JPS5834426B2 - 高密度炭化けい素焼結体の製造法 - Google Patents

高密度炭化けい素焼結体の製造法

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JPS5834426B2
JPS5834426B2 JP55157876A JP15787680A JPS5834426B2 JP S5834426 B2 JPS5834426 B2 JP S5834426B2 JP 55157876 A JP55157876 A JP 55157876A JP 15787680 A JP15787680 A JP 15787680A JP S5834426 B2 JPS5834426 B2 JP S5834426B2
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JP
Japan
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powder
silicon carbide
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sintered body
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JP55157876A
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JPS5782177A (en
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満彦 古川
栄 田中
孝 北平
利実 木林
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Nippon Tungsten Co Ltd
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Nippon Tungsten Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は反応焼結炭化けい素の製造法に関するもので
ある。
この方法はSiCとCの混合体を素原料として、これを
高温で焼成する過程でSiを注入して、成形体中の炭素
と反応せしめることにより、緻密な炭化けい素焼給体を
得る方法である。
SiCは従来より耐火物や非金属発熱体として身近な材
料として用いられていたが、近年機械材料として研究が
活発に行なわれだしSi3N4とともに次代を担う重要
なニューセラミックス材料として注目されている。
しかし機械材料として用いる場合気孔率の少ない高密度
の焼結体が必要である。
従来反応焼結SiCを製造する方法は、成形体を約70
0°C〜900’Cの温度にて仮焼し、その後金属けい
素粉末と接触させ約1600℃の温度にてSiを溶融さ
せ仮焼体中の細孔を利用し毛細管現象により仮焼体中に
Siを注入し高温で反応焼結を行なっていた。
しかしこの方法だと気孔率の低い反応焼結SiCを製造
するには気孔率の低い仮焼体を用いる必要があり、この
ため仮焼体にSiを注入し反応焼結するのに長時間を要
し、しかも均一にSiを注入することが困難であった。
この問題を解決するために約800℃の仮焼時に仮焼結
体を一定時間酸素雰囲気に置き、仮焼体中の炭素を酸化
し、減少せしめることにより気孔を増したり同時にSi
Cの表層部を一部酸化しSiO2とし、真空雰囲気高温
にてこのSiO2を飛散せしめ気孔率を増し、仮焼体に
よる溶融Siの注入を容易にする方法が用いられていた
しかし上記の方法にて処理されたSiC焼結体は表層部
と内部の組成に差が生じており、安定した強度を必要と
する機械材料としては問題があった。
従ってこの方法で製造された焼結体は表層部を研削して
除く必要があった。
またこの方法では肉厚の薄い物では有効であるが肉厚の
厚い物では効果があまりみられないという欠点がある。
本発明は以上の欠点を除去するために、仮焼体表面層の
炭素を減少させることなく、またSiC粒子の表層部を
酸化させることなくSiの注入速度を向上させたもので
あり、その要旨は炭化けい素粉末と炭素粉末との混合粉
末ioo重量部に対し、セルロースを0.5重量部〜5
.0重量部添加混合した混合物を成型し、加熱処理を施
し、次いでこの成型体に溶融状態の金属けい素を含浸せ
しめた状態で1時間以上保持することを特徴とする高密
度炭化けい素焼給体の製造法である。
即ちSiCとCとの混合成形品を製造するに際し、セル
ロースを均一に同時に混入するものである(この場合の
セルロースは結晶質セルロースの方がそれも出来る限り
微品質のものの方が好ましいものである)。
次いで加熱処理(通常真空中500℃〜SOO℃)を施
し3000〜100OOA(0,3〜1μ)の範囲の繊
維状マイクロポアーを規則正しく規制する。
この細孔を有する仮焼体は溶融Siを仮焼体内部まで注
入するのに極めて良好であり、従来の方法により製造さ
れた仮焼体に比較して、溶融Siの浸透速度は数倍以上
となり。
肉厚で高密度のSiC焼結体を短時間で得ることができ
、しかもSiC焼結体の表層部と内部とでは材質的に均
一なものが得られ、従来の方法で製造されたSiC焼結
体の如く反応焼結後表層部を削除する必要がない。
SiC仮焼体内に繊維状マイクロポアーを生せしめるた
めに用いる微結晶セルロースは、木材、綿、麻など植物
の細肪膜の主成分であり、その構造は分子が比較的規則
正しく平行に配列している結晶領域のものがよく、特に
高純度の精製パルプより製造されたものがよい。
これは仮焼後不純物の混入を防ぐためである。
また微結晶セルロースを添加させた場合マイクロポアー
を作り、Siの注入を容易にするばかりでなく、5iC
−C混合粉末を室温で加圧成形する際添加した微結晶セ
ルロースが容易に粒子の絡み合いを生じ粉体の成形性を
良好とし、複雑な形状の成形品をも製造できるという利
点がある。
また高密度SiC焼結体を製造する場合5iC−C圧粉
体はより高密度の圧粉体とする必要があるがその際本添
加物の効果は大きい。
なお溶融金属けい素を含浸せしめ反応焼結させた後、更
に熱間等方圧加圧焼結を行なうのはSiとCの反応時間
の短縮の為であり、この熱間等方圧加圧焼結の温度は1
300℃以上圧力は500’9 /crA以上が望、ま
しい。
反応焼結時間が0.5時間の焼結体はその焼結体を熱間
等方圧加圧焼結処理してもその効果はみられない。
これは0.5時間の反応焼結において溶融SiがSiC
仮焼体中に充分注入されていない為と思われる。
また反応時間が最低の1時間の焼結体では、その焼結体
の物性値はあまり十分ではないが、この反応焼結体を更
に熱間等方圧加圧焼結する事により、密度の低下が若干
みられるものの硬さ、抗折力の向上がみられる。
この理由として5iC−C−8iの未反応部が高温高圧
により、より反応の促進が行なわれるものと思われる。
以上述べて来た事実並びに後記する事実を導き出した実
験及びその結果を記する。
即ち、く実験 1〉 平均粒子径9μmをもつα型炭化けい素粉末70重量φ
とカーボンブラック30重量袈を混合した粉末に微結晶
セルロースを表1の如く配合混合した粉末にワックスを
添加する。
これを1000Kq/cdの圧力で30X10X5−に
成形した後、真空中700℃の温度にて仮焼する該仮焼
物の上に1(lの金属Siを載せ、0.1 torr
〜0.8torrの減圧中で温度1500℃まで1時間
で昇温し3時間保持して反応焼結した。
焼結後の密度、硬さを同じく表1に示す。
く実験 2〉 平均粒子径9μmをもつα型炭化けい素粉床70重量饅
とカーボンブラック30重量φを混合した粉末と同じく
α−8iC粉末70重量饅とカーボンブラック30重量
饅混合した粉末100重量部に対して微結晶セルロース
を1重量部添加した粉末にワックスを添加した混合粉末
を500.※※1000.2000Kg/cf11で3
0X10X5mに加圧成形し、この圧粉体を700℃に
て仮焼した後、この該仮焼物上に101の金属Siをの
せ0、1 torr −0,5torrの減圧中で温度
1500℃まで1時間で昇温し、3時間保持して反応焼
結した焼結後の密度、硬さ、抗折力を表2に示す。
く実験 3〉 平均粒子径9μmをもつα型炭化けい素粉末80重量φ
とカーボンブラック20重量φを混合した粉末に微結晶
セルロースを表3の如く配合混合した粉末にワックスを
添加し造粒する。
これを1o o o Kti/cyAの圧力で30×1
0×51rIjItに成形した後、真空中700°Cの
温度にて仮焼する該仮焼物の上に1ofiの金属Siを
載せ0.1torr〜0.8torrの減圧中で温度1
500℃まで1時間で昇温し3時間保持して反応焼結し
た焼結後の密度、硬さを同じく表3に示す。
く実験 4〉 平均粒子径9μmをもつα型炭化けい素粉末とカーボン
ブラックを表4の如く配合し、このおのおの配合した混
合粉末に微結晶セルロースを更に1重量多添加した粉末
にワックスを添加し、この粉末を1000 Ky/cd
で30X10X5mに加圧成形し、この圧粉体を700
℃にて仮焼した。
その後該仮焼物上に101の金属Siをのせ0.1to
rr −0,5torrの減圧中で温度1500’Cま
で1時間で昇温し3時間保持して反応焼結した焼結体の
密度、硬さ、抗折力を表4に示す。
く実験 5〉 平均粒子径9μmをもつα−8iC粉末70重量多とカ
ーボンブラック30重量饅を混合した粉末と更にこの粉
末(70重量%SiC+30重量%C)100重量部に
対して微結晶セルロースを1重量部添加した粉末に各々
ワックスを添加し造粒した後、これを1OOOKI!/
crIiの圧力で50f×50藺に加圧成形し、真空中
700°Cの温度にて仮焼する。
該仮焼物に金属Siを十分接触させ0、1 torr
〜0.8 torrの減圧中で温度1500℃まで1時
間で昇温し3時間保持して反応焼結して、焼結後試料成
形体の中心内部と外周部の硬さを測定して、表5に結果
を示す。
く実験 6〉 平均粒子径9μmをもつα型炭化けい素粉末70重量φ
とカーボンブラック30重量饅を混合した粉末100重
量部に対して微結晶セルロースを0.5重量部添加し、
造粒し、これを1000Kg/ cdの圧力で30X1
0X5711Jlに成形した後、真空中700℃の温度
にて仮焼した後、該仮焼物の上に10rの金属Siを載
せ0.1 torr −0,6torrの減圧中で温度
1500℃まで1時間で昇温し、0.5,1,2,3.
4時間各々保持して反応焼結した。
焼結後の密度、硬さ、曲げ強さを表6に示す。
次にこれらの焼結体を等方圧加圧焼結法により1300
℃〜1450℃、圧力300〜1OOOK9/crli
で各々1時間Arガス圧力媒体を用いて処理した後、表
面を研削加工後の物性変化を同じく表6に示す。
以上の実験結果より物性値(密度、抗折力、硬さ)の望
ましい製品が得られるのはセルロースの量が0.5〜5
.0重量部であり、又反応焼結時間は少なくとも1時間
は必要という事が判る。
そしてこの様な条件で得られた本件発明方法による製品
は中心部、外周部とも殆んど同一の優れた物性値を示し
、本材料が耐摩耗板、メカニカルシールリング、構造部
品材料として利用できるものであることがわかる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 炭化けい素粉末と炭素粉末との混合粉末io。 重量部に対し、セルロースを0.5重量部〜5.0重量
    部添加混合した混合物を成型し、加熱処理を施し、次い
    でこの成型体に溶融状態の金属けい素を含浸せしめた状
    態で1時間以上保持することを特徴とする高密度炭化け
    い素焼給体の製造法。 2 炭化けい素粉末と炭素粉末との混合粉末io。 重量部に対し、セルロースを0.5重量部〜5.0重量
    部添加混合した混合物を成型し、加熱処理を施し、次い
    でこの成型体に溶融状態の金属けい素を含浸せしめた状
    態で1時間以上保持した後熱間等方圧加圧焼結をするこ
    とを特徴とする高密度炭化けい素焼給体の製造法。
JP55157876A 1980-11-10 1980-11-10 高密度炭化けい素焼結体の製造法 Expired JPS5834426B2 (ja)

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