JPS5832496B2 - クドウキコウ - Google Patents
クドウキコウInfo
- Publication number
- JPS5832496B2 JPS5832496B2 JP50062878A JP6287875A JPS5832496B2 JP S5832496 B2 JPS5832496 B2 JP S5832496B2 JP 50062878 A JP50062878 A JP 50062878A JP 6287875 A JP6287875 A JP 6287875A JP S5832496 B2 JPS5832496 B2 JP S5832496B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- hereinafter referred
- drive
- electron beam
- drive source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体部品の製造工程で、物体を任意の雰意
気中で移動、停止させる機構の改良に関するものである
。
気中で移動、停止させる機構の改良に関するものである
。
電子線を用いて半導体ウェハ上に描画する場合には、電
子線に感するホトレジを半導体ウェハ上に塗布し、その
表面で電子線を収束偏向させるか、収束した電子線下で
ウェハを取りつけた台を電子線に対して動かす方法がと
られている。
子線に感するホトレジを半導体ウェハ上に塗布し、その
表面で電子線を収束偏向させるか、収束した電子線下で
ウェハを取りつけた台を電子線に対して動かす方法がと
られている。
電子線を投射するには、雰囲気を真空に保つ必要があり
、前記移動台も真空中で駆動しなければならない。
、前記移動台も真空中で駆動しなければならない。
本発明に、このように電子線描画装置等のように、真空
中の機構を駆動する必要がある装置等のための駆動機構
に関するものである。
中の機構を駆動する必要がある装置等のための駆動機構
に関するものである。
又本発明は、従来の機構の欠点を除き、任意の雰囲気中
における精密な機構の移動方法を提供するものである。
における精密な機構の移動方法を提供するものである。
以下本発明を実施例によって詳細に説明する。
第１図は本駆動機構の構造を示すものである。
図では１駆動源にモータ１を用いている。
モータ駆動軸２はベローズ形状の可撓接手３を介して送
りねじ４に結合され、２の回転によりねじ４とかみあう
ナツト５およびナツト５に固定された移動台６は移動台
固定部６′上にあるころがり案内Ｔ上で移動することが
できる。
りねじ４に結合され、２の回転によりねじ４とかみあう
ナツト５およびナツト５に固定された移動台６は移動台
固定部６′上にあるころがり案内Ｔ上で移動することが
できる。
モータ１の外皮は伝熱性の良好な調合金製等のケース８
で覆われ、磁気遮蔽性の良好なパーマロイ製等のケース
９と接合されて冷却用のジャケット空間１０を形成して
いる。
で覆われ、磁気遮蔽性の良好なパーマロイ製等のケース
９と接合されて冷却用のジャケット空間１０を形成して
いる。
ジャケット空間へは口金１１、ホース１２、口金１３を
介して温度調節した冷却液が流入し、口金１４、ホース
１５、口金１６を介して冷却作用を果した液が流出する
。
介して温度調節した冷却液が流入し、口金１４、ホース
１５、口金１６を介して冷却作用を果した液が流出する
。
機構全体は真空を保持する容器１７中に収納されている
。
。
容器１Ｔの外部に置かれた温度調節装置１８は２個所の
検温部１９．２０（２２，２３：検温器）。
検温部１９．２０（２２，２３：検温器）。
のそれぞれの温度をｔｌ、ｔ２としたときｔｌの値の高
低に従って任意にｔｌの値を制御出来るものとし、たと
えば １１−１２−△を言Ｏ となる様にする。
低に従って任意にｔｌの値を制御出来るものとし、たと
えば １１−１２−△を言Ｏ となる様にする。
検温部１９は前記移動台固定部６′のモータ１取付部に
近い位置とし、検温部２０はモータ１の移動台６′への
取付部に近い位置とする。
近い位置とし、検温部２０はモータ１の移動台６′への
取付部に近い位置とする。
この様な構成をなせば、取付は位置における熱膨張のた
めの相互の形状変化は無視でき、モータ１を動かす際の
発熱による周囲への加熱の悪影響をも除くことが可能と
なる。
めの相互の形状変化は無視でき、モータ１を動かす際の
発熱による周囲への加熱の悪影響をも除くことが可能と
なる。
ケース８を用いることにより冷却の効果を向上させ、ケ
ース９を用いることにより投射電子線２１へのモータ１
の磁束の影響を遮断できることはいうまでもない。
ース９を用いることにより投射電子線２１へのモータ１
の磁束の影響を遮断できることはいうまでもない。
ベローズ形状の可撓接手３は伝熱抵抗を上げるためベロ
ーズ部２１はのべ長さが長く、かつ板厚を薄くとってお
り、可撓性による膨張寸法の吸収とあいまって、モータ
１の回転のみを有効に伝え、モータ１からのねじ４への
伝熱を遮断する機能を果す。
ーズ部２１はのべ長さが長く、かつ板厚を薄くとってお
り、可撓性による膨張寸法の吸収とあいまって、モータ
１の回転のみを有効に伝え、モータ１からのねじ４への
伝熱を遮断する機能を果す。
上記実施例においては真空中の駆動機構を例にあばたが
本発明の装置は他の雰囲気中での駆動機構にも適用でき
る。
本発明の装置は他の雰囲気中での駆動機構にも適用でき
る。
以上詳述した様に、本発明による駆動装置は、任意の雰
囲気中で安定に極めて高い精度の物体駆動を可能にした
ところに大きな特徴がある。
囲気中で安定に極めて高い精度の物体駆動を可能にした
ところに大きな特徴がある。
第１図は本発明の駆動機構の側断面と調整装置の概略を
示す図である。
示す図である。
Claims (1)
- １ 任意の雰囲気中におかれ、物体を移動させる手段を
有する台（以下移動台という）、該移動台の任意の位置
に取りつけられた冷却手段ならびに断熱手段を有する駆
動源（以下駆動源という）、該駆動源の冷却手段ならび
に断熱手段を任意に制御する調整装置（以下調整装置と
いう）とからなり、前記駆動源で前記移動台を駆動する
際の駆動源の外周温度を任意に設定することを特徴とす
る駆動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50062878A JPS5832496B2 (ja) | 1975-05-28 | 1975-05-28 | クドウキコウ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50062878A JPS5832496B2 (ja) | 1975-05-28 | 1975-05-28 | クドウキコウ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS51138977A JPS51138977A (en) | 1976-11-30 |
| JPS5832496B2 true JPS5832496B2 (ja) | 1983-07-13 |
Family
ID=13212953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50062878A Expired JPS5832496B2 (ja) | 1975-05-28 | 1975-05-28 | クドウキコウ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5832496B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0347524A (ja) * | 1989-07-17 | 1991-02-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 真空中機構の駆動装置 |
-
1975
- 1975-05-28 JP JP50062878A patent/JPS5832496B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS51138977A (en) | 1976-11-30 |
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