JPS5824111A - 光ビ−ム偏向・走査装置 - Google Patents
光ビ−ム偏向・走査装置Info
- Publication number
- JPS5824111A JPS5824111A JP12330581A JP12330581A JPS5824111A JP S5824111 A JPS5824111 A JP S5824111A JP 12330581 A JP12330581 A JP 12330581A JP 12330581 A JP12330581 A JP 12330581A JP S5824111 A JPS5824111 A JP S5824111A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- opening
- photosensitive material
- light beam
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/106—Scanning systems having diffraction gratings as scanning elements, e.g. holographic scanners
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、走査用光ビームのエツジ部をシャープかつ
その強度分布を比較的平坦とした光ビー五偏向・走査装
置に関する。
その強度分布を比較的平坦とした光ビー五偏向・走査装
置に関する。
従来の光ビーム偏向・走査装置は、たとえば第１図に示
すようにレーザ発振器１からのレーザ光２をコリメータ
レンズ系３で平行光４とした後、偏向器５で偏向してか
ら集光レンズ系６で集光し、この先ビーム７で感光材料
８を走査しながら感光するようになっている。このよう
に従来の偏向・走査装置は光ビームとしてコヒーレント
なレーザビームを使用しているが、レーザビームはいわ
ゆるガウス型の強度分布を有している。このため、感光
材料８を感光する光ビーム７０強度分布も第２図に示す
ようなガウス分布曲線となっており、走査ビームのエツ
ジの切れが悪くなると共に、露光量によって走査線幅が
変化するといった欠点がある。よって、この発明の目的
はかかる欠点のない光ビーム偏向・走査装置を提供する
ことＫあり、走査用光ビームのエツジ部をシャープかつ
その強度分布を比較的平坦なものとしている。
すようにレーザ発振器１からのレーザ光２をコリメータ
レンズ系３で平行光４とした後、偏向器５で偏向してか
ら集光レンズ系６で集光し、この先ビーム７で感光材料
８を走査しながら感光するようになっている。このよう
に従来の偏向・走査装置は光ビームとしてコヒーレント
なレーザビームを使用しているが、レーザビームはいわ
ゆるガウス型の強度分布を有している。このため、感光
材料８を感光する光ビーム７０強度分布も第２図に示す
ようなガウス分布曲線となっており、走査ビームのエツ
ジの切れが悪くなると共に、露光量によって走査線幅が
変化するといった欠点がある。よって、この発明の目的
はかかる欠点のない光ビーム偏向・走査装置を提供する
ことＫあり、走査用光ビームのエツジ部をシャープかつ
その強度分布を比較的平坦なものとしている。
以下にこの発明を説明する。
この発明では先ずホーグラフィック・フィルタをコヒー
レント光、たとえばレーザを用いて作成するが、その作
成の様子を第３図及び第４図に示して説明する。すなわ
ち、レーザ発振器ｌＯから発振されたレーず光１１をコ
リメータレンズ系化で平行光１３とし、この平行光１３
の光路中に円形の開口４を有する開口鐘光板加を配設す
る。この場合、開口遮光板加は平行光１３を遮断するに
十分な大きさであり、開口４は平行光１３の径に比して
十分に小さくなっている。これにより開口２１から回折
光１４か生ぜられるので、この回折光１４をレンズ系（
７−リエ変換系）１５で平行光１６として感光材料１７
に照射する。なお、レンズ系１５の焦点距離はｆである
。一方、開口２１に関する振幅情報と位相情報を感光材
料１７に記録するために、角度−で入射する平行光（レ
ーザ光）１８を参照光として同時に感光材料１７に照射
する。このように、開口２１に関する振幅情報と位相情
報とを与える平行光と参照用平行光１８とを同時に感光
材料１７に照射することによって干渉縞を形成し、開口
２１に対応するホログラフィック・フィルタ園を作成す
ることができる。
レント光、たとえばレーザを用いて作成するが、その作
成の様子を第３図及び第４図に示して説明する。すなわ
ち、レーザ発振器ｌＯから発振されたレーず光１１をコ
リメータレンズ系化で平行光１３とし、この平行光１３
の光路中に円形の開口４を有する開口鐘光板加を配設す
る。この場合、開口遮光板加は平行光１３を遮断するに
十分な大きさであり、開口４は平行光１３の径に比して
十分に小さくなっている。これにより開口２１から回折
光１４か生ぜられるので、この回折光１４をレンズ系（
７−リエ変換系）１５で平行光１６として感光材料１７
に照射する。なお、レンズ系１５の焦点距離はｆである
。一方、開口２１に関する振幅情報と位相情報を感光材
料１７に記録するために、角度−で入射する平行光（レ
ーザ光）１８を参照光として同時に感光材料１７に照射
する。このように、開口２１に関する振幅情報と位相情
報とを与える平行光と参照用平行光１８とを同時に感光
材料１７に照射することによって干渉縞を形成し、開口
２１に対応するホログラフィック・フィルタ園を作成す
ることができる。
次に、上述の如くして作成されたホログラフィック・フ
ィルタ加を第５図に示すような光ビーム偏向・走査装置
に配設する。すなわち、ホログラフィック・フィルタ（
資）に、これを作成する時に参照光１８を照射した角度
０と同一の入射角Ｗ＃で、平行光３１を照射する。この
場合、平行光３１は上述と同１１に、レーザ発振器部及
びコリメータレンズ系おで形成される。こうしてホログ
ラフィック・フィルタＩに平行光３１が入射角度θで照
射されると、ホログラフィック・フィルタＩから１次回
折光あが得られるので、この回折党別を偏向器あで偏向
してから集光レンズ系（逆フーリエ変換系）藁で集光し
て走査用光ビームｒを形成し、この光ビームｎで感光材
料間を感光する。ここにおいて、ホログラフィック・フ
ィルタ加には開口２１に関する振幅情報と位相情報とが
記録されているので、その１次回折光あを集光して形成
された光ビーム３７には開口２１が再生され、光ビーム
γの断面形状は開口４に対応する円形になると共に、そ
の強度分布は第６図に示す如く平坦化される。つまり、
、エツジ部分の強度をシャープにすること
ができ、これｋより前述したような走査線幅が変化する
といった欠点が除去されるのである。
ィルタ加を第５図に示すような光ビーム偏向・走査装置
に配設する。すなわち、ホログラフィック・フィルタ（
資）に、これを作成する時に参照光１８を照射した角度
０と同一の入射角Ｗ＃で、平行光３１を照射する。この
場合、平行光３１は上述と同１１に、レーザ発振器部及
びコリメータレンズ系おで形成される。こうしてホログ
ラフィック・フィルタＩに平行光３１が入射角度θで照
射されると、ホログラフィック・フィルタＩから１次回
折光あが得られるので、この回折党別を偏向器あで偏向
してから集光レンズ系（逆フーリエ変換系）藁で集光し
て走査用光ビームｒを形成し、この光ビームｎで感光材
料間を感光する。ここにおいて、ホログラフィック・フ
ィルタ加には開口２１に関する振幅情報と位相情報とが
記録されているので、その１次回折光あを集光して形成
された光ビーム３７には開口２１が再生され、光ビーム
γの断面形状は開口４に対応する円形になると共に、そ
の強度分布は第６図に示す如く平坦化される。つまり、
、エツジ部分の強度をシャープにすること
ができ、これｋより前述したような走査線幅が変化する
といった欠点が除去されるのである。
なお、上述の実施例では開口の形状を円形として説明し
たが、方形、三角形等の任意の形状にすることができ、
この場合、光ビームの断面形状もこれに対応した形状と
なる。また、光ビームは感光材料を感光するだけでなく
、光学系で読取って別途利用するようにすることも可能
であり、さらに、ホログラフィック・フィルタはコンピ
ュータを用いて作成することも可能である。
たが、方形、三角形等の任意の形状にすることができ、
この場合、光ビームの断面形状もこれに対応した形状と
なる。また、光ビームは感光材料を感光するだけでなく
、光学系で読取って別途利用するようにすることも可能
であり、さらに、ホログラフィック・フィルタはコンピ
ュータを用いて作成することも可能である。
以上のように、この発明の光ビーム偏向・走査装置によ
れば、走査用犬ビームのエツジ部をシャープにすると共
にその強度分布を平坦化しているので、走査線のバラツ
キや変動の影響を小さくすることができる。また、ホロ
グラフィック・フィルタを作成する開口の形状に対応す
る断面形状です査用光ビームを形成することができるの
で、その応用分野は広い。
れば、走査用犬ビームのエツジ部をシャープにすると共
にその強度分布を平坦化しているので、走査線のバラツ
キや変動の影響を小さくすることができる。また、ホロ
グラフィック・フィルタを作成する開口の形状に対応す
る断面形状です査用光ビームを形成することができるの
で、その応用分野は広い。
第１図は従来の光ビームによる偏向・走査装置の概略を
示す構成図、第２図はその光ビームの強度分布を示す図
、第３図はこの発明に用いるホログラフィック・フィル
タの作成方法を示す図、第４図はホログラフィック・フ
ィルタの作成に用いる開口遮光板の一例を示す平面図、
縞５図はこの発明の光ビーム偏向・走査装置の概略構成
例を示す図、第６図はこの発明の光ビームの強度分布を
示す図である。 １．１０．３２・・・レーザ発振器、３，１２．３３・
・・コリメータレンズ系、５．３５・・・偏向器、６．
あ・・・集光レンズ系、８，１７．３８・・・感光材料
、加・・・開口遮光板、２１・・・開口、加・・・ホロ
グラフィック・フィルタ、ａ・・・光ビーム。
示す構成図、第２図はその光ビームの強度分布を示す図
、第３図はこの発明に用いるホログラフィック・フィル
タの作成方法を示す図、第４図はホログラフィック・フ
ィルタの作成に用いる開口遮光板の一例を示す平面図、
縞５図はこの発明の光ビーム偏向・走査装置の概略構成
例を示す図、第６図はこの発明の光ビームの強度分布を
示す図である。 １．１０．３２・・・レーザ発振器、３，１２．３３・
・・コリメータレンズ系、５．３５・・・偏向器、６．
あ・・・集光レンズ系、８，１７．３８・・・感光材料
、加・・・開口遮光板、２１・・・開口、加・・・ホロ
グラフィック・フィルタ、ａ・・・光ビーム。
Claims (1)
- 平行コヒーレント光で微小開口を有するホーグラフィッ
ク・フィルタを所定角度で照射し、前記ホーグラフィッ
ク・フィルタからの１次回折光を偏向器で偏向して後に
集光レンズ系で集光することにより、エツジ部がシャー
プかつ強度分布が比較的平坦な光ビームで走査面上を走
査し得るようｋしたことを特徴とする光ビーム偏向・走
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12330581A JPS5824111A (ja) | 1981-08-06 | 1981-08-06 | 光ビ−ム偏向・走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12330581A JPS5824111A (ja) | 1981-08-06 | 1981-08-06 | 光ビ−ム偏向・走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5824111A true JPS5824111A (ja) | 1983-02-14 |
Family
ID=14857244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12330581A Pending JPS5824111A (ja) | 1981-08-06 | 1981-08-06 | 光ビ−ム偏向・走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5824111A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60108802A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光ビ−ム合成方法及び装置 |
| JPS6151561U (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 | ||
| JP2013171288A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | レーザスキャン装置及びレーザスキャン方法 |
| CN104634793A (zh) * | 2015-02-04 | 2015-05-20 | 南京理工大学 | 共轴数字全息显微成像装置及检测玻璃亚表面缺陷的方法 |
-
1981
- 1981-08-06 JP JP12330581A patent/JPS5824111A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60108802A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光ビ−ム合成方法及び装置 |
| JPS6151561U (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 | ||
| JP2013171288A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | レーザスキャン装置及びレーザスキャン方法 |
| CN104634793A (zh) * | 2015-02-04 | 2015-05-20 | 南京理工大学 | 共轴数字全息显微成像装置及检测玻璃亚表面缺陷的方法 |
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