JPS5824144A - レジスト画像形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は液体型感光性樹脂を基材上に一定厚で効率良く
均一に塗布した後に、露光及びウォッシュアラトラ行な
って基材上にレジスト画像を形成するレジスト画像゛形
成方法に関するものである。

近年、感光性樹脂は印刷用レリーフに限らず種々の計譚
に使用されるようになって来た。

その−例を挙げると電子工業分野に２けるプリント配線
基板製造時にレジスト材として使用されるプリント配線
基板製造…の感光性樹脂がある。このプリント配線基板
製造用感光性樹脂は、銅貼り積層板の如き導電性金属貼
り積層板より成る基材上にできるだけ一定厚になる工う
に塗布又は積層され、その上にネガフィルムな、どの透
明画像担体を載置してその透明画儂担体側工Ｖ活性光線
を照射し、透明画像担体を通過□した活性光線によって
プリント配線基板製造用感光性樹脂を部分的に重゛合さ
せるｇ党に１って感光性樹脂を感光硬化させてウォッシ
ュアウト液及び導電性金属用腐食液に対して不溶化せし
めて後、透明画偉担体ｔ−除去してから感光硬化した部
分以外の感ｙｔ性樹脂をウォッシュアウト工程で除去し
、次いで感光硬化した部分がその１１残っており且つウ
ォッシュアウト工程で感光性樹脂を除去されて導電性金
属が露出した導電性金属貼り積層板を直接エツチングし
て露出した導電性金属を溶解除去し、しかる後に残って
いる感光硬化した感光性樹脂！剥離液で剥離してプリン
ト配線基板とするものである。

このようにプリント配線基板製造用などに使用される感
光性樹脂としては、既にフィルム状又はシート状に製作
されている固体型と、使用Ｉ前に基材上に塗布される液
体型とがある。かかる固体型と液体型との感光性樹脂を
比較すると、固体凰の場合にはほぼ均一な厚さに予め製
作されているので作業性においては優れているが、露光
されなかった感光性樹脂はウォッシュアウト工程ですべ
てウォッシュアウト液に工って除去されて再使用されな
いために非常に不経済である欠点があると共に、基材と
感光性樹脂と全接着するために基材と感光性樹脂とを加
熱しなければならないので加熱装置を必要とするから設
備費が高価となり、更に基材と感光性樹脂とを接着積層
した直後において充分な接着強度を得るために接着直後
の状態を所定時間維持する停止時間を必要とするので連
続的な効率良い作業を実施することができず、その上基
材の表面が粗面を成していると基材と感光性樹脂とが充
分に密着し難かったり基材の俵面にゴミが付着している
とそのゴミの周囲で感光性樹脂が浮き上がってしまうな
ど種々の欠□点があった。

−万、液体型の場合には現場で基材上に均一な厚さに塗
布することが困難ではあるが、液体状の感光性樹脂を基
材上に塗布して露光後にウォッシュアウト工程に移送せ
しめる工程で感光性樹脂の粘着力を利用して他の部材に
未露光の感光性樹脂を付着させて回収して再使用できる
ため高価な感光性樹脂金ウォッシュアウト工程〒除去す
る量が少なくて済み、且つウオレシュアウＬ液の使用量
も少なくて良−ため老化したウォッシュアウト液の処理
も容易であるという非常に大きな長所を備えている反面
、均一厚さに液体減感光性樹脂を塗布　　　・　　　１
するためには整線を必要とし、基材が変形していると均
一厚さに液体型感光性樹脂全塗布することができず、更
に乾燥時間やキユアリング時間を必要とすると共に透明
画偉担体ｔｉ体型感元性樹脂に直接接触させて露光処理
を実施することができない短所もある。

本発明者らは、このように経済上及び後処理上の長所を
有している液体型感光性樹脂の欠点である基材上に一定
厚に均一に塗布することの困難性ｌ及び上記作業上の問
題点を解決すべく鋭意研究の結果、活性光線を透過する
透明な連続帯状のフレキシブル担体に液体型感光性樹脂
層均−な厚さに塗布し、直ちにそのフレキシブル担体を
移動して液体型感光性樹脂を介して基材に７レキシブル
担体を積層し、この際に特殊な方法により液体型感光性
樹脂を一定厚均一にし、次いでフレキシブル担体上に位
置せしめた透明画像担体を通して活性光線を液体型感光
性樹脂に照射する露光を行なって液体型感光性樹脂層に
重合体画像を形成し、しかる後に７レキシプル担体を基
材から剥離して後にウォッシュアウト液でウォッシュア
ウトを行なって未重合の液体型感光性樹脂全除去して基
材上にレジスト画像を形成することに工り基材の厚さが
多少変化していたり、平板状を成していなかったり、可
撓性を有していたりしても良好に基材上に一定厚に液体
型感光性樹脂金塗布することができるので基材上に良好
なレジスト画像を形成できることを究明して本発明を完
成したのである。

すなわち、本発明は活性光線を透過する透明な連続帯状
の７し犀シプル担体に液体型感光性樹脂を均一な厚さに
塗布し、直ちにそのフレキシブル担体を移動して液体型
感光性樹脂の塗布面を基材に対向させた状態でフレキシ
ブル担体を基材に一定圧で押圧することにより基材上に
一定厚均・−な液体型感光性樹脂を積層し、次い、で７
し中シプル担体上に透明画像担体を位置せしめて液体盤
感元性樹脂全活性光線で露光して液体型感光性樹脂層に
重合体画像を形成し、しかる後゛にフレキシブル担体を
剥離して後にウォッシュアウト液でウォッシュアウトを
行なうことにＬＤ基材上にレジスト画像を形成すること
を、特徴とするレジスト画像形成方法を提供するもので
ある。

以下、図面により本発明に係るレジスト画像形成方法に
ついて詳１Ｉｆ８Ｖｅ説明する。

第１図は従来の基材上に液体型感光性樹脂を塗布してい
る状態を示す縦断面図、第２図は従来の方法により液体
型感光性樹脂が塗布された基材に透明画像担体を介して
露光した際の感光硬化した感光性樹脂の状態を示す縦断
面図、第６図は本発明方法によりレジスト画像を形成す
る工程を示す説明図である。

図面中、Ａは基材、Ｂは基材Ａ上に塗布された液体型感
光性樹脂、Ｃは基材Ａ上に塗布される液体型感光性樹脂
の塗布厚を制御するドクターなどの塗布厚制御手段、Ｄ
は透明画像担体である。

従来の液体型感光性樹脂の塗布方法においては、基材Ａ
にその裏作上の問題などによって多少の厚さの変化があ
っても液体型感光性樹脂Ｂは第１図に示す如くその表面
が平面状になる工うに塗布厚制御゛手段Ｃによって塗布
されるため、基材Ａ上に−塗布された液体製感光性樹脂
Ｂの厚きは一定とはならない。この工うに一定厚に塗布
されない液体型感光性樹脂Ｂを透明画像担体りを介して
活性光線によ？て露光すると、同じ面積だけ、露光して
も液体型感光性樹脂Ｂの厚さにバラツキがあると露光の
エネルギーが同一であるので第２図に示す如く液体型感
光性樹脂Ｂの厚さが薄しと基材Ａ側が太くなり、また第
２図に示す如く液体型感光性樹脂Ｂの厚さが厚いと基材
Ａ側が細くなってし筐う現象が生じて良好な露光を実施
したことに、な゛らない現象が生じてしまうのである。

かかる現象の発生は基材Ａ上に塗布される液体型感光性
樹脂Ｂの塗布厚さを一定に制御できなかったことに起因
しているのであり、これを改良するのが第６図にその１
実施例を示した本発明方法！ある。

第６図中、１は液体型感光性樹脂、２は可撓性を有し且
つ露光硬化せしめられた液体型感光性樹脂１からの剥離
性が良くしかも活性光線を透過する透明な連続帯状の７
レキシプル担体、６はフレキ　　　　　　１シブル担体
２を平面状になるように保持する剛体基盤、４は剛体基
盤６上に位置せしめられたフレキシブル担体２上に供給
された゛液体型感光性樹脂１の塗布厚を一定に制御する
ドクターやロールコータ−などの塗布厚制御手段、５は
液体型感光性樹脂１を一定厚に塗布されたフレキシブル
担体２を基材６への押圧部へ移送せしめ不ためのガイド
ローラ、７ｒ１基材６を７し中７プル担体２との押圧部
へ移送せしめるためのガイド、８は液体型感光性樹脂１
を一定厚に塗布されたフレキシブル担“体２の液体型感
光性樹脂１の塗布面を基材６に対向せしめられた押圧部
でフレキシブル担体２ｔ−基材６を一定圧で押圧する抑
圧体であり、この抑圧体８としては図示した実施例の如
くフレキシブル担４体２の移動方向を小さな曲率半径部
を経て変向させる剛体状のものや、実質的に弾性の表面
を有するロール状のものや、通常の金属製ロールなどが
使用できる。９は液体型感光性樹脂１會一定厚に塗布さ
れた７しΦシブル担体２′ｔ−基材６に一定圧で押圧体
８に工９押圧せしめるためのスプリング、１０は押圧体
８に工って一定圧で押圧されて基材６上に一定厚の液体
型感光性樹脂１が更にその上にフレキシブル担体２が積
層された積層体のフレキシブル担体２上に透明画像担体
１１ヲ位置せしめ、て液体型感光性樹脂１に活性光線を
照射して液体型感光性樹脂層に重合体画像を形成する露
光装置、１２は露光後の積層体からフレキシブル担体２
を剥離させるための剥離ロール、１３は剥ｌｌＩＣ＋−
ル１２ヲ経て巻取ロール１４に至るフレキシブル担体２
からそのフレキシブル担体２に付着している未硬化の液
体型感光性樹脂１ｔ−回収する主回収装置、１５は゛フ
レキシブル担体２が剥離ロール１２によって剥離され基
材６上には感光硬化した液体型感光性樹脂１と未硬化の
わずかな液体型感、光性樹脂１とが残留してｉる状態の
基材６の感光性樹脂塗布面に圧接されて未硬化の液体型
感光性樹脂ｉをその表面に付着させる弾性体ロールやブ
ラシロール−などの樹脂回収ロールとその樹脂回収ロー
ルが回転する過程でそのロールに付着している未硬化の
液体型感光性樹脂１を掻き取るドクターとより成る補助
回収装置であ、る。また、１６は補助回収装ｆＩｔ１５
によっても回収されなかった未硬化の液体型感光性樹脂
１を洗い流すウォッシュアウトを行なうためのウォッシ
ュアウト液を噴射するノズル１７ヲ備えたウォッシュア
ウト装置である。

かかる構造の゛本発明方法を実施する装置を使用して基
材６上にレジスト画像を形成するには、先ず連続帯状の
フレキシブル担体２金剛体基盤６上、ガイドローラ５、
押圧体８、露光装置１０、剥離ロール１２ｔ−経て巻取
ロール１４に供給しておく。

次いで剛体基盤乙に対向した位置に液体型感光性樹脂１
ｔ−供給すると共にガイド７上に基材６を供給し、７レ
キシプル担体２と基材６とを同速で駆動する。声くして
フレキシブル担体２上に塗布厚制御手段４によって一定
厚に塗布された液体型感光性樹脂１は、ガイドローラ５
を経で抑圧体８の直下に移動せしめられるが、液体型感
光性樹脂１は通常１０〜２００．０００　ｃ　ｐの範囲
内にある高粘性物質であるのでフレキシブル担体２上で
その厚さが大幅に変更することはないが、中で５１００
〜５Ｌ）　ｔ　０Ｌ）Ｏｃ　Ｐの粘性を有するものが本
発明方法の実施に適している。このようにして抑圧体８
の直下に液体型感光性樹脂１が一定厚に塗布された７レ
キシブル担体２と基材６とが同時に移動せしめられて来
てフレキシブル担体２の、液体型感光性樹脂塗布面を基
材６に対向させた状態でフレキシブル担体２が抑圧体８
によって基材６に一定圧で押圧せしめられることにエフ
、基材６の液体型感光性樹脂塗布面に多少の凹凸があっ
たり平面状を成していなかったりしても、液体型感光性
樹脂１の塗布厚は一定になるのである。

しかる後、基材６上に一定厚の液体型感光性樹脂１が、
°更にその上にフレキシブル担体２が積層された積層体
は露光装置１０において透明画像担体１１より活性光線
を照射される露光が行なわれて液体型感光性樹脂１の所
定部−分が感光硬化せしめられて重合体画像が形成され
、その後史に移動せしめられる過程で未硬化の液体型感
光性樹脂１が未だ付着している７レキシプル担体２が感
光硬化　　　　　　　□１した液体型感光性樹脂１の付
着してムる基材６から剥離ロール１２によって剥離され
、フレキシブル担体２は剥離ロール１２を経て巻取ロー
ル１４に至る過程で主回収装置１ろにより液体型感光性
樹脂１ｔ−回収される。

また剥離ロール１２によってフレキシブル担体２を剥離
された後の基材６上に付着している未硬化の液体型感光
性樹脂１は、基材６が更に移動する過程で補助回収装置
１５により回収されるのである。

かくして補助回収装置１５により大部分の未硬化の液体
型感光性樹脂１が回収され感光硬化した重合体画像が付
着している基材６はウォッシュアウト装置１６に移動せ
しめられ、ノズル１７より噴射されたウォッシュアウト
液で未硬化の液体型感光性樹脂のウォッシュアウトを行
なわれてレジスト画像がその上に形成された基材６が得
られるのである。

更に本発明方法で形成されたレジスト画像の主要な使用
分野であるプリント配線基板製造の場合にはこのレジス
ト画偉ヲ使用してエツチングやメッキ等の後処理全行な
ってレジスト画像全剥離液で剥離すれば良好なプリント
配線基板を得ることができるのである。

すなわち、本発明方法により形成したレジスト画像を使
用してプリント配線基板を製造すると以下に列挙する如
き糧々の効果が発揮されるのである。

（１）使用する感光性樹脂が液体型感光性、樹脂である
ために基材である導電性金属貼り積層板の表面が粗面を
成していても感光性樹脂が粗面の凹部まで充分に行きわ
たるため感光性樹脂と基材との密着性が良好であり、そ
の結果解偉力の高　′いプリント配線基板を安定して得
ることができる。

（２）基材にゴミ等が付着していても、使用する感光性
樹脂が液体型感光性樹脂であるので、フィルム状などの
固体型感光性樹脂の場合のように感光性樹脂と基材との
接着が不充分となって感光性樹脂が基材から浮き上がる
現象が発生しないので、断線やブリッジなどの欠陥がな
い信頼性の高いプリント配線基板を得ることができる。

（３）使用する感光、性樹脂が液体型感光性樹脂である
ために感光性樹脂をその１１基材に塗布接着せしめるこ
とができるから、フィルム状などの固体型感光性樹脂の
如く基材と感光性樹脂とを接着するために基材と感光性
樹脂とを加熱する必要がな匹と共に感光性樹脂を基材に
接着積層後に感光性樹脂と基材との充分な接着強度金得
るために接着直後の状態全所定時間維持する停止時間を
必要としないのであり、その結果感光性樹脂を基材に接
着後に連続して直ちに重合体画像を形成する露光丸竹な
うことができるため、作業効率が優れている。

（４）使用する感光性樹脂が液体型感光性樹脂であるた
めに、重合体画像を形成する感光性樹脂以外の未硬化の
感光性樹脂の回収及び再使用が可能であり、更に基材の
大きさに合わせて必要な部分に選択して感光性樹脂を配
置積層することができるから、２経済的に安価にプリン
ト配線基板を得ることができる。、、、。

このように本発明方法は優れた特徴を有しているのであ
り、図示し′ｆｉ−東施例では基材６の片面のみに液体
型感光性樹脂１１に積層する場合につムてのものである
が、基材６の両面に液体型感光性樹脂１金塗１する場合
には押圧体８を対向して配置すると共に露光装置１０．
剥−離ロール１２２巻取ロール１４．主回収装置１３．
補助回収装置１５も対向して配置し、合わせてウォッシ
ュアウト装置１６においてノズル１７も上下に対向して
配置することによって簡単に実施できるのである。

゛以下に、実施例について詳細に説明する。

実施例 第６図に示す本発明方法を実施する装置に工って、７レ
キシプル担体として２０μのポリプロピレンフィルム金
使用し、こ、の７しΦノズル担体を５０　””Ｌ／ｓθ
Ｃ“で移動させながらエボキ７アクリレートとアクリレ
ートモノマーと増感剤とエリ成る液体型感光性樹脂を剛
体基盤上でフレキシブル担体上に５５μの厚さに塗布し
、同時にガラスエダキシ片面鋼貼り積層板Ｒ１７ｔ）０
（厚さ肌８藺・、松下電工（株）製）より成る基材をフ
レキシブル担　　　　　　　１体と同速でガイドに工っ
て供給し、抑圧体としてスポンジライニングロールを使
用し七ガラスエポキシ片面鋼貼り積層板上に液体型感光
性樹脂を塗布した。この積層体に透明画像担体を介して
露光し、−７レキンプル担体を剥離し、ウォッシュアウ
ト及び銅のエツチングを行なった後、感光硬化していた
液体型感光性樹脂を除去した処、所望していたｌｓ幅６
０μのエツチング部では線太りゃ線細りが全くなく、良
好なプリント配線基板が製造できた。

以上詳述した如く、本発明に係るレジスト画像形成方法
は液体製感光性樹脂を基材上に直接塗布するのではなく
先ずフレキシブル担体に液体型感光性樹脂を均一な厚さ
に塗布し、このフレキシブル担体の液体型感光性樹脂の
塗布面を基材に対向させた状態で７レキシプル担体を一
定圧で押圧することにエリ基材に液体型感光性樹脂を一
定厚で均一に塗布するので、基材の厚さが多少変化して
いたり平板状を成していなかったり可撓性を有していた
り端部にパリが生じていたりしても常に均一な厚さで基
材に液体屋感元性樹脂ｔ−塗布でき、しかもフレキシブ
ル担体として露光硬化せしめられ九椿体型感光性樹脂か
らの剥離性が良い透明な素材を使用すれば露光硬化しな
い液体型感光性樹脂の回収が容易であると共に露光時に
液体型感光性樹脂を露出せしめずにその上にフレキシブ
ル担体が位置しているためにフレキシブル担体上に直接
透明画像担体を載置できるため作業性も良く、その上、
フィルム状などの固体型感光性樹脂を使用する場合のよ
うに重合した重合体画像エリ成るレジス゛ト画ｇｌｔ−
使用してエツチングしても感光性樹脂と基材とが充分に
密着し難かったり感光性樹脂が基材から浮き上がってし
１つて解像力の良いエツチングが不可能な場合が生じる
という欠点や連続作業が行なえないという欠点もないな
ど、種々の利点を有しており、その工業的価値は非常に
大きなものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の基材上に液体型感光性樹脂を塗布して−
る状１ａ４を示す縦断面図、第２図は従来の方法により
液体型感光性樹脂が塗布された基材に透明画像担体を介
して露光した際の感光硬化した感光性樹脂の状態を示す
縦断面図、第６図は本発明方法にエリレジスト画像を形
成する工程Ｈす説明図である。 １　・・液体型感光性樹脂 ２・・７レキシブ′化担体 ６・・剛゛体基盤 ４・・塗布厚制御手段 ５・・ガイドローラ ６・・基材 ７・・ガイド ８・・抑圧体 ９１１ｅスプリング １０・・露光装厘 １１・・透明画像担体 １２・・剥離ロール １６・・主回収装置 １４・・巻取ロール　　１． １５・・補助回収装置 １６・・ウォッシュアウト装置 １７・・ノズル

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １　活性光ＩｉＩを透過する透明な連続帯状のフレキシ
   ブル担体に液体型感光性樹脂全均一な厚ｇＫｍ布し、直
   ちにそのフレキシブル担体全移動して液体型感光性樹脂
   の塗布面を基材に対向させた状態でフレキシブル担体を
   基材に一定圧で押圧することに工り基材上に一定厚均一
   な液体製感光性ｍ脂をｇ４Ｌ、、次ｒで７レキクプル担
   体上Ｋｉ明画ｇＲ担体を位置せしめて液体型感光性樹脂
   を活性光線でｇ党して液体型感光性樹脂層に重合体画像
   を形成し、しかる後にフレキシブル担体を剥離して後に
   ウォッシュアウト液でウォッシュアウトを行なうことに
   より基材上にレジスト画像を形成すること’ｔ４１徴と
   するレジスト画像形成方法。