JPS5834895B2 - 電子顕微鏡における螢光板 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子顕微鏡において電子線像を肉眼で観察する
ための蛍光板に関する。

最近電子顕微鏡においては高倍率で観察する場合、観察
視野が出来るだけ広いことが要望されており、従って蛍
光板を大きくする必要がある。

然るに従来の蛍光板は蛍光板全体を開閉する様な構造と
なっているため、蛍光板を大きくすると必然的に観察室
全体が大型化してくるので、前記蛍光板を大きくするの
にも限界がある。

そこで近時観察室全体を大きくすることなしに蛍光板を
大きくするために、第１図に示すように大きな直径を有
する主蛍光板１を観察室２にビス等により固定し、該主
蛍光板の中央部に撮影視野３をカバーする大きさを有す
る小蛍光板４を開閉可能に取付けた構造のものが実用さ
れている。

尚図中５は小蛍光板４を傾斜させるための回転軸、叉点
Ｃは小蛍光板４の中心であり、この点Ｃは電子線光軸Ｚ
（つまり撮影視野の中心）と一致させである。

しかし乍ら斯様な装置においてはピント合せを行うため
に、小蛍光板３を同図中一点鎖線ａでその状態を示すよ
うにルーペロの光軸Ｏと小蛍光板４の表面とが直交する
位置まで傾斜させた場合、小蛍光板の中心Ｃ力Ｃ／で示
すように光軸Ｚから太きくずれるため、撮影視野の中心
部（つまり光軸）にピントを合せることが非常に困難と
なる。

本発明は斯様な欠点を解決するために、小蛍光板を傾斜
させても該小蛍光板の中心が光軸Ｚからずれない装置を
提供するもので、以下第２図乃至第４図に示す実施例装
置に基づき詳説する。

図において７は観察室であり、下方にフィルムを内装し
たカメラ室（図示せず）が設けである。

８は前記フィルム上の撮影視野を決めるためのマスクで
、中央部に電子線通過穴８ａが形成しである。

９は前記マスク８の上方におかれた大蛍光板で、表面に
蛍光物質（図示せず）が塗布してあり、又該大蛍光板は
数本のビスを介して前記観察室７に固定しである。

１０は前記大蛍光板の中央部に設けた小蛍光板で該小蛍
光板は前記フィルム上の撮影視野に必要なだけの大きさ
に形成しである。

１１は該小蛍光板１０を保持するための取付台で、該取
付台の端部には第５図にその斜視図を示すように回転軸
１２ａ及び１２ｂを夫々固定した突出部１１ａ及び１１
ｂが設けてあって、該回転軸１２ａ及び１２ｂは棒体１
３により一体化された２つのアーム１４ａ及び１４ｂに
夫々回転可能に支持されている。

前記２つのアーム’＝ ４ ａ 、１４ｂはその中央部
分において夫々支持軸１５ａ、１５ｂにより回転可能に
支持されている。

該支持軸１５ａ及び１５ｂは前記大蛍光板９の底部（又
は観察室７）に固定された軸受板１６ａ及び１６ｂに回
転可能に支持されており、又該両支持軸の夫夫の軸心は
光軸Ｚと直交する直線Ｘ−Ｘ上におかれている。

更に該支持軸１５ａには大歯車１７が回転可能に嵌合し
である。

一方前記取付台１１に固定された回転軸１２ａには前記
大歯車１７の歯数１／２の歯数を有した小歯車１８が固
定してあり、該小歯車１８と大歯車１Ｔとは中間歯車１
９を介して連結されている。

前記中間歯車１９はビス２０を介して前記アーム１４ａ
に回転可能に取付けられている。

２１は前記支持軸１５ａにピン等により一体に取付けら
れた歯車で、該歯車はクラウン歯車２２に噛合っている
。

該クラウン歯車は、前記マスク８上に回転可能に設置さ
れた回転板２３に固定されており、回転板は図示外の可
逆回転モーターに連結されていて、光軸Ｚを中心にして
時計或いは反時計方向に回転する。

前記歯車２１には第４図に示すように光軸Ｚを中心にし
て左右にピン２４ａ及び２４ｂが固定してあり、これら
のうち２４ａはアーム１４ａの底部に係合し、他方の２
４ｂは大歯車１７に固定されたレバー２５の底部に係合
している。

２６ａ及び２６ｂは前記軸受板１６ａに夫々固定された
ストップバーで、一方の２６ａはアーム１４ａの底部に
、又他方の２６ｂはレバー２５の底部に夫々接している
、尚前記回転板２３の光軸付近には電子線通過用穴２３
ａが形成しである。

又大歯車１７の下側は切り取られている。

斯くの如き装置において第４図で示すように小蛍光板１
０水平状態、つまり小蛍光板１０の表面と大蛍光板９の
表面とが一致（同一平面）しているとき、アーム１４ａ
の底部にピン２４ａ及びストッパー２６ａが夫々係合す
ると共にレバー２５の底部にもピン２４ｂ及びストッパ
ー２６ｂが夫夫係合するようにセットしておく。

この状態においてモータにて回転板２３を回転させるこ
とによりクラウン歯車２２を介して歯車２１を第４図中
矢印Ｆ方向に回転させると、ピン２４ａによりアーム１
４ ａ 、１４ ｂが軸１５ａ、１５ｂを中心にして同
方向に回転される。

このとき歯車２１の矢印Ｆ方向の回転方向に対しては、
ストッパー２６ａとレバー２５とが係合するため、大歯
車１７は回転しない。

従ってアーム１４ ａ 、１４ ｂの回転により中間歯
車１９及び小歯車１８が同方向に回動すると同時に該中
間歯車１９が事実上固定された大歯車１７と噛合った状
態で回動するから中間歯車自体が回転し、それに伴なっ
て小歯車１８も第４図中矢印Ｇ方向に回転するため、小
蛍光板１１が同図中一点鎖線すで示すように傾斜する。

しかして、小蛍光板が一点鎖線すの位置まで傾斜すると
図示外のマイクロスイッチが作動し、モータの回転が停
止され、ルーぺ２７により電子線像の焦点合せを行うこ
とがときる。

ここで第４図において回転軸１２ａの軸心をり。

支持軸１５ａの軸心をＥ及び小蛍光板１０表面の光軸Ｚ
と交互する点（つまり小蛍光板の中心）をＣとしたとき
、距離ＤＥとＤＣとを等しくなるように構成しておけば
、小蛍光板１０を一点鎖線すの位置に傾斜させても小蛍
光板の中心は点Ｃ′で示す如く光軸Ｚ上に位置する。

これは次の理由である。即ち小歯車１８の歯数が大歯車
１７の歯数の１／２で形成しであるので、小蛍光板１０
が一点鎖線すまで傾斜するのにアーム１４ａが角度α回
転したとすれば、小歯車１８はアーム１４ａの回転に伴
って２α回転するため、点Ｃは軸心Ｅを通る直線つまり
光軸Ｚ上を移動する。

その結果小蛍光板１０を傾斜させても撮影視野の中心に
小蛍光板の中心を常に一致させることができる。

次に第４図中実線で示す状態において、回転板２３を前
述とは逆の方向に回転させる。

つまり歯車２１を同図中矢印Ｆとは逆の方向に回転させ
るとピン２４ａ及びレバー２５を介して大歯車１７が同
方向に回転する。

このとき歯車２１の矢印Ｆとは逆の方向の回転に対して
はストッパー２６ａとアーム１４ａとが係合するため、
該アームは回転しない。

従って大歯車１７の回転により中間歯車１９を介して小
歯車１８が同図中矢印Ｇ方向に回転するため、小蛍光板
１０が回転軸１２ ａ 、１２ ｂの軸心を中心にして
同図中二点鎖線ｂ′で示す位置まで傾斜する。

これにより小蛍光板１０が撮影視野外におかれるため、
撮影装置のシャッターを開放することにより写真撮影を
行うことができる。

この場合前記小蛍光板１０が開放される速さは大歯車１
７の速さの２倍の速さであることは言うまでもない。

以上の如く構成することにより本発明は小蛍光板を傾斜
させても、撮影視野の中心を常に小蛍光板の中心に一致
させることができるため、小蛍光板の中心に基線を刻設
しておくことにより、撮影視野の中心部のピント合せを
容易に行うことができる等、実用性大なる効果を有する
。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を説明するための図、第２図は本発明の
一実施例を示す平面断面図、第３図及び第４図は夫々第
２図のＡ−Ａ及びＢ−Ｂ断面図、第５図は本発明に使用
される小蛍光板、駆動部の斜視図である。 第２図乃至第５図において、７は観察室、８はマスク、
９は大蛍光板、１０は小蛍光板、１２は取付台、１３は
棒体、１４ａ及び１４ｂはアーム、１５ａ及び１５ｂは
支持軸、１６ａ及び１６ｂは軸受板、１Ｔは大歯車、１
８は小歯車、１９は中間歯車、２１は歯車、２２はクラ
ウン歯車、２３は回転板、２４ａ及び２４ｂはピン、２
５はレバ２６ａ及び２６ｂはストッパーである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 観察室に固定された大蛍光板と、該大蛍光板の中央
   部に設けられた小蛍光板と、該小蛍光板の端部を回転可
   能に支持するための互いに一体化された２つのアームと
   、該ノ“−ムを前記観察室に対して回転可能に支持する
   ための支持軸と、該支持軸に取付けられた大歯車と、前
   記小蛍光板の回転軸に固定され且つ前記アームに取付け
   られた中間歯車を介して前記大歯車に連結された小歯車
   と、前記アームを回転させるための手段と、該手段によ
   りアームが回転するとき前記大歯車の回転を阻止するた
   めの手段とを備え、前記小歯車の歯数は大歯車の歯数の
   ／２ となし、又前記支持軸の軸心は電子線光軸と直交
   するように配設し、更に小蛍光板が水平状態にあるとき
   小歯車の軸心と大歯車の軸心とを結ぶ距離及び小歯車の
   軸心と小蛍光板の中心とを結ぶ距離が夫々等しくなるよ
   うに構成した事を特徴とする電子顕微鏡における蛍光板
   。