JPS5822933A - 耐圧防爆形絶対圧力変換器 - Google Patents
耐圧防爆形絶対圧力変換器Info
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- JPS5822933A JPS5822933A JP12138681A JP12138681A JPS5822933A JP S5822933 A JPS5822933 A JP S5822933A JP 12138681 A JP12138681 A JP 12138681A JP 12138681 A JP12138681 A JP 12138681A JP S5822933 A JPS5822933 A JP S5822933A
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- JP
- Japan
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- pressure
- liquid
- diaphragm
- chamber
- absolute pressure
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- Pending
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/141—Monolithic housings, e.g. molded or one-piece housings
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、耐圧防爆形絶対圧力変換器に係り、特に半導
体絶対圧力センサを用いた耐圧防爆形絶対圧力変換器に
関するものである。
体絶対圧力センサを用いた耐圧防爆形絶対圧力変換器に
関するものである。
この棺の絶対圧力変換器の従来例を第１図に示す。第１
図において、（１）は本体ケーシングで、厚肉筒状をな
し、１端にはプロセス流体と接する隔液ダイアフラム（
２）が固定リング（３）ヲ介して溶接固定されており、
他端には★板（４）が溶接されている。
図において、（１）は本体ケーシングで、厚肉筒状をな
し、１端にはプロセス流体と接する隔液ダイアフラム（
２）が固定リング（３）ヲ介して溶接固定されており、
他端には★板（４）が溶接されている。
（５）ハセンサハウジングで、有底円筒状をなし、本体
ケーシング（１）内を二つの室に分割するように開口端
を隔液ダイアフラム（２）に向けて本体ケーシング（１
）に気密に内嵌固定され底部に中心孔（６）ヲ有すると
ともに円筒内壁にその軸線方向に気密に貫通取着された
複数の気密端子（７）を具えている。（８）はシリコン
台で、中心孔を有する円板状ｔｌ−なし、センサハウジ
ング（５）の底部の中心孔（６）に内嵌固定されたパイ
プ状の支持部材（９）を介し七ンサノ１ウジング（５）
の内面と離間して同心的に支持されて−る。
ケーシング（１）内を二つの室に分割するように開口端
を隔液ダイアフラム（２）に向けて本体ケーシング（１
）に気密に内嵌固定され底部に中心孔（６）ヲ有すると
ともに円筒内壁にその軸線方向に気密に貫通取着された
複数の気密端子（７）を具えている。（８）はシリコン
台で、中心孔を有する円板状ｔｌ−なし、センサハウジ
ング（５）の底部の中心孔（６）に内嵌固定されたパイ
プ状の支持部材（９）を介し七ンサノ１ウジング（５）
の内面と離間して同心的に支持されて−る。
ａｌｌＩｈｌｌＩｈ受圧ダイマスラム部に凹所を有する
シリコン単結晶からなり、シリコン台（８）の隔液ダイ
アフラム（２）に対向する面に凹所を有する面が当接固
着されている。受圧ダイア７ラム（１（Ｉの凹所を有す
る面と反対の面にはこの受圧ダイアフラムと異なる導電
形の不純物を拡散して拡散ストレインゲージ抵抗０υが
複数形成されている。これらの拡散ストレインゲージ抵
抗０υにはそれぞれ電極層ａ７Ｊが設けられ、これらの
電極層０２とセンナハウジング（５）の複数の気密端子
（７）の１端との間はそれぞれ金線などの導体峙で結線
されている。かくして、受圧ダイアフラムＱ（１，拡散
ストレインゲージ抵抗０υ、シリコン台（８）は半導体
絶対圧力センサを構成する。センサハウジング（５）と
蓋板（４）で囲まれた室（１４１に突出している複数の
気密端子（７）の他端にはそれぞれ出力リード線ａ９が
接続され、室α◆に連通した導出口αｅからハーメチッ
クシールαηｔ−介シて・外部に導出され図示してぃな
一電気回路へ接続されている。そして、室０４を真空に
するとともに、隔り室賭にはクリコンオイルのような封
入液（１１を充填する。
シリコン単結晶からなり、シリコン台（８）の隔液ダイ
アフラム（２）に対向する面に凹所を有する面が当接固
着されている。受圧ダイア７ラム（１（Ｉの凹所を有す
る面と反対の面にはこの受圧ダイアフラムと異なる導電
形の不純物を拡散して拡散ストレインゲージ抵抗０υが
複数形成されている。これらの拡散ストレインゲージ抵
抗０υにはそれぞれ電極層ａ７Ｊが設けられ、これらの
電極層０２とセンナハウジング（５）の複数の気密端子
（７）の１端との間はそれぞれ金線などの導体峙で結線
されている。かくして、受圧ダイアフラムＱ（１，拡散
ストレインゲージ抵抗０υ、シリコン台（８）は半導体
絶対圧力センサを構成する。センサハウジング（５）と
蓋板（４）で囲まれた室（１４１に突出している複数の
気密端子（７）の他端にはそれぞれ出力リード線ａ９が
接続され、室α◆に連通した導出口αｅからハーメチッ
クシールαηｔ−介シて・外部に導出され図示してぃな
一電気回路へ接続されている。そして、室０４を真空に
するとともに、隔り室賭にはクリコンオイルのような封
入液（１１を充填する。
かかる構成の絶対圧力変換器において、隔液ダイアフラ
ム（２）に圧力Ｐが印加されると封入液Ｑ！Ｊを介して
受圧ダイア７うＡＱＩに応力を受けるため、受圧ダイア
フラム〔ａの表面に形成された拡散ストレインゲージ抵
抗ａυの抵抗値が変化する。この抵抗値変化は、受圧ダ
イアフラムＱ（Ｉの凹所を有する面がパイプ状支持部材
（９）ヲ介して室ａ４に連通し真空になっているため真
空を基準とした絶対圧に対応しているので、ホイートス
トンブリッジ回路を構成して絶対圧力に対応した電圧変
化を検出することができる。
ム（２）に圧力Ｐが印加されると封入液Ｑ！Ｊを介して
受圧ダイア７うＡＱＩに応力を受けるため、受圧ダイア
フラム〔ａの表面に形成された拡散ストレインゲージ抵
抗ａυの抵抗値が変化する。この抵抗値変化は、受圧ダ
イアフラムＱ（Ｉの凹所を有する面がパイプ状支持部材
（９）ヲ介して室ａ４に連通し真空になっているため真
空を基準とした絶対圧に対応しているので、ホイートス
トンブリッジ回路を構成して絶対圧力に対応した電圧変
化を検出することができる。
しかしながら、この従来例の絶対圧力変換器においては
、真空基準室ａ４がセンサハウジング（５）、本体ケー
シング（１）、蓋板（４）等によって構成され、また内
部ＶＣはリード巌α＄も包含しているため、これらの各
構成部分を同一条件で同一のクリーンネスに仕上るのが
難しく、真空基準室０４を高真空にして封じ込んでも、
時間が鮭過するにつれて各構成部の壁からインナーガス
が放出され、徐々に真空度が低下する欠点があった。こ
のため、ゼロ点ドリフトヲ生じたり、数十Ｔｏｒｒ
以下の絶対圧力を測定する場合などに精度良く計れない
等の問題があった。
、真空基準室ａ４がセンサハウジング（５）、本体ケー
シング（１）、蓋板（４）等によって構成され、また内
部ＶＣはリード巌α＄も包含しているため、これらの各
構成部分を同一条件で同一のクリーンネスに仕上るのが
難しく、真空基準室０４を高真空にして封じ込んでも、
時間が鮭過するにつれて各構成部の壁からインナーガス
が放出され、徐々に真空度が低下する欠点があった。こ
のため、ゼロ点ドリフトヲ生じたり、数十Ｔｏｒｒ
以下の絶対圧力を測定する場合などに精度良く計れない
等の問題があった。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、真空基
準室を受圧ダイアフラムの凹所とシリコン台とで囲まれ
た空間あるいはこの空間に連通させ次パイプ状支持部材
の内部空間と前記空間を合わせた空間のいずれか一方に
設け、すなわち真空基準室を構成要素を最小に限定して
インナーガスの放出による真空度の低下を極力回避する
ことによりゼロ点の長期安定性に優れ、且つ低い絶対圧
力も測定可能とし、さらにセンサノ・ウジングと蓋板と
で囲まれた室にも封入液を充填するととにより気密端子
と出力リード線との接続部への爆発性ガスの侵入防止機
能を高めて耐圧防爆性を向上した耐圧防爆形絶対圧力変
換器を提供するものである。
準室を受圧ダイアフラムの凹所とシリコン台とで囲まれ
た空間あるいはこの空間に連通させ次パイプ状支持部材
の内部空間と前記空間を合わせた空間のいずれか一方に
設け、すなわち真空基準室を構成要素を最小に限定して
インナーガスの放出による真空度の低下を極力回避する
ことによりゼロ点の長期安定性に優れ、且つ低い絶対圧
力も測定可能とし、さらにセンサノ・ウジングと蓋板と
で囲まれた室にも封入液を充填するととにより気密端子
と出力リード線との接続部への爆発性ガスの侵入防止機
能を高めて耐圧防爆性を向上した耐圧防爆形絶対圧力変
換器を提供するものである。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。第２
図は本発明の一実施例を示す断面図である。なお、＃Ｉ
１図と同等部分［ｉｊ同一符号を付し詳細説明全省略す
る。票２図にお９て、半導体絶対圧力センサを構成して
いる受圧ダイアフラム００は、中央部に導圧のための孔
を有しない円板状のシリコン台Ｑ１）に凹所を有する面
を当接させて真空中でガラス融着等によ）接合される。
図は本発明の一実施例を示す断面図である。なお、＃Ｉ
１図と同等部分［ｉｊ同一符号を付し詳細説明全省略す
る。票２図にお９て、半導体絶対圧力センサを構成して
いる受圧ダイアフラム００は、中央部に導圧のための孔
を有しない円板状のシリコン台Ｑ１）に凹所を有する面
を当接させて真空中でガラス融着等によ）接合される。
したかつて受圧ダイアフラム顛の凹所とシリコン台ＱＤ
とで真空基準室（２）が形成される。そして、シリコン
台Ｑυの受圧ダイアフラムａ・に対向した面と反対側の
面の中央部のざぐりｃ！１にパイプ状支持部材−の１端
を固着し、このパイプ状支持部材（財）をセンナハウジ
ング（５）の中心孔（６） Ｋ内嵌して固定することに
より、受圧ダイアフラム（ＩＩおよびシリコン台Ｑυは
センサハウジング（５）の内面から離間して同心的にセ
ンサハウジング（５）に絶縁されて固着される。隔液ダ
イアフラム（２）とセンサハウジング（５）で囲まれた
室α場にはシリコンオイルのような封入液Ｑ！Ｊを充填
するとともに、センサハウジング（５）と蓋板（ハ）で
囲まれたｕａ４にもシリコンオイルのような封入液匈を
充填する。なお、蓋板（ハ）は金属板で作られ、固定リ
ング（２）を介して本体ケーシング（１）Ｋ溶接されて
いる。
とで真空基準室（２）が形成される。そして、シリコン
台Ｑυの受圧ダイアフラムａ・に対向した面と反対側の
面の中央部のざぐりｃ！１にパイプ状支持部材−の１端
を固着し、このパイプ状支持部材（財）をセンナハウジ
ング（５）の中心孔（６） Ｋ内嵌して固定することに
より、受圧ダイアフラム（ＩＩおよびシリコン台Ｑυは
センサハウジング（５）の内面から離間して同心的にセ
ンサハウジング（５）に絶縁されて固着される。隔液ダ
イアフラム（２）とセンサハウジング（５）で囲まれた
室α場にはシリコンオイルのような封入液Ｑ！Ｊを充填
するとともに、センサハウジング（５）と蓋板（ハ）で
囲まれたｕａ４にもシリコンオイルのような封入液匈を
充填する。なお、蓋板（ハ）は金属板で作られ、固定リ
ング（２）を介して本体ケーシング（１）Ｋ溶接されて
いる。
上記のように構成された本発明一実施例の耐圧防爆形絶
対圧力変換器では、隔液ダイアフラム（２）Ｋ圧力Ｐが
加わると、圧力Ｐは封入液ａ優を伝わ夛、受圧ダイアフ
ラムｔｔｏに応力が発生する。拡散ストレインゲージ抵
抗Ｉが形成されている面の凹所に真空基準室臼が形成さ
れているため、拡散ストレインゲージ抵抗０１）ｌ−ｊ
真空と圧力Ｐとの差圧を検出しそれに対応して抵抗値変
化が生じる。したがって、ホイートストーンブリッジ回
路を構成してやると絶対圧力を電圧の変化に変換するこ
とができる。センサーハウジング（５）と１板（ハ）で
囲まれた室ａ４に充填された封入液＠は、万一蓋板（ハ
）と本体ケーシング（１）との溶接にリークがあ、つ喪
場合にもガスよりリークしにくいので室α◆内へ爆発性
ガスが浸入することを防ぐことができ、室（１４内の気
密端子（７）と出力リード線（ハ）との接続部等におけ
る火花発生に対する肪爆性能を向上することができる。
対圧力変換器では、隔液ダイアフラム（２）Ｋ圧力Ｐが
加わると、圧力Ｐは封入液ａ優を伝わ夛、受圧ダイアフ
ラムｔｔｏに応力が発生する。拡散ストレインゲージ抵
抗Ｉが形成されている面の凹所に真空基準室臼が形成さ
れているため、拡散ストレインゲージ抵抗０１）ｌ−ｊ
真空と圧力Ｐとの差圧を検出しそれに対応して抵抗値変
化が生じる。したがって、ホイートストーンブリッジ回
路を構成してやると絶対圧力を電圧の変化に変換するこ
とができる。センサーハウジング（５）と１板（ハ）で
囲まれた室ａ４に充填された封入液＠は、万一蓋板（ハ
）と本体ケーシング（１）との溶接にリークがあ、つ喪
場合にもガスよりリークしにくいので室α◆内へ爆発性
ガスが浸入することを防ぐことができ、室（１４内の気
密端子（７）と出力リード線（ハ）との接続部等におけ
る火花発生に対する肪爆性能を向上することができる。
本発明による耐圧防爆形絶対圧力変換器では、真空基準
室（２）が受圧ダイアフラムＱｌとシリコン台１２Ｎ）
との接合と同時に形成されるので比較的容易に半導体絶
対圧力センナが得られること、また、受圧ダイアフラム
（ＩＱおよびシリコン台ｃ１１は半導体製造工程中で非
常にクリーンな状態に保たれており、真空基準室（２）
の形成後は、インナーガスの放出が極めて少なく安定し
た真空基準が得られる。このためゼロ点の長期安定性に
優れ、且つ低ｉ絶対圧力の測定も可能となる。また、室
α４に封入液＠を充填し念ことにより、万一蓋板（ハ）
と本体ケーシング（１）との溶接にリークがあつ念場合
にも爆発性ガスの室α尋への浸入が防止され、本体ケー
シング（１）内部の導電部分は全て封入液中に浸漬され
るようにした友め耐圧防爆性が向上された。
室（２）が受圧ダイアフラムＱｌとシリコン台１２Ｎ）
との接合と同時に形成されるので比較的容易に半導体絶
対圧力センナが得られること、また、受圧ダイアフラム
（ＩＱおよびシリコン台ｃ１１は半導体製造工程中で非
常にクリーンな状態に保たれており、真空基準室（２）
の形成後は、インナーガスの放出が極めて少なく安定し
た真空基準が得られる。このためゼロ点の長期安定性に
優れ、且つ低ｉ絶対圧力の測定も可能となる。また、室
α４に封入液＠を充填し念ことにより、万一蓋板（ハ）
と本体ケーシング（１）との溶接にリークがあつ念場合
にも爆発性ガスの室α尋への浸入が防止され、本体ケー
シング（１）内部の導電部分は全て封入液中に浸漬され
るようにした友め耐圧防爆性が向上された。
なお、本発明は第２図に示した実施例に限らず、例えば
第３図のように実施することもできる。第２図の実施例
と異なる個所のみ抽出して説明すれば、半導体絶対圧力
センナを構成するシリコン台（８）は中心に貫通孔を有
し、この貫通孔に１端を挿入固着されたパイプ状支持部
材（９）によシセンサハウジング（５）に支持され九構
造で、受圧ダイアフラム囲の凹所はパイプ状支持部材（
９）の内部空間と連通している。そして、パイプ状支持
部材（９）のセンサーハウジング（５）の底部から室Ｉ
に突出している先端にガラスチューブＯＩを気密に取シ
付け、このガラスチューブ（至）から内部の空間を真空
引きした後、ガラスチューブ（至）の端部を封じ切るこ
とにより真空基準室０υを形成している。その後、蓋板
（ハ）を固定リングｃＲヲ介して本体ケーシング（１）
に溶接し、室ａ◆内に封入液＠を充填する。このような
構成の耐圧防爆形絶対圧力変換器も第２図の実施例と同
等な効果を得ることができる。
第３図のように実施することもできる。第２図の実施例
と異なる個所のみ抽出して説明すれば、半導体絶対圧力
センナを構成するシリコン台（８）は中心に貫通孔を有
し、この貫通孔に１端を挿入固着されたパイプ状支持部
材（９）によシセンサハウジング（５）に支持され九構
造で、受圧ダイアフラム囲の凹所はパイプ状支持部材（
９）の内部空間と連通している。そして、パイプ状支持
部材（９）のセンサーハウジング（５）の底部から室Ｉ
に突出している先端にガラスチューブＯＩを気密に取シ
付け、このガラスチューブ（至）から内部の空間を真空
引きした後、ガラスチューブ（至）の端部を封じ切るこ
とにより真空基準室０υを形成している。その後、蓋板
（ハ）を固定リングｃＲヲ介して本体ケーシング（１）
に溶接し、室ａ◆内に封入液＠を充填する。このような
構成の耐圧防爆形絶対圧力変換器も第２図の実施例と同
等な効果を得ることができる。
以上詳述したように本発明によれば、ゼロ点の長期安定
性に優れ、且つ低い絶対圧力の測定が可能で、さらに耐
圧防爆性の向上された耐圧防爆形絶対圧力変換器を提供
することができる０
性に優れ、且つ低い絶対圧力の測定が可能で、さらに耐
圧防爆性の向上された耐圧防爆形絶対圧力変換器を提供
することができる０
第１図は耐圧防爆形絶対圧力変換器の従来例を示すｌｒ
面図、第２図は本発明による耐圧防爆形絶対圧力変換器
の一実施例を示す断面図、第３図は同じく他の実施例を
示す断面図である。 １・・・本体ケーシング ２・・・隔液ダイアフラム５
・・・センサハウジング ６・・・中心孔７・・・気密
端子 ８・・・シリコン台９・・・パイプ状支持
部材 １０・・・受圧ダイアフラム１１・・・拡散スト
レインゲージ抵抗 １２・・・電極層 １３・・・導体１４・・・
室 １５・・・出力リード線１８・・・室
１９・・・封入液２１・・・シリコン台
２２・・・真空基準室２３・・ざぐり ２
４・・・パイプ状支持部材２５・・・蓋板
２６・・・固定リング２７・・・封入液 ３０・
・・ガラスチューブ３１・・・真空基準室 代理人 弁理士 井 上 −男 第 １ 図 第 ２ 図 第３図 ／ｊδブ
面図、第２図は本発明による耐圧防爆形絶対圧力変換器
の一実施例を示す断面図、第３図は同じく他の実施例を
示す断面図である。 １・・・本体ケーシング ２・・・隔液ダイアフラム５
・・・センサハウジング ６・・・中心孔７・・・気密
端子 ８・・・シリコン台９・・・パイプ状支持
部材 １０・・・受圧ダイアフラム１１・・・拡散スト
レインゲージ抵抗 １２・・・電極層 １３・・・導体１４・・・
室 １５・・・出力リード線１８・・・室
１９・・・封入液２１・・・シリコン台
２２・・・真空基準室２３・・ざぐり ２
４・・・パイプ状支持部材２５・・・蓋板
２６・・・固定リング２７・・・封入液 ３０・
・・ガラスチューブ３１・・・真空基準室 代理人 弁理士 井 上 −男 第 １ 図 第 ２ 図 第３図 ／ｊδブ
Claims (1)
- 一面に拡散ストレインゲージ抵抗を有し他面に凹Ｆ９′
ｒヲ有するシリコン単結晶製の受圧ダイアフラムが前記
凹所を真空にしてシリコン台に接合されてなる半導体絶
対圧力センサを支持部材を介して支持するとともにその
一端が前記拡散ストレインゲージ抵抗に接続された気密
端子を貫通して有するセンサハウジングが、一端を隔液
ダイアフラムで閉塞された本体ケーシングＰ３にその内
部空間を２分して液密に装着され、このセンサハウジン
グと前記隔液ダイアフラムとで閉塞され次本体ケーシン
ダ内部空間に封入液が充填されるとともに前記センサハ
ウジングを貫通した気密端子の他端と前記本体ケーシン
グからシールされて導出される出力リード線との接続部
分が位置する密閉された本体ケーシング内部空間に封入
液が充填され、前記隔液ダイアフラムを介して半導体絶
対圧力センサの拡散ストレインゲージ抵抗を有する面に
印加された被測定圧力の絶対圧力を電気信号にに換して
出力する耐圧防爆形絶対圧力変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12138681A JPS5822933A (ja) | 1981-08-04 | 1981-08-04 | 耐圧防爆形絶対圧力変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12138681A JPS5822933A (ja) | 1981-08-04 | 1981-08-04 | 耐圧防爆形絶対圧力変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5822933A true JPS5822933A (ja) | 1983-02-10 |
Family
ID=14809911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12138681A Pending JPS5822933A (ja) | 1981-08-04 | 1981-08-04 | 耐圧防爆形絶対圧力変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5822933A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3406522A1 (de) * | 1984-02-11 | 1985-09-12 | Pelikan Ag, 3000 Hannover | Gehaeuse fuer von hand gehaltene geraete, insbesondere schreibgeraete |
| JPH0187230U (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-08 | ||
| USRE33518E (en) * | 1983-04-29 | 1991-01-15 | Baxter International, Inc. | Pressure transducer assembly |
| WO2012062606A1 (de) * | 2010-11-12 | 2012-05-18 | Siemens Aktiengesellschaft | Absolutdruckmessumformer mit überlastmembran |
| CN105928809A (zh) * | 2016-07-07 | 2016-09-07 | 宏大矿业有限公司 | 金属管爆炸复合时内管膨胀速度测量装置及测量方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54153684A (en) * | 1978-05-24 | 1979-12-04 | Hitachi Ltd | Pressure transducer |
-
1981
- 1981-08-04 JP JP12138681A patent/JPS5822933A/ja active Pending
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