JPS58223701A - 光源位置測定装置 - Google Patents
光源位置測定装置Info
- Publication number
- JPS58223701A JPS58223701A JP57106820A JP10682082A JPS58223701A JP S58223701 A JPS58223701 A JP S58223701A JP 57106820 A JP57106820 A JP 57106820A JP 10682082 A JP10682082 A JP 10682082A JP S58223701 A JPS58223701 A JP S58223701A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- center
- motion
- calculator
- surface sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
′本発明は光源位置測定装置に関するものである。
例えばカラーブラウン管のパネル内面に赤、緑。
青３色に発光する螢光体層からなる螢光面を形成する工
程に用いられる露光台に内装される光源は、螢光面を形
成するパネルとの相対位置が極めて重要であり、との相
対位置に誤差があると、カラーブラウン管にした段階で
色ずれなどの不良発生の要因と力ってくる１、 このため、従来は第１図に示すように光源（１）を内装
する霧光台（２）上に標準位置に螢光体層を有する螢光
面（３）が被着形成され、シャドウマスク（４）が装着
されたパネル（５）、即ち標準パネルを装着し、このパ
ネル（５）の外面から顕微鋺（６）を介して肉眼（７）
によりシャドウマスクの電子ビーム通過孔部を通過して
螢光面（３）に投射される光源（１）の位置と、所定の
螢光体位置とを比較観測しパネル（５）と光源（１）の
ずれを判断し、これらパネル（５）と光源（１）の相対
位置を調整したのち使用する方法がとられていた。
程に用いられる露光台に内装される光源は、螢光面を形
成するパネルとの相対位置が極めて重要であり、との相
対位置に誤差があると、カラーブラウン管にした段階で
色ずれなどの不良発生の要因と力ってくる１、 このため、従来は第１図に示すように光源（１）を内装
する霧光台（２）上に標準位置に螢光体層を有する螢光
面（３）が被着形成され、シャドウマスク（４）が装着
されたパネル（５）、即ち標準パネルを装着し、このパ
ネル（５）の外面から顕微鋺（６）を介して肉眼（７）
によりシャドウマスクの電子ビーム通過孔部を通過して
螢光面（３）に投射される光源（１）の位置と、所定の
螢光体位置とを比較観測しパネル（５）と光源（１）の
ずれを判断し、これらパネル（５）と光源（１）の相対
位置を調整したのち使用する方法がとられていた。
しかるにこの方法では標準パネルを使用するため、この
標準パネルが劣化しゃすく、たびたび交換しなければな
らないばかりでなく、調整作業上でも顕微鏡（６）の視
野と倍率との関係でパネル（５）と光源（１）との相対
的位置ずれの測定精度が良くないし、また測定者の個人
差もあり測定時間もかかるという問題点があった。
標準パネルが劣化しゃすく、たびたび交換しなければな
らないばかりでなく、調整作業上でも顕微鏡（６）の視
野と倍率との関係でパネル（５）と光源（１）との相対
的位置ずれの測定精度が良くないし、また測定者の個人
差もあり測定時間もかかるという問題点があった。
またディスプレイ用などに使用されるカラー受像管のよ
うに丸形の、微細な電子ビーム通過孔部により微細な螢
光体層を形成する場合、露光装置の光源としては理論的
には点光源が最良となるが通常は光源の寿命や光量の問
題により線光源を薗転や振動させる々どの処理をしてい
るため、第１図に示すような測定方法では極めて測定が
困難となる問題点、があった。
うに丸形の、微細な電子ビーム通過孔部により微細な螢
光体層を形成する場合、露光装置の光源としては理論的
には点光源が最良となるが通常は光源の寿命や光量の問
題により線光源を薗転や振動させる々どの処理をしてい
るため、第１図に示すような測定方法では極めて測定が
困難となる問題点、があった。
あり、面センサを使用］−て定量的に測定することによ
り、光源とパネルの相対位置を調整するのに必要々デー
タを容易かつ正確に枡供することが可能な光源位置測定
装置を枡供することを目的としている。
り、光源とパネルの相対位置を調整するのに必要々デー
タを容易かつ正確に枡供することが可能な光源位置測定
装置を枡供することを目的としている。
即ち、本発明の光源位置測定装置は、光源の光Ｉ中心位
置を算出可能な面センサと、この面センサ上に光源の像
を結ばせるピンホールと、面センサからの信号を受け、
光量中心座標を算出し、光源の運動の軌跡の幾何学的中
心を演算する運動中心演算器と、光源の運動の誤差を演
算する誤差演算器と、記憶された標準の光源運動軌跡の
幾何学中心と運動中心演算器の測定結果を比較し差を求
める比較器と、この比較器の演算結果及びまたは偏心量
演算器の演算結果を表示する表示器とからなり、光源位
置に関する情報を直ちに提供し得るように１−たことを
特徴としている。
置を算出可能な面センサと、この面センサ上に光源の像
を結ばせるピンホールと、面センサからの信号を受け、
光量中心座標を算出し、光源の運動の軌跡の幾何学的中
心を演算する運動中心演算器と、光源の運動の誤差を演
算する誤差演算器と、記憶された標準の光源運動軌跡の
幾何学中心と運動中心演算器の測定結果を比較し差を求
める比較器と、この比較器の演算結果及びまたは偏心量
演算器の演算結果を表示する表示器とからなり、光源位
置に関する情報を直ちに提供し得るように１−たことを
特徴としている。
次に本発明の光源位置測定装置の一実施例を第２図乃至
第５図により説明する。
第５図により説明する。
先ず第２図は実施例に使用されるセンサ部Ｑｌの断面を
示したものであり、一端部に所定径のピンホール（１１
）１ｉｌ−有するピンホール板（Ｉり、他端部に面セン
サ（１３ｆ：取付けた台座（１４）を有する鏡筒（１鴨
から構成され、矢印ａＱ力方向らくる光源からの光はピ
ンホール写真の原理に基き、光源の像が面センサ（１り
上に再現される。面センサ（１３は光源の像のいわゆる
重心を求めることが可能なもの、例えば固体撮像ｙ子や
ポジションセンサ（商品名、浜松テレ、ビ株式会社製）
などが使用されている。
示したものであり、一端部に所定径のピンホール（１１
）１ｉｌ−有するピンホール板（Ｉり、他端部に面セン
サ（１３ｆ：取付けた台座（１４）を有する鏡筒（１鴨
から構成され、矢印ａＱ力方向らくる光源からの光はピ
ンホール写真の原理に基き、光源の像が面センサ（１り
上に再現される。面センサ（１３は光源の像のいわゆる
重心を求めることが可能なもの、例えば固体撮像ｙ子や
ポジションセンサ（商品名、浜松テレ、ビ株式会社製）
などが使用されている。
次に第３図により回転光源とセンサ部（ＩＩの関係を説
明するー 即ち、回転光源は通常の線光源ａａ’を径の大きなカバ
ー（２２１） （２２ｓ）で有効部分を制限するよ）に
なっており、線光源Ｑυとカバー（２２１） （２２鵞
）の径の違いは、この間に線光源（２０の冷却水を通す
ための図示しないガラスチューブが有るためであり、こ
のカバー（２２１） （２２ｔ）間の中心（２４を軸と
して水平面上で回転するようになっている。
明するー 即ち、回転光源は通常の線光源ａａ’を径の大きなカバ
ー（２２１） （２２ｓ）で有効部分を制限するよ）に
なっており、線光源Ｑυとカバー（２２１） （２２鵞
）の径の違いは、この間に線光源（２０の冷却水を通す
ための図示しないガラスチューブが有るためであり、こ
のカバー（２２１） （２２ｔ）間の中心（２４を軸と
して水平面上で回転するようになっている。
このような線光源０１１に対してセンサ部Ｏｎを軸（至
）が線光源の中心（２）にくるように例えば支持スタン
ドなどを露光装置のパネル載置台や露光装置近傍に固定
すると、必然的に軸（ハ）と線光源ｃ２１）の長手方向
とはある角度をもって斜交されることになるためセンサ
部（ｌｕｌｌ内に設けられた面センサＯ１上にはカバー
（２２１） （２２りの影響により実線（２５ｔ ）
（２５ｔ）間の線光源ＱＯの像が画かれることになり、
この時の線光源００の中心いわゆる重心翰の位置は軸（
ハ）と線光源とのなす角によって決まる間隔Ｖ）を有す
ることになる。
）が線光源の中心（２）にくるように例えば支持スタン
ドなどを露光装置のパネル載置台や露光装置近傍に固定
すると、必然的に軸（ハ）と線光源ｃ２１）の長手方向
とはある角度をもって斜交されることになるためセンサ
部（ｌｕｌｌ内に設けられた面センサＯ１上にはカバー
（２２１） （２２りの影響により実線（２５ｔ ）
（２５ｔ）間の線光源ＱＯの像が画かれることになり、
この時の線光源００の中心いわゆる重心翰の位置は軸（
ハ）と線光源とのなす角によって決まる間隔Ｖ）を有す
ることになる。
第３図を基にして線光源１２０を水平面上で第４図に示
すように（ａ） −（ｂ） →（ｅ） −（ｄ） −（
ｅ） →（ｆ） −（ｇ） −（ｈ） −（ａ）と矢印
方向０１）に１回転した時重心の軌跡０邊は２回転する
ことになり、この軌跡Ｇ３は回転光源と同転軸の偏心が
ない場合一般に楕円運動するが偏心している時には不規
則な二重円を描くことになり面センサからの信号はこれ
に応じたものとなる１、次に第５図により面センサから
の信号処置のブロック図を説明する。
すように（ａ） −（ｂ） →（ｅ） −（ｄ） −（
ｅ） →（ｆ） −（ｇ） −（ｈ） −（ａ）と矢印
方向０１）に１回転した時重心の軌跡０邊は２回転する
ことになり、この軌跡Ｇ３は回転光源と同転軸の偏心が
ない場合一般に楕円運動するが偏心している時には不規
則な二重円を描くことになり面センサからの信号はこれ
に応じたものとなる１、次に第５図により面センサから
の信号処置のブロック図を説明する。
即ち面センサ＠９の信号はＡ／Ｄ変換器（４３でデジタ
ル化し、各測定タイミング時の光源の重心位置全重心位
置計算器（４３で求めそのうち１軸の出力より例えばピ
ークを探すことによって光源の回転速度を求め回転判別
器０４を介して重心運動追跡器（４！９に貯えられる。
ル化し、各測定タイミング時の光源の重心位置全重心位
置計算器（４３で求めそのうち１軸の出力より例えばピ
ークを探すことによって光源の回転速度を求め回転判別
器０４を介して重心運動追跡器（４！９に貯えられる。
次に計算に必要カデータ範囲を定め運１中心演算器ｆ４
６１により光源の重心の運動の幾何学的中心を求め、更
に偏心量を偏心量演算器（４ηにより演算し、その結果
を表示器４通に表示する。
６１により光源の重心の運動の幾何学的中心を求め、更
に偏心量を偏心量演算器（４ηにより演算し、その結果
を表示器４通に表示する。
また別に標準値記憶器０１に記憶している標準の光源運
動軌跡の幾何学的中心とを比較器（３８）により比較し
差を求める演算を行ない表示器（５０）へ表示すること
もできる。
動軌跡の幾何学的中心とを比較器（３８）により比較し
差を求める演算を行ない表示器（５０）へ表示すること
もできる。
前記実施例は面センサ（３１）１個の場合について述ぺ
たがこのような光源位置測定装置を１つの光源に対して
３組以上同時に用いることにより、光源の３次元のずれ
及び回転ずれを正確に求めることが可能であるし、また
光源を振動させる時もそのまま適用できる。
たがこのような光源位置測定装置を１つの光源に対して
３組以上同時に用いることにより、光源の３次元のずれ
及び回転ずれを正確に求めることが可能であるし、また
光源を振動させる時もそのまま適用できる。
本発明の光源位置測定装置を使用することにより、光源
の位置ずれや偏心等のデータを定量的に速く測定するこ
とが可能であり、また測定精度もよく、測定者の個人差
も解消でき光源の位置調整に時間がかからないなどの効
果があるのでその工業的価値は極めて大である。
の位置ずれや偏心等のデータを定量的に速く測定するこ
とが可能であり、また測定精度もよく、測定者の個人差
も解消でき光源の位置調整に時間がかからないなどの効
果があるのでその工業的価値は極めて大である。
第１図は従来の光源位置測定方法の一例を示す説明図、
第２図乃至第５図は本発明の光源位置測定装置の一実施
例を示す図であり、第２図はセンサ部の断面図、第３図
は光源とセンサ部の関係を示す説明図、第４図は光源の
回転とこの回転による光源の重心の軌跡を示す説明図、
第５図は面センサからの信号の処理系を示すブロック図
である。 ■、２１ ・・・光源 ２・・・露光台３・・
・螢光面 ４・・・シャドウマスク５・・・パ
ネル ６・・・顕微鏡１０・・・センサ部１１
・・・ピンポール１３・・・面セン−？ ２２
、２２ｒ、 ２：ｈ ・・・カバー３２・・・重心
の軌跡 代理人 弁理士 井 上 −男 第 １ 図 第 ２ 図 ／θ 第４区 ｗｉ５図
第２図乃至第５図は本発明の光源位置測定装置の一実施
例を示す図であり、第２図はセンサ部の断面図、第３図
は光源とセンサ部の関係を示す説明図、第４図は光源の
回転とこの回転による光源の重心の軌跡を示す説明図、
第５図は面センサからの信号の処理系を示すブロック図
である。 ■、２１ ・・・光源 ２・・・露光台３・・
・螢光面 ４・・・シャドウマスク５・・・パ
ネル ６・・・顕微鏡１０・・・センサ部１１
・・・ピンポール１３・・・面セン−？ ２２
、２２ｒ、 ２：ｈ ・・・カバー３２・・・重心
の軌跡 代理人 弁理士 井 上 −男 第 １ 図 第 ２ 図 ／θ 第４区 ｗｉ５図
Claims (1)
- 光源の光量中心位置を算出可能な面センサと、前記面セ
ンサ上に前、配光源の（Ｉ を結ばせるピンホールと、
前記面センサからの信号を受は光量中心座標を算出し、
前記光源の運動の軌跡の幾伺学的中心を演算する運動中
心演算器と、前記光源の運動の誤差全演算する偏心量演
算器と、記憶された標準の光源運動軌跡の幾伺学的中心
と前記運動中心演算器、からの測定結果を比較し差を求
める比較器と、この比較器の演算結果及びまたは前記偏
心量演算器の演算結果を表示する表示器とを具備するこ
とを特徴とする光源位置測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57106820A JPS58223701A (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | 光源位置測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57106820A JPS58223701A (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | 光源位置測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58223701A true JPS58223701A (ja) | 1983-12-26 |
Family
ID=14443433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57106820A Pending JPS58223701A (ja) | 1982-06-23 | 1982-06-23 | 光源位置測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58223701A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55159539A (en) * | 1979-05-30 | 1980-12-11 | Toshiba Corp | Source position meter for exposure base |
-
1982
- 1982-06-23 JP JP57106820A patent/JPS58223701A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55159539A (en) * | 1979-05-30 | 1980-12-11 | Toshiba Corp | Source position meter for exposure base |
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