JPH0125142B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0125142B2 JPH0125142B2 JP9923782A JP9923782A JPH0125142B2 JP H0125142 B2 JPH0125142 B2 JP H0125142B2 JP 9923782 A JP9923782 A JP 9923782A JP 9923782 A JP9923782 A JP 9923782A JP H0125142 B2 JPH0125142 B2 JP H0125142B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- substrate
- ferromagnetic metal
- center
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 22
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は冷却用のキヤンの構造を改良した磁気
記録媒体の製造装置に関するものである。
記録媒体の製造装置に関するものである。
プラスチツクフイルム等の基体に鉄やコバルト
等の強磁性体金属を斜めに付着した磁気記録媒体
は従来の塗布型に比べて抗磁力及び角形比とも大
きく、最近、実用化されるようになつてきた。
等の強磁性体金属を斜めに付着した磁気記録媒体
は従来の塗布型に比べて抗磁力及び角形比とも大
きく、最近、実用化されるようになつてきた。
ところで、この磁気記録媒体は基体に強磁性体
金属が付着した際及びその後の条件によつて磁気
特性が大きく変化し、一定の磁気特性を有するも
のを得ることが非常に困難である。
金属が付着した際及びその後の条件によつて磁気
特性が大きく変化し、一定の磁気特性を有するも
のを得ることが非常に困難である。
例えば、帯状の基体を走行させながら強磁性体
金属を付着させる場合、蒸発源を基体の巾方向の
中央に位置させ、強磁性体金属を蒸発させてい
る。そのために基体の中央に付着する強磁性体金
属の温度が高く、基体の中央部の温度が両端付近
よりも高くなる。強磁性体金属が付着した後、基
体は冷却用のキヤンの周面に沿つて走行させられ
冷却される。しかしながら、従来のキヤンは周面
の温度が場所によらずに一定であり、このような
キヤンにより基体が冷却されても中央部分は両端
付近よりも温度が高く保持され、中央と両端近傍
とで強磁性体層の磁気特性が相違する欠点があ
る。
金属を付着させる場合、蒸発源を基体の巾方向の
中央に位置させ、強磁性体金属を蒸発させてい
る。そのために基体の中央に付着する強磁性体金
属の温度が高く、基体の中央部の温度が両端付近
よりも高くなる。強磁性体金属が付着した後、基
体は冷却用のキヤンの周面に沿つて走行させられ
冷却される。しかしながら、従来のキヤンは周面
の温度が場所によらずに一定であり、このような
キヤンにより基体が冷却されても中央部分は両端
付近よりも温度が高く保持され、中央と両端近傍
とで強磁性体層の磁気特性が相違する欠点があ
る。
本発明は上記の欠点を改良し、強磁性体金属付
着後の基体の温度差を是正し磁気特性を向上しう
る磁気記録媒体の製造装置の提供を目的とするも
のである。
着後の基体の温度差を是正し磁気特性を向上しう
る磁気記録媒体の製造装置の提供を目的とするも
のである。
本発明は上記の目的を達成するために、両端付
近よりも中央部の方がより温度の低い冷却用キヤ
ンを有する磁気記録媒体の製造装置を提供するも
のである。
近よりも中央部の方がより温度の低い冷却用キヤ
ンを有する磁気記録媒体の製造装置を提供するも
のである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図において、１は円筒状の真空装置であ
り、10-5Torr程度の真空度に保持されている。
２は帯状のプラスチツクフイルム等の基体３を供
給しうる供給ローラである。４は基体３を最終的
に巻き取るための巻取ローラである。５は円筒状
の冷却用キヤンであり、基体３がその周面に沿つ
て走行されるものである。冷却用キヤン５は、第
２図に示す通り、冷却媒体の注入孔６と排気孔７
とを中心近傍に有する第１のドラム８と、排気孔
９を有する第２のドラム１０とが内部の両端に分
けて配置され、排気孔７と排気孔９とは排気管１
１により接続され、排気孔７の他端は冷却用キヤ
ン５外部に出ている排気管１２に接続され、注入
孔６は冷却用キヤン５外部に引き出されている注
入管１３に接続され、さらに冷却用キヤン５の排
気管１２及び注入管１３に設けられている端面に
さらに排気管１４が設けられる構造になつてい
る。１５は蒸発源であり、鉄やコバルト、ニツケ
ル等の強磁性体金属１６が収納され冷却用キヤン
５の下方で供給ローラ２よりに配置されている。
１７は冷却用キヤン５の真下に配置されたマスク
である。
り、10-5Torr程度の真空度に保持されている。
２は帯状のプラスチツクフイルム等の基体３を供
給しうる供給ローラである。４は基体３を最終的
に巻き取るための巻取ローラである。５は円筒状
の冷却用キヤンであり、基体３がその周面に沿つ
て走行されるものである。冷却用キヤン５は、第
２図に示す通り、冷却媒体の注入孔６と排気孔７
とを中心近傍に有する第１のドラム８と、排気孔
９を有する第２のドラム１０とが内部の両端に分
けて配置され、排気孔７と排気孔９とは排気管１
１により接続され、排気孔７の他端は冷却用キヤ
ン５外部に出ている排気管１２に接続され、注入
孔６は冷却用キヤン５外部に引き出されている注
入管１３に接続され、さらに冷却用キヤン５の排
気管１２及び注入管１３に設けられている端面に
さらに排気管１４が設けられる構造になつてい
る。１５は蒸発源であり、鉄やコバルト、ニツケ
ル等の強磁性体金属１６が収納され冷却用キヤン
５の下方で供給ローラ２よりに配置されている。
１７は冷却用キヤン５の真下に配置されたマスク
である。
すなわち、供給ローラ２から送り出された基体
３が冷却用キヤン５まで斜めに下方に走行し、そ
の途中において、蒸発源１５から蒸発した強磁性
体金属が付着し磁性体層を形成する。強磁性体金
属の付着後、基体３の反対面が冷却用キヤン５の
周面に沿つて走行する。冷却用キヤン５には冷却
媒体が注入管１３から注入され第１のドラム８の
注入孔６を通つて冷却用キヤン５の中央に排気さ
れる。排出された冷却媒体は第１のドラム８と冷
却用キヤン５の内周面との間及び第２のドラム１
０と冷却用キヤン５の内周面の間を通り、両端面
に送られ排気孔９、排気管１１、排気孔７及び排
気管１２並びに排気管１４を通して排出される。
従つて、中央部近傍が最も冷却されており、両端
に近づくに従つて温度が上昇していく。基体３は
この冷却用キヤン５に沿つて走行するので、特に
高温に加熱されている部分が最も低い温度で冷却
され、端部に近づくにつれより高い温度で冷却さ
れるので、基体３が均等に冷却される。冷却用キ
ヤン５により冷却された基体３は最終的に巻取ロ
ーラ４により巻き取られる。
３が冷却用キヤン５まで斜めに下方に走行し、そ
の途中において、蒸発源１５から蒸発した強磁性
体金属が付着し磁性体層を形成する。強磁性体金
属の付着後、基体３の反対面が冷却用キヤン５の
周面に沿つて走行する。冷却用キヤン５には冷却
媒体が注入管１３から注入され第１のドラム８の
注入孔６を通つて冷却用キヤン５の中央に排気さ
れる。排出された冷却媒体は第１のドラム８と冷
却用キヤン５の内周面との間及び第２のドラム１
０と冷却用キヤン５の内周面の間を通り、両端面
に送られ排気孔９、排気管１１、排気孔７及び排
気管１２並びに排気管１４を通して排出される。
従つて、中央部近傍が最も冷却されており、両端
に近づくに従つて温度が上昇していく。基体３は
この冷却用キヤン５に沿つて走行するので、特に
高温に加熱されている部分が最も低い温度で冷却
され、端部に近づくにつれより高い温度で冷却さ
れるので、基体３が均等に冷却される。冷却用キ
ヤン５により冷却された基体３は最終的に巻取ロ
ーラ４により巻き取られる。
以上の通り、本発明によれば、冷却用キヤンに
より基体が均等に冷却されるので、磁気特性の均
一で安定した磁気記録媒体の製造装置が得られ
る。
より基体が均等に冷却されるので、磁気特性の均
一で安定した磁気記録媒体の製造装置が得られ
る。
第１図は本発明の実施例の正面断面図、第２図
は第１図に用いる冷却用キヤンの断面図を示す。 １……真空装置、２……供給ローラ、３……基
体、４……巻取ローラ、５……冷却用キヤン、１
５……蒸発源、１６……強磁性体金属。
は第１図に用いる冷却用キヤンの断面図を示す。 １……真空装置、２……供給ローラ、３……基
体、４……巻取ローラ、５……冷却用キヤン、１
５……蒸発源、１６……強磁性体金属。
Claims (1)
- １ 基体に強磁性体金属を斜めに付着し、前記基
体をキヤンにより冷却する磁気記録媒体の製造装
置において、両端付近よりも中央部の方がより温
度の低い冷却用キヤンを有する磁気記録媒体の製
造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9923782A JPS58218046A (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9923782A JPS58218046A (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58218046A JPS58218046A (ja) | 1983-12-19 |
| JPH0125142B2 true JPH0125142B2 (ja) | 1989-05-16 |
Family
ID=14242073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9923782A Granted JPS58218046A (ja) | 1982-06-11 | 1982-06-11 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58218046A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5868309B2 (ja) * | 2012-12-21 | 2016-02-24 | 株式会社神戸製鋼所 | 基材搬送ロール |
| JP6508054B2 (ja) * | 2013-10-25 | 2019-05-08 | コニカミノルタ株式会社 | 成膜方法及び成膜装置 |
-
1982
- 1982-06-11 JP JP9923782A patent/JPS58218046A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58218046A (ja) | 1983-12-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0125142B2 (ja) | ||
| US5723212A (en) | Magnetic recording medium manufacturing method and manufacturing apparatus and magnetic recording medium | |
| JPS63277750A (ja) | 薄膜形成方法 | |
| JPS6032127A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS58215728A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JP2629847B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0132174Y2 (ja) | ||
| JPH0626018B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH06101029A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH0479065B2 (ja) | ||
| JPS60147933A (ja) | 磁気記録媒体製造装置 | |
| JPS59207030A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPH0125143B2 (ja) | ||
| JPS59201225A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPS58222439A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| KR890005011B1 (ko) | 자기기록매체와 그 제조방법 및 장치 | |
| JPS5894134A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS59172164A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| KR900002610B1 (ko) | 고내식성 자성층을 갖는 자기기록 매체 및 그 자성층 형성방법 | |
| JPS58133372A (ja) | イオンプレ−テイング装置 | |
| JPS57138056A (en) | Manufacture for magnetic recording medium | |
| JPS58118034A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0765372A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及びその装置 | |
| JPH10219459A (ja) | プラズマｃｖｄ装置およびこれを用いた磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6056917U (ja) | 磁気記録媒体の製造用装置 |