JPS582725A - 金属ストリツプのオンラインx線解析装置 - Google Patents
金属ストリツプのオンラインx線解析装置Info
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- JPS582725A JPS582725A JP10148981A JP10148981A JPS582725A JP S582725 A JPS582725 A JP S582725A JP 10148981 A JP10148981 A JP 10148981A JP 10148981 A JP10148981 A JP 10148981A JP S582725 A JPS582725 A JP S582725A
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- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、金属ストリップのオンラインX線解析装置
に関し、とくに金属ス)リップの幅方向にわたるX線解
析をオンラインで有利に実現しようとするものである。
に関し、とくに金属ス)リップの幅方向にわたるX線解
析をオンラインで有利に実現しようとするものである。
従来から金属ス) IJツブの厚みや成分組成などのオ
ンライン測定法としてX線回折法が用いられ。
ンライン測定法としてX線回折法が用いられ。
また最近では合金化亜鉛めっき鋼板につき、その合金化
度のオンライン測定にも利用されている。
度のオンライン測定にも利用されている。
ところで合金化亜鉛めっき鋼板は、合金化度の度合いに
よってその特性が大きく変わるため、操業中における合
金化度の制御には厳密さが要求され、そのためには合金
化度の精度よい測定か必須となる。
よってその特性が大きく変わるため、操業中における合
金化度の制御には厳密さが要求され、そのためには合金
化度の精度よい測定か必須となる。
この合金化度は合金層中のa0相(F @Z n? )
やC相(F・znよ、)などからの回折xII強度を測
定して判定されるが、従来の測定法で扛被検体の厚み変
動やばたつきに基因したX線光学系の乱れを避けること
ができず、満足いく回折強度が得られなかったために、
精度の点に問題があつ良。
やC相(F・znよ、)などからの回折xII強度を測
定して判定されるが、従来の測定法で扛被検体の厚み変
動やばたつきに基因したX線光学系の乱れを避けること
ができず、満足いく回折強度が得られなかったために、
精度の点に問題があつ良。
この点発明者らは先に特願昭1! −/≦20!J号明
細書において開示し九ように、円周溝を有するガイドロ
ールの採用により被検体の厚み変動やばたつきに基因し
たXMI光学系の乱れを解消するとともに、Xls光学
系における集中法を有効に適用して回折X線の強度を向
上させ、精度よくX線解析ができる装置を一発した0 ここに集中法とは、第1図に示したようにある円弧ムB
に沿うわん曲試料に対し、咳円弧ムBを含む円00円周
上の一点Sから発散X線を照射して該照射域の特定格子
面におけるx11回折を考えた場合、入射X線と回折X
線とのなす角すなわち回折角はいずれもプ2ッグの条件
コ+1sin#mnλ(d:格子面間隔、0ニブラッグ
角、λ:波長)を満たす一〇において一定であるので、
各回折X線は/100−2#を円周角として円0の周上
の一点Fに収れんすることの利用を意味し、円0は焦点
円と呼ばれる0 ここで上記の集中法を利用したxIs解析装置を合金化
亜鉛めっき鋼板の製造工程に組み込んだ場合を第2図に
示し、合金化度の測定要領について説明する。
細書において開示し九ように、円周溝を有するガイドロ
ールの採用により被検体の厚み変動やばたつきに基因し
たXMI光学系の乱れを解消するとともに、Xls光学
系における集中法を有効に適用して回折X線の強度を向
上させ、精度よくX線解析ができる装置を一発した0 ここに集中法とは、第1図に示したようにある円弧ムB
に沿うわん曲試料に対し、咳円弧ムBを含む円00円周
上の一点Sから発散X線を照射して該照射域の特定格子
面におけるx11回折を考えた場合、入射X線と回折X
線とのなす角すなわち回折角はいずれもプ2ッグの条件
コ+1sin#mnλ(d:格子面間隔、0ニブラッグ
角、λ:波長)を満たす一〇において一定であるので、
各回折X線は/100−2#を円周角として円0の周上
の一点Fに収れんすることの利用を意味し、円0は焦点
円と呼ばれる0 ここで上記の集中法を利用したxIs解析装置を合金化
亜鉛めっき鋼板の製造工程に組み込んだ場合を第2図に
示し、合金化度の測定要領について説明する。
情延後コイルに巻取ったストリップlはペイオ7リール
コにて巻戻し、焼鈍炉Jにて狭面の油脂を焼き払うとと
もに軟化焼鈍させ、引続きめつきに適切な温度まで冷却
保持したのち非酸化性雰囲気に保ったスナウト部ダを経
由させてめつき槽j内のめつき浴≦中に導き、ここで亜
鉛めっきを施す。ついで亜鉛めっきな施したストリップ
lを上方へ引揚げてワイピング装置7により過剰の付着
亜鉛を払拭除去して所定の付着量としたのち合金化処理
炉9へ送り、ここで亜鉛めっき層を主としてa1相(F
eZn q )からなる鉄・亜鉛合金層に変える0そ
してこの層の合金化度を破線で囲ったx4I解析装置ム
によって測定するのであるO X@X線解析装置ム細を示す第3図および第参図におい
て、10はガイドロール、//FIX線管球、12はX
ll検出器であり、ガイドロール10の中央部には円周
溝gが設けであるOストリップlはディフレクタロール
61. (L2を介してガイドロール10の外周に沿っ
てわん自走行させるが、このときストリップlの幅中央
部にはガイドロール10との闇で円周溝gの幅でその深
さに対応するすき開力S生じる。このすき間を入射xl
sおよび回折!410光路としてX41回折を竹うので
ある。このときX@管球とx4I検出#s#′i前周第
1図において説明した集中法を満足するようにガイドロ
ール10に沿ってわん自走行する金属ス) Qツブのわ
ん曲部と共通の円弧を含む焦点円の半径を対称軸とし九
対称配置としてX線の入射および回折X@の受光を行う
ようにする。そして得られた測定値に従い合金化処理条
件をフィードバック制御して適切な合金化度となるよう
にするのである0な訃第−図中番号13はスキンパスミ
ル、lダは化成処理装置、ljはテンシロンリールであ
る。
コにて巻戻し、焼鈍炉Jにて狭面の油脂を焼き払うとと
もに軟化焼鈍させ、引続きめつきに適切な温度まで冷却
保持したのち非酸化性雰囲気に保ったスナウト部ダを経
由させてめつき槽j内のめつき浴≦中に導き、ここで亜
鉛めっきを施す。ついで亜鉛めっきな施したストリップ
lを上方へ引揚げてワイピング装置7により過剰の付着
亜鉛を払拭除去して所定の付着量としたのち合金化処理
炉9へ送り、ここで亜鉛めっき層を主としてa1相(F
eZn q )からなる鉄・亜鉛合金層に変える0そ
してこの層の合金化度を破線で囲ったx4I解析装置ム
によって測定するのであるO X@X線解析装置ム細を示す第3図および第参図におい
て、10はガイドロール、//FIX線管球、12はX
ll検出器であり、ガイドロール10の中央部には円周
溝gが設けであるOストリップlはディフレクタロール
61. (L2を介してガイドロール10の外周に沿っ
てわん自走行させるが、このときストリップlの幅中央
部にはガイドロール10との闇で円周溝gの幅でその深
さに対応するすき開力S生じる。このすき間を入射xl
sおよび回折!410光路としてX41回折を竹うので
ある。このときX@管球とx4I検出#s#′i前周第
1図において説明した集中法を満足するようにガイドロ
ール10に沿ってわん自走行する金属ス) Qツブのわ
ん曲部と共通の円弧を含む焦点円の半径を対称軸とし九
対称配置としてX線の入射および回折X@の受光を行う
ようにする。そして得られた測定値に従い合金化処理条
件をフィードバック制御して適切な合金化度となるよう
にするのである0な訃第−図中番号13はスキンパスミ
ル、lダは化成処理装置、ljはテンシロンリールであ
る。
かくして上記のX線光学系においては、被検体の測定レ
ベルの変動はなく集中法の条件が完全に満足されてすべ
ての回折Xi@lはXll検出器に収れんするのでその
回折強度蝶従来に比べ格段に高くなり従って測定精度は
大幅に向上したのである@しかしながら上記のxIs解
析装置において溝付ガイドロールはその溝の位置が固定
されているため、ストリップの幅方向においては特定部
分のみしかX線回折用の被検体とすることができない。
ベルの変動はなく集中法の条件が完全に満足されてすべ
ての回折Xi@lはXll検出器に収れんするのでその
回折強度蝶従来に比べ格段に高くなり従って測定精度は
大幅に向上したのである@しかしながら上記のxIs解
析装置において溝付ガイドロールはその溝の位置が固定
されているため、ストリップの幅方向においては特定部
分のみしかX線回折用の被検体とすることができない。
従ってたとえば上述の合金化亜鉛めっき鋼板の製造を例
にとれば、合金化炉内部の熱量の不均一などのためにス
)リップの両縁部および中央部で合金化度に差を生じる
ことがあるが、この点について祉対処することができな
かった0 この九め金属ス) IJツブのXJ11回折において、
骸金属ス) IJツブの幅方向全体を被検体としてX線
回折を実施できるようなX線解析装置の開発が要望され
ていたのである。
にとれば、合金化炉内部の熱量の不均一などのためにス
)リップの両縁部および中央部で合金化度に差を生じる
ことがあるが、この点について祉対処することができな
かった0 この九め金属ス) IJツブのXJ11回折において、
骸金属ス) IJツブの幅方向全体を被検体としてX線
回折を実施できるようなX線解析装置の開発が要望され
ていたのである。
この発明は上記の要請に有利に応じるものでも前記した
集中法に従うX線回折に支障をき九すことなしにスジリ
ップの幅方向全体にわたるI$1回折測定を効果的に実
施することができ′る金属ストリップのオンラインX@
解析装置を提案するものである0 すなわちこの発明は、らせん溝を外周に刻んだロール胴
の円弧表面に沿わせて金属ストリップのわん自走行を導
くガイドロールと、#9−ル胴と接する金属ストリップ
のらせん溝に面するわん曲部を被検体とし、該らせん溝
を照射X@および回折xMの光路としてX線光学系にお
ける集中法を満足する位置に配置したxm陣およびX線
検出器、ならひに該x!I源およびX線検出器を被検体
に対する位置関係は保持したtまガイドルールの軸心に
沿って横移動させる手段とからなる金属ストリップのオ
ンラインXM解析装置である。
集中法に従うX線回折に支障をき九すことなしにスジリ
ップの幅方向全体にわたるI$1回折測定を効果的に実
施することができ′る金属ストリップのオンラインX@
解析装置を提案するものである0 すなわちこの発明は、らせん溝を外周に刻んだロール胴
の円弧表面に沿わせて金属ストリップのわん自走行を導
くガイドロールと、#9−ル胴と接する金属ストリップ
のらせん溝に面するわん曲部を被検体とし、該らせん溝
を照射X@および回折xMの光路としてX線光学系にお
ける集中法を満足する位置に配置したxm陣およびX線
検出器、ならひに該x!I源およびX線検出器を被検体
に対する位置関係は保持したtまガイドルールの軸心に
沿って横移動させる手段とからなる金属ストリップのオ
ンラインXM解析装置である。
この発明でX@解析とは、前述した被検体の厚み測定、
へ成分組成の分析および合金化亜鉛めっき鋼板における
合金化度の測定などのほか、めっき後の処理によって基
地とめつき層との間に両者の構成元素を成分とする合金
層が生成および/または発達するような工程を経て得ら
れる製品、たとえばり70−処理を施した電気めっきぶ
りきにおける合金化度の測定や、帯鋼I1M造工程中に
直接焼入れなどの熱地理を施したのちの残留オーステナ
イト量の定量、さらにはフェライト、マルテンサイトコ
相混合鋼板における両相の体積比の測定などを含む。
へ成分組成の分析および合金化亜鉛めっき鋼板における
合金化度の測定などのほか、めっき後の処理によって基
地とめつき層との間に両者の構成元素を成分とする合金
層が生成および/または発達するような工程を経て得ら
れる製品、たとえばり70−処理を施した電気めっきぶ
りきにおける合金化度の測定や、帯鋼I1M造工程中に
直接焼入れなどの熱地理を施したのちの残留オーステナ
イト量の定量、さらにはフェライト、マルテンサイトコ
相混合鋼板における両相の体積比の測定などを含む。
以下この発明の好適実施例について説明する。
なお好適例の構成要素のうち前掲第3〜亭図に示した解
析装置のそれと一致するものは同一の番号を付して表わ
した。
析装置のそれと一致するものは同一の番号を付して表わ
した。
第5図に番号16でこの発明に係るガイドロールを示し
、このガイドロール16は取付け7ランジnを介してロ
ーヤルシャフト/Iに固定するO19はロールシャ7)
/Iを両端で支持する軸受であるOそしてXがガイドロ
ールl乙の外周に刻んだらせん溝であり、このらせん溝
〃の幅と深遥に対応して生じたすき間g′を照射および
回折XSの光路としてXIIA回折を行うことは、前掲
した特願昭jj −/4J6jコ号明細書に開示した要
領と同じであるOただこのらせん溝付ガイドロールl≦
を用いる場合は、X線源//およびX線検出器/2の配
置例を第を図に示したように、X線源11%X線照射域
およびX線検出器12の王者t−含む平面(以下配置面
という)は、ロール軸に対して垂直には交差せず、照射
および回折X線がらせん溝X内を進付し得るようにり−
1 ド角βに応じて幾分傾いている。従って厳密な意味では
王者は焦点円の円周上にあるとはいえないが、この点リ
ード角βがj0程度であれば真際上の問題はないことが
発明者らによって確められているO 第7g:J、第1図に示したところにおいて2/は送り
カム機構をそなえた腕木支持部材、刀はロール軸方向と
平行にさしわたしたガイドロール、n。
、このガイドロール16は取付け7ランジnを介してロ
ーヤルシャフト/Iに固定するO19はロールシャ7)
/Iを両端で支持する軸受であるOそしてXがガイドロ
ールl乙の外周に刻んだらせん溝であり、このらせん溝
〃の幅と深遥に対応して生じたすき間g′を照射および
回折XSの光路としてXIIA回折を行うことは、前掲
した特願昭jj −/4J6jコ号明細書に開示した要
領と同じであるOただこのらせん溝付ガイドロールl≦
を用いる場合は、X線源//およびX線検出器/2の配
置例を第を図に示したように、X線源11%X線照射域
およびX線検出器12の王者t−含む平面(以下配置面
という)は、ロール軸に対して垂直には交差せず、照射
および回折X線がらせん溝X内を進付し得るようにり−
1 ド角βに応じて幾分傾いている。従って厳密な意味では
王者は焦点円の円周上にあるとはいえないが、この点リ
ード角βがj0程度であれば真際上の問題はないことが
発明者らによって確められているO 第7g:J、第1図に示したところにおいて2/は送り
カム機構をそなえた腕木支持部材、刀はロール軸方向と
平行にさしわたしたガイドロール、n。
aFi腕木、セしてBは腕木のぐらつき防止のためのレ
ールであり、これらによって移動手段を構成する◇X@
源llおよびX線検出器12は腕木27.JPによって
所定の位置に固定し、この状態のtt腕木支持部材lの
送りカム機構(図示せず)によってロール軸方向へ千竹
移動できるようになっているO かくして実際のオンラインX#解析において、ガイドロ
ール14の回転に伴うらせん溝の動きに同調させてX
@ @l //およびX線検出器12を、被検体に対す
る位置関係は保持したままガイドロールl≦の軸心に沿
って横移動させること辷より、ストリップの全幅にわ九
るxls回折が実現できるのであるO 第1図においてh 、 M’Bそれぞ1rLX線源//
およびX線検出器12の移動装置で、ストリップの一端
から他端までの走査終了後sX@@uおよびX線検出器
12を原位置に復帰させる際、これらを適当な距離だけ
後方へ退避させてガイドロール16の田−ル胴との接触
を防止すると共に、原位置復帰の後には所定位置への前
進を司る。
ールであり、これらによって移動手段を構成する◇X@
源llおよびX線検出器12は腕木27.JPによって
所定の位置に固定し、この状態のtt腕木支持部材lの
送りカム機構(図示せず)によってロール軸方向へ千竹
移動できるようになっているO かくして実際のオンラインX#解析において、ガイドロ
ール14の回転に伴うらせん溝の動きに同調させてX
@ @l //およびX線検出器12を、被検体に対す
る位置関係は保持したままガイドロールl≦の軸心に沿
って横移動させること辷より、ストリップの全幅にわ九
るxls回折が実現できるのであるO 第1図においてh 、 M’Bそれぞ1rLX線源//
およびX線検出器12の移動装置で、ストリップの一端
から他端までの走査終了後sX@@uおよびX線検出器
12を原位置に復帰させる際、これらを適当な距離だけ
後方へ退避させてガイドロール16の田−ル胴との接触
を防止すると共に、原位置復帰の後には所定位置への前
進を司る。
なおらせん溝のリードは、ストリップの通板速度に対す
る幅方向への走査速度の比とガイドロール14の半径と
によって決定されるが、このリードがあまり大きいと、
配置面のロール軸に対する傾きが大きくなって集中法の
適用が事実上不可能になるので、適当なリードを選択す
る必要がある。
る幅方向への走査速度の比とガイドロール14の半径と
によって決定されるが、このリードがあまり大きいと、
配置面のロール軸に対する傾きが大きくなって集中法の
適用が事実上不可能になるので、適当なリードを選択す
る必要がある。
次にこの発明を、合金化亜鉛めっき鋼板の合金化度の測
定に適用した場合について具体的に説明する。
定に適用した場合について具体的に説明する。
照射X@としては波長λ−コ、コ91人のOrKα特性
X特性Xl−、合金層中δ、相の(10/)面(格子面
間隔d−J、/#λ)からの回折X線を測定した。この
ときのブラッグ角0はJ2.3S0で、従ってX線源と
xg検出器との開き角αはlコ9.4!0である。
X特性Xl−、合金層中δ、相の(10/)面(格子面
間隔d−J、/#λ)からの回折X線を測定した。この
ときのブラッグ角0はJ2.3S0で、従ってX線源と
xg検出器との開き角αはlコ9.4!0である。
またガイドルールの半径はr−zoo−とし、ライン速
度v−toom/rn1n sストリップ一方向への走
査速度v−Am/min、走査輻W−7200m111
とした。このときのらせん溝のリードlはl−/II■
(ノー2”v ’であり、溝の深さdg−lOOIIs
、溝の幅wg−40−とし氾上記のような寸法、形状の
ガイドロールにおいて配置面のロール軸と垂直な面に対
する傾きをl101デとし、かつブラッグの条件を満足
する所定の角度位置にX線源およびX線検出器をi置し
、被検体表面に向って10m幅のX線束をスリットの開
き角φ−10で照射した、 照射X@および回折X線ともらせん溝の側壁によって進
路をさえぎられることなく1また集中法からの乱れもほ
とんどなくて高感度で精度よいs宛を行うことができた
。
度v−toom/rn1n sストリップ一方向への走
査速度v−Am/min、走査輻W−7200m111
とした。このときのらせん溝のリードlはl−/II■
(ノー2”v ’であり、溝の深さdg−lOOIIs
、溝の幅wg−40−とし氾上記のような寸法、形状の
ガイドロールにおいて配置面のロール軸と垂直な面に対
する傾きをl101デとし、かつブラッグの条件を満足
する所定の角度位置にX線源およびX線検出器をi置し
、被検体表面に向って10m幅のX線束をスリットの開
き角φ−10で照射した、 照射X@および回折X線ともらせん溝の側壁によって進
路をさえぎられることなく1また集中法からの乱れもほ
とんどなくて高感度で精度よいs宛を行うことができた
。
以上述べたようにこの発明によれば、金属ストリップの
幅方向にわたるX線解析が、オンラインで精度よくしか
も迅速に達成でき有利である。
幅方向にわたるX線解析が、オンラインで精度よくしか
も迅速に達成でき有利である。
第1図はX線光学系における集中法の説明図、第一図は
合金化亜鉛めっき鋼板の製造工程図、第3図および第参
図は従来のxWs解析装置管適用した通板ラインの側面
図および断面図、第j図扛この発明に係るらせん溝付ガ
イドロールの正面図。 第1図はらせん溝へのX線源およびX線検出器の配置例
を示した図、第7図および第1図はこの発明の好遍夫施
例の平面図および側面図であるO//・・・X線源、/
2・・・xIa検出器、/≦・・・ガイドロール、〃・
・・らせん溝、2/・・・送りカム機構をそなえた腕木
支持部材、n・・・ガイドレール、27.21・・・腕
木。 B・・・レール、ム、ム′・・・移動装置。 1ト 1゛ 特許出願人 川崎製鉄株式金社 第8図 第4図 第51 第6図 第7図 4 第8図 128
合金化亜鉛めっき鋼板の製造工程図、第3図および第参
図は従来のxWs解析装置管適用した通板ラインの側面
図および断面図、第j図扛この発明に係るらせん溝付ガ
イドロールの正面図。 第1図はらせん溝へのX線源およびX線検出器の配置例
を示した図、第7図および第1図はこの発明の好遍夫施
例の平面図および側面図であるO//・・・X線源、/
2・・・xIa検出器、/≦・・・ガイドロール、〃・
・・らせん溝、2/・・・送りカム機構をそなえた腕木
支持部材、n・・・ガイドレール、27.21・・・腕
木。 B・・・レール、ム、ム′・・・移動装置。 1ト 1゛ 特許出願人 川崎製鉄株式金社 第8図 第4図 第51 第6図 第7図 4 第8図 128
Claims (1)
- L らせん溝を外周に刻んだロール胴の円弧表面に扮わ
せて金属ストリップのわん自走行を導くガイドロールと
、該ロール胴と接する金属ストリップのらせん溝に面す
るわん曲部を被検体とし、該らせん溝を照射xIIおよ
び回折Xllの光路としてx1m光学系における集中法
を満足する位置に配電し一7’jXM源およびX線検出
器、ならびに該X線源およびxIs検出器を被検体に対
する位置間係は保持したままガイドロールの軸心に沿っ
て横移動させる手段とからなる金属ストリップのオンラ
インX線解析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10148981A JPS582725A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 金属ストリツプのオンラインx線解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10148981A JPS582725A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 金属ストリツプのオンラインx線解析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS582725A true JPS582725A (ja) | 1983-01-08 |
Family
ID=14302103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10148981A Pending JPS582725A (ja) | 1981-06-30 | 1981-06-30 | 金属ストリツプのオンラインx線解析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS582725A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3385704A1 (en) * | 2017-03-29 | 2018-10-10 | Shimadzu Corporation | X-ray analysis apparatus |
| CN110567381A (zh) * | 2019-10-09 | 2019-12-13 | 上海中车瑞伯德智能系统股份有限公司 | 一种柱形工件的外圆周长及最大最小直径的测量方法 |
-
1981
- 1981-06-30 JP JP10148981A patent/JPS582725A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3385704A1 (en) * | 2017-03-29 | 2018-10-10 | Shimadzu Corporation | X-ray analysis apparatus |
| CN108693202A (zh) * | 2017-03-29 | 2018-10-23 | 株式会社岛津制作所 | X射线分析装置 |
| CN110567381A (zh) * | 2019-10-09 | 2019-12-13 | 上海中车瑞伯德智能系统股份有限公司 | 一种柱形工件的外圆周长及最大最小直径的测量方法 |
| CN110567381B (zh) * | 2019-10-09 | 2020-11-24 | 上海中车瑞伯德智能系统股份有限公司 | 一种柱形工件的外圆周长及最大最小直径的测量方法 |
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