JPS5834426B2 - 高密度炭化けい素焼結体の製造法 - Google Patents
高密度炭化けい素焼結体の製造法Info
- Publication number
- JPS5834426B2 JPS5834426B2 JP55157876A JP15787680A JPS5834426B2 JP S5834426 B2 JPS5834426 B2 JP S5834426B2 JP 55157876 A JP55157876 A JP 55157876A JP 15787680 A JP15787680 A JP 15787680A JP S5834426 B2 JPS5834426 B2 JP S5834426B2
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- silicon carbide
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は反応焼結炭化けい素の製造法に関するもので
ある。
ある。
この方法はSiCとCの混合体を素原料として、これを
高温で焼成する過程でSiを注入して、成形体中の炭素
と反応せしめることにより、緻密な炭化けい素焼給体を
得る方法である。
高温で焼成する過程でSiを注入して、成形体中の炭素
と反応せしめることにより、緻密な炭化けい素焼給体を
得る方法である。
SiCは従来より耐火物や非金属発熱体として身近な材
料として用いられていたが、近年機械材料として研究が
活発に行なわれだしSi3N4とともに次代を担う重要
なニューセラミックス材料として注目されている。
料として用いられていたが、近年機械材料として研究が
活発に行なわれだしSi3N4とともに次代を担う重要
なニューセラミックス材料として注目されている。
しかし機械材料として用いる場合気孔率の少ない高密度
の焼結体が必要である。
の焼結体が必要である。
従来反応焼結SiCを製造する方法は、成形体を約70
0°C〜900’Cの温度にて仮焼し、その後金属けい
素粉末と接触させ約1600℃の温度にてSiを溶融さ
せ仮焼体中の細孔を利用し毛細管現象により仮焼体中に
Siを注入し高温で反応焼結を行なっていた。
0°C〜900’Cの温度にて仮焼し、その後金属けい
素粉末と接触させ約1600℃の温度にてSiを溶融さ
せ仮焼体中の細孔を利用し毛細管現象により仮焼体中に
Siを注入し高温で反応焼結を行なっていた。
しかしこの方法だと気孔率の低い反応焼結SiCを製造
するには気孔率の低い仮焼体を用いる必要があり、この
ため仮焼体にSiを注入し反応焼結するのに長時間を要
し、しかも均一にSiを注入することが困難であった。
するには気孔率の低い仮焼体を用いる必要があり、この
ため仮焼体にSiを注入し反応焼結するのに長時間を要
し、しかも均一にSiを注入することが困難であった。
この問題を解決するために約800℃の仮焼時に仮焼結
体を一定時間酸素雰囲気に置き、仮焼体中の炭素を酸化
し、減少せしめることにより気孔を増したり同時にSi
Cの表層部を一部酸化しSiO2とし、真空雰囲気高温
にてこのSiO2を飛散せしめ気孔率を増し、仮焼体に
よる溶融Siの注入を容易にする方法が用いられていた
。
体を一定時間酸素雰囲気に置き、仮焼体中の炭素を酸化
し、減少せしめることにより気孔を増したり同時にSi
Cの表層部を一部酸化しSiO2とし、真空雰囲気高温
にてこのSiO2を飛散せしめ気孔率を増し、仮焼体に
よる溶融Siの注入を容易にする方法が用いられていた
。
しかし上記の方法にて処理されたSiC焼結体は表層部
と内部の組成に差が生じており、安定した強度を必要と
する機械材料としては問題があった。
と内部の組成に差が生じており、安定した強度を必要と
する機械材料としては問題があった。
従ってこの方法で製造された焼結体は表層部を研削して
除く必要があった。
除く必要があった。
またこの方法では肉厚の薄い物では有効であるが肉厚の
厚い物では効果があまりみられないという欠点がある。
厚い物では効果があまりみられないという欠点がある。
本発明は以上の欠点を除去するために、仮焼体表面層の
炭素を減少させることなく、またSiC粒子の表層部を
酸化させることなくSiの注入速度を向上させたもので
あり、その要旨は炭化けい素粉末と炭素粉末との混合粉
末ioo重量部に対し、セルロースを0.5重量部〜5
.0重量部添加混合した混合物を成型し、加熱処理を施
し、次いでこの成型体に溶融状態の金属けい素を含浸せ
しめた状態で1時間以上保持することを特徴とする高密
度炭化けい素焼給体の製造法である。
炭素を減少させることなく、またSiC粒子の表層部を
酸化させることなくSiの注入速度を向上させたもので
あり、その要旨は炭化けい素粉末と炭素粉末との混合粉
末ioo重量部に対し、セルロースを0.5重量部〜5
.0重量部添加混合した混合物を成型し、加熱処理を施
し、次いでこの成型体に溶融状態の金属けい素を含浸せ
しめた状態で1時間以上保持することを特徴とする高密
度炭化けい素焼給体の製造法である。
即ちSiCとCとの混合成形品を製造するに際し、セル
ロースを均一に同時に混入するものである(この場合の
セルロースは結晶質セルロースの方がそれも出来る限り
微品質のものの方が好ましいものである)。
ロースを均一に同時に混入するものである(この場合の
セルロースは結晶質セルロースの方がそれも出来る限り
微品質のものの方が好ましいものである)。
次いで加熱処理(通常真空中500℃〜SOO℃)を施
し3000〜100OOA(0,3〜1μ)の範囲の繊
維状マイクロポアーを規則正しく規制する。
し3000〜100OOA(0,3〜1μ)の範囲の繊
維状マイクロポアーを規則正しく規制する。
この細孔を有する仮焼体は溶融Siを仮焼体内部まで注
入するのに極めて良好であり、従来の方法により製造さ
れた仮焼体に比較して、溶融Siの浸透速度は数倍以上
となり。
入するのに極めて良好であり、従来の方法により製造さ
れた仮焼体に比較して、溶融Siの浸透速度は数倍以上
となり。
肉厚で高密度のSiC焼結体を短時間で得ることができ
、しかもSiC焼結体の表層部と内部とでは材質的に均
一なものが得られ、従来の方法で製造されたSiC焼結
体の如く反応焼結後表層部を削除する必要がない。
、しかもSiC焼結体の表層部と内部とでは材質的に均
一なものが得られ、従来の方法で製造されたSiC焼結
体の如く反応焼結後表層部を削除する必要がない。
SiC仮焼体内に繊維状マイクロポアーを生せしめるた
めに用いる微結晶セルロースは、木材、綿、麻など植物
の細肪膜の主成分であり、その構造は分子が比較的規則
正しく平行に配列している結晶領域のものがよく、特に
高純度の精製パルプより製造されたものがよい。
めに用いる微結晶セルロースは、木材、綿、麻など植物
の細肪膜の主成分であり、その構造は分子が比較的規則
正しく平行に配列している結晶領域のものがよく、特に
高純度の精製パルプより製造されたものがよい。
これは仮焼後不純物の混入を防ぐためである。
また微結晶セルロースを添加させた場合マイクロポアー
を作り、Siの注入を容易にするばかりでなく、5iC
−C混合粉末を室温で加圧成形する際添加した微結晶セ
ルロースが容易に粒子の絡み合いを生じ粉体の成形性を
良好とし、複雑な形状の成形品をも製造できるという利
点がある。
を作り、Siの注入を容易にするばかりでなく、5iC
−C混合粉末を室温で加圧成形する際添加した微結晶セ
ルロースが容易に粒子の絡み合いを生じ粉体の成形性を
良好とし、複雑な形状の成形品をも製造できるという利
点がある。
また高密度SiC焼結体を製造する場合5iC−C圧粉
体はより高密度の圧粉体とする必要があるがその際本添
加物の効果は大きい。
体はより高密度の圧粉体とする必要があるがその際本添
加物の効果は大きい。
なお溶融金属けい素を含浸せしめ反応焼結させた後、更
に熱間等方圧加圧焼結を行なうのはSiとCの反応時間
の短縮の為であり、この熱間等方圧加圧焼結の温度は1
300℃以上圧力は500’9 /crA以上が望、ま
しい。
に熱間等方圧加圧焼結を行なうのはSiとCの反応時間
の短縮の為であり、この熱間等方圧加圧焼結の温度は1
300℃以上圧力は500’9 /crA以上が望、ま
しい。
反応焼結時間が0.5時間の焼結体はその焼結体を熱間
等方圧加圧焼結処理してもその効果はみられない。
等方圧加圧焼結処理してもその効果はみられない。
これは0.5時間の反応焼結において溶融SiがSiC
仮焼体中に充分注入されていない為と思われる。
仮焼体中に充分注入されていない為と思われる。
また反応時間が最低の1時間の焼結体では、その焼結体
の物性値はあまり十分ではないが、この反応焼結体を更
に熱間等方圧加圧焼結する事により、密度の低下が若干
みられるものの硬さ、抗折力の向上がみられる。
の物性値はあまり十分ではないが、この反応焼結体を更
に熱間等方圧加圧焼結する事により、密度の低下が若干
みられるものの硬さ、抗折力の向上がみられる。
この理由として5iC−C−8iの未反応部が高温高圧
により、より反応の促進が行なわれるものと思われる。
により、より反応の促進が行なわれるものと思われる。
以上述べて来た事実並びに後記する事実を導き出した実
験及びその結果を記する。
験及びその結果を記する。
即ち、く実験 1〉
平均粒子径9μmをもつα型炭化けい素粉末70重量φ
とカーボンブラック30重量袈を混合した粉末に微結晶
セルロースを表1の如く配合混合した粉末にワックスを
添加する。
とカーボンブラック30重量袈を混合した粉末に微結晶
セルロースを表1の如く配合混合した粉末にワックスを
添加する。
これを1000Kq/cdの圧力で30X10X5−に
成形した後、真空中700℃の温度にて仮焼する該仮焼
物の上に1(lの金属Siを載せ、0.1 torr
〜0.8torrの減圧中で温度1500℃まで1時間
で昇温し3時間保持して反応焼結した。
成形した後、真空中700℃の温度にて仮焼する該仮焼
物の上に1(lの金属Siを載せ、0.1 torr
〜0.8torrの減圧中で温度1500℃まで1時間
で昇温し3時間保持して反応焼結した。
焼結後の密度、硬さを同じく表1に示す。
く実験 2〉
平均粒子径9μmをもつα型炭化けい素粉床70重量饅
とカーボンブラック30重量φを混合した粉末と同じく
α−8iC粉末70重量饅とカーボンブラック30重量
饅混合した粉末100重量部に対して微結晶セルロース
を1重量部添加した粉末にワックスを添加した混合粉末
を500.※※1000.2000Kg/cf11で3
0X10X5mに加圧成形し、この圧粉体を700℃に
て仮焼した後、この該仮焼物上に101の金属Siをの
せ0、1 torr −0,5torrの減圧中で温度
1500℃まで1時間で昇温し、3時間保持して反応焼
結した焼結後の密度、硬さ、抗折力を表2に示す。
とカーボンブラック30重量φを混合した粉末と同じく
α−8iC粉末70重量饅とカーボンブラック30重量
饅混合した粉末100重量部に対して微結晶セルロース
を1重量部添加した粉末にワックスを添加した混合粉末
を500.※※1000.2000Kg/cf11で3
0X10X5mに加圧成形し、この圧粉体を700℃に
て仮焼した後、この該仮焼物上に101の金属Siをの
せ0、1 torr −0,5torrの減圧中で温度
1500℃まで1時間で昇温し、3時間保持して反応焼
結した焼結後の密度、硬さ、抗折力を表2に示す。
く実験 3〉
平均粒子径9μmをもつα型炭化けい素粉末80重量φ
とカーボンブラック20重量φを混合した粉末に微結晶
セルロースを表3の如く配合混合した粉末にワックスを
添加し造粒する。
とカーボンブラック20重量φを混合した粉末に微結晶
セルロースを表3の如く配合混合した粉末にワックスを
添加し造粒する。
これを1o o o Kti/cyAの圧力で30×1
0×51rIjItに成形した後、真空中700°Cの
温度にて仮焼する該仮焼物の上に1ofiの金属Siを
載せ0.1torr〜0.8torrの減圧中で温度1
500℃まで1時間で昇温し3時間保持して反応焼結し
た焼結後の密度、硬さを同じく表3に示す。
0×51rIjItに成形した後、真空中700°Cの
温度にて仮焼する該仮焼物の上に1ofiの金属Siを
載せ0.1torr〜0.8torrの減圧中で温度1
500℃まで1時間で昇温し3時間保持して反応焼結し
た焼結後の密度、硬さを同じく表3に示す。
く実験 4〉
平均粒子径9μmをもつα型炭化けい素粉末とカーボン
ブラックを表4の如く配合し、このおのおの配合した混
合粉末に微結晶セルロースを更に1重量多添加した粉末
にワックスを添加し、この粉末を1000 Ky/cd
で30X10X5mに加圧成形し、この圧粉体を700
℃にて仮焼した。
ブラックを表4の如く配合し、このおのおの配合した混
合粉末に微結晶セルロースを更に1重量多添加した粉末
にワックスを添加し、この粉末を1000 Ky/cd
で30X10X5mに加圧成形し、この圧粉体を700
℃にて仮焼した。
その後該仮焼物上に101の金属Siをのせ0.1to
rr −0,5torrの減圧中で温度1500’Cま
で1時間で昇温し3時間保持して反応焼結した焼結体の
密度、硬さ、抗折力を表4に示す。
rr −0,5torrの減圧中で温度1500’Cま
で1時間で昇温し3時間保持して反応焼結した焼結体の
密度、硬さ、抗折力を表4に示す。
く実験 5〉
平均粒子径9μmをもつα−8iC粉末70重量多とカ
ーボンブラック30重量饅を混合した粉末と更にこの粉
末(70重量%SiC+30重量%C)100重量部に
対して微結晶セルロースを1重量部添加した粉末に各々
ワックスを添加し造粒した後、これを1OOOKI!/
crIiの圧力で50f×50藺に加圧成形し、真空中
700°Cの温度にて仮焼する。
ーボンブラック30重量饅を混合した粉末と更にこの粉
末(70重量%SiC+30重量%C)100重量部に
対して微結晶セルロースを1重量部添加した粉末に各々
ワックスを添加し造粒した後、これを1OOOKI!/
crIiの圧力で50f×50藺に加圧成形し、真空中
700°Cの温度にて仮焼する。
該仮焼物に金属Siを十分接触させ0、1 torr
〜0.8 torrの減圧中で温度1500℃まで1時
間で昇温し3時間保持して反応焼結して、焼結後試料成
形体の中心内部と外周部の硬さを測定して、表5に結果
を示す。
〜0.8 torrの減圧中で温度1500℃まで1時
間で昇温し3時間保持して反応焼結して、焼結後試料成
形体の中心内部と外周部の硬さを測定して、表5に結果
を示す。
く実験 6〉
平均粒子径9μmをもつα型炭化けい素粉末70重量φ
とカーボンブラック30重量饅を混合した粉末100重
量部に対して微結晶セルロースを0.5重量部添加し、
造粒し、これを1000Kg/ cdの圧力で30X1
0X5711Jlに成形した後、真空中700℃の温度
にて仮焼した後、該仮焼物の上に10rの金属Siを載
せ0.1 torr −0,6torrの減圧中で温度
1500℃まで1時間で昇温し、0.5,1,2,3.
4時間各々保持して反応焼結した。
とカーボンブラック30重量饅を混合した粉末100重
量部に対して微結晶セルロースを0.5重量部添加し、
造粒し、これを1000Kg/ cdの圧力で30X1
0X5711Jlに成形した後、真空中700℃の温度
にて仮焼した後、該仮焼物の上に10rの金属Siを載
せ0.1 torr −0,6torrの減圧中で温度
1500℃まで1時間で昇温し、0.5,1,2,3.
4時間各々保持して反応焼結した。
焼結後の密度、硬さ、曲げ強さを表6に示す。
次にこれらの焼結体を等方圧加圧焼結法により1300
℃〜1450℃、圧力300〜1OOOK9/crli
で各々1時間Arガス圧力媒体を用いて処理した後、表
面を研削加工後の物性変化を同じく表6に示す。
℃〜1450℃、圧力300〜1OOOK9/crli
で各々1時間Arガス圧力媒体を用いて処理した後、表
面を研削加工後の物性変化を同じく表6に示す。
以上の実験結果より物性値(密度、抗折力、硬さ)の望
ましい製品が得られるのはセルロースの量が0.5〜5
.0重量部であり、又反応焼結時間は少なくとも1時間
は必要という事が判る。
ましい製品が得られるのはセルロースの量が0.5〜5
.0重量部であり、又反応焼結時間は少なくとも1時間
は必要という事が判る。
そしてこの様な条件で得られた本件発明方法による製品
は中心部、外周部とも殆んど同一の優れた物性値を示し
、本材料が耐摩耗板、メカニカルシールリング、構造部
品材料として利用できるものであることがわかる。
は中心部、外周部とも殆んど同一の優れた物性値を示し
、本材料が耐摩耗板、メカニカルシールリング、構造部
品材料として利用できるものであることがわかる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 炭化けい素粉末と炭素粉末との混合粉末io。 重量部に対し、セルロースを0.5重量部〜5.0重量
部添加混合した混合物を成型し、加熱処理を施し、次い
でこの成型体に溶融状態の金属けい素を含浸せしめた状
態で1時間以上保持することを特徴とする高密度炭化け
い素焼給体の製造法。 2 炭化けい素粉末と炭素粉末との混合粉末io。 重量部に対し、セルロースを0.5重量部〜5.0重量
部添加混合した混合物を成型し、加熱処理を施し、次い
でこの成型体に溶融状態の金属けい素を含浸せしめた状
態で1時間以上保持した後熱間等方圧加圧焼結をするこ
とを特徴とする高密度炭化けい素焼給体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55157876A JPS5834426B2 (ja) | 1980-11-10 | 1980-11-10 | 高密度炭化けい素焼結体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55157876A JPS5834426B2 (ja) | 1980-11-10 | 1980-11-10 | 高密度炭化けい素焼結体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5782177A JPS5782177A (en) | 1982-05-22 |
| JPS5834426B2 true JPS5834426B2 (ja) | 1983-07-26 |
Family
ID=15659335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55157876A Expired JPS5834426B2 (ja) | 1980-11-10 | 1980-11-10 | 高密度炭化けい素焼結体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834426B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5884183A (ja) * | 1981-11-12 | 1983-05-20 | トヨタ自動車株式会社 | 反応焼結法による炭化珪素焼結体の製造方法 |
| JPS59232652A (ja) * | 1983-06-13 | 1984-12-27 | Mishima Kosan Co Ltd | 連続鋳造用セラミツク鋳型 |
| JP3830733B2 (ja) * | 2000-06-05 | 2006-10-11 | 株式会社東芝 | 粒子分散シリコン材料およびその製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS494706A (ja) * | 1972-04-26 | 1974-01-16 |
-
1980
- 1980-11-10 JP JP55157876A patent/JPS5834426B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5782177A (en) | 1982-05-22 |
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