JPS5831412Y2 - ウエハ−キヤリヤ用ハンガ− - Google Patents
ウエハ−キヤリヤ用ハンガ−Info
- Publication number
- JPS5831412Y2 JPS5831412Y2 JP17258678U JP17258678U JPS5831412Y2 JP S5831412 Y2 JPS5831412 Y2 JP S5831412Y2 JP 17258678 U JP17258678 U JP 17258678U JP 17258678 U JP17258678 U JP 17258678U JP S5831412 Y2 JPS5831412 Y2 JP S5831412Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- hanger
- wafer
- wafer carrier
- legs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、例えば半導体装置製造の一連の処理工程で用
いられる半導体ウェハーを収容するキャリヤ或はその他
各種ウェハーを収容するキャリヤの保持に適用して好適
なウェハーキャリヤ用ハンガーに関する。
いられる半導体ウェハーを収容するキャリヤ或はその他
各種ウェハーを収容するキャリヤの保持に適用して好適
なウェハーキャリヤ用ハンガーに関する。
第１図に従来のウェハーキャリヤ用ハンガーの一例を示
す。
す。
１は複数のウェハー２を所定配列をもって収容するキャ
リヤ、３はこのキャリヤを各種の処理或は運搬のために
保持するハンガーを示す。
リヤ、３はこのキャリヤを各種の処理或は運搬のために
保持するハンガーを示す。
このハンガー３はその両端に鉤状に折り曲げられたフッ
ク４が設けられ、このフック４をキャノヤ１の側面に設
けられた係合孔５に係合してキャリヤ１を保持するよう
になされている。
ク４が設けられ、このフック４をキャノヤ１の側面に設
けられた係合孔５に係合してキャリヤ１を保持するよう
になされている。
ところで、このような複数のウェハー２を収容したキャ
リヤ１を運搬或いは各処理工程において使用する場合、
キャリヤ上面にウェハー２の抜は止めを必要とする場合
が多い。
リヤ１を運搬或いは各処理工程において使用する場合、
キャリヤ上面にウェハー２の抜は止めを必要とする場合
が多い。
例えばキャリヤ１が横転したような場合にウェハー２が
飛び出したり、或いたウェハー２の洗浄工程において比
重、気泡、攪拌などによってウェハー２が浮き上りキャ
リヤ外に飛び出すので、これをどうしても阻止しなけれ
ばならない。
飛び出したり、或いたウェハー２の洗浄工程において比
重、気泡、攪拌などによってウェハー２が浮き上りキャ
リヤ外に飛び出すので、これをどうしても阻止しなけれ
ばならない。
従来、このような抜は止め防止をなすために第１図で示
すようなカバー６をキャリヤ１に対して直接子で装着し
ていた。
すようなカバー６をキャリヤ１に対して直接子で装着し
ていた。
特に半導体ウェハーなどは特別の注意を払わなければな
らないためにこのようなカバーの着脱操作は極めて手数
を要するもので゛できれは゛回避したいもので゛ある。
らないためにこのようなカバーの着脱操作は極めて手数
を要するもので゛できれは゛回避したいもので゛ある。
本考案はこのような点に鑑みハンガーに一体にウェハー
の飛び出しを防止する防止部材を設け、しかもその構成
を簡単にして取り扱いを簡便ならしめるようにしたウェ
ハーキャリヤ用ハンガーを提供するものである。
の飛び出しを防止する防止部材を設け、しかもその構成
を簡単にして取り扱いを簡便ならしめるようにしたウェ
ハーキャリヤ用ハンガーを提供するものである。
即ち本考案に於いては、ウェハーキャリヤを保持するハ
ンガーの両端部にキャリヤの両側面に係合するフックを
形成すると共に、ハンガーの両端に差渡る如くハンガー
を貫通してウェハーの抜は止めを防止する棒状の部材を
設け、ハンガー自体に付与された弾性によってキャリヤ
を保持するように構成することを特徴とする。
ンガーの両端部にキャリヤの両側面に係合するフックを
形成すると共に、ハンガーの両端に差渡る如くハンガー
を貫通してウェハーの抜は止めを防止する棒状の部材を
設け、ハンガー自体に付与された弾性によってキャリヤ
を保持するように構成することを特徴とする。
以下、本考案の実施例について説明する。
第２図及び第３図は本考案のウェハーキャリヤ用ハンガ
ーの一実施例である。
ーの一実施例である。
本例においては、相対向する一対の脚部１１及び１２に
、板ばね１３を介して両脚部１１及び１２に跨るように
把持部１４を取付けてハンガ一本体１５を形成する。
、板ばね１３を介して両脚部１１及び１２に跨るように
把持部１４を取付けてハンガ一本体１５を形成する。
両脚部１１及び１２の夫々の下端部にはキャリヤ１の両
側面に形成した係合凹部１６（第４図参照）に嵌合する
フック１７を形成する。
側面に形成した係合凹部１６（第４図参照）に嵌合する
フック１７を形成する。
この場合フック１７の下の面にはテーパー１８を付して
このハンガ一本体１５を上方よりキャリヤ１に係合する
際、係合を容易ならしめるようになす。
このハンガ一本体１５を上方よりキャリヤ１に係合する
際、係合を容易ならしめるようになす。
一方両脚部１１及び１２の下部にはこれを貫通する棒状
のウェハー抜は止め部材１９を設ける。
のウェハー抜は止め部材１９を設ける。
この抜は止め防止部材１９の両端には夫々脚部１１．１
２が部材１９に沿って開く方向、或は閉じる方向に移動
する移動量を制限するためのストッパー２０及び２１が
設けられる。
２が部材１９に沿って開く方向、或は閉じる方向に移動
する移動量を制限するためのストッパー２０及び２１が
設けられる。
両脚部１１．１２と把持部１４とを連結する板ばね１３
は常に両脚部１１及び１２を閉じる方向に偏倚せしめる
弾力を有し、正常時に於いては両脚部１１及び１２は抜
は止め防止部材１９の内側のストッパー２１によらて所
定間隔に保持さ五る。
は常に両脚部１１及び１２を閉じる方向に偏倚せしめる
弾力を有し、正常時に於いては両脚部１１及び１２は抜
は止め防止部材１９の内側のストッパー２１によらて所
定間隔に保持さ五る。
なお、把持部１４、脚部１１，１２及び゛防止部材１９
等は梅脂成型体で形成し得る。
等は梅脂成型体で形成し得る。
かかる構造のハンガーの使用状態を第４図に示す。
ハンガーのキャリヤ１への取付けは、ハンガーを第２図
の状態のままで単に上方よりキャリヤ１に押し下げる。
の状態のままで単に上方よりキャリヤ１に押し下げる。
こめとき、キャリヤ１の上縁□に当接したハンガーの両
脚部１１及び１２はテニμ゛−１８を介して板ばね１ｊ
ア弾力に抗して点線′図示の如く外方に開き、その両脚
部１１及び１２のフック１７がキャリヤ１の両側面の係
合凹部１６に嵌合すると同時に、板ばね１３の弾性力に
よって実線位置に戻りキャリヤ１を両側より挟持的に保
持する。
脚部１１及び１２はテニμ゛−１８を介して板ばね１ｊ
ア弾力に抗して点線′図示の如く外方に開き、その両脚
部１１及び１２のフック１７がキャリヤ１の両側面の係
合凹部１６に嵌合すると同時に、板ばね１３の弾性力に
よって実線位置に戻りキャリヤ１を両側より挟持的に保
持する。
又、キャリヤ１にハンガーを取付けた状態では部材１９
がキャリヤの上面開口部を横切るために、この部材１９
によってキャリヤ１内のウニバーは上方に抜は出ること
がなくなる。
がキャリヤの上面開口部を横切るために、この部材１９
によってキャリヤ１内のウニバーは上方に抜は出ること
がなくなる。
従うてこめようなハンガーはキャリヤに収容されたウェ
ハーを各種の処理或いは運搬移動する際二例えキャリヤ
が転倒してもウエハニがキャリヤ外へ飛び出すことがな
くなり、又洗浄装置に入れてもウェハーの浮き上りを防
止することができる。
ハーを各種の処理或いは運搬移動する際二例えキャリヤ
が転倒してもウエハニがキャリヤ外へ飛び出すことがな
くなり、又洗浄装置に入れてもウェハーの浮き上りを防
止することができる。
しかもハンガーをキャリヤに保持する操作としては上方
より押し付けることによつ上白動的に係合ぎせる□こと
かできるのでその取り扱いも極めて簡単となる。
より押し付けることによつ上白動的に係合ぎせる□こと
かできるのでその取り扱いも極めて簡単となる。
又ノＹンガーをキャリヤに係合させる場合、両脚部１１
及び１２は部材１９によって案内され位置ずれが生じな
いので取り付は操位が極めて簡単となる。
及び１２は部材１９によって案内され位置ずれが生じな
いので取り付は操位が極めて簡単となる。
第５図は本考案の他の実施例である。
これは全体としてハンガ一本体１５を弓状に一体成型に
よって形成し、その両端部に於いて抜は止め防止部材１
９を貫通して設ける。
よって形成し、その両端部に於いて抜は止め防止部材１
９を貫通して設ける。
ハンガ一本体１５の両端部には夫々第４図と同様にキャ
リヤ１の側面の係合凹部１６に嵌合するフック１７を形
成する。
リヤ１の側面の係合凹部１６に嵌合するフック１７を形
成する。
この場合は、ハンガ一本体１５自体の形状に基く弾性力
によって、第４図で説明したと同様の操作でハンガーの
キャリヤ１．への取付けが容易に行なわれる。
によって、第４図で説明したと同様の操作でハンガーの
キャリヤ１．への取付けが容易に行なわれる。
又、ハンガーを取付けた状態では、部材１９がキャリヤ
１の上面に開口部の中央を横切るように近接して配され
るのでキヤ：リャ内のウェハーの抜は出しが防止される
。
１の上面に開口部の中央を横切るように近接して配され
るのでキヤ：リャ内のウェハーの抜は出しが防止される
。
斯る構成のハンガーは第２図の場合に比して構造が簡単
であり、量産性に富む。
であり、量産性に富む。
上述せる如・＜４．本考案のウェハーキャリヤ用ハンガ
ーによれば、極めて簡単な構成によりハンガーをキャリ
ヤに取り付けると同時に、ハンガーに一体に設けられた
部材１９によってキャリヤに収納されているウェハーの
抜は止めが防止されるものであり、各種の処理、運搬を
円滑ならしめることができる。
ーによれば、極めて簡単な構成によりハンガーをキャリ
ヤに取り付けると同時に、ハンガーに一体に設けられた
部材１９によってキャリヤに収納されているウェハーの
抜は止めが防止されるものであり、各種の処理、運搬を
円滑ならしめることができる。
第１図は従来のウェハーキャリヤ用ハンガーの例を示す
斜視図、第２図は本考案のウェハーキャリヤ用ハンガー
の正面図、第３図はその側面図、第４図はその使用状態
の説明図、第５図は本考案ρ他の例を示す正面図である
。 １はキャリヤ、１５はハンガ一本体、１７はフック、１
９は抜は止め防止部材である。
斜視図、第２図は本考案のウェハーキャリヤ用ハンガー
の正面図、第３図はその側面図、第４図はその使用状態
の説明図、第５図は本考案ρ他の例を示す正面図である
。 １はキャリヤ、１５はハンガ一本体、１７はフック、１
９は抜は止め防止部材である。
Claims (1)
- ウェハーキャリヤを保持するハンガーの両端部に該キャ
リヤの側面に係合するフックが形成されると共に、該ハ
ンガーを貫通してウェハー抜は止め部材が設けられ、上
記ハンガーに付与された弾性で上記キャリヤが保持され
るようにして成るウェハーキャリヤ用ハンガー
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17258678U JPS5831412Y2 (ja) | 1978-12-14 | 1978-12-14 | ウエハ−キヤリヤ用ハンガ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17258678U JPS5831412Y2 (ja) | 1978-12-14 | 1978-12-14 | ウエハ−キヤリヤ用ハンガ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5588236U JPS5588236U (ja) | 1980-06-18 |
| JPS5831412Y2 true JPS5831412Y2 (ja) | 1983-07-12 |
Family
ID=29177513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17258678U Expired JPS5831412Y2 (ja) | 1978-12-14 | 1978-12-14 | ウエハ−キヤリヤ用ハンガ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5831412Y2 (ja) |
-
1978
- 1978-12-14 JP JP17258678U patent/JPS5831412Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5588236U (ja) | 1980-06-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0752661B2 (ja) | Ｉｃキャリア | |
| US5983468A (en) | One-piece clip for waffle pack chip holders | |
| US2463451A (en) | Supporting clamp | |
| US3284124A (en) | Battery carrying device | |
| JPH0736345B2 (ja) | リードフリー形ｉｃキャリア | |
| JPS6233436A (ja) | 輸送用ウエ−ハケ−ス | |
| JPS6016544Y2 (ja) | 軽量部品運搬用容器 | |
| JPH0138498Y2 (ja) | ||
| JPH0129717Y2 (ja) | ||
| JPS5846548Y2 (ja) | ソケツト取付装置 | |
| JPH0567055U (ja) | 弾性変形を利用した蓋の構造 | |
| US4606098A (en) | Pendulum rod immobilizing device | |
| JPH0711516Y2 (ja) | ブランクプレート | |
| JPS5843909Y2 (ja) | ハンガ− | |
| JPS60251071A (ja) | フラツトパツケ−ジ運搬用トレ− | |
| JPS5816718Y2 (ja) | ヨクソウ | |
| JPH0636630Y2 (ja) | バッテリホルダ | |
| JPS58149373U (ja) | デイスペンサ | |
| JPH0320797Y2 (ja) | ||
| KR810002280Y1 (ko) | 라이터를 장착한 버클 | |
| JPH026593Y2 (ja) | ||
| JPS6136803Y2 (ja) | ||
| JPS5930314Y2 (ja) | 脚体の取付装置 | |
| JP2591532Y2 (ja) | 板状体収納容器 | |
| JPH031023Y2 (ja) |