JPS58215728A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPS58215728A JPS58215728A JP9701382A JP9701382A JPS58215728A JP S58215728 A JPS58215728 A JP S58215728A JP 9701382 A JP9701382 A JP 9701382A JP 9701382 A JP9701382 A JP 9701382A JP S58215728 A JPS58215728 A JP S58215728A
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- coil
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- magnetic recording
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- Pending
Links
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は基体に強磁性体金属を斜めに付着してなる磁気
記録媒体の製造装置に関する。
記録媒体の製造装置に関する。
プラスチックフィルム等の基体に強磁性体金属を斜めに
付着した磁気記録媒体は、従来の塗布型に比べて、抗磁
力や角形比9.磁気記録密度が優れており、最近、実用
化されるようになってきた。
付着した磁気記録媒体は、従来の塗布型に比べて、抗磁
力や角形比9.磁気記録密度が優れており、最近、実用
化されるようになってきた。
ところで、基体に強磁性体金属を斜めに付着するには1
通常、基体を長手方向あるいは幅方向に斜めに走行させ
、その途中で、下方に配置した蒸発源から強磁性体金属
を蒸発させて行なっている。
通常、基体を長手方向あるいは幅方向に斜めに走行させ
、その途中で、下方に配置した蒸発源から強磁性体金属
を蒸発させて行なっている。
しかしながら、高抗磁力等を得るためには1強磁性体金
属の基体に対する入射角度を大きくする必要があり、そ
のために、蒸発した強磁性体金属のうち基体に付着して
磁性体層を形成するのに寄与する割合が非常に低く、蒸
発効率が小さいという欠点があった。
属の基体に対する入射角度を大きくする必要があり、そ
のために、蒸発した強磁性体金属のうち基体に付着して
磁性体層を形成するのに寄与する割合が非常に低く、蒸
発効率が小さいという欠点があった。
本発明は1以上の欠点を改良し蒸着効率を向上しつる磁
気記録媒体の製造装置の提供を目的とするものである。
気記録媒体の製造装置の提供を目的とするものである。
本発明は、上記の目的を達成するために、蒸発源と基体
との間に基体の法線に対して中心軸が斜めになるように
コイルを配置し、該コイルに発生する磁界により前記基
体に強磁性体金属を斜めに付着する磁気記録媒体の製造
装置を提供するものである。
との間に基体の法線に対して中心軸が斜めになるように
コイルを配置し、該コイルに発生する磁界により前記基
体に強磁性体金属を斜めに付着する磁気記録媒体の製造
装置を提供するものである。
以下9本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図において、1は真空装置であり、10Torr程度の
真空度に保持されている。2は供給ローラでありポリエ
ステル等の高分子フィルムからなる基体3が巻かれてい
る。4は巻取ローラであり、供給ローラ2かも送り出さ
れた基体6を最終的に巻き取るものである。5は蒸発源
であり、鉄やコバルト、ニッケル等の強磁性体金属糸・
が収納されている。7は基体3と蒸発源5との間に設け
られた度をなすように配置されている。8はソレノイド
コイル7に接続された高周波電源であり、ソレノイドコ
イル7に交流電流を流して磁界を発生させるものである
。9は冷却板であり1強磁性体金属6が付着した後の基
体6を冷却するものである。
真空度に保持されている。2は供給ローラでありポリエ
ステル等の高分子フィルムからなる基体3が巻かれてい
る。4は巻取ローラであり、供給ローラ2かも送り出さ
れた基体6を最終的に巻き取るものである。5は蒸発源
であり、鉄やコバルト、ニッケル等の強磁性体金属糸・
が収納されている。7は基体3と蒸発源5との間に設け
られた度をなすように配置されている。8はソレノイド
コイル7に接続された高周波電源であり、ソレノイドコ
イル7に交流電流を流して磁界を発生させるものである
。9は冷却板であり1強磁性体金属6が付着した後の基
体6を冷却するものである。
すなわち、基体6を供給ローラから巻取ローラ4に向っ
て平行に走行させる途中において、蒸発源5かも蒸発し
た強磁性体金属6を付着させるもので、ソレノイドコイ
ル7の中心軸が基体の前面に、基体3の法線に対して所
定の角度を成し、高周波電源8によりソレノイドコイル
7に磁界が発生しているので、蒸発した強磁性体金属6
は蒸発方向が曲げられ、基体に対して斜めに付着する。
て平行に走行させる途中において、蒸発源5かも蒸発し
た強磁性体金属6を付着させるもので、ソレノイドコイ
ル7の中心軸が基体の前面に、基体3の法線に対して所
定の角度を成し、高周波電源8によりソレノイドコイル
7に磁界が発生しているので、蒸発した強磁性体金属6
は蒸発方向が曲げられ、基体に対して斜めに付着する。
この場合、基体6を傾げて走行させる必要がないので、
蒸発源5かも蒸発した強磁性体金属6の大部分が基体3
に付着して磁性体層を形成するのに寄与するために蒸着
効率が良い。
蒸発源5かも蒸発した強磁性体金属6の大部分が基体3
に付着して磁性体層を形成するのに寄与するために蒸着
効率が良い。
なお、上記実施例においては2強磁性体金属の方向を変
えるのに、ソレノイドコイルを用いたが。
えるのに、ソレノイドコイルを用いたが。
他に例えば高周波コイル等を用いてもよく、同様な効果
が得られる。
が得られる。
以上の通り1本発明によれば、コイルに発生する磁界に
より強磁性体金属の蒸発方向を変えて基体に斜め蒸着す
るので、蒸着効率を従来よりもはるかに向上し5る磁気
記録媒体の製造装置が得られる。
より強磁性体金属の蒸発方向を変えて基体に斜め蒸着す
るので、蒸着効率を従来よりもはるかに向上し5る磁気
記録媒体の製造装置が得られる。
図は本発明の実施例の断面図を示す。
3・・・・・・基体、5・・・・・・蒸発源。
6・・・・・・強磁性体金属、7・・・・・・ソレノイ
ドコイル。
ドコイル。
Claims (1)
- (1) 蒸発源に収納した強磁性体金を基体に斜めに
付着する磁気記録媒体の製造装置において。 蒸発源と基体との間に基体の法線に対して中心軸が斜め
になるようにコイルを配置し、該コイルに発生する磁界
により前記基体に強磁性体金属を斜めに付着する磁気記
録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9701382A JPS58215728A (ja) | 1982-06-08 | 1982-06-08 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9701382A JPS58215728A (ja) | 1982-06-08 | 1982-06-08 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58215728A true JPS58215728A (ja) | 1983-12-15 |
Family
ID=14180442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9701382A Pending JPS58215728A (ja) | 1982-06-08 | 1982-06-08 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58215728A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5744230A (en) * | 1980-08-28 | 1982-03-12 | Sekisui Chem Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
-
1982
- 1982-06-08 JP JP9701382A patent/JPS58215728A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5744230A (en) * | 1980-08-28 | 1982-03-12 | Sekisui Chem Co Ltd | Production of magnetic recording medium |
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