JPS5833165A - ガスレ−トセンサ - Google Patents
ガスレ−トセンサInfo
- Publication number
- JPS5833165A JPS5833165A JP56132295A JP13229581A JPS5833165A JP S5833165 A JPS5833165 A JP S5833165A JP 56132295 A JP56132295 A JP 56132295A JP 13229581 A JP13229581 A JP 13229581A JP S5833165 A JPS5833165 A JP S5833165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- gold
- angular velocity
- studs
- temperature sensing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明社ガス流の偏向によって物体の角速度を検出する
ガスレー）センサの改良に関する。
ガスレー）センサの改良に関する。
一般にｌスレートセンナと呼称されている角速度竜ンサ
燻密閉したナーシング内でノズルから７冒−センサの感
温素子に向けてガス流を噴出させてに自、ガスＣ−）セ
ンサに外部から加わる角速度の影響によってガス流が偏
向したときに生ずる７０−センナの出力値の変化により
角速度（レート）の大龜さを検出するものである。この
種のガスレー）竜ンサ襠ジャイロコンパスに比して振動
に強く、高感度で且つ優れ良応等性を有して―る九めに
船舶や自動車等の針路調整或祉姿勢制御等に使用される
。
燻密閉したナーシング内でノズルから７冒−センサの感
温素子に向けてガス流を噴出させてに自、ガスＣ−）セ
ンサに外部から加わる角速度の影響によってガス流が偏
向したときに生ずる７０−センナの出力値の変化により
角速度（レート）の大龜さを検出するものである。この
種のガスレー）竜ンサ襠ジャイロコンパスに比して振動
に強く、高感度で且つ優れ良応等性を有して―る九めに
船舶や自動車等の針路調整或祉姿勢制御等に使用される
。
かかるガスレートセンサは第１図に示すようにナーシン
ダ１内にセンサ本体２が嵌挿されており、ζＯセンサ本
体２０前、後端側は端板３，４により密閉されている。
ダ１内にセンサ本体２が嵌挿されており、ζＯセンサ本
体２０前、後端側は端板３，４により密閉されている。
センサ本体２０一端にはノズル孔５ａ及び整流孔５ｂが
穿設されたノズルピース５が形成されており、他端部は
ホルダ６を介してケーシングＩＫｍｌ定されている。ホ
ルダ７＃′ｉセンサ本体２内に前記ホルダ６寄りに嵌挿
されており、このホルダ７ＫＦ１ノズル孔５ａと対向す
る位置にズス流逮検出用の７ａ−センサ８が配設されて
いる。この７ｐ−センサ８ｔｊ所定の間隔で配列された
一対の感温素子８ａ、ａｂで形成されている。
穿設されたノズルピース５が形成されており、他端部は
ホルダ６を介してケーシングＩＫｍｌ定されている。ホ
ルダ７＃′ｉセンサ本体２内に前記ホルダ６寄りに嵌挿
されており、このホルダ７ＫＦ１ノズル孔５ａと対向す
る位置にズス流逮検出用の７ａ−センサ８が配設されて
いる。この７ｐ−センサ８ｔｊ所定の間隔で配列された
一対の感温素子８ａ、ａｂで形成されている。
ホルダ６と端板３との間に社ポンプ室９＃形成されてお
り、このポンプ室９内にはオリアイス１０１Ｌが穿設さ
れたピエゾプレー）１０が収納されている。ピエゾプレ
ート１０ｔｉ！１！続端子１１を介して供給される電流
により振動するようになってお塾、この振動によるメン
プ作用によりポンプ室９内のガスを圧縮するようになっ
ている。ケーシング１とセンサ本体２とＯ間忙は軸方向
にガス流通路１２が形成されており、このガス流通路１
２の一端は流路１５及びホルダ６０吐出孔６ａを介して
ポンプ！！９に、他端轄流路１４を介しτノズル孔５＆
及び整流孔５ｂに夫々連通されている。
り、このポンプ室９内にはオリアイス１０１Ｌが穿設さ
れたピエゾプレー）１０が収納されている。ピエゾプレ
ート１０ｔｉ！１！続端子１１を介して供給される電流
により振動するようになってお塾、この振動によるメン
プ作用によりポンプ室９内のガスを圧縮するようになっ
ている。ケーシング１とセンサ本体２とＯ間忙は軸方向
にガス流通路１２が形成されており、このガス流通路１
２の一端は流路１５及びホルダ６０吐出孔６ａを介して
ポンプ！！９に、他端轄流路１４を介しτノズル孔５＆
及び整流孔５ｂに夫々連通されている。
かかる構成において、ピエゾプレート１０が付勢されて
振動するとポンプ室９のピエゾプレート１０の左側部分
内のガスが圧縮されてピエゾプレート１０のオリフィス
１０１Ｌ及びホルダ６の吐出孔６ａを通して流路１２内
を軸方向に流れて流路１４に至る。流路１４内のガスは
ノズル孔５＆より内側流路１５内に感温素子８に、８ｂ
Ｋ向って噴出される。次−で、ホルダ７０通孔７ａ及び
排気室１６を経てｌンブ室９０ピエゾプレート１０の右
方向への変位によりオリフィス１０ａを通ってポンプ室
９のピエゾプレー）１０の左＠部分に戻される。
振動するとポンプ室９のピエゾプレート１０の左側部分
内のガスが圧縮されてピエゾプレート１０のオリフィス
１０１Ｌ及びホルダ６の吐出孔６ａを通して流路１２内
を軸方向に流れて流路１４に至る。流路１４内のガスは
ノズル孔５＆より内側流路１５内に感温素子８に、８ｂ
Ｋ向って噴出される。次−で、ホルダ７０通孔７ａ及び
排気室１６を経てｌンブ室９０ピエゾプレート１０の右
方向への変位によりオリフィス１０ａを通ってポンプ室
９のピエゾプレー）１０の左＠部分に戻される。
ここで、ガスレージセンサに対して外部から角速度が加
わると、内側流路１５内でガス流が偏向されて２つの感
温素子ｓａ、ａｂ間の出力に微少な差異が発生する。こ
の出力偏差により当該ガスレ−）センサに作用する角速
度を検出する。
わると、内側流路１５内でガス流が偏向されて２つの感
温素子ｓａ、ａｂ間の出力に微少な差異が発生する。こ
の出力偏差により当該ガスレ−）センサに作用する角速
度を検出する。
この輪のガスレー）センサは上述０ように感温素子対が
ガス流によって受けるガスの放熱分布の微少な差によっ
て角速度を検出するものであり、検出精度を高めろため
に＃−！７０−七ンサ８の取付精度を高めると共に電気
的な緒特性を向上させることが必要不可欠である。
ガス流によって受けるガスの放熱分布の微少な差によっ
て角速度を検出するものであり、検出精度を高めろため
に＃−！７０−七ンサ８の取付精度を高めると共に電気
的な緒特性を向上させることが必要不可欠である。
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、７０−セン
サのベースにセラミックを使用すると共に、感温素子及
びこの感温素子を接続するスタツＹｗｃ金メッキを施し
、且つこれらをボンディングによ抄接続して検出精度を
高めるようにしたガスレージセンサを提供するものであ
る。
サのベースにセラミックを使用すると共に、感温素子及
びこの感温素子を接続するスタツＹｗｃ金メッキを施し
、且つこれらをボンディングによ抄接続して検出精度を
高めるようにしたガスレージセンサを提供するものであ
る。
以下本発明の一実施例を添付必用に基いて詳述する。
第２．３図において本発明の一実施例が示され、＊Ｎ１
２０は７Ｗ−センサのペースを形成するための円形盤体
で、アルミナ等のセラミック部材で形成されてお９、中
央ＩＩＫ社通孔２１ＳＬが、半径方向の同心円上に呟Ｉ
Ｉ数例えば４１１０通孔２１ｂの孔２２Ｌ〜２２（ｌが
穿ｓｃ’ｇれている。そして、これらの各孔２１Ｌ 〜
２１ｅｌ及び２２ａ〜２２６は夫々ホルダ２０の肴面２
０＆、２０ｂに対して重重に穿設゛されている。ホルダ
２０の４つの孔２２Ｌ〜２２（ＩＫは夫★スタッド２３
〜２６が嵌挿されている。これらの各スタッド２５〜２
６は例えにタングステンで形成されてお９、表面忙は金
メッキが施されている。尚、タングステンスタッドに金
メッキを施す場合には下地メッキとしてニッケルメッキ
を施した後表面金メッキを行う。
２０は７Ｗ−センサのペースを形成するための円形盤体
で、アルミナ等のセラミック部材で形成されてお９、中
央ＩＩＫ社通孔２１ＳＬが、半径方向の同心円上に呟Ｉ
Ｉ数例えば４１１０通孔２１ｂの孔２２Ｌ〜２２（ｌが
穿ｓｃ’ｇれている。そして、これらの各孔２１Ｌ 〜
２１ｅｌ及び２２ａ〜２２６は夫々ホルダ２０の肴面２
０＆、２０ｂに対して重重に穿設゛されている。ホルダ
２０の４つの孔２２Ｌ〜２２（ＩＫは夫★スタッド２３
〜２６が嵌挿されている。これらの各スタッド２５〜２
６は例えにタングステンで形成されてお９、表面忙は金
メッキが施されている。尚、タングステンスタッドに金
メッキを施す場合には下地メッキとしてニッケルメッキ
を施した後表面金メッキを行う。
そして、各スタッド２３〜２６は接金部材３０によ〉ホ
ルダ２０に強ｍＫロー付は固定されている。
ルダ２０に強ｍＫロー付は固定されている。
尚、四−付けＫｍらずガラス付けにより固定してもよい
。
。
感温素子５１．３２Ｆ！例えばタングステンの細線で表
面には前記スタッド２３〜２６と同様に金メッキが施さ
れて−る。感温索子５１の両ｍＦｉ夫夫スタッド２５．
２４の端面２３ａ１２４１！Ｌに当接されてお砂、金線
３５によりこれらの端面２３ａ。
面には前記スタッド２３〜２６と同様に金メッキが施さ
れて−る。感温索子５１の両ｍＦｉ夫夫スタッド２５．
２４の端面２３ａ１２４１！Ｌに当接されてお砂、金線
３５によりこれらの端面２３ａ。
２４ ＆に＆ンデイング接続されている。すなわち、感
温素子′５１はスタッド２５．２４に金ポンデインダに
より接続されている。金線によるボンディングは例えば
直１１３０声程度のオリアイス孔を有する清秋の治具を
使用し、この治具内に金のｍ、ｗを挿通してオリアイス
孔の部分で溶融し、当該オリアイス孔から所定の接合部
分に溶出させてボンディングを行う。
温素子′５１はスタッド２５．２４に金ポンデインダに
より接続されている。金線によるボンディングは例えば
直１１３０声程度のオリアイス孔を有する清秋の治具を
使用し、この治具内に金のｍ、ｗを挿通してオリアイス
孔の部分で溶融し、当該オリアイス孔から所定の接合部
分に溶出させてボンディングを行う。
同様にして他の感温素子３２の両［４夫々スタツド２５
゜２６の端面に金メンディングにより接続されている。
゜２６の端面に金メンディングにより接続されている。
勿論、これらの感温素子３１９３２は、ホルダ２０の中
ｔｈＯからの水平距離及び盤面２０ＪＬからの垂直距４
０が形成されている。
ｔｈＯからの水平距離及び盤面２０ＪＬからの垂直距４
０が形成されている。
かかる構成の７四−センサ４０を前述した第１図の７ｗ
−センサ８に代えてセンサ本体２内に嵌装してガスレー
トセンナを構成する。７０−センサ４０（Ｉペースすな
わち、ホルダ２０け七ラミツタであるため忙絶縁性が非
常に高く、従って、感温セン９５１，５２の微少な抵抗
値変化の検出に際し漏洩電流が極めて小さく、検出感度
が向上する。また、熱伝ｌｌが良く温度均一性が高いた
めにスタッド２３〜２６の温度を常時一定に保持し、感
温素子５１，５２の温度ムラが無くなり、しかも加工精
度が高く、７田−センナの同心ずれ或は片寄りが極めて
小さくなり、検出精度及び安定性がよい。
−センサ８に代えてセンサ本体２内に嵌装してガスレー
トセンナを構成する。７０−センサ４０（Ｉペースすな
わち、ホルダ２０け七ラミツタであるため忙絶縁性が非
常に高く、従って、感温セン９５１，５２の微少な抵抗
値変化の検出に際し漏洩電流が極めて小さく、検出感度
が向上する。また、熱伝ｌｌが良く温度均一性が高いた
めにスタッド２３〜２６の温度を常時一定に保持し、感
温素子５１，５２の温度ムラが無くなり、しかも加工精
度が高く、７田−センナの同心ずれ或は片寄りが極めて
小さくなり、検出精度及び安定性がよい。
また、ボンディングにより感温素子５１；５２とスタッ
ド２５．：、２４ ；２５．２６を接続している光めに
接触抵抗が低く、電気的及び温度的に安定した接続が可
能であり、且つ取付精度が高い。
ド２５．：、２４ ；２５．２６を接続している光めに
接触抵抗が低く、電気的及び温度的に安定した接続が可
能であり、且つ取付精度が高い。
更に、金メッキを施すためにスタッド２３〜２６の材料
を感温素子材料に合わせて選定することが可能であり、
例えば同一材料を使用することにより接続部分の熱起電
力を極めて低く抑えることができる。しかも、スタッド
２３〜２６及び感温素子３１．３２に金メッキを施すこ
とにより金ボンデインダが可能であると共に、酬化が防
止され耐久性が向上する。
を感温素子材料に合わせて選定することが可能であり、
例えば同一材料を使用することにより接続部分の熱起電
力を極めて低く抑えることができる。しかも、スタッド
２３〜２６及び感温素子３１．３２に金メッキを施すこ
とにより金ボンデインダが可能であると共に、酬化が防
止され耐久性が向上する。
以上説明したように本発明によれば、７０−センサのペ
ースに−にラミック材料を使用すると共に、スタッド及
び感温素子に金メッキを施し、且つこれらのスタッドと
感温素子とを叡ンデイングにより接続するためｅｃ、７
ａ−センナの機械的精度及びセンサ本体への取付精度が
向上し、更に、電気的−特性が極めて高くなり、角速度
の検出精度を非常に高くすることができるという優れた
効果がある。
ースに−にラミック材料を使用すると共に、スタッド及
び感温素子に金メッキを施し、且つこれらのスタッドと
感温素子とを叡ンデイングにより接続するためｅｃ、７
ａ−センナの機械的精度及びセンサ本体への取付精度が
向上し、更に、電気的−特性が極めて高くなり、角速度
の検出精度を非常に高くすることができるという優れた
効果がある。
第１図はガスレージセンナの縦断面図、第２図は本発明
に係るガスレートセンサに使用するフローセンナの一実
施例を示す平面図、第３図は第２図のＡ−Ａ’断面図で
ある。 １・・・ケーシング、２・−センサ本体、８・・・７０
−センサ、１０−・・ピエゾプレート、２０・・・ホル
ダ、２５〜２６・−スタッド、３１．５２・−感温素子
。 出願人 本田技研工業株式会社 代理人 弁理士 渡 部 敏 彦 第１図 第２図
に係るガスレートセンサに使用するフローセンナの一実
施例を示す平面図、第３図は第２図のＡ−Ａ’断面図で
ある。 １・・・ケーシング、２・−センサ本体、８・・・７０
−センサ、１０−・・ピエゾプレート、２０・・・ホル
ダ、２５〜２６・−スタッド、３１．５２・−感温素子
。 出願人 本田技研工業株式会社 代理人 弁理士 渡 部 敏 彦 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ ナーシンン内に収納されたセンナ本体のノズル孔か
ら感温素子を備えた７ｍ−センナに向けて噴出させたガ
ス流に対して角速度が作用したと１に生ずるガス流の偏
向に基づく前記フ田−竜ンサの出力差から前記角速度を
検出するガスレートセンサにお−て、前記７ｗ−センサ
のペースを竜ツミツタ部材で形成すると共に１前記感温
素子及び該感温素子を前記ペースに取付けるスタッドに
金メッキを施し、これらをボンディングにより接続固定
する′ようにしたことを特徴とするガスレージセンサ。 ２ 前記ボンディングが金ポンディングである特許請求
の範囲第１項記載のｌスレートセンナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56132295A JPS5833165A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | ガスレ−トセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56132295A JPS5833165A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | ガスレ−トセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5833165A true JPS5833165A (ja) | 1983-02-26 |
| JPH0424663B2 JPH0424663B2 (ja) | 1992-04-27 |
Family
ID=15077944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56132295A Granted JPS5833165A (ja) | 1981-08-24 | 1981-08-24 | ガスレ−トセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5833165A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52102777A (en) * | 1976-02-23 | 1977-08-29 | United Technologies Corp | Zero offset compensator for fluid type angular velocity detector |
| JPS5421514A (en) * | 1977-07-19 | 1979-02-17 | Toshiba Corp | Torque controller for induction motor |
-
1981
- 1981-08-24 JP JP56132295A patent/JPS5833165A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52102777A (en) * | 1976-02-23 | 1977-08-29 | United Technologies Corp | Zero offset compensator for fluid type angular velocity detector |
| JPS5421514A (en) * | 1977-07-19 | 1979-02-17 | Toshiba Corp | Torque controller for induction motor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0424663B2 (ja) | 1992-04-27 |
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