JPS5825317A - 光不溶化性樹脂組成物 - Google Patents
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- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 48
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 48
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 19
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims abstract description 9
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N Methanesulfonic acid Chemical compound CS(O)(=O)=O AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 claims description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N benzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229940092714 benzenesulfonic acid Drugs 0.000 claims description 2
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 claims description 2
- FOCAUTSVDIKZOP-UHFFFAOYSA-N chloroacetic acid Chemical compound OC(=O)CCl FOCAUTSVDIKZOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229940106681 chloroacetic acid Drugs 0.000 claims description 2
- 229940098779 methanesulfonic acid Drugs 0.000 claims description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 claims description 2
- 150000005338 nitrobenzoic acids Chemical class 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 27
- 230000002411 adverse Effects 0.000 abstract description 5
- 125000005504 styryl group Chemical group 0.000 abstract description 5
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 abstract description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 abstract description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 abstract description 2
- 125000006615 aromatic heterocyclic group Chemical group 0.000 abstract 1
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical compound CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 12
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- -1 cinnamoyl groups Chemical group 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 8
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical class N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 5
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 5
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920005601 base polymer Polymers 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical group C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N benzothiazole Chemical compound C1=CC=C2SC=NC2=C1 IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 3
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000003248 quinolines Chemical class 0.000 description 3
- 235000012141 vanillin Nutrition 0.000 description 3
- MWOOGOJBHIARFG-UHFFFAOYSA-N vanillin Chemical compound COC1=CC(C=O)=CC=C1O MWOOGOJBHIARFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FGQOOHJZONJGDT-UHFFFAOYSA-N vanillin Natural products COC1=CC(O)=CC(C=O)=C1 FGQOOHJZONJGDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DXYYSGDWQCSKKO-UHFFFAOYSA-N 2-methylbenzothiazole Chemical compound C1=CC=C2SC(C)=NC2=C1 DXYYSGDWQCSKKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FKNQCJSGGFJEIZ-UHFFFAOYSA-N 4-methylpyridine Chemical compound CC1=CC=NC=C1 FKNQCJSGGFJEIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MUDSDYNRBDKLGK-UHFFFAOYSA-N 4-methylquinoline Chemical compound C1=CC=C2C(C)=CC=NC2=C1 MUDSDYNRBDKLGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-VAWYXSNFSA-N AIBN Substances N#CC(C)(C)\N=N\C(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 2
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 2
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- VHRYZQNGTZXDNX-UHFFFAOYSA-N methacryloyl chloride Chemical compound CC(=C)C(Cl)=O VHRYZQNGTZXDNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 2
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- SMUQFGGVLNAIOZ-UHFFFAOYSA-N quinaldine Chemical compound C1=CC=CC2=NC(C)=CC=C21 SMUQFGGVLNAIOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L sodium carbonate Substances [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229920001897 terpolymer Polymers 0.000 description 2
- NHGXDBSUJJNIRV-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium chloride Chemical compound [Cl-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC NHGXDBSUJJNIRV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AVQQQNCBBIEMEU-UHFFFAOYSA-N 1,1,3,3-tetramethylurea Chemical compound CN(C)C(=O)N(C)C AVQQQNCBBIEMEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPHULPIAPWNOOH-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]-3-(2,3-dihydroindol-1-ylmethyl)pyrazol-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C=1C(=NN(C=1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2)CN1CCC2=CC=CC=C12 NPHULPIAPWNOOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940093475 2-ethoxyethanol Drugs 0.000 description 1
- SLAMLWHELXOEJZ-UHFFFAOYSA-N 2-nitrobenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1[N+]([O-])=O SLAMLWHELXOEJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UNTNRNUQVKDIPV-UHFFFAOYSA-N 3h-dithiazole Chemical compound N1SSC=C1 UNTNRNUQVKDIPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SZDGFWUEVRGANH-UHFFFAOYSA-N 4-(2-pyridin-4-ylethynyl)phenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C#CC1=CC=NC=C1 SZDGFWUEVRGANH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M Sodium bicarbonate-14C Chemical compound [Na+].O[14C]([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- IVRMZWNICZWHMI-UHFFFAOYSA-N azide group Chemical group [N-]=[N+]=[N-] IVRMZWNICZWHMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940114081 cinnamate Drugs 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 125000001995 cyclobutyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007033 dehydrochlorination reaction Methods 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006471 dimerization reaction Methods 0.000 description 1
- OAYLNYINCPYISS-UHFFFAOYSA-N ethyl acetate;hexane Chemical compound CCCCCC.CCOC(C)=O OAYLNYINCPYISS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 1
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=C2C(S(=O)(=O)O)=CC=CC2=C1 PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 description 1
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 1
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 description 1
- 238000005956 quaternization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012429 reaction media Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical group 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000010898 silica gel chromatography Methods 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M trans-cinnamate Chemical compound [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
化性樹脂組成物に関するものである。
感光性樹脂は印刷版製造材料、フォトエツチング、フォ
トミリングなどのフォトレジストとして、また塗料や印
刷インキなどの感光性ビヒクルとして実用されている。
トミリングなどのフォトレジストとして、また塗料や印
刷インキなどの感光性ビヒクルとして実用されている。
それらの実用化されている感光性樹脂としては、アジド
基、シンナモイル基、アクリロイル基などを光架橋性残
基とするものが代表的なものとして知られている。しか
し、これらの光架橋性残基は、基幹ポリマーにかなり多
量に導入することが実用上必要であり、なおかつこれら
の感光性樹脂に増感剤が混合併用されているのが実情で
ある。例えば、もつとも代表的な感光性樹脂であるシン
ナモイル基3(導入されたポリ桂皮酸ビニルは、感光性
樹脂として実用に供されるるには、光架橋性残基である
シンナモイル基が基幹ポリマー中に多量に導入されてい
なげればならなイ(M、Tsuda;J、Po1y、S
ci、A、 、 2.2904’64参照)。しかも実
用に際しては、増感剤を約10重量弧程度併用しなけれ
ばならない。
基、シンナモイル基、アクリロイル基などを光架橋性残
基とするものが代表的なものとして知られている。しか
し、これらの光架橋性残基は、基幹ポリマーにかなり多
量に導入することが実用上必要であり、なおかつこれら
の感光性樹脂に増感剤が混合併用されているのが実情で
ある。例えば、もつとも代表的な感光性樹脂であるシン
ナモイル基3(導入されたポリ桂皮酸ビニルは、感光性
樹脂として実用に供されるるには、光架橋性残基である
シンナモイル基が基幹ポリマー中に多量に導入されてい
なげればならなイ(M、Tsuda;J、Po1y、S
ci、A、 、 2.2904’64参照)。しかも実
用に際しては、増感剤を約10重量弧程度併用しなけれ
ばならない。
このことは、従来使用されているこれらの感光基が導入
されることにより基幹ポリマーがもつ本来の諸性質、例
えば基板への密着性、現像性、耐薬品性や印刷適性など
が変わり、通常それらの性質は低下ないし悪化するので
、使用目的に応じて選択されねばならず、著しく用途制
限を受けろ不利があった。
されることにより基幹ポリマーがもつ本来の諸性質、例
えば基板への密着性、現像性、耐薬品性や印刷適性など
が変わり、通常それらの性質は低下ないし悪化するので
、使用目的に応じて選択されねばならず、著しく用途制
限を受けろ不利があった。
このような実用上の不都合を改善するために、これまで
、特殊の光架橋性残基を導入した感光性樹脂、例えばス
チリル系四級塩型残基を導入したポリビニルアルコール
が提案されている(特公昭56−5761号公報、特開
昭56−11906号公報)。
、特殊の光架橋性残基を導入した感光性樹脂、例えばス
チリル系四級塩型残基を導入したポリビニルアルコール
が提案されている(特公昭56−5761号公報、特開
昭56−11906号公報)。
1−かじながら、このようなポリビニルアルコールを基
幹ポリマーとした感光性樹脂は、親水性が性を利用し、
感光速度は低下するが四級化されていないスチリル系含
窒素複素環を側鎖に有するものの優れた溶解性と四級化
することによって得られるより高い感1明特性とを兼ね
備えた感光性樹脂を開発すべく鋭意研究を重ねた結果、
四級化されていないスチリル系含窒素複素環を側鎖に有
″′tろ高分子化合物に酸を添加した組成物が優れた感
光性樹脂材料となることを見出した。
幹ポリマーとした感光性樹脂は、親水性が性を利用し、
感光速度は低下するが四級化されていないスチリル系含
窒素複素環を側鎖に有するものの優れた溶解性と四級化
することによって得られるより高い感1明特性とを兼ね
備えた感光性樹脂を開発すべく鋭意研究を重ねた結果、
四級化されていないスチリル系含窒素複素環を側鎖に有
″′tろ高分子化合物に酸を添加した組成物が優れた感
光性樹脂材料となることを見出した。
すなわち、本発明は、光架橋性残基として、−(式中、
R1は水素原子又はアルコキシ基を示し、2は芳香族性
複素環を形成する原子団を示i)で表わされるスチリル
系含窒素複素環残基を少なくとモ0.2モル係の量で含
有する光不溶化性樹脂と、該樹脂の含有する上記含窒素
複素環残基に基づき0.5〜10倍モルの有機酸又は無
機酸とから成る光不溶化性樹脂組成物乞提供するもので
ある。
R1は水素原子又はアルコキシ基を示し、2は芳香族性
複素環を形成する原子団を示i)で表わされるスチリル
系含窒素複素環残基を少なくとモ0.2モル係の量で含
有する光不溶化性樹脂と、該樹脂の含有する上記含窒素
複素環残基に基づき0.5〜10倍モルの有機酸又は無
機酸とから成る光不溶化性樹脂組成物乞提供するもので
ある。
これらの環は、アルキル基、アルコキシ基又は水酸基に
よって核置換されていてもよい。
よって核置換されていてもよい。
スチリル系含窒素複素環が導入される基幹ポリ酸の重合
体又は共重合体などが好適である。
体又は共重合体などが好適である。
本発明で用いる光不溶化性樹脂には、上記一般式(1)
で表わされろ構造の光架橋性残基が少なくとも0.2モ
ル係導入されていることが必要である。
で表わされろ構造の光架橋性残基が少なくとも0.2モ
ル係導入されていることが必要である。
02モル係未満では、実用に供しうる光不溶化性樹脂組
成物が得られないし、また光架橋性残基の導入率があま
り大きすぎても樹脂の望ましい諸性質に悪影響を与え、
かつ材料コストが著しく増大f乙ので好ましくない。
成物が得られないし、また光架橋性残基の導入率があま
り大きすぎても樹脂の望ましい諸性質に悪影響を与え、
かつ材料コストが著しく増大f乙ので好ましくない。
この光不溶化性樹脂は、分子量閑00〜1,0OQOO
O程度のものが実用的で、2.000未満のものは不溶
化のために著しく長い照射時間を必要とするので好まし
くない。また、分子量1,000,000以上のものは
粘度が著しく増大するので、作業性又は適用性に難があ
る。好ましい分子量範囲は10,000〜300,00
0程度である。
O程度のものが実用的で、2.000未満のものは不溶
化のために著しく長い照射時間を必要とするので好まし
くない。また、分子量1,000,000以上のものは
粘度が著しく増大するので、作業性又は適用性に難があ
る。好ましい分子量範囲は10,000〜300,00
0程度である。
一般式(+)に含まれろ含窒素複素環の塩基性は、その
種類により多少変動するが、通常pKaで06〜7程度
の範囲にある。
種類により多少変動するが、通常pKaで06〜7程度
の範囲にある。
このような本発明の樹脂組成物は、通常その樹の少ない
ものでも従来市販され実用されている感光性材料よりも
遥かに優れた高感度の光年溶性樹脂材料を提供すること
ができる。
ものでも従来市販され実用されている感光性材料よりも
遥かに優れた高感度の光年溶性樹脂材料を提供すること
ができる。
本発明組成物は、上記一般式で表わされるスチリル系含
窒素環残基馨基幹ポリマーに少なくとも0.2モル係の
割合で含有させたへ樹脂に、該樹脂の含有する含窒素複
素環に対して0.5〜lo倍モルの有機酸又は無機酸を
添phiろことによって調製される。その添加量が0.
5倍モル未満では感度改善効果が不十分であるし、10
倍モルに超えると感度の改善効果がむしろ低下する上に
、樹脂の性質に悪影響を及ぼすので望ましくない。好ま
しい添加配合量は、1〜5倍モルである。このような感
度向上の理由は明確ではないが、酸含有樹脂組成物が、
例えば一般式 (式中、R1及びZは前記と同じ意味を有し、X−は有
機酸又は無機酸残基を示f) で表わされる四級化構造に変じ感光感饗が増大するもの
と推定される。
窒素環残基馨基幹ポリマーに少なくとも0.2モル係の
割合で含有させたへ樹脂に、該樹脂の含有する含窒素複
素環に対して0.5〜lo倍モルの有機酸又は無機酸を
添phiろことによって調製される。その添加量が0.
5倍モル未満では感度改善効果が不十分であるし、10
倍モルに超えると感度の改善効果がむしろ低下する上に
、樹脂の性質に悪影響を及ぼすので望ましくない。好ま
しい添加配合量は、1〜5倍モルである。このような感
度向上の理由は明確ではないが、酸含有樹脂組成物が、
例えば一般式 (式中、R1及びZは前記と同じ意味を有し、X−は有
機酸又は無機酸残基を示f) で表わされる四級化構造に変じ感光感饗が増大するもの
と推定される。
本発明の組成物に用いられる酸としては、例えば塩酸、
過塩素酸、リン酸、硫酸、硝酸などの無機酸類や酢酸、
クロル酢酸、乳酸、酒石酸、安息香酸、ニトロ安息香酸
、ベンゼンスルホン酸、ナフタリンスルホン酸、p=)
ルエンスルホン酸、メタンスルホン酸などの有機酸類を
代表的に挙げることができる。これらの酸類は単独で用
いてもよいし、また2種以上を混合して用いることもで
きる。また、樹脂が水溶性で、水ン溶剤として用′いる
ときは、無機酸でも有機酸でもよいが、有機溶剤を用い
た場合は有機酸を用いる方が有利である。さらにまた、
添加される酸の種類及び量は、前記したような光架橋性
残基の複素環の塩基性に依存し、例えばピリジン環のよ
うな強塩基(pKa=5.23 )の場合には、強酸
が有利に使用でき、その使用量も等モル程度で十分であ
るが、弱酸では2〜5倍モル程度が使用される。
過塩素酸、リン酸、硫酸、硝酸などの無機酸類や酢酸、
クロル酢酸、乳酸、酒石酸、安息香酸、ニトロ安息香酸
、ベンゼンスルホン酸、ナフタリンスルホン酸、p=)
ルエンスルホン酸、メタンスルホン酸などの有機酸類を
代表的に挙げることができる。これらの酸類は単独で用
いてもよいし、また2種以上を混合して用いることもで
きる。また、樹脂が水溶性で、水ン溶剤として用′いる
ときは、無機酸でも有機酸でもよいが、有機溶剤を用い
た場合は有機酸を用いる方が有利である。さらにまた、
添加される酸の種類及び量は、前記したような光架橋性
残基の複素環の塩基性に依存し、例えばピリジン環のよ
うな強塩基(pKa=5.23 )の場合には、強酸
が有利に使用でき、その使用量も等モル程度で十分であ
るが、弱酸では2〜5倍モル程度が使用される。
本発明の組成物にだいて、感光性樹脂は、露光により2
個の光架橋性残基が二量化反応してシクロブタン環を形
成し、高分子の直鎖間に架橋を生じて溶剤に対し不溶化
する。
個の光架橋性残基が二量化反応してシクロブタン環を形
成し、高分子の直鎖間に架橋を生じて溶剤に対し不溶化
する。
光を照射して架橋不溶化した樹脂を含むフィルムは、通
常感光性樹脂の溶剤で現像され、露光されなかった樹脂
は溶解して映像が残存形成される。
常感光性樹脂の溶剤で現像され、露光されなかった樹脂
は溶解して映像が残存形成される。
この際、現像溶剤中に塩基性物質?添加しておけば一層
容易となる。あるいは樹脂を溶解しない溶剤に塩基性物
質を添加し、露光した感性塗膜を浸したのち、溶解性溶
剤による現像処理を行なってもよい。
容易となる。あるいは樹脂を溶解しない溶剤に塩基性物
質を添加し、露光した感性塗膜を浸したのち、溶解性溶
剤による現像処理を行なってもよい。
このような現像処理において溶剤に添加使用される塩基
性物質としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カ
リウム、水酸化リチウム、重炭酸ナトl】ラム、炭酸ナ
トリウム、アンモニアなどの無機物質類やピリジン、ト
リエチルアミン、ジメチ/L/アミン、ジエチルアミン
などの有機塩基物質類ケ挙げることがでぢる。さらに、
弱い塩基性物質としては、ジメチルホルムアミド、ホル
ム了ミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリド
ン、テトラメチル尿素、ジメチルスルホキシドが挙げら
れる。また、塩基性ではないが、メタノール、エタノー
ル、メトキシエタノール、エトキシエタノール、アセト
ン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、水なども有効な
場合が多く、塩基性物質の中に包含させてよいであろう
。弱い塩基性物質や水などは感光基の複素環の塩基性が
弱い場合に好都合に使用される。
性物質としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カ
リウム、水酸化リチウム、重炭酸ナトl】ラム、炭酸ナ
トリウム、アンモニアなどの無機物質類やピリジン、ト
リエチルアミン、ジメチ/L/アミン、ジエチルアミン
などの有機塩基物質類ケ挙げることがでぢる。さらに、
弱い塩基性物質としては、ジメチルホルムアミド、ホル
ム了ミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリド
ン、テトラメチル尿素、ジメチルスルホキシドが挙げら
れる。また、塩基性ではないが、メタノール、エタノー
ル、メトキシエタノール、エトキシエタノール、アセト
ン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、水なども有効な
場合が多く、塩基性物質の中に包含させてよいであろう
。弱い塩基性物質や水などは感光基の複素環の塩基性が
弱い場合に好都合に使用される。
本発明の光年溶性樹脂組成物は、印刷版用材料、レジス
ト用材料として使用できることはもちろん、印刷インキ
や塗料基剤としても用いることができる。また本発明の
組成物は長波長領域で優れた感次に、本発明を実施例に
より、さらに詳細に説明する。
ト用材料として使用できることはもちろん、印刷インキ
や塗料基剤としても用いることができる。また本発明の
組成物は長波長領域で優れた感次に、本発明を実施例に
より、さらに詳細に説明する。
実施例1〜4
4−メチルキノリン26.7L9とバニリン31.25
Iを無水酢酸62・9g中で1夜還流l−1反応混合物
をアルカリで処理したのち、得られた生成物をブチルセ
ロソルブから再結晶して、mp217〜219℃の4−
[2−(4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニル)エチ
ニル〕キノリン29.9を得た。この化合物0.55g
、トリエチルアミン1.75g、メタクリル酸クロリド
1.66&及びジメチルアセトアミド16aJからIp
134〜135℃の4−+j−(4−メタクロイルオキ
シ−3−メトキシフェニル)工(MMA )と第1表に
示した条件で共重合させ、その共重合液をメタノール中
に加え樹脂を析出分離した。これらの樹脂類はいずれも
335nmに吸収極大を示した。
Iを無水酢酸62・9g中で1夜還流l−1反応混合物
をアルカリで処理したのち、得られた生成物をブチルセ
ロソルブから再結晶して、mp217〜219℃の4−
[2−(4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニル)エチ
ニル〕キノリン29.9を得た。この化合物0.55g
、トリエチルアミン1.75g、メタクリル酸クロリド
1.66&及びジメチルアセトアミド16aJからIp
134〜135℃の4−+j−(4−メタクロイルオキ
シ−3−メトキシフェニル)工(MMA )と第1表に
示した条件で共重合させ、その共重合液をメタノール中
に加え樹脂を析出分離した。これらの樹脂類はいずれも
335nmに吸収極大を示した。
* AIBN :重合開始剤アゾビスイソブチロニトリ
ルこのようにして得られた4−C2−(4−メタクリロ
イルオキシ−3−メトキシフェニル)エテ布し、キセノ
ン灯を光源に用いてグレースケール法により感光度を測
定した。現像液として1,2−ジクロルエタンを用いた
ときの感度を、布板されているTPR(東京応化社製)
の示f値に対して求めた相対的結果を第2表に示す。
ルこのようにして得られた4−C2−(4−メタクリロ
イルオキシ−3−メトキシフェニル)エテ布し、キセノ
ン灯を光源に用いてグレースケール法により感光度を測
定した。現像液として1,2−ジクロルエタンを用いた
ときの感度を、布板されているTPR(東京応化社製)
の示f値に対して求めた相対的結果を第2表に示す。
なお、実験においては、これらの樹脂を1,2−ジクロ
ルエタンに溶解し、光架橋性残基1モルに対して1〜1
0モル当量のp−)ルエンスルホン酸をそれぞれ添加し
た液を用いて、上記と同様にして感光度を測定し、それ
らの結果をもまとめて第2表に示した。
ルエタンに溶解し、光架橋性残基1モルに対して1〜1
0モル当量のp−)ルエンスルホン酸をそれぞれ添加し
た液を用いて、上記と同様にして感光度を測定し、それ
らの結果をもまとめて第2表に示した。
第 2 表
この表から、p−トルエンスルホン酸を添加することに
より、樹脂自体の感光感度を大巾に向上させ得ることが
分る。
より、樹脂自体の感光感度を大巾に向上させ得ることが
分る。
また、光架橋性残基の導入率は低い方(2七I)がむし
ろ優れた感度を示している。
ろ優れた感度を示している。
実施例5
γ−ピコリン20.0.!9 トルーヒドロキシベンズ
アルデヒド26.2#とを無水酢酸65.8g中で反応
させ−riらiた4−[2−(4−ヒドロキシフェニル
)エチニル〕ピリジン2gを10−のジメチルアセトア
ミドに溶解し、さらにトリエチルアミン1.23gを添
加してから、氷冷しつつメタクリル酸クロリド1.34
gを滴下した。反応終了後、水を加えて結晶を析出させ
て炉別した。酢酸エチル−ヘキサンの混合溶媒を用いて
これを再結晶し、4−[2−(4−メタクリロイルオキ
シフェニル)エチニルコピリジン2.161!(収率8
0係)を得た。結晶のmpは156〜158℃であった
。
アルデヒド26.2#とを無水酢酸65.8g中で反応
させ−riらiた4−[2−(4−ヒドロキシフェニル
)エチニル〕ピリジン2gを10−のジメチルアセトア
ミドに溶解し、さらにトリエチルアミン1.23gを添
加してから、氷冷しつつメタクリル酸クロリド1.34
gを滴下した。反応終了後、水を加えて結晶を析出させ
て炉別した。酢酸エチル−ヘキサンの混合溶媒を用いて
これを再結晶し、4−[2−(4−メタクリロイルオキ
シフェニル)エチニルコピリジン2.161!(収率8
0係)を得た。結晶のmpは156〜158℃であった
。
得られたピリジン誘導体398■とMMA2.85.9
とをベンゼン3crItに加え、AよりN15■を加え
て、脱気封管中で60℃に加温重合させた。反応終了後
、生成物をメタノール中に注ぎ樹脂を沈殿析出させた。
とをベンゼン3crItに加え、AよりN15■を加え
て、脱気封管中で60℃に加温重合させた。反応終了後
、生成物をメタノール中に注ぎ樹脂を沈殿析出させた。
この樹脂は前記市販のTPRの約1/2oの感光度しか
示さないが、塩化水素ガスの雰囲気中にその薄flI装
置くことにより、TPHの帆8倍まで感度が向上した。
示さないが、塩化水素ガスの雰囲気中にその薄flI装
置くことにより、TPHの帆8倍まで感度が向上した。
さらにこの樹脂の1,2−ジクロルエタン溶液に、光架
橋性残基に対して等モルのp−)ルエンスルホン酸を添
加した樹脂組成物の感度はTPRとほぼ同程度であった
。
橋性残基に対して等モルのp−)ルエンスルホン酸を添
加した樹脂組成物の感度はTPRとほぼ同程度であった
。
実施例6
実施例1′と同様にして、2−メチルベンゾチアゾール
9.77.9、バニリン9.97Fl及び無水酢酸16
.72gとから、2− (2−(3−メトキシ−4−ヒ
ドロキシ)エチニル〕ベンゾチアゾールを得た。これを
実施例1と同様な方法でメタクリロイル化し、収率80
係で2−(2−(3−メトキシ−4−メタクリロイルオ
キシラエチニル〕べ/ジチアゾールを得た。この化学構
造は赤外線吸収スペクトル及び元素分析により確認同定
された。
9.77.9、バニリン9.97Fl及び無水酢酸16
.72gとから、2− (2−(3−メトキシ−4−ヒ
ドロキシ)エチニル〕ベンゾチアゾールを得た。これを
実施例1と同様な方法でメタクリロイル化し、収率80
係で2−(2−(3−メトキシ−4−メタクリロイルオ
キシラエチニル〕べ/ジチアゾールを得た。この化学構
造は赤外線吸収スペクトル及び元素分析により確認同定
された。
得られた重合能を有するベンゾチアゾール誘導体125
.5■をMMA 1.00gとともに、1.5Iのベン
ゼンに加え、5■のAよりN触媒により脱気封管中で6
0℃の温度条件下に重合させた。重合後内容物をメタノ
ール中に注ぎ、析出法でんさせ、分離乾燥した。この樹
脂はクロロホルム中で:(48nmに吸収極大値を示し
た。
.5■をMMA 1.00gとともに、1.5Iのベン
ゼンに加え、5■のAよりN触媒により脱気封管中で6
0℃の温度条件下に重合させた。重合後内容物をメタノ
ール中に注ぎ、析出法でんさせ、分離乾燥した。この樹
脂はクロロホルム中で:(48nmに吸収極大値を示し
た。
得られた樹脂を実施例1〜4と同様にして感度を測定し
たところ、TPRの2倍の感度を示した。
たところ、TPRの2倍の感度を示した。
この樹脂のクロロホルム溶液に光架橋性残基に対して2
倍モルのp−)ルエンスルホン酸を添加した組成物の感
度はTPRの約10倍に向上した。
倍モルのp−)ルエンスルホン酸を添加した組成物の感
度はTPRの約10倍に向上した。
実施例7及び8
2−メチルキノリン34.40gとバニリン36.57
1を無水酢酸6]、34.9中で16時間還流下に反応
させたのち、酢酸50cr/1を留去した。残留物に3
N塩酸250dを加えて1時間加熱し、冷却して析出結
晶を戸別した。この結晶をアンモニア水に懸濁させ、1
時間攪拌して結晶から塩化水素を除き、脱塩化水素結晶
を再度濾過して集めた。これを2−エトキシエタノール
から再結晶して、2−[2−(4−ヒドロキシ−3−メ
トキシフェニル)エチニル〕キノリンを収率63幅で得
た。
1を無水酢酸6]、34.9中で16時間還流下に反応
させたのち、酢酸50cr/1を留去した。残留物に3
N塩酸250dを加えて1時間加熱し、冷却して析出結
晶を戸別した。この結晶をアンモニア水に懸濁させ、1
時間攪拌して結晶から塩化水素を除き、脱塩化水素結晶
を再度濾過して集めた。これを2−エトキシエタノール
から再結晶して、2−[2−(4−ヒドロキシ−3−メ
トキシフェニル)エチニル〕キノリンを収率63幅で得
た。
得られたキノリン誘導体2 、771をジメチルアセト
アミド5dに溶解してからメタリクル酸グリシジル1.
42#とテトラブチルアンモニウムクロリド0.109
を加え、90〜100℃で5時間加熱反応させた。反応
物に水を加え、分離した油状物を酢酸エチルで抽出した
のち、十分に水洗して乾燥した。
アミド5dに溶解してからメタリクル酸グリシジル1.
42#とテトラブチルアンモニウムクロリド0.109
を加え、90〜100℃で5時間加熱反応させた。反応
物に水を加え、分離した油状物を酢酸エチルで抽出した
のち、十分に水洗して乾燥した。
溶剤を留去後シリカゲルクロマトグラフィーで分離精製
イることにより50係の収率で2−(2−〔3−メトキ
シ−4−(2−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシ
プロピルオキシ)フェニル〕エチニル)キノリンを得た
。これを酢酸エチル−ヘキサンを用いて再結晶すること
により、mpH9℃の純品が得られた。これを元素分析
及び赤外線吸収スペクトルにより上記化学物質であるこ
とが確認された。
イることにより50係の収率で2−(2−〔3−メトキ
シ−4−(2−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシ
プロピルオキシ)フェニル〕エチニル)キノリンを得た
。これを酢酸エチル−ヘキサンを用いて再結晶すること
により、mpH9℃の純品が得られた。これを元素分析
及び赤外線吸収スペクトルにより上記化学物質であるこ
とが確認された。
得られた高純度キノリン誘導体をMMAと共重合させて
、359nmに吸収極大を有する感光性樹脂を製造した
。キノリン誘導体とMMAの量を変えた2種の樹脂の製
造条件を下掲第3表に、またそれぞれの樹脂及びそれぞ
れの樹脂に、その樹脂中の光架橋性残基に対して2倍モ
ルの1)−)ルエンスルホン醒を添加した組成物のTP
Hの感度に対する相対感度を第4表にまとめて示した。
、359nmに吸収極大を有する感光性樹脂を製造した
。キノリン誘導体とMMAの量を変えた2種の樹脂の製
造条件を下掲第3表に、またそれぞれの樹脂及びそれぞ
れの樹脂に、その樹脂中の光架橋性残基に対して2倍モ
ルの1)−)ルエンスルホン醒を添加した組成物のTP
Hの感度に対する相対感度を第4表にまとめて示した。
なお、核酸を添加した組成物の場合には少量のジメチル
ホルムアミドを含有する1、2−ジクロルエタンで現像
した。
ホルムアミドを含有する1、2−ジクロルエタンで現像
した。
なお、重合媒体に3crIのベンゼンを用い1こ。
第 4 表
上表より、キノリン誘導体−MMA共重共重合体口て、
光架橋性残基導入率が2モル係のものは、単独ではTP
Rに比べ感度は弱いが、光架橋性残基に対して2倍モル
量のp−)ルエンスルホン酸を添加した組成物の感度は
4倍以上に増大し、また、光架橋性残基導入率5モル係
のものは、市販品の光架橋性残基導入率より遥かに少な
いにもかかわらず、それ自体で同等以上、酸添加により
10倍の感度に向上することがわかる。
光架橋性残基導入率が2モル係のものは、単独ではTP
Rに比べ感度は弱いが、光架橋性残基に対して2倍モル
量のp−)ルエンスルホン酸を添加した組成物の感度は
4倍以上に増大し、また、光架橋性残基導入率5モル係
のものは、市販品の光架橋性残基導入率より遥かに少な
いにもかかわらず、それ自体で同等以上、酸添加により
10倍の感度に向上することがわかる。
また、光架橋性残基導入率5モル係の上記試料樹脂に、
該光架橋性残基に対し10倍モルの酢酸を添加し、これ
をスピンナでアルミニウム板に塗布したものは、TPR
に比べて6倍の感度を示した。
該光架橋性残基に対し10倍モルの酢酸を添加し、これ
をスピンナでアルミニウム板に塗布したものは、TPR
に比べて6倍の感度を示した。
実施例9
実施例7で用いた2−(2−(3−メトキシ−4−(2
−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシプロピルオキ
シ)フェニル〕エチニル)キノリン77.6■をメタク
リル酸メチル390■とメタクリル酸n−ブチル750
1ngとともにベンゼン1g中で、重合開始剤としてA
よりN 5■を用いて重合させた。重合は上記混合物を
脱気封管中で、60〜65℃の温度下に20時間保って
行なった。重合後管を振りまぜてから内容物をメタノー
ルに注ぎ樹脂を析出沈殿させ単離した。
−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシプロピルオキ
シ)フェニル〕エチニル)キノリン77.6■をメタク
リル酸メチル390■とメタクリル酸n−ブチル750
1ngとともにベンゼン1g中で、重合開始剤としてA
よりN 5■を用いて重合させた。重合は上記混合物を
脱気封管中で、60〜65℃の温度下に20時間保って
行なった。重合後管を振りまぜてから内容物をメタノー
ルに注ぎ樹脂を析出沈殿させ単離した。
この樹脂はTPRに比べて1/!oの感度しか示さない
が、塩化水素ガス雰囲気にさらすことにより、TPHの
約3の感度を示した。
が、塩化水素ガス雰囲気にさらすことにより、TPHの
約3の感度を示した。
実施例10及び1】
2−(2−C3−メトキシ−4−(2−ヒドロキシ−3
−メタクリロイルオキシプロピルオキシ)フェニル〕エ
チニル)キノリンをMMA及びアクリロニトリル(AN
)と共重合させ、第5表に示す組成の2種の三元共重合
体を製造した。なお、重合は1.51のベンゼンを反応
媒体として用い、AIBNはいずれも2.5■使用した
。
−メタクリロイルオキシプロピルオキシ)フェニル〕エ
チニル)キノリンをMMA及びアクリロニトリル(AN
)と共重合させ、第5表に示す組成の2種の三元共重合
体を製造した。なお、重合は1.51のベンゼンを反応
媒体として用い、AIBNはいずれも2.5■使用した
。
得られた樹脂及び該樹脂にその光架橋性残基に対して2
倍モルの1)−)ルエンスルホン酸を添加した組成物に
ついて、それぞれTPRに対する相対感度をしらべた。
倍モルの1)−)ルエンスルホン酸を添加した組成物に
ついて、それぞれTPRに対する相対感度をしらべた。
その結果を第5表に併記した。
第 5 表
いずれの樹脂も酸を加え゛ないで優れた相対感度(6倍
)を有するが、漬添加によりTPRの約60倍もの高感
度が得られている。
)を有するが、漬添加によりTPRの約60倍もの高感
度が得られている。
実施例12〜】4
2−(2−[3−メトキシ−4−(2−ヒドロキシ−3
−メタクリロイルオキシプロピルオキシ)フェニル]エ
チニル)キノリン38.8■をメタクリル酸メチル79
0■および第6表に示したアクリル系モノマーとベンゼ
ン中で4時間ラジカル重合させ、第6表に示す組成の三
元共重合体を製造した。このとき、感光基成分が1モル
優になるように仕込み量を調節した。得られた樹脂の光
架橋性残基に対し2倍モルのp−)ルエンスルホン酸ヲ
添加した組成物について、それぞれTPRに対する相対
感度をしらべた。その結果を第6表に併記した。
−メタクリロイルオキシプロピルオキシ)フェニル]エ
チニル)キノリン38.8■をメタクリル酸メチル79
0■および第6表に示したアクリル系モノマーとベンゼ
ン中で4時間ラジカル重合させ、第6表に示す組成の三
元共重合体を製造した。このとき、感光基成分が1モル
優になるように仕込み量を調節した。得られた樹脂の光
架橋性残基に対し2倍モルのp−)ルエンスルホン酸ヲ
添加した組成物について、それぞれTPRに対する相対
感度をしらべた。その結果を第6表に併記した。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 光架橋性残基として、一般式 で表わされるスチリル系含窒素複素環残基を少なくと(
、0,2モル係の量で含有する晃不溶化性樹脂と。 該樹脂の含有する上記含窒素複素−環残基に基づき0.
5〜10倍モルの有機酸又は無機酸とから成る光不溶化
性樹脂組成物。 2 有機酸が、酢酸、クロル酢酸、安息香酸、ニトロ安
息香酸、ベンゼンスルホン酸、ナフタリンスルホン[p
−)ルエンスルホン酸及びメタンスルホン酸から選択さ
れたものである特許請求の範囲第1項記載の組成物。 3 無機酸が塩酸、過塩素酸、リン酸、硫酸及び硝酸か
ら選択されたものである特許請求の範囲第1項記載の組
成物。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12323181A JPS5841288B2 (ja) | 1981-08-06 | 1981-08-06 | 光不溶化性樹脂組成物 |
| US06/404,719 US4444868A (en) | 1981-08-06 | 1982-08-03 | Photosensitive composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12323181A JPS5841288B2 (ja) | 1981-08-06 | 1981-08-06 | 光不溶化性樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5825317A true JPS5825317A (ja) | 1983-02-15 |
| JPS5841288B2 JPS5841288B2 (ja) | 1983-09-10 |
Family
ID=14855439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12323181A Expired JPS5841288B2 (ja) | 1981-08-06 | 1981-08-06 | 光不溶化性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5841288B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4598150A (en) * | 1983-02-18 | 1986-07-01 | Yamada Chemical Co. Ltd | Chromogenic 1-(3-methoxy-4-alkoxyphenyl)-2-(2'-quinolyl)ethylene compounds |
| JPS62234149A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-10-14 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | ホトレジスト記録媒体 |
-
1981
- 1981-08-06 JP JP12323181A patent/JPS5841288B2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4820841A (en) * | 1983-02-16 | 1989-04-11 | Yamada Chemical Co., Ltd. | Chromogenic quinoline compounds |
| US4598150A (en) * | 1983-02-18 | 1986-07-01 | Yamada Chemical Co. Ltd | Chromogenic 1-(3-methoxy-4-alkoxyphenyl)-2-(2'-quinolyl)ethylene compounds |
| JPS62234149A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-10-14 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | ホトレジスト記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5841288B2 (ja) | 1983-09-10 |
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