JPS5827372U - 液相エピタキシヤル成長装置 - Google Patents
液相エピタキシヤル成長装置Info
- Publication number
- JPS5827372U JPS5827372U JP12250281U JP12250281U JPS5827372U JP S5827372 U JPS5827372 U JP S5827372U JP 12250281 U JP12250281 U JP 12250281U JP 12250281 U JP12250281 U JP 12250281U JP S5827372 U JPS5827372 U JP S5827372U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid phase
- epitaxial growth
- phase epitaxial
- growth equipment
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来の液相エピタキシャル成長装置を示す図
、第２図は本考案の液相エピタキシャル成長装置を示す
図である。図において、１゛は基板ホルダー、２は基板
、３はスライダー、４は溶液、５は蓋、６はとじこめら
れた雰囲気ガス、７はガス抜き用の中孔をそれぞれ示す
。
、第２図は本考案の液相エピタキシャル成長装置を示す
図である。図において、１゛は基板ホルダー、２は基板
、３はスライダー、４は溶液、５は蓋、６はとじこめら
れた雰囲気ガス、７はガス抜き用の中孔をそれぞれ示す
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 、（１）蓋をそなえた溶液だめを少くとも１つ有する液
相エピタキシャル成長装置において、該蓋に少くとも１
つの貫通する小孔を設けたことを特徴とする液相エピタ
キシャル成長装置。 （２） 上記蓋の溶液と接触する面の形状が凹面であ
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
の液相エピタキシャル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12250281U JPS5827372U (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12250281U JPS5827372U (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5827372U true JPS5827372U (ja) | 1983-02-22 |
Family
ID=29916420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12250281U Pending JPS5827372U (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5827372U (ja) |
-
1981
- 1981-08-19 JP JP12250281U patent/JPS5827372U/ja active Pending
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