて光学ガラ
ス板４２を嵌めこむ。４３は気密を保つための０リング
、４４は押え枠である。
ス板４２を嵌めこむ。４３は気密を保つための０リング
、４４は押え枠である。
上記の光学ガラス板４２を介して真空容器６の内側に対
物レンズ８を設け、真空容器６の外側に接眼レンズ４１
および照明用の光源３６を設ける。
物レンズ８を設け、真空容器６の外側に接眼レンズ４１
および照明用の光源３６を設ける。
３９は第３図について説明した一ハーフミラー１３７ハ
同シくコレクタレンズ、４０は同じくリレーレンズであ
る。
同シくコレクタレンズ、４０は同じくリレーレンズであ
る。
次に述べるようにして、（イ）顕微鏡のピント調節のた
めに対物レンズ８を光軸入方向に前後進せめる手段、お
よび、（ロ）顕微鏡の視野を移動させるために対物レン
ズ８を光軸Ａと直角方向に移動させる手段、並びに、（
ハ）上記の対物レンズの移動と連動するように、真空容
器６の光学系を光軸Ａと直角方向に移動させる手段を構
成する。
めに対物レンズ８を光軸入方向に前後進せめる手段、お
よび、（ロ）顕微鏡の視野を移動させるために対物レン
ズ８を光軸Ａと直角方向に移動させる手段、並びに、（
ハ）上記の対物レンズの移動と連動するように、真空容
器６の光学系を光軸Ａと直角方向に移動させる手段を構
成する。
対物レンズ８を鏡胴８ａに固定し、この鏡胴８ａを案内
筒ｌＯによシ光軸方向に摺動自在に案内する。
筒ｌＯによシ光軸方向に摺動自在に案内する。
上記の案内筒１０はスライドブロック９に固定しである
。上記の鏡胴８ａの側面にビン１１を突設し、案内筒１
０に穿った長孔１２と摺動自在に嵌合させて、光軸Ａ方
向の移動を許容して光軸Ａの回りの回動を係止する。
。上記の鏡胴８ａの側面にビン１１を突設し、案内筒１
０に穿った長孔１２と摺動自在に嵌合させて、光軸Ａ方
向の移動を許容して光軸Ａの回りの回動を係止する。
上記と別体にピント調節用のＬ杉板１３を形成しピン１
６によりブラケット１５に回動自在に枢支する。
６によりブラケット１５に回動自在に枢支する。
上記り彫版１３の水平腕の先端に長孔１４を形成して前
記のビン１１と摺動自在に嵌合させる。このＬ杉板１３
とブロック１７との間にバネ１８を介装係着してＬ杉板
１３を図示左回り方向に付勢し、長孔１４及びピン１１
を介して鏡胴８ａを下降せしめる方向に付勢する。
記のビン１１と摺動自在に嵌合させる。このＬ杉板１３
とブロック１７との間にバネ１８を介装係着してＬ杉板
１３を図示左回り方向に付勢し、長孔１４及びピン１１
を介して鏡胴８ａを下降せしめる方向に付勢する。
前記のブロック１７にネジ孔１７ａを穿ち、ネジ杆１９
を螺合貫挿する。上記のネジ杆１９の左端がＬ半板１３
の垂直腕に当接するように構成し、かつ該ネジ杆１９の
右端は真空容器６の壁を貫いて外側に突出させ、その突
出端にツマミ２１を固着する。２ｏけ気密を保つための
Ｏリングである。
を螺合貫挿する。上記のネジ杆１９の左端がＬ半板１３
の垂直腕に当接するように構成し、かつ該ネジ杆１９の
右端は真空容器６の壁を貫いて外側に突出させ、その突
出端にツマミ２１を固着する。２ｏけ気密を保つための
Ｏリングである。
以上の構成により、ツマミ２１を回すとネジ杆１９が左
右方向に移動し、Ｌ杉板１３を回動させて対物レンズ８
の鐘胴８ａを上下方向（光軸方向）に前後進せしめる。
右方向に移動し、Ｌ杉板１３を回動させて対物レンズ８
の鐘胴８ａを上下方向（光軸方向）に前後進せしめる。
前記のスライドブロック９をペース２２により図示左右
方向の摺動自在に支承するとともに、このスライドブロ
ック９にネジ孔２３ａを穿ったネジブロック２３を固着
する。２４は上記のネジブロック２３に螺合した送りネ
ジ、である。上記の送りネジ２４の右端は真空容器６の
壁を貫いて突出させ、その突出端にギヤ２７を固着する
。２６は気密を保つための０リング、２５は送りネジ２
４のスラスト方向の移動を係止するための上輪である。
方向の摺動自在に支承するとともに、このスライドブロ
ック９にネジ孔２３ａを穿ったネジブロック２３を固着
する。２４は上記のネジブロック２３に螺合した送りネ
ジ、である。上記の送りネジ２４の右端は真空容器６の
壁を貫いて突出させ、その突出端にギヤ２７を固着する
。２６は気密を保つための０リング、２５は送りネジ２
４のスラスト方向の移動を係止するための上輪である。
一方、真空容器６外の光学系部材を搭載するためのプレ
ート３４を形成し、このプレート３４上に接眼レンズ４
１、ＩＪシレーンズ４０、ハーフミラ−３９、光源３６
、及びコレクタレンズ３７を固定する。３５は光源３６
及びコレクタレンズ３７を収納してなる照明手段の鏡胴
、３８はリレーレンズ４０及びハーフミラ−３９を収納
した鏡胴である。
ート３４を形成し、このプレート３４上に接眼レンズ４
１、ＩＪシレーンズ４０、ハーフミラ−３９、光源３６
、及びコレクタレンズ３７を固定する。３５は光源３６
及びコレクタレンズ３７を収納してなる照明手段の鏡胴
、３８はリレーレンズ４０及びハーフミラ−３９を収納
した鏡胴である。
前記のプレート３４にネジ孔３３ａを穿った連動用のネ
ジブロック３３を固着し、連動用の送りネジ３０を螺合
する。
ジブロック３３を固着し、連動用の送りネジ３０を螺合
する。
前記の送シネジ２４と同３０とは、等ピンチに形成し、
かつ、いずれか一方を右ネジ、他方を左ネジとする。３
１は送りネジ３０を支承するブラケット、３２は送りネ
ジ３０のスラスト方向の移動を係止する上輪である。上
記の送りネジ３０に、前記のギヤ２７と同じ歯数のギヤ
２８を固着してギヤ２７と噛合せしめ、かつ、該送りネ
ジ３０の右端にツマミ２９を固着する。
かつ、いずれか一方を右ネジ、他方を左ネジとする。３
１は送りネジ３０を支承するブラケット、３２は送りネ
ジ３０のスラスト方向の移動を係止する上輪である。上
記の送りネジ３０に、前記のギヤ２７と同じ歯数のギヤ
２８を固着してギヤ２７と噛合せしめ、かつ、該送りネ
ジ３０の右端にツマミ２９を固着する。
以上のように構成した本実施例の装置は、ツマミ２１を
手で回すと対物レンズ８が光軸方向に前後進してピント
調節をすることができ、ツマミ２９を手で回すと対物レ
ンズ８、及び、その他の光学系部材を搭載したプレート
３４が、同時に同方向に等速で、図示左右方向にネジ送
りされて被観察物体７の観察個所を変えることができる
ので便利であり、迅速かつ容易に操作し得る。
手で回すと対物レンズ８が光軸方向に前後進してピント
調節をすることができ、ツマミ２９を手で回すと対物レ
ンズ８、及び、その他の光学系部材を搭載したプレート
３４が、同時に同方向に等速で、図示左右方向にネジ送
りされて被観察物体７の観察個所を変えることができる
ので便利であり、迅速かつ容易に操作し得る。
次に応用例について述べる。
中間像Ｐの結像点にテレビカメラを設置すると被観察物
体の拡大像を映像信号に齋換することができ、遠隔観察
や映ｌ記録などに利用できる。また、光源３６に代えて
レーザ発信器（図示せず）を設置するとともに被観測物
体７の取付位置に被加工物をセットすれば、レーザー光
による微細加工を打力うこともできる。
体の拡大像を映像信号に齋換することができ、遠隔観察
や映ｌ記録などに利用できる。また、光源３６に代えて
レーザ発信器（図示せず）を設置するとともに被観測物
体７の取付位置に被加工物をセットすれば、レーザー光
による微細加工を打力うこともできる。
以上駅、明したように、本発明は、密封容器の壁の一部
を透明板によって構成し、上記の透明板を介して密封容
器の内側に対物レンズを設けるとともに、密封容器の外
側に接眼レンズおよび照明光源を設けることにより、密
封容器を著しく大形にすることなく、密封容器の密封性
を損う虞れ無く、優れた解像度で密封容器内の被観察物
体の拡大像を密封容器外から観察することができ、しか
も製造コストが安く、操作及び保守管理が容易である。
を透明板によって構成し、上記の透明板を介して密封容
器の内側に対物レンズを設けるとともに、密封容器の外
側に接眼レンズおよび照明光源を設けることにより、密
封容器を著しく大形にすることなく、密封容器の密封性
を損う虞れ無く、優れた解像度で密封容器内の被観察物
体の拡大像を密封容器外から観察することができ、しか
も製造コストが安く、操作及び保守管理が容易である。
第１１は一般に用い、られている光学Ｗ４微釧の原理的
構成図、第、２図は本発明に係る光学装置の原理的構成
図、第３図及び第４図は本発明に係る光学装置の一実施
例を示し、第３図は光路図、第４図は断面図である。 ６・・・密封容器である真空容器、７・・・被観察物体
、８・・・対物レンズ、 ８ａ・・・同鏡胴、９・・・
スライドブロック、１０・・・案内筒、１１・・・ピン
、１２．１４・・・長孔、１３・・・Ｌ杉板、】５・・
・ブラケット、１６・・・ピン、１７・・・ブロック、
１８・・・バネ、１９・・・ネジ杆、２０，２６，４３
・・・０リンク、２１，２９・・・ツマミ、２２・・・
ペース、２３・・・ネジブロック、２４・・・送シネジ
、２５．３２・・・車輪、２７．２８・・・ギヤ、３０
・・・送りネジ、３１・・・ブラケット、３３・・・ネ
ジブロック、３４・・・グレート、３５・・・鏡胴、３
６・・・光源、３７・・・コレクタレンズ、３８・・・
鏡胴、３９・・・ハーフミラ−１４０・・・リレーレン
ズ、４１・・・接眼レンズ、４２・・・透明板である光
学ガラス板、４４・・・押さえ枠、５０・・・照明手段
。 代理人 弁理士 秋 本 正 実第１図 第２図 〜 第３図 ヅ 第４図
構成図、第、２図は本発明に係る光学装置の原理的構成
図、第３図及び第４図は本発明に係る光学装置の一実施
例を示し、第３図は光路図、第４図は断面図である。 ６・・・密封容器である真空容器、７・・・被観察物体
、８・・・対物レンズ、 ８ａ・・・同鏡胴、９・・・
スライドブロック、１０・・・案内筒、１１・・・ピン
、１２．１４・・・長孔、１３・・・Ｌ杉板、】５・・
・ブラケット、１６・・・ピン、１７・・・ブロック、
１８・・・バネ、１９・・・ネジ杆、２０，２６，４３
・・・０リンク、２１，２９・・・ツマミ、２２・・・
ペース、２３・・・ネジブロック、２４・・・送シネジ
、２５．３２・・・車輪、２７．２８・・・ギヤ、３０
・・・送りネジ、３１・・・ブラケット、３３・・・ネ
ジブロック、３４・・・グレート、３５・・・鏡胴、３
６・・・光源、３７・・・コレクタレンズ、３８・・・
鏡胴、３９・・・ハーフミラ−１４０・・・リレーレン
ズ、４１・・・接眼レンズ、４２・・・透明板である光
学ガラス板、４４・・・押さえ枠、５０・・・照明手段
。 代理人 弁理士 秋 本 正 実第１図 第２図 〜 第３図 ヅ 第４図
Claims (1)
- 密封容器の壁の一部を透明板によって構成し、上記の透
明板を介して密封容器の内側に対物レンズを設けるとと
もに、密封容器の外側に接眼レンズおよび光源を設けた
ことを特徴とする光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9487582A JPS58211730A (ja) | 1982-06-04 | 1982-06-04 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9487582A JPS58211730A (ja) | 1982-06-04 | 1982-06-04 | 光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58211730A true JPS58211730A (ja) | 1983-12-09 |
Family
ID=14122218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9487582A Pending JPS58211730A (ja) | 1982-06-04 | 1982-06-04 | 光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58211730A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0185814U (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-07 | ||
| EP1630586A4 (en) * | 2003-06-02 | 2010-03-31 | Nikon Corp | MICROSCOPE |
-
1982
- 1982-06-04 JP JP9487582A patent/JPS58211730A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0185814U (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-07 | ||
| EP1630586A4 (en) * | 2003-06-02 | 2010-03-31 | Nikon Corp | MICROSCOPE |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3721827A (en) | Arrangement for automatically focussing an optical instrument | |
| CN100368764C (zh) | 测量机 | |
| JPH0129020B2 (ja) | ||
| JPS61275713A (ja) | 顕微鏡 | |
| KR100272329B1 (ko) | 비디오 마이크로스코프 | |
| US7745786B2 (en) | Method and apparatus allowing simultaneous direct observation and electronic capture of scintillation images in an electron microscope | |
| US7888643B2 (en) | Focusing and positioning device for a particle-optical raster microscope | |
| US4640577A (en) | Image fiber with a mechanism for rotating a field of view | |
| US4523094A (en) | Evaluation device for electron-optical images | |
| CN86106926A (zh) | 光电扫描头 | |
| JPS58211730A (ja) | 光学装置 | |
| JPH07324923A (ja) | 被験表面にテストパターンを投影する装置 | |
| US5013915A (en) | Transmission type electron microscope | |
| GB2070274A (en) | Optical device for injecting light spot | |
| US2838601A (en) | Optical system | |
| US2526144A (en) | View finder for television cameras | |
| JP3148355B2 (ja) | 照明装置 | |
| JPH06133201A (ja) | 固体影像記録装置 | |
| GB2247085A (en) | Process of harmonization between the axis of an aiming telescope and that of a heat camera. | |
| US4185297A (en) | Color separation optical system for color television camera | |
| US3225140A (en) | Combination motion picture and television camera | |
| JPH03246861A (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
| US2528923A (en) | Means for facilitating the focusing of certain devices comprising a projection system, such as microphotometers | |
| SE7713957L (sv) | Bildrorelsekompenserande anordning for syftlinjestabilisering av bildatergivningssystem | |
| US3972621A (en) | Apparatus for stabilizing a line of sight |