JPS5835401A - 小径穴測定装置 - Google Patents
小径穴測定装置Info
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- JPS5835401A JPS5835401A JP13398481A JP13398481A JPS5835401A JP S5835401 A JPS5835401 A JP S5835401A JP 13398481 A JP13398481 A JP 13398481A JP 13398481 A JP13398481 A JP 13398481A JP S5835401 A JPS5835401 A JP S5835401A
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- JP
- Japan
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- movable body
- hole
- displacement
- diameter
- spherical
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- Pending
Links
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- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 3
- 241000345998 Calamus manan Species 0.000 claims 1
- 235000012950 rattan cane Nutrition 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 10
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
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- 241000208140 Acer Species 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/12—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring diameters
- G01B7/13—Internal diameters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本ｌｌ＠は小後大測定装置に−し、一対の測定子が挿入
で会ないような小蚤の大振及び測定ヘッド中心に対する
大中るの芯ずれ量を正確に一定することをｌ１ｔＩＩｉ
としたものである。
で会ないような小蚤の大振及び測定ヘッド中心に対する
大中るの芯ずれ量を正確に一定することをｌ１ｔＩＩｉ
としたものである。
一般に大極が比較的大会なものｔｔｍ定＾ツドに義廻し
た一対もしくは数対の１ＩＩＲ子を大円周囲の直重方向
の３点に同時接触Ｓ昔、一対の一定子のＳ対変位量を各
−童子１１に設けた変位機出Ｓ″ｅ検出し、その出力を
演算して大儀寸法や穴中心位置をｓｉｘすることがて會
易が、一対の一定子が同時に挿入で會ないような小曇大
については大振や大中心位置を測定するζｔかで会なか
った◎ 本弛嘴は上記徹未の１Ｉｌｌ亀を屡決した一定義直に係
り、その畳量は、小価大内に挿入可能な１個の球状測定
子を大Ｐ！ｊＩｌｉの直後上の２点ｉｃ変位しτｍ触Ｓ
量、この球状ＩＩｌ定子童子位喜せる平行な板ばねに支
持した３つの可動体の１対変位置をそれぞれ変位検出器
で検出し、酋配直畿上の２点でテンプリンダした測定値
によって犬掻及び穴中心位置を演算測定するよう化した
ものである。
た一対もしくは数対の１ＩＩＲ子を大円周囲の直重方向
の３点に同時接触Ｓ昔、一対の一定子のＳ対変位量を各
−童子１１に設けた変位機出Ｓ″ｅ検出し、その出力を
演算して大儀寸法や穴中心位置をｓｉｘすることがて會
易が、一対の一定子が同時に挿入で會ないような小曇大
については大振や大中心位置を測定するζｔかで会なか
った◎ 本弛嘴は上記徹未の１Ｉｌｌ亀を屡決した一定義直に係
り、その畳量は、小価大内に挿入可能な１個の球状測定
子を大Ｐ！ｊＩｌｉの直後上の２点ｉｃ変位しτｍ触Ｓ
量、この球状ＩＩｌ定子童子位喜せる平行な板ばねに支
持した３つの可動体の１対変位置をそれぞれ変位検出器
で検出し、酋配直畿上の２点でテンプリンダした測定値
によって犬掻及び穴中心位置を演算測定するよう化した
ものである。
、 以下本発明のｌＩ膳何畳園−にょって諷−する。
第ｉｍｌに禽いてｌは欄定装置本体％ｍはホーの測定穴
である。調定ａｍ本体１１ｃ＠ｇ一定大錦の直後方向に
変位可能な平行ばね２＃ｃよりて―直状態て露ｌ可動体
３が支持専れている・専らに、前記測定大腸の直後より
も小ＩＩな籠の球状測定子６を有する纂意■自体５を前
Ｉｍ！露ｌ可動体３に対して同じ変位万一に平行ばね４
Ｅよって垂直状態で支持８れている。
である。調定ａｍ本体１１ｃ＠ｇ一定大錦の直後方向に
変位可能な平行ばね２＃ｃよりて―直状態て露ｌ可動体
３が支持専れている・専らに、前記測定大腸の直後より
も小ＩＩな籠の球状測定子６を有する纂意■自体５を前
Ｉｍ！露ｌ可動体３に対して同じ変位万一に平行ばね４
Ｅよって垂直状態で支持８れている。
また、測定装置本体五には、この測電鵜置本体ＩＥ対す
るＨ１１可動３の変位量を検出する第１変位検出器７が
歇けられ、菖ＩＷＩＩＩ体３Ｅは、ｊｌｌ可動体３に対
する８２可動体Ｓの変位量を検出する第２変位４ｉｋ出
器９が黴けられている。８はｓ１１可動体３と一体のコ
アてあり、鰺は纂雪可動体５と一体のコアて島る・ さらに、纂１可動体３には、平行ばね２１Ｃよる中立復
元力に抗して両方向に所定量変位させる押動ａｔ、例え
ばシリンダ装置ｎが連結されている。１！はストッパを
示す。
るＨ１１可動３の変位量を検出する第１変位検出器７が
歇けられ、菖ＩＷＩＩＩ体３Ｅは、ｊｌｌ可動体３に対
する８２可動体Ｓの変位量を検出する第２変位４ｉｋ出
器９が黴けられている。８はｓ１１可動体３と一体のコ
アてあり、鰺は纂雪可動体５と一体のコアて島る・ さらに、纂１可動体３には、平行ばね２１Ｃよる中立復
元力に抗して両方向に所定量変位させる押動ａｔ、例え
ばシリンダ装置ｎが連結されている。１！はストッパを
示す。
前記纂１及び第２変位検出器１．９の変位検出信号をテ
ンプリンダするテンプリング手段は纂鵞■に示すように
、ナンプシンダ１路舅に第１変位検ｍＩＩフの信号を直
接入力し１．また第２変位検出器９の信号をレベル変位
検出信号を介して入力して測定値６、易が取出専れるよ
゛うに ゛なっている。
ンプリンダするテンプリング手段は纂鵞■に示すように
、ナンプシンダ１路舅に第１変位検ｍＩＩフの信号を直
接入力し１．また第２変位検出器９の信号をレベル変位
検出信号を介して入力して測定値６、易が取出専れるよ
゛うに ゛なっている。
次に上記本発―装置による小楓大の測定方法について説
明する。ＪＩｇ３１１１ＡＬ１１１１定装置本体１を下
降して球状測定子６を測定大諺内に挿入した状態てあり
、第１及び第２可一体３、！Ｓは板ばね２．４によって
中立位置にある◎この状態でシ啼ンｆ農ｔ１１によって
嬉１可動体３を板ばね２の中立位置復元力に抗しτ両方
向に所定量変位すると練状ＩＩＩｊ１子６は第１１のよ
うに測定大腸の円周画の直後上の１点＃Ｃ接触し、また
菖３園Ｃのように偽の１点Ｅｌｌｌｌｋする。この球状
測定子６が前記一定大鱒の２点ｒ：ａｍするまては＄１
１可動体３ｆ：対する菖意可―体酪の変位は行われない
ので、８４ｍｍに示すように５ｉｚｅ位検出１１９の出
力は・である。一方の纂１変値検ａｌｌ）７の出力は欄
定ｓｅｔ本体ＩＣ対するＩｌｌ可動体３の変位量８Ｅよ
っτＩＩｌ■の左Ｊ変位ではグラスの出力となり、ｊ１
３１１０の右２ｊ変位ではマイナスの出力となる。また
、ｉｌｌ）１１１ｍのように球状測定子６が測定大腸の
１ｊＬにｍ！蝕した後にはＩＩＩＷＩＩＩ体３Ｅ対する
纂８可動体Ｓの変位量は１１１４ｍに示すように第２変
位機畠―９のグラスの出力て検出され、謳５ａｌｌｃの
ように倫の１点に！ｌ！触したｌｌにはマイナスの出力
て検出される。
明する。ＪＩｇ３１１１ＡＬ１１１１定装置本体１を下
降して球状測定子６を測定大諺内に挿入した状態てあり
、第１及び第２可一体３、！Ｓは板ばね２．４によって
中立位置にある◎この状態でシ啼ンｆ農ｔ１１によって
嬉１可動体３を板ばね２の中立位置復元力に抗しτ両方
向に所定量変位すると練状ＩＩＩｊ１子６は第１１のよ
うに測定大腸の円周画の直後上の１点＃Ｃ接触し、また
菖３園Ｃのように偽の１点Ｅｌｌｌｌｋする。この球状
測定子６が前記一定大鱒の２点ｒ：ａｍするまては＄１
１可動体３ｆ：対する菖意可―体酪の変位は行われない
ので、８４ｍｍに示すように５ｉｚｅ位検出１１９の出
力は・である。一方の纂１変値検ａｌｌ）７の出力は欄
定ｓｅｔ本体ＩＣ対するＩｌｌ可動体３の変位量８Ｅよ
っτＩＩｌ■の左Ｊ変位ではグラスの出力となり、ｊ１
３１１０の右２ｊ変位ではマイナスの出力となる。また
、ｉｌｌ）１１１ｍのように球状測定子６が測定大腸の
１ｊＬにｍ！蝕した後にはＩＩＩＷＩＩＩ体３Ｅ対する
纂８可動体Ｓの変位量は１１１４ｍに示すように第２変
位機畠―９のグラスの出力て検出され、謳５ａｌｌｃの
ように倫の１点に！ｌ！触したｌｌにはマイナスの出力
て検出される。
そこ″？、第３図Ｂにおける球状−電子６の測定大腸へ
の筆触した時点の第２変位検ａｓｓｓのレベル変化検出
信号イによ轢、その時点の蕗ｌ変位検出器７の出力口を
テン１讐ノダ園路用によってテンプリンダし測定値６を
取−す・専らに纂３園Ｃｆｃ禽ける球状測定子６の測定
大国への接触した時点ａｄｚ変位検ａＳＳＳのレベル変
化検出償奇へにより、その時点のａｌｌ変位検出器丁０
出カニをテンプリンダ−路Ｕによってすｙ１ダンダし測
定値暴を取出す。
の筆触した時点の第２変位検ａｓｓｓのレベル変化検出
信号イによ轢、その時点の蕗ｌ変位検出器７の出力口を
テン１讐ノダ園路用によってテンプリンダし測定値６を
取−す・専らに纂３園Ｃｆｃ禽ける球状測定子６の測定
大国への接触した時点ａｄｚ変位検ａＳＳＳのレベル変
化検出償奇へにより、その時点のａｌｌ変位検出器丁０
出カニをテンプリンダ−路Ｕによってすｙ１ダンダし測
定値暴を取出す。
この測定値Ｓ％ｈｉｌ−よって測定大腸の穴１ｋＤは、
球状測定子６の直＠ｊとすると、Ｄ！・＋１＋４で求め
ることがで会る。
球状測定子６の直＠ｊとすると、Ｄ！・＋１＋４で求め
ることがで会る。
また、穴中６位ＩＩは２（＠＋Ａ）を演算すれば検出す
ること＃て会、一定ａｌｌの中心に対すて求めること＃
て会る。尚＋、−の符号を考慮すれば本ずれ方−を知る
ことがて會る０以上のように本尭−装置は、球状測定子
の直径よりも大会ければどんなに小さな籠の穴てあって
もその大極及び穴中心位置−の測定が可能であり、また
穴中心位置を測定する場舎、大儀寸法にバッツ命があっ
ても正確な穴中心位置が求められる利点を有する。′５
ｔ％５！可動体に対する謳２可一体の薯対変位を検出し
て藁！可動体の変位量検出値をナツツリングするもので
あるため、黴−な一定の祭触圧が球状一定子に作用した
。状態の下で一定で舎るのて、一定子の変形等による一
定誤差をさけて高精度の一定が達成される。
ること＃て会、一定ａｌｌの中心に対すて求めること＃
て会る。尚＋、−の符号を考慮すれば本ずれ方−を知る
ことがて會る０以上のように本尭−装置は、球状測定子
の直径よりも大会ければどんなに小さな籠の穴てあって
もその大極及び穴中心位置−の測定が可能であり、また
穴中心位置を測定する場舎、大儀寸法にバッツ命があっ
ても正確な穴中心位置が求められる利点を有する。′５
ｔ％５！可動体に対する謳２可一体の薯対変位を検出し
て藁！可動体の変位量検出値をナツツリングするもので
あるため、黴−な一定の祭触圧が球状一定子に作用した
。状態の下で一定で舎るのて、一定子の変形等による一
定誤差をさけて高精度の一定が達成される。
菖１ＩＩＩは本発明装置の主畳構創り纂２烏はナツツリ
ングー路−１ｍｓａｍは測定作動状態の断画図、１１４
１１は一定値を求める変位量ａＳＳの出力線＠である・ １＠・・置定！ｌｆｆ１本体、２・・・板ばね、３−・
・ｌＩｌ可動体、４＠・φ板ばね、 ＠＠働・纂２１１
ｆｌＩＩ体、６・―・球状一定子、１・・・纂ｌ変位検
出器、９・・すＩ変位機ａＳＩ１１、Ｕ・・・シリンダ
装置、ＴｓΦ・・測定穴、−・−・テングリング■賂、
１ｓｅ・・レベル変化検出−第１１１ 第２１ ０ １ｃ
ングー路−１ｍｓａｍは測定作動状態の断画図、１１４
１１は一定値を求める変位量ａＳＳの出力線＠である・ １＠・・置定！ｌｆｆ１本体、２・・・板ばね、３−・
・ｌＩｌ可動体、４＠・φ板ばね、 ＠＠働・纂２１１
ｆｌＩＩ体、６・―・球状一定子、１・・・纂ｌ変位検
出器、９・・すＩ変位機ａＳＩ１１、Ｕ・・・シリンダ
装置、ＴｓΦ・・測定穴、−・−・テングリング■賂、
１ｓｅ・・レベル変化検出−第１１１ 第２１ ０ １ｃ
Claims (1)
- 測定装置本体に欄定大の直＠方崗に変位量−に平行ばね
にτ曇直状態に支＊ｇれた薦凰可動体を設け、球状測定
子を有するｓｚＷ励体を曽Ｉａ籐ｌ可動体に対して岡し
変位方向に平行ばねにて一直状１１１ｃ支持し、一定ａ
ｍ本体に対する篤１可動体の変位量を検ａする謳ｌ変位
検出−と、菖１可動体に対する８２可動体の変位量を検
出する８２検出−を歎け、さらＪＣｇｌ可瓢會を平行ば
ねによる中立位置復元力Ｋｍしτ真方向ＣＳ定量変位Ｉ
Ｉ４に球状−童子を測定穴内周■の直後上の２点Ｅｌｌ
馳８せる押圧手段と、球状測定子と測定穴内周■とのａ
ｍに１づ会前１ｅｓＩ２可動体の平行ばねによる中立ｔ
ｌＮｃ対する変化を前記Ｍ２変位検出器のａ力変化によ
って検出し、前記１１変位検＾優の変値検畠償命をｔン
グリングするテン１曹ン／！ＩＩを置けたことを譬黴と
する小１１大一定装置◎
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13398481A JPS5835401A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 小径穴測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13398481A JPS5835401A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 小径穴測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5835401A true JPS5835401A (ja) | 1983-03-02 |
Family
ID=15117663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13398481A Pending JPS5835401A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 小径穴測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5835401A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63135801A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | Toyota Motor Corp | 内径測定ヘツド |
| WO2002088625A1 (de) * | 2001-04-26 | 2002-11-07 | Knaebel Horst | Selbstzentrierender fühlebeltaster |
| CZ297601B6 (cs) * | 2002-04-08 | 2007-02-07 | Mericí dynamický trn obtízne dosazitelných der | |
| CZ297611B6 (cs) * | 2001-05-14 | 2007-02-14 | Ing. Jaroslav Stanek-Amest | Mericí dynamický trn |
| CN111707185A (zh) * | 2020-07-16 | 2020-09-25 | 上海华力微电子有限公司 | 半导体测试结构及测试方法 |
-
1981
- 1981-08-28 JP JP13398481A patent/JPS5835401A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63135801A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-08 | Toyota Motor Corp | 内径測定ヘツド |
| WO2002088625A1 (de) * | 2001-04-26 | 2002-11-07 | Knaebel Horst | Selbstzentrierender fühlebeltaster |
| CZ297611B6 (cs) * | 2001-05-14 | 2007-02-14 | Ing. Jaroslav Stanek-Amest | Mericí dynamický trn |
| CZ297601B6 (cs) * | 2002-04-08 | 2007-02-07 | Mericí dynamický trn obtízne dosazitelných der | |
| CN111707185A (zh) * | 2020-07-16 | 2020-09-25 | 上海华力微电子有限公司 | 半导体测试结构及测试方法 |
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