JPS5825317A - 光不溶化性樹脂組成物 - Google Patents

光不溶化性樹脂組成物

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JPS5825317A
JPS5825317A JP12323181A JP12323181A JPS5825317A JP S5825317 A JPS5825317 A JP S5825317A JP 12323181 A JP12323181 A JP 12323181A JP 12323181 A JP12323181 A JP 12323181A JP S5825317 A JPS5825317 A JP S5825317A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 化性樹脂組成物に関するものである。
感光性樹脂は印刷版製造材料、フォトエツチング、フォ
トミリングなどのフォトレジストとして、また塗料や印
刷インキなどの感光性ビヒクルとして実用されている。
それらの実用化されている感光性樹脂としては、アジド
基、シンナモイル基、アクリロイル基などを光架橋性残
基とするものが代表的なものとして知られている。しか
し、これらの光架橋性残基は、基幹ポリマーにかなり多
量に導入することが実用上必要であり、なおかつこれら
の感光性樹脂に増感剤が混合併用されているのが実情で
ある。例えば、もつとも代表的な感光性樹脂であるシン
ナモイル基3(導入されたポリ桂皮酸ビニルは、感光性
樹脂として実用に供されるるには、光架橋性残基である
シンナモイル基が基幹ポリマー中に多量に導入されてい
なげればならなイ(M、Tsuda;J、Po1y、S
ci、A、 、 2.2904’64参照)。しかも実
用に際しては、増感剤を約10重量弧程度併用しなけれ
ばならない。
このことは、従来使用されているこれらの感光基が導入
されることにより基幹ポリマーがもつ本来の諸性質、例
えば基板への密着性、現像性、耐薬品性や印刷適性など
が変わり、通常それらの性質は低下ないし悪化するので
、使用目的に応じて選択されねばならず、著しく用途制
限を受けろ不利があった。
このような実用上の不都合を改善するために、これまで
、特殊の光架橋性残基を導入した感光性樹脂、例えばス
チリル系四級塩型残基を導入したポリビニルアルコール
が提案されている(特公昭56−5761号公報、特開
昭56−11906号公報)。
1−かじながら、このようなポリビニルアルコールを基
幹ポリマーとした感光性樹脂は、親水性が性を利用し、
感光速度は低下するが四級化されていないスチリル系含
窒素複素環を側鎖に有するものの優れた溶解性と四級化
することによって得られるより高い感1明特性とを兼ね
備えた感光性樹脂を開発すべく鋭意研究を重ねた結果、
四級化されていないスチリル系含窒素複素環を側鎖に有
″′tろ高分子化合物に酸を添加した組成物が優れた感
光性樹脂材料となることを見出した。
すなわち、本発明は、光架橋性残基として、−(式中、
R1は水素原子又はアルコキシ基を示し、2は芳香族性
複素環を形成する原子団を示i)で表わされるスチリル
系含窒素複素環残基を少なくとモ0.2モル係の量で含
有する光不溶化性樹脂と、該樹脂の含有する上記含窒素
複素環残基に基づき0.5〜10倍モルの有機酸又は無
機酸とから成る光不溶化性樹脂組成物乞提供するもので
ある。
これらの環は、アルキル基、アルコキシ基又は水酸基に
よって核置換されていてもよい。
スチリル系含窒素複素環が導入される基幹ポリ酸の重合
体又は共重合体などが好適である。
本発明で用いる光不溶化性樹脂には、上記一般式(1)
で表わされろ構造の光架橋性残基が少なくとも0.2モ
ル係導入されていることが必要である。
02モル係未満では、実用に供しうる光不溶化性樹脂組
成物が得られないし、また光架橋性残基の導入率があま
り大きすぎても樹脂の望ましい諸性質に悪影響を与え、
かつ材料コストが著しく増大f乙ので好ましくない。
この光不溶化性樹脂は、分子量閑00〜1,0OQOO
O程度のものが実用的で、2.000未満のものは不溶
化のために著しく長い照射時間を必要とするので好まし
くない。また、分子量1,000,000以上のものは
粘度が著しく増大するので、作業性又は適用性に難があ
る。好ましい分子量範囲は10,000〜300,00
0程度である。
一般式(+)に含まれろ含窒素複素環の塩基性は、その
種類により多少変動するが、通常pKaで06〜7程度
の範囲にある。
このような本発明の樹脂組成物は、通常その樹の少ない
ものでも従来市販され実用されている感光性材料よりも
遥かに優れた高感度の光年溶性樹脂材料を提供すること
ができる。
本発明組成物は、上記一般式で表わされるスチリル系含
窒素環残基馨基幹ポリマーに少なくとも0.2モル係の
割合で含有させたへ樹脂に、該樹脂の含有する含窒素複
素環に対して0.5〜lo倍モルの有機酸又は無機酸を
添phiろことによって調製される。その添加量が0.
5倍モル未満では感度改善効果が不十分であるし、10
倍モルに超えると感度の改善効果がむしろ低下する上に
、樹脂の性質に悪影響を及ぼすので望ましくない。好ま
しい添加配合量は、1〜5倍モルである。このような感
度向上の理由は明確ではないが、酸含有樹脂組成物が、
例えば一般式 (式中、R1及びZは前記と同じ意味を有し、X−は有
機酸又は無機酸残基を示f) で表わされる四級化構造に変じ感光感饗が増大するもの
と推定される。
本発明の組成物に用いられる酸としては、例えば塩酸、
過塩素酸、リン酸、硫酸、硝酸などの無機酸類や酢酸、
クロル酢酸、乳酸、酒石酸、安息香酸、ニトロ安息香酸
、ベンゼンスルホン酸、ナフタリンスルホン酸、p=)
ルエンスルホン酸、メタンスルホン酸などの有機酸類を
代表的に挙げることができる。これらの酸類は単独で用
いてもよいし、また2種以上を混合して用いることもで
きる。また、樹脂が水溶性で、水ン溶剤として用′いる
ときは、無機酸でも有機酸でもよいが、有機溶剤を用い
た場合は有機酸を用いる方が有利である。さらにまた、
添加される酸の種類及び量は、前記したような光架橋性
残基の複素環の塩基性に依存し、例えばピリジン環のよ
うな強塩基(pKa=5.23  )の場合には、強酸
が有利に使用でき、その使用量も等モル程度で十分であ
るが、弱酸では2〜5倍モル程度が使用される。
本発明の組成物にだいて、感光性樹脂は、露光により2
個の光架橋性残基が二量化反応してシクロブタン環を形
成し、高分子の直鎖間に架橋を生じて溶剤に対し不溶化
する。
光を照射して架橋不溶化した樹脂を含むフィルムは、通
常感光性樹脂の溶剤で現像され、露光されなかった樹脂
は溶解して映像が残存形成される。
この際、現像溶剤中に塩基性物質?添加しておけば一層
容易となる。あるいは樹脂を溶解しない溶剤に塩基性物
質を添加し、露光した感性塗膜を浸したのち、溶解性溶
剤による現像処理を行なってもよい。
このような現像処理において溶剤に添加使用される塩基
性物質としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カ
リウム、水酸化リチウム、重炭酸ナトl】ラム、炭酸ナ
トリウム、アンモニアなどの無機物質類やピリジン、ト
リエチルアミン、ジメチ/L/アミン、ジエチルアミン
などの有機塩基物質類ケ挙げることがでぢる。さらに、
弱い塩基性物質としては、ジメチルホルムアミド、ホル
ム了ミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリド
ン、テトラメチル尿素、ジメチルスルホキシドが挙げら
れる。また、塩基性ではないが、メタノール、エタノー
ル、メトキシエタノール、エトキシエタノール、アセト
ン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、水なども有効な
場合が多く、塩基性物質の中に包含させてよいであろう
。弱い塩基性物質や水などは感光基の複素環の塩基性が
弱い場合に好都合に使用される。
本発明の光年溶性樹脂組成物は、印刷版用材料、レジス
ト用材料として使用できることはもちろん、印刷インキ
や塗料基剤としても用いることができる。また本発明の
組成物は長波長領域で優れた感次に、本発明を実施例に
より、さらに詳細に説明する。
実施例1〜4 4−メチルキノリン26.7L9とバニリン31.25
Iを無水酢酸62・9g中で1夜還流l−1反応混合物
をアルカリで処理したのち、得られた生成物をブチルセ
ロソルブから再結晶して、mp217〜219℃の4−
[2−(4−ヒドロキシ−3−メトキシフェニル)エチ
ニル〕キノリン29.9を得た。この化合物0.55g
、トリエチルアミン1.75g、メタクリル酸クロリド
1.66&及びジメチルアセトアミド16aJからIp
134〜135℃の4−+j−(4−メタクロイルオキ
シ−3−メトキシフェニル)工(MMA )と第1表に
示した条件で共重合させ、その共重合液をメタノール中
に加え樹脂を析出分離した。これらの樹脂類はいずれも
335nmに吸収極大を示した。
* AIBN :重合開始剤アゾビスイソブチロニトリ
ルこのようにして得られた4−C2−(4−メタクリロ
イルオキシ−3−メトキシフェニル)エテ布し、キセノ
ン灯を光源に用いてグレースケール法により感光度を測
定した。現像液として1,2−ジクロルエタンを用いた
ときの感度を、布板されているTPR(東京応化社製)
の示f値に対して求めた相対的結果を第2表に示す。
なお、実験においては、これらの樹脂を1,2−ジクロ
ルエタンに溶解し、光架橋性残基1モルに対して1〜1
0モル当量のp−)ルエンスルホン酸をそれぞれ添加し
た液を用いて、上記と同様にして感光度を測定し、それ
らの結果をもまとめて第2表に示した。
第    2    表 この表から、p−トルエンスルホン酸を添加することに
より、樹脂自体の感光感度を大巾に向上させ得ることが
分る。
また、光架橋性残基の導入率は低い方(2七I)がむし
ろ優れた感度を示している。
実施例5 γ−ピコリン20.0.!9 トルーヒドロキシベンズ
アルデヒド26.2#とを無水酢酸65.8g中で反応
させ−riらiた4−[2−(4−ヒドロキシフェニル
)エチニル〕ピリジン2gを10−のジメチルアセトア
ミドに溶解し、さらにトリエチルアミン1.23gを添
加してから、氷冷しつつメタクリル酸クロリド1.34
gを滴下した。反応終了後、水を加えて結晶を析出させ
て炉別した。酢酸エチル−ヘキサンの混合溶媒を用いて
これを再結晶し、4−[2−(4−メタクリロイルオキ
シフェニル)エチニルコピリジン2.161!(収率8
0係)を得た。結晶のmpは156〜158℃であった
得られたピリジン誘導体398■とMMA2.85.9
とをベンゼン3crItに加え、AよりN15■を加え
て、脱気封管中で60℃に加温重合させた。反応終了後
、生成物をメタノール中に注ぎ樹脂を沈殿析出させた。
この樹脂は前記市販のTPRの約1/2oの感光度しか
示さないが、塩化水素ガスの雰囲気中にその薄flI装
置くことにより、TPHの帆8倍まで感度が向上した。
さらにこの樹脂の1,2−ジクロルエタン溶液に、光架
橋性残基に対して等モルのp−)ルエンスルホン酸を添
加した樹脂組成物の感度はTPRとほぼ同程度であった
実施例6 実施例1′と同様にして、2−メチルベンゾチアゾール
9.77.9、バニリン9.97Fl及び無水酢酸16
.72gとから、2− (2−(3−メトキシ−4−ヒ
ドロキシ)エチニル〕ベンゾチアゾールを得た。これを
実施例1と同様な方法でメタクリロイル化し、収率80
係で2−(2−(3−メトキシ−4−メタクリロイルオ
キシラエチニル〕べ/ジチアゾールを得た。この化学構
造は赤外線吸収スペクトル及び元素分析により確認同定
された。
得られた重合能を有するベンゾチアゾール誘導体125
.5■をMMA 1.00gとともに、1.5Iのベン
ゼンに加え、5■のAよりN触媒により脱気封管中で6
0℃の温度条件下に重合させた。重合後内容物をメタノ
ール中に注ぎ、析出法でんさせ、分離乾燥した。この樹
脂はクロロホルム中で:(48nmに吸収極大値を示し
た。
得られた樹脂を実施例1〜4と同様にして感度を測定し
たところ、TPRの2倍の感度を示した。
この樹脂のクロロホルム溶液に光架橋性残基に対して2
倍モルのp−)ルエンスルホン酸を添加した組成物の感
度はTPRの約10倍に向上した。
実施例7及び8 2−メチルキノリン34.40gとバニリン36.57
1を無水酢酸6]、34.9中で16時間還流下に反応
させたのち、酢酸50cr/1を留去した。残留物に3
N塩酸250dを加えて1時間加熱し、冷却して析出結
晶を戸別した。この結晶をアンモニア水に懸濁させ、1
時間攪拌して結晶から塩化水素を除き、脱塩化水素結晶
を再度濾過して集めた。これを2−エトキシエタノール
から再結晶して、2−[2−(4−ヒドロキシ−3−メ
トキシフェニル)エチニル〕キノリンを収率63幅で得
た。
得られたキノリン誘導体2 、771をジメチルアセト
アミド5dに溶解してからメタリクル酸グリシジル1.
42#とテトラブチルアンモニウムクロリド0.109
を加え、90〜100℃で5時間加熱反応させた。反応
物に水を加え、分離した油状物を酢酸エチルで抽出した
のち、十分に水洗して乾燥した。
溶剤を留去後シリカゲルクロマトグラフィーで分離精製
イることにより50係の収率で2−(2−〔3−メトキ
シ−4−(2−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシ
プロピルオキシ)フェニル〕エチニル)キノリンを得た
。これを酢酸エチル−ヘキサンを用いて再結晶すること
により、mpH9℃の純品が得られた。これを元素分析
及び赤外線吸収スペクトルにより上記化学物質であるこ
とが確認された。
得られた高純度キノリン誘導体をMMAと共重合させて
、359nmに吸収極大を有する感光性樹脂を製造した
。キノリン誘導体とMMAの量を変えた2種の樹脂の製
造条件を下掲第3表に、またそれぞれの樹脂及びそれぞ
れの樹脂に、その樹脂中の光架橋性残基に対して2倍モ
ルの1)−)ルエンスルホン醒を添加した組成物のTP
Hの感度に対する相対感度を第4表にまとめて示した。
なお、核酸を添加した組成物の場合には少量のジメチル
ホルムアミドを含有する1、2−ジクロルエタンで現像
した。
なお、重合媒体に3crIのベンゼンを用い1こ。
第  4  表 上表より、キノリン誘導体−MMA共重共重合体口て、
光架橋性残基導入率が2モル係のものは、単独ではTP
Rに比べ感度は弱いが、光架橋性残基に対して2倍モル
量のp−)ルエンスルホン酸を添加した組成物の感度は
4倍以上に増大し、また、光架橋性残基導入率5モル係
のものは、市販品の光架橋性残基導入率より遥かに少な
いにもかかわらず、それ自体で同等以上、酸添加により
10倍の感度に向上することがわかる。
また、光架橋性残基導入率5モル係の上記試料樹脂に、
該光架橋性残基に対し10倍モルの酢酸を添加し、これ
をスピンナでアルミニウム板に塗布したものは、TPR
に比べて6倍の感度を示した。
実施例9 実施例7で用いた2−(2−(3−メトキシ−4−(2
−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシプロピルオキ
シ)フェニル〕エチニル)キノリン77.6■をメタク
リル酸メチル390■とメタクリル酸n−ブチル750
1ngとともにベンゼン1g中で、重合開始剤としてA
よりN 5■を用いて重合させた。重合は上記混合物を
脱気封管中で、60〜65℃の温度下に20時間保って
行なった。重合後管を振りまぜてから内容物をメタノー
ルに注ぎ樹脂を析出沈殿させ単離した。
この樹脂はTPRに比べて1/!oの感度しか示さない
が、塩化水素ガス雰囲気にさらすことにより、TPHの
約3の感度を示した。
実施例10及び1】 2−(2−C3−メトキシ−4−(2−ヒドロキシ−3
−メタクリロイルオキシプロピルオキシ)フェニル〕エ
チニル)キノリンをMMA及びアクリロニトリル(AN
)と共重合させ、第5表に示す組成の2種の三元共重合
体を製造した。なお、重合は1.51のベンゼンを反応
媒体として用い、AIBNはいずれも2.5■使用した
得られた樹脂及び該樹脂にその光架橋性残基に対して2
倍モルの1)−)ルエンスルホン酸を添加した組成物に
ついて、それぞれTPRに対する相対感度をしらべた。
その結果を第5表に併記した。
第   5   表 いずれの樹脂も酸を加え゛ないで優れた相対感度(6倍
)を有するが、漬添加によりTPRの約60倍もの高感
度が得られている。
実施例12〜】4 2−(2−[3−メトキシ−4−(2−ヒドロキシ−3
−メタクリロイルオキシプロピルオキシ)フェニル]エ
チニル)キノリン38.8■をメタクリル酸メチル79
0■および第6表に示したアクリル系モノマーとベンゼ
ン中で4時間ラジカル重合させ、第6表に示す組成の三
元共重合体を製造した。このとき、感光基成分が1モル
優になるように仕込み量を調節した。得られた樹脂の光
架橋性残基に対し2倍モルのp−)ルエンスルホン酸ヲ
添加した組成物について、それぞれTPRに対する相対
感度をしらべた。その結果を第6表に併記した。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 光架橋性残基として、一般式 で表わされるスチリル系含窒素複素環残基を少なくと(
    、0,2モル係の量で含有する晃不溶化性樹脂と。 該樹脂の含有する上記含窒素複素−環残基に基づき0.
    5〜10倍モルの有機酸又は無機酸とから成る光不溶化
    性樹脂組成物。 2 有機酸が、酢酸、クロル酢酸、安息香酸、ニトロ安
    息香酸、ベンゼンスルホン酸、ナフタリンスルホン[p
    −)ルエンスルホン酸及びメタンスルホン酸から選択さ
    れたものである特許請求の範囲第1項記載の組成物。 3 無機酸が塩酸、過塩素酸、リン酸、硫酸及び硝酸か
    ら選択されたものである特許請求の範囲第1項記載の組
    成物。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4598150A (en) * 1983-02-18 1986-07-01 Yamada Chemical Co. Ltd Chromogenic 1-(3-methoxy-4-alkoxyphenyl)-2-(2'-quinolyl)ethylene compounds
JPS62234149A (ja) * 1985-12-23 1987-10-14 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ ホトレジスト記録媒体

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