JPS59128730U - 液相成長装置 - Google Patents
液相成長装置Info
- Publication number
- JPS59128730U JPS59128730U JP2320183U JP2320183U JPS59128730U JP S59128730 U JPS59128730 U JP S59128730U JP 2320183 U JP2320183 U JP 2320183U JP 2320183 U JP2320183 U JP 2320183U JP S59128730 U JPS59128730 U JP S59128730U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid phase
- phase growth
- melt
- growth equipment
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は従来例を示す断面図、第３図Ａ乃至Ｃ
は本考案のの実施例装置を用いた液相成長工程を示す工
程別断面図である。 １１・・・基台、１２・・・基板、１３・・・凹部、１
４・・・メルトスペーサ、１５ａ〜１５ｄ・・・連通孔
、１６ａ〜１６ｄ・・・メルト保持具、１７ａ〜１７ｄ
・・・メルト溜。
は本考案のの実施例装置を用いた液相成長工程を示す工
程別断面図である。 １１・・・基台、１２・・・基板、１３・・・凹部、１
４・・・メルトスペーサ、１５ａ〜１５ｄ・・・連通孔
、１６ａ〜１６ｄ・・・メルト保持具、１７ａ〜１７ｄ
・・・メルト溜。
Claims (1)
- 一主面に基板保持のための凹部が形成された基台、該基
台と相対的に摺動可能であると共に上記凹部と上記摺動
動作により連通可能な複数の連通孔を有するメルトスペ
ーサ、該メルトスペーサ上を独立に摺動可能でありかつ
上記連通孔と連通可能なメルト溜を有する複数のメルト
保持具からなることを特徴とする液相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2320183U JPS59128730U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 液相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2320183U JPS59128730U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 液相成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59128730U true JPS59128730U (ja) | 1984-08-30 |
| JPH025530Y2 JPH025530Y2 (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=30154288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2320183U Granted JPS59128730U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 液相成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59128730U (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4937569A (ja) * | 1972-08-09 | 1974-04-08 | ||
| JPS5515316U (ja) * | 1978-07-17 | 1980-01-31 | ||
| JPS5651158A (en) * | 1979-10-03 | 1981-05-08 | Ricoh Co Ltd | Reproducing method of binary picture |
| JPS5886723A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Nec Corp | 半導体結晶の成長装置 |
-
1983
- 1983-02-18 JP JP2320183U patent/JPS59128730U/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4937569A (ja) * | 1972-08-09 | 1974-04-08 | ||
| JPS5515316U (ja) * | 1978-07-17 | 1980-01-31 | ||
| JPS5651158A (en) * | 1979-10-03 | 1981-05-08 | Ricoh Co Ltd | Reproducing method of binary picture |
| JPS5886723A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-24 | Nec Corp | 半導体結晶の成長装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH025530Y2 (ja) | 1990-02-09 |
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