JPS5833930U - クリーンルームまたはクリーンユニット用ダストモニター - Google Patents

クリーンルームまたはクリーンユニット用ダストモニター

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JPS5833930U
JPS5833930U JP12595381U JP12595381U JPS5833930U JP S5833930 U JPS5833930 U JP S5833930U JP 12595381 U JP12595381 U JP 12595381U JP 12595381 U JP12595381 U JP 12595381U JP S5833930 U JPS5833930 U JP S5833930U
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JP
Japan
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clean
dust monitor
room
clean room
unit
Prior art date
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JP12595381U
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English (en)
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JPH0127081Y2 (ja
Inventor
福谷　守弘
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Asahi Kogyosha Co Ltd
Original Assignee
Asahi Kogyosha Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS5833930U publication Critical patent/JPS5833930U/ja
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  • Central Air Conditioning (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示すものであって、第・１図は
一部を縦断して示す概略図、第２図はダストモニターの
概略図である。 １ニクリーンル−ム、１ｍ：クリーンユニット、２．１
２：高効率微粒子濾過器、３，１３：給気ファン、４，
１４：給気ダクト、５，１５：還気ダクト、２１：ダス
トモニター、２２：吸引管、２７：光散乱式ダストカウ
ンター、２８：ポンプ、２９：塵埃数累積表示器、３０
：タイプライタ−，３１：設定器、３２：ブザー。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 高効率微粒子濾過器にて室内空気をクリーン度の高い状
    態に清浄するようになしたクリーンルームおよび、また
    は該クリーンルーム内に設置したクリーンユニットに、
    それぞれの室内のクリーン度を常時および一定時間毎に
    表示するとともに該クリーン度がある設定値を超えた場
    合には警報を発するようにしたダストモニターを取付け
    であることを特徴とするダストモニターを有するクリー
    ンルームおよびクリーンユニット。
JP12595381U 1981-08-27 1981-08-27 クリーンルームまたはクリーンユニット用ダストモニター Granted JPS5833930U (ja)

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JPS5833930U true JPS5833930U (ja) 1983-03-05
JPH0127081Y2 JPH0127081Y2 (ja) 1989-08-14

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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KR101475545B1 (ko) * 2007-05-25 2014-12-30 로르 앵뒤스트리 지상의 레일에 의하여 안내되는 도로 차축을 위한, 측방향 진동이 제한되는 양방향 안내 시스템

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JPH0127081Y2 (ja) 1989-08-14

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