JPS583298Y2 - 電子ビ−ム露光用基板ホルダ− - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、半導体基板あるいはガラス基板等に電子ビー
ムを露光させて高密度の回路素子を成形する際に上記基
板を保持して露光装置内に装着するための基板ホルダー
（以下、単ｔこ「ホルダー」と称する）に係る。

上記のような基板の電子ビーム露光を行う場合は基板の
位置合せが重要な問題である。

このため従来は、基板をホルダーで保持してこれを露光
装置内ｔこ装着し、予め基板の所定位置１こ付しておい
た位置合せマーク（以下、単１こ「マーク」と称する）
を検出して位置合せを行うマーク検出力法がとられてい
る。

この場合、位置合せｔこはＸ方向、Ｙ方向および回転力
向の位置調整が必要であることから１板の基板上１こ２
個以上のマークを１個１こつき例えば０．０１７Ｋ１１
１２以上の範囲内に付しであるのが普通である。

しかるＥこ、従来の基板ホルダーは基板をその外周縁部
で保持するよう１こなっているが、基板の外径は誤差が
大きいので、これをホルダーＦこ保持して露光装置内へ
装着した場合はマークが所定位置からかなり外れること
１こなり、マークを検出するの１こ広い走査範囲（例え
ば数１０ｗｌ１２）が必要となる。

しかし、これでは走査ンこ要する時間が長くなること、
および走査した範囲のチップはレジストが露光されて不
良となる等の問題があった。

従って本名案は上記のような問題を解消することを図る
ものである。

そのため１こは、ホルダーを露光装置内へ装着する前１
こ予め基板の位置を調整しておき、ホルダーを装着した
際）こ基板の位置合せマークを狭い範囲の走査で検出し
得るよう（こすれば良い。

従って本考案の目的は、かかる点に鑑み、ホルダーを露
光装置内へ装着する前１こ基板の位置を調整し得るよう
］こした基板ホルダーを提供することにある。

上記の目的を達成するための本考案］こよる基板ホルダ
ーは、基板を固定保持する基板保持部材をホルダ一本体
１こ位置調整自在１こ設けた構造としである。

なお、基板の位置調整１こ際して最も間咀となるのは回
転力向の調整であり、従って上記基板保持部材をホルダ
一本体１こ対して回転力向の調整たけかり能なよう１こ
しても上記の目的は充分１こ達成される。

以下、本考案実施例１こつき添付図面を参照して詳細１
こ説明する。

尚、第１図はホルタ゛−の平面図、第２図はホルダーの
側面図である。

図示例は、基板１を固定保持する基板保持部材２と、こ
の保持部材２を調整ねし４およびばね４′］こよって調
整自在１こ支承するホルダ一本体８とからなる。

基板１は保持部材２の固定ガイド５，６およびばねで付
勢された抑圧部材７１こよって保持されている。

またホルダ一本体３１こは孔１１が設けられ、第２図１
こ示されるようｆこ基板保持部材２１コ設けられた芯枠
１０が孔１１を貫通して、位置調整の時１こ芯枠１０が
孔１１をすべるよう１こなっており、基板保持部材の上
Ｙ力向へのずれならび１こ回転を防止している。

基板１およびホルダ一本体３１こは位置調整用のマーク
８，９が付しである。

調整ねし４を操作して保持部材２の位置を調整し、マー
ク８，９が所定の相対位置関係へ来るよう１こすれば基
板１のホルダ一本体３１こ対する位置調整が行える。

この場合、Ｘ方向およびＹ力向への数段、また回転角１
／２，０００ラジアン程度の調整かり能であれば十分で
ある。

図示してないが、ホルダ一本体３は露光装置のガイドレ
ール１こ沿ってスライド可能としてあってホルダ一本体
３の位置出しは高精庭で行うことができるようにしであ
る。

従って、上記したよう１こ基板１とホルダ一本体３との
位置調整をした上で、これを露光装置内］こ装着すれば
基板１の位置合せマークをかなり高い精度で位置出しす
ることができ、比較的狭い範囲（大きくても１００μ２
程度）の−；１′森で位置合せマークを検出することが
用能となるので露尤萌の位置合ぜを短時間で簡単１こ行
うことができる。

また走査範囲が狭くできることからノ［査時のレジスト
露光によみチップの不良の発生率を低減することができ
る。

本考案の他の実施例のホルダー構造を第３図および第４
図］こ示す。

第３図はホルダーの平面図、第４図はこのボルダ−の側
断面図である。

基板１はθボルダー１３の上の固定ガイド１２ 、１２
’ ｌこバネで付勢された可動ガイド１４で押付けられ
、固定される。

θホルダー１３は移動ホルダー１５ｔこ回転できるよう
１こ拘束して取付けられ、ネジ１６、バネ１６′１こ、
より、基板１を固定したまま、θ力向の調整ができるよ
′つ］こなっている。

移動ホルダー１５はホルダー本体３に対して平面移動が
できるよう１こ拘束して取イー・」けられ、ネジ１７と
バネ１７′でＹ、方向、ネジ１８とバネ１８′でＹ力向
の移動が微細（（雪−イえる。

ネジ１７．１８のそれぞれの先端とバネ１７’ 、 １
８’の移動ホルダー１５１こ対する接触部（ま、それぞ
れのネジ１７．１８が移動する方向とは直角の方向］こ
移動ホルダー１５の動きが自由ニイ′丁えるよう、抵抗
の少いガ゛イド１９を取付けである。

ホルダ一本体３と移・ｊＱｌホルダー１１５、θボルダ
ー１３の拘束は、バネ２０でガイド２１を介して押すこ
と１こより行う。

ガイド１９，２１をころがり要素等に置換えても機能を
発揮することは言うまでもない。

更１こ本考案の実施例の別のホルダー構造を第５図およ
び第６図Ｆこ示す。

第５図はホルダーの平面図、第６図はこのホルタ−の側
断面図である。

基板１はθホルダー２８土の固定ガイド２２．２２’に
、バネで付勢された可動ガイド２４で押付けられ、固定
されている。

Ｙ移動ホルダー２５′に対してθホルダー２３は、それ
ぞれのホルダー〇）■溝１こ介在するボール３Ｔで拘束
されながら円滑１こ回転ができ、ネジ２６とバネ２６′
１こよって基板１を固定したままθ力向の調整が可能で
ある。

Ｙ移動ホルダー２５′はＸ移動ホルダー２５１こ、Ｘ移
動ホルダー２５はホルダ一本体３１こそれぞれ■溝１こ
介在するボール３５．３６で拘束されながら円滑１こ直
線運動ができるよう１こ取付けられ、ネジ２７とバネ２
７′でＸ方向ｌこ、ネジ２８とバネ２８′でＹ方向Ｅこ
、それぞれ微細１こ移動が行える。

■溝とボール３５，３６．３７のころがり移動部をＶ形
のおす、めす１こよる摺動案内としても同様の機能を果
すことは勿論である。

以上の実施例Ｅこよれば、次のような効果を得ることが
できる。

（１）Ｘ、Ｙ、θの移動調整部分を、はぼ同一面内ｆこ
配置でき、装置の厚さをきわめて薄く構成でき、露光装
置への、入口を小形ｆこできる利点がある。

（２）Ｘ、Ｙ、θの移動調整はそれぞれ独立に調整、変
化させることができ、露光装置内へ装着する前に予め基
板位置を調整する際、確実かつ迅速な作業ができ工程時
間の低減がはかれる。

更ｆこ本考案実施例の別の構造を第７図および第８図に
示す。

第７図はホルダーの平面図、第８図はホルダーの側断面
図である。

基板５１はθホルダー４４上の固定ガイド５２，５３１
と、バネ付勢された可動ガイド５４で押付けられ、固定
されている。

θホルダー４４は板バネ５５を介してＹホルダー４３に
固定され、板バネ５５をネジ５６または５７）こよって
たわ１すことＥこより基板５１を固定したままθ方向の
調整を行うことが可能である。

Ｙホルダー４３は、板バネ５８．５９を介してＸホルダ
ー４２に固定され、ネジ６０または６１でＹホルダー４
３を押すと、板バネ５８゜５９の作用ＥこよりＹホルダ
ー４３をＹ方向に微細１こ移動することができる。

また、Ｘホルダー４２は板バネ６２．６３を介して本体
４１に固定されており、ネジ６４または６５によってＸ
方向に微細Ｆこ移動できる。

さら１こ、本実施例では、θホルダー４４、Ｙホルダー
４３、Ｘホルダー４２は各々２個のネジ５６と５７．６
０と６Ｌ６４と６５によって調整するよう１こしている
ため、調整終了後、ネジを締めることによって各ホルダ
ーを強固ｌこ固定できる。

以上の説明から明らかなように、本考案ｌこよる基板ホ
ルダー１こよれば、基板を露光装置内へ装着する前に予
め基板の位置調整ができるのでマーク検出法による位置
合せが簡単にでき、実用性の非常１こ高いものと言える
。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本考案実施例の基板ホルダーの平面
図及び断面図、第３図及び第４図は本考案の他の実施例
による基板ホルダーの平面図及び断面図、第５図及び第
６図は本考案の更ｔこ他の実施例の基板ホルダーの平面
図及び断面図、第７図及び第８図は更に別の本考案実施
例の基板ホルダーを示す平面図及び断面図である。 １．５１・・・・・・基板、２・・・・・・基板保持用
部材、３゜４１・・・・・・ホルダ一本体、４，１６，
１７，１８゜２６．２７，２Ｂ、５６．５７，６０，６
１ 。 ６４６５・・・・・・調整ネジ、４’、 １６’、 １
７’、 １８二２０’ ２６’、２７’、２８’、５
５，５８，５９゜６２６３・・・−・・バネ、５，６，
１２，１２’、２２゜２２’、５２．５３・・・・・・
固定ガイド、７，１４゜２４．５４・・・・・・可動ガ
イド、８，９，６６・・・・・・位置調整用マーク、１
０・・・・・・芯枠、１１・・・・・・穴、１３．２３
．４４・・・・・・θホルダー １５・・・・・・移動
ホルダー、１９．２１・叩・ガイド、２５．４２・・・
・・・Ｘ移動ホルダー、２５’、４３・曲・Ｙ移動ホル
ダー、３５ 、３６．３７・・・・・・ボール。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基板１こ電子ビームを露光させる際１こ該基板を保持し
   て露光装置内ｔこ装着するための電子ビーム露光用基板
   ホルダＥこおいて、該ホルダの前記露光装置と分離して
   形成すると共１こ、該ホルダは前記基板を固定保持する
   基板保持部材と該基板保持部材を収容するホルダ本体と
   を具備し、且つ該ホルダ本体を貫通して前記基板保持部
   材に当接するねじを備え、該ねじを調整することにより
   前記ホルダ本体１こ対し前記基板保持部材が回転し得る
   ように形成し、該基板保持部材の回転によって前記露光
   装置に装着する前Ｅこ前記基板の位置調整を行なえるよ
   う］こしたことを特徴とする露光用基板ホルダ。