JPS582616B2 - イオンの生成装置 - Google Patents
イオンの生成装置Info
- Publication number
- JPS582616B2 JPS582616B2 JP53080960A JP8096078A JPS582616B2 JP S582616 B2 JPS582616 B2 JP S582616B2 JP 53080960 A JP53080960 A JP 53080960A JP 8096078 A JP8096078 A JP 8096078A JP S582616 B2 JPS582616 B2 JP S582616B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- sample
- carrier gas
- excited species
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はイオンの生成装置に係り、特にキャリャーガス
より生じた励起種のみを試料にあてて試料をイオン化す
る点に特徴があり、イオン化検出装置の汚染を少くする
ことができ、また大気田下でこれらの反応を行うので試
料の取扱いがきわめて容易である。
より生じた励起種のみを試料にあてて試料をイオン化す
る点に特徴があり、イオン化検出装置の汚染を少くする
ことができ、また大気田下でこれらの反応を行うので試
料の取扱いがきわめて容易である。
従来よりイオン化検出器はひろく用いられており、この
検出器にはアルゴンイオン化検出器、API法等があっ
てキャリャーガスを放射線あるいは放電によりイオン化
するとともにイオン化を行っているキャリャーガス中に
試料を導入してキャリャーガスのイオンからの電荷交換
やプロトン移行等の反応によって試料のイオン化を行い
検出測定部で検出測定を行っていた。
検出器にはアルゴンイオン化検出器、API法等があっ
てキャリャーガスを放射線あるいは放電によりイオン化
するとともにイオン化を行っているキャリャーガス中に
試料を導入してキャリャーガスのイオンからの電荷交換
やプロトン移行等の反応によって試料のイオン化を行い
検出測定部で検出測定を行っていた。
しかしてこのような場合にはキャリャーガス中に試料が
導入され、キャリャーガスと試料を同時にイオン化する
ため検出器内の汚染がひどく定量性が悪くなり、又キャ
リャーガスの励起種のみでなくキャリャーガス自身のイ
オンが存在し、これを試料のイオンとわけることができ
ないのでバックグラウンドが犬である。
導入され、キャリャーガスと試料を同時にイオン化する
ため検出器内の汚染がひどく定量性が悪くなり、又キャ
リャーガスの励起種のみでなくキャリャーガス自身のイ
オンが存在し、これを試料のイオンとわけることができ
ないのでバックグラウンドが犬である。
又キャリャーガス中に導入するためには試料が気化する
必要があるので、低揮発性あるいは不揮発性の試料には
用いられず、すなわちこれをガスクロマトグラフには用
いることができるが、液体クロマトグラフには不適であ
る等の欠かんがあった。
必要があるので、低揮発性あるいは不揮発性の試料には
用いられず、すなわちこれをガスクロマトグラフには用
いることができるが、液体クロマトグラフには不適であ
る等の欠かんがあった。
このように従来技術ではキャリャーガスと試料のイオン
化を同時に行っていたため種々の欠かんをもたらした点
に鑑み、本発明は、1気千程度のキャリャーガスが導入
される第1の室と、第1の室に連通してこれよりキャリ
ャーガスが流入するための排出通路と、第1の室内でコ
ロナ放電を発生させるための針状電極と、放電により生
成されキャリャーガスの流れにのって第2の室へ向けて
移動する荷電粒子及びキャリャーガスの励起種のうち、
荷電粒子の通過を阻止するため前記第1と第2の室の間
に設けられた電極と、キャリャーガスの流れにのって第
2の室へ流入した励起種の通路に試料を配置するための
手段と、前記配置された試料に励起種を当ててイオン化
する試料のイオン化室とを備えることを特徴とする。
化を同時に行っていたため種々の欠かんをもたらした点
に鑑み、本発明は、1気千程度のキャリャーガスが導入
される第1の室と、第1の室に連通してこれよりキャリ
ャーガスが流入するための排出通路と、第1の室内でコ
ロナ放電を発生させるための針状電極と、放電により生
成されキャリャーガスの流れにのって第2の室へ向けて
移動する荷電粒子及びキャリャーガスの励起種のうち、
荷電粒子の通過を阻止するため前記第1と第2の室の間
に設けられた電極と、キャリャーガスの流れにのって第
2の室へ流入した励起種の通路に試料を配置するための
手段と、前記配置された試料に励起種を当ててイオン化
する試料のイオン化室とを備えることを特徴とする。
尚キャリャーガスのイオンと励却種を生成させるのに通
常は放電によるが、その他X線放射や光その他の放射線
を用いる場合も考えられる。
常は放電によるが、その他X線放射や光その他の放射線
を用いる場合も考えられる。
かくて本発明によれば、キャリャーガス自身のイオンは
励起種と分離除去されるので、バックグランドが非常に
少なく、S/Nかよいので検出感度はこれにともなって
高い。
励起種と分離除去されるので、バックグランドが非常に
少なく、S/Nかよいので検出感度はこれにともなって
高い。
又ヰヤリャーガスの励起種を用いると液体や固体試料を
直接イオン化することができるので、試料を気化させる
必要がない。
直接イオン化することができるので、試料を気化させる
必要がない。
即ち微料試料を金属棒などにつけて励起種を含むキャリ
ャーガスの流れの中に挿入するたけでよい。
ャーガスの流れの中に挿入するたけでよい。
しかも大気圧(通常一気圧)なので試料導入操作、装置
ともきわめて簡単である。
ともきわめて簡単である。
尚キャリャーガスとしては希ガス(アルゴン、ヘリウム
、クリプトン等)や窒素等が用いられる。
、クリプトン等)や窒素等が用いられる。
特にアルゴンのように励起エネルギーが11.6eV程
度のキャリャーガスを用いると、有機化合物はイオン化
するが、空気や水はイオン化しないので試料導入部を気
密にする必要がないから試料の出し入れが全く自由にで
きる。
度のキャリャーガスを用いると、有機化合物はイオン化
するが、空気や水はイオン化しないので試料導入部を気
密にする必要がないから試料の出し入れが全く自由にで
きる。
又本発明によれは、試料自身は放電や電子衝撃等にさら
されることがないので試料の分解等による装置の汚染が
少ない。
されることがないので試料の分解等による装置の汚染が
少ない。
又液体試料が単一化合物であったり、イオン化しない溶
媒を用いる場合、または溶媒と加熱等により分離できる
場合等は試料イオンを測定部へ送る中間部にコレクター
(第1図の4a)を設けることにより検出器とじて用い
うる。
媒を用いる場合、または溶媒と加熱等により分離できる
場合等は試料イオンを測定部へ送る中間部にコレクター
(第1図の4a)を設けることにより検出器とじて用い
うる。
次に本発明の実施例を図面について説明すると、第1図
は1実施例側断面図、第2図は同第1図の一部上面図で
、1aはアルゴン等キャリャーガスの室1への入口部で
、第1の室1に導入された一気圧程度のキャリャーガス
は、針状電極1bに正、または負の電位を与え、これと
間隔をおいた電極1cを接地し、これ等間に高電圧を加
えて電極1bの先端にコロナ放電を起こさせれば、アル
ゴン等キャリャーガスは放電によってイオン化し、さら
にアルゴンイオンや電子とアルゴン原子との衝突が繰返
されてアルゴンの励起種が生成する。
は1実施例側断面図、第2図は同第1図の一部上面図で
、1aはアルゴン等キャリャーガスの室1への入口部で
、第1の室1に導入された一気圧程度のキャリャーガス
は、針状電極1bに正、または負の電位を与え、これと
間隔をおいた電極1cを接地し、これ等間に高電圧を加
えて電極1bの先端にコロナ放電を起こさせれば、アル
ゴン等キャリャーガスは放電によってイオン化し、さら
にアルゴンイオンや電子とアルゴン原子との衝突が繰返
されてアルゴンの励起種が生成する。
尚反応は次式で与えられる。
かくて生成せる励起種はキャリャーガスと共に右方に流
れ第2の室2を経て第3の室である試料のイオン化室3
に入る。
れ第2の室2を経て第3の室である試料のイオン化室3
に入る。
室2には電極2aと3a間に図では1枚であるが必要に
応じ複数個の電極を設け、電極1cに対して正あるいは
負の適当な電位をかけることにより、室1中で生成した
アルゴンイオンや電子など荷電粒子が室3に入らぬよう
にする。
応じ複数個の電極を設け、電極1cに対して正あるいは
負の適当な電位をかけることにより、室1中で生成した
アルゴンイオンや電子など荷電粒子が室3に入らぬよう
にする。
かくて室3には励起種のみが流入してきておりここに誘
導路又は誘導孔3cを通して試料が導入されると、次式
のように励起種からのエネルギー移動によって試料が直
ちにイオン化する。
導路又は誘導孔3cを通して試料が導入されると、次式
のように励起種からのエネルギー移動によって試料が直
ちにイオン化する。
などの反応も起る。
かくて試料より生成した正あるいは負のイオンは室3に
設けられた電極3a,3b,4b,4aの電位を適当に
設定することにより中間部4をへて検出測定部5(第1
図では4aがイオンのコレクター)へと誘導される。
設けられた電極3a,3b,4b,4aの電位を適当に
設定することにより中間部4をへて検出測定部5(第1
図では4aがイオンのコレクター)へと誘導される。
尚試料の正イオンを測定するときは電極3aが最も高い
正電位となり、以下3b,4b,4aの順に低くなり、
電極4aはアース電位に設定する。
正電位となり、以下3b,4b,4aの順に低くなり、
電極4aはアース電位に設定する。
負イオンを測定するときは逆に電極3aが最も高い負電
位に保たれ、電極4aはここでもアース電位に設定して
いる。
位に保たれ、電極4aはここでもアース電位に設定して
いる。
かくて正又は負のイオンは右方へ移動し、コレクター電
極4aに到達し放電検出される。
極4aに到達し放電検出される。
なお、質量分析計に接続する場合には電極3bとしてピ
ンホールのあいた金属板を用い、イオンの集束系を介し
て分析管に接続する。
ンホールのあいた金属板を用い、イオンの集束系を介し
て分析管に接続する。
又電極1c,2a,3a,4bなどは夫々中央が網状に
なった電極とするのが適当であるが、中央が穴になった
電極も用いられる。
なった電極とするのが適当であるが、中央が穴になった
電極も用いられる。
又キャリャーガスは誘導孔又は排出通路4c+3e,3
cより排出される。
cより排出される。
あるいは誘導孔4cよりAr,N2などのパージガスを
流入させることによりバックグランド、汚染を最小にす
ることができる。
流入させることによりバックグランド、汚染を最小にす
ることができる。
このときは誘導孔4dよりこのパージガスを排出するよ
うにする。
うにする。
更に試料は3dのような金属棒に塗布して挿入してもよ
いし、現在液体クロマトグラフ用として市販されている
移動式ワイヤまたはベルトに塗布して導入してもよく、
又更に導管で直接導入もできる。
いし、現在液体クロマトグラフ用として市販されている
移動式ワイヤまたはベルトに塗布して導入してもよく、
又更に導管で直接導入もできる。
かくて本発明によれば、液体或いは固体(有機化合物)
を検出することができ、特に微量試料に適するものであ
り、又液体クロマトグラフの検出器に適し、質量分析計
のイオン源としても用いられる。
を検出することができ、特に微量試料に適するものであ
り、又液体クロマトグラフの検出器に適し、質量分析計
のイオン源としても用いられる。
あるいは液体クロマトグラフと質量分析計のインターフ
ェースとして用いることができる。
ェースとして用いることができる。
又汚染をできるたけ少くするために第1図の電極3aの
左側にシャツタを設け不使用時に閉じることもできる。
左側にシャツタを設け不使用時に閉じることもできる。
又電極2aと3aの間に2b,2cなどの複数の電極を
設け、これ等電極に適当な正または負の電位を与え、電
極3aの左方に適当な試薬液を導入すれはそれから生成
する試薬イオンによって試料をイオン化するいわゆる化
学イオン化法を行うことができる。
設け、これ等電極に適当な正または負の電位を与え、電
極3aの左方に適当な試薬液を導入すれはそれから生成
する試薬イオンによって試料をイオン化するいわゆる化
学イオン化法を行うことができる。
又正負両イオン同時測定法として励起挿を上方より導入
し、試料より生成する正負のイオンを左右に誘導して同
時に検出測定することもできる。
し、試料より生成する正負のイオンを左右に誘導して同
時に検出測定することもできる。
又試料導入口3cに反応装置を直結し、反応装置内で金
属棒などの表面で化学反応を起こさせ、直ちにキャリャ
ーガス流路中に捜入して反応生成物をイオン化し検出測
定することができる。
属棒などの表面で化学反応を起こさせ、直ちにキャリャ
ーガス流路中に捜入して反応生成物をイオン化し検出測
定することができる。
第1図、第2図は本発明の1実施例装置の側断面図、一
部上面図である。 図で1は第1の室としてのキャリャーガスの励起種生成
室、2は第2の室としてのキャリャーガスのイオンなど
荷電粒子を除去(室3に入らぬようにする)する室、3
は第3の室としての試料のイオン化室、4は試料イオン
を測定部へ送る中間部、5は試料イオン検出測定部。 3c+3e+40は排出通路、1bは針状電極、1cは
第1と第2室の間に設けられた電極、3c,3dは励起
種の通路に試料を配置するための手段。
部上面図である。 図で1は第1の室としてのキャリャーガスの励起種生成
室、2は第2の室としてのキャリャーガスのイオンなど
荷電粒子を除去(室3に入らぬようにする)する室、3
は第3の室としての試料のイオン化室、4は試料イオン
を測定部へ送る中間部、5は試料イオン検出測定部。 3c+3e+40は排出通路、1bは針状電極、1cは
第1と第2室の間に設けられた電極、3c,3dは励起
種の通路に試料を配置するための手段。
Claims (1)
- 1 1気圧程度のキャリャーガスが導入される第1の室
と、第1の室に連通してこれよりキャリャーガスが流入
する第2の室と、第2の室からキャリャーガスを排出す
るための排出通路と、第1の室内でコロナ放電を発生さ
せるための針状電極と、放電により生成されキャリャー
ガスの流れにのって第2の室へ向けて移動する荷電粒子
及びキャリャーガスの励起種のうち、荷電粒子の通過を
阻止するため前記第1と第2の室の間に設けられた電極
と、キャリャーガスの流れにのって第2の室へ流入した
励起種の通路に試料を配置するための手段と、前記配置
された試料に励起種を当ててイオン化する試料のイオン
化室とを備えることを特徴とするイオンの生成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53080960A JPS582616B2 (ja) | 1978-07-05 | 1978-07-05 | イオンの生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53080960A JPS582616B2 (ja) | 1978-07-05 | 1978-07-05 | イオンの生成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS559107A JPS559107A (en) | 1980-01-23 |
| JPS582616B2 true JPS582616B2 (ja) | 1983-01-18 |
Family
ID=13733071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53080960A Expired JPS582616B2 (ja) | 1978-07-05 | 1978-07-05 | イオンの生成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582616B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0289301U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-16 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3117071B2 (ja) * | 1996-05-16 | 2000-12-11 | 株式会社日立製作所 | 質量分析装置及び質量分析方法 |
| US6949741B2 (en) | 2003-04-04 | 2005-09-27 | Jeol Usa, Inc. | Atmospheric pressure ion source |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49119688A (ja) * | 1973-03-16 | 1974-11-15 |
-
1978
- 1978-07-05 JP JP53080960A patent/JPS582616B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0289301U (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-16 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS559107A (en) | 1980-01-23 |
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