JPS5835861A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
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- JPS5835861A JPS5835861A JP13465281A JP13465281A JPS5835861A JP S5835861 A JPS5835861 A JP S5835861A JP 13465281 A JP13465281 A JP 13465281A JP 13465281 A JP13465281 A JP 13465281A JP S5835861 A JPS5835861 A JP S5835861A
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- microwave
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- discharge lamp
- discharge
- light source
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
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- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この考案は、マイクロ波放電による発光を利用したマイ
クロ波放電光源装置に関するものである。
クロ波放電光源装置に関するものである。
第１図は従来のマイクロ波放電光源装置を示すものであ
り２図において、＋１）はマイクロ波を発生するマグネ
トロンであるマイクロ波発振器。
り２図において、＋１）はマイクロ波を発生するマグネ
トロンであるマイクロ波発振器。
（２）はマグネトロンアンテナ、（３）はマイクロ波を
伝送する導波管、（４）は球面部（５）とこれに続く円
筒部（６）からなり、アルミニウム等で形成された空胴
壁、（７１は押えフランジ（８）と押えネジ（９）とで
空胴壁（４）のフランジ部■に装置された金属メツシュ
板で、マイクロ波は遮断するが、光を透過するものであ
り、上記空胴壁（４１とでマイクロ波空胴α刀を構成す
る。ｌは導波管（３）と空胴壁（４）の接合部に設けら
れた給電口、Ｑ３は球面部（５）の中心近傍に配設され
た球形の放電灯で２石英ガラス等で形成され、内部にア
ルゴン等の希ガス。
伝送する導波管、（４）は球面部（５）とこれに続く円
筒部（６）からなり、アルミニウム等で形成された空胴
壁、（７１は押えフランジ（８）と押えネジ（９）とで
空胴壁（４）のフランジ部■に装置された金属メツシュ
板で、マイクロ波は遮断するが、光を透過するものであ
り、上記空胴壁（４１とでマイクロ波空胴α刀を構成す
る。ｌは導波管（３）と空胴壁（４）の接合部に設けら
れた給電口、Ｑ３は球面部（５）の中心近傍に配設され
た球形の放電灯で２石英ガラス等で形成され、内部にア
ルゴン等の希ガス。
水銀、鉄等の金属およびヨウ素等のハロゲンが封入され
ている。■は放電灯＜１ｍの外壁の一部に設けられた突
起で９石英カラスのような低損失の誘電体の放電灯支持
部西の一端がフレアー状となった放電灯支持部（２）に
嵌合し放電灯（至）を支持するものである。α憤は空胴
壁（４）の一部に設けられ、放電灯支持部四の他端が挿
入されて、これを支持する放電灯支持体支持部、鵠は金
属メツシュ板（７１より外部へ放射される光を被照射面
（図示せず）に集光させるためのレンズである。
ている。■は放電灯＜１ｍの外壁の一部に設けられた突
起で９石英カラスのような低損失の誘電体の放電灯支持
部西の一端がフレアー状となった放電灯支持部（２）に
嵌合し放電灯（至）を支持するものである。α憤は空胴
壁（４）の一部に設けられ、放電灯支持部四の他端が挿
入されて、これを支持する放電灯支持体支持部、鵠は金
属メツシュ板（７１より外部へ放射される光を被照射面
（図示せず）に集光させるためのレンズである。
次にこの様に構成されたマイクロ波放電光源装置の動作
について説明する。マグネトロン（１）によって発生さ
れたマイクロ波が、マグネトロンアンテナ（２１を通じ
て導波管＋３１中に放射され。
について説明する。マグネトロン（１）によって発生さ
れたマイクロ波が、マグネトロンアンテナ（２１を通じ
て導波管＋３１中に放射され。
このマイクロ波が、導波管（３）を伝播し、給電口（２
）を通してマイクロ波空胴回中に放射され、マイクロ波
空胴■中にマイクロ波電磁界を形成する。このマイクロ
波電磁界によ１放電灯（至）中の希ガスが放電して放電
灯値３の内壁が熱せられ。
）を通してマイクロ波空胴回中に放射され、マイクロ波
空胴■中にマイクロ波電磁界を形成する。このマイクロ
波電磁界によ１放電灯（至）中の希ガスが放電して放電
灯値３の内壁が熱せられ。
次に、管内の水銀、鉄等がハロゲン化物となって蒸発し
、放電は金属ガスの放電が主となり。
、放電は金属ガスの放電が主となり。
を持つ光が放射されるようになる。この時、放電は放電
灯−の管壁近傍で起こる。すなわち。
灯−の管壁近傍で起こる。すなわち。
発光は球面状になっている。空胴壁（４）の球面部（５
）を光反射面にしておけば、放電灯０が球面部（５）の
中心近傍にあるため１反射光は再び放電灯（至）近傍を
通過することになる。この反射光と放電灯ａ３の直接光
が金属メツシュ板（７）を通して外方へ放射される。外
方へ放射された光は集光レンズαａ等で必要な被照射面
に集光されるものである。
）を光反射面にしておけば、放電灯０が球面部（５）の
中心近傍にあるため１反射光は再び放電灯（至）近傍を
通過することになる。この反射光と放電灯ａ３の直接光
が金属メツシュ板（７）を通して外方へ放射される。外
方へ放射された光は集光レンズαａ等で必要な被照射面
に集光されるものである。
しかるに、この様に構成されたマイクロ波放電光源装置
にあっては、給電口＠が、放電灯０内の希ガスが放電し
、放電が金属ガスの放電となり、安定状態となった時の
マイクロ波空胴Ｉのインピーダンスが導波管（３：のイ
ンピーダンスと整合するよう設けられているため、放電
灯０が放電するまでは、インピーダンス整合が悪く。
にあっては、給電口＠が、放電灯０内の希ガスが放電し
、放電が金属ガスの放電となり、安定状態となった時の
マイクロ波空胴Ｉのインピーダンスが導波管（３：のイ
ンピーダンスと整合するよう設けられているため、放電
灯０が放電するまでは、インピーダンス整合が悪く。
マイクロ波空胴０内の電磁界は給電口からの洩れ電磁界
だけとなり弱いものであった。したがって、放電灯（至
）内に生じる電磁界が放電灯０内の希ガスが放電開始す
るレベル以下である場合も生じ、マイクロ波電力を与え
ても、放電灯（至）が放電開始しないこともあった。
だけとなり弱いものであった。したがって、放電灯（至
）内に生じる電磁界が放電灯０内の希ガスが放電開始す
るレベル以下である場合も生じ、マイクロ波電力を与え
ても、放電灯（至）が放電開始しないこともあった。
この発明は、−ｈ記した点に鑑みてなされたものであり
、マイクロ波放電光源装置において。
、マイクロ波放電光源装置において。
マイクロ波、空胴の少なくとも一部に可動体を設け、こ
の可動体を始動時動かして、マイクロ波空胴の共振周波
数を変えることＫより、放電灯の放電開始を容易ならし
めることを目的とするものである。
の可動体を始動時動かして、マイクロ波空胴の共振周波
数を変えることＫより、放電灯の放電開始を容易ならし
めることを目的とするものである。
以下にこの発明の一実施例を第２図および第３図に基づ
いて説明すると２図において（１０１）は空胴壁（４）
の円筒部１６）の外壁と接触子（１０３）を介して接触
しながら移動できるよう設けられた可動７ランジ（ｌ◎
２）に、押え７ランジ（８）と押えネジ＋９１とで金属
メッシユ板（７）が取り付けられた可動部。
いて説明すると２図において（１０１）は空胴壁（４）
の円筒部１６）の外壁と接触子（１０３）を介して接触
しながら移動できるよう設けられた可動７ランジ（ｌ◎
２）に、押え７ランジ（８）と押えネジ＋９１とで金属
メッシユ板（７）が取り付けられた可動部。
（１０４）は可動７ランジ（１０２）から伸びた腕、（
１１はこの腕に結分された駆動装置で、可動部（１０１
）を図示矢印人およびＢ方向に動かすものである。
１１はこの腕に結分された駆動装置で、可動部（１０１
）を図示矢印人およびＢ方向に動かすものである。
Ｐ８は入力電機、Ｓは電源スィッチ、Ｔはトランス、Ｔ
ｉはトランスＴの１次巻線、ＴＨはトランスＴの高圧巻
線、ＴＦはトランスＴのフィラメント巻線、Ｃは倍電圧
整流用コンデンサ、Ｄは倍電圧整流用ダイオードである
。
ｉはトランスＴの１次巻線、ＴＨはトランスＴの高圧巻
線、ＴＦはトランスＴのフィラメント巻線、Ｃは倍電圧
整流用コンデンサ、Ｄは倍電圧整流用ダイオードである
。
この様に構成されたマイクロ波放電光源装置にあって、
始動前回動部００１）は空胴壁１４１の開口部端部上方
に位置されており、今、スイッチＳによって電源Ｐ８が
投入さ炸れば、マグネトロン（１）のフィラメントおよ
びアノードにトランスＴを介して電圧が印加され、マイ
クロ波を発生する。これと同時に、駆動装置α９にも電
源ｐｓが投入されることになる。そして駆動装置ａ９が
動作することにより、可動部（１０１）はマイクロ波出
力が現われた直後に動き始め、数ミリ秒〜１秒後に、金
属メツシュ板（７１が空胴壁（４）開口端部。
始動前回動部００１）は空胴壁１４１の開口部端部上方
に位置されており、今、スイッチＳによって電源Ｐ８が
投入さ炸れば、マグネトロン（１）のフィラメントおよ
びアノードにトランスＴを介して電圧が印加され、マイ
クロ波を発生する。これと同時に、駆動装置α９にも電
源ｐｓが投入されることになる。そして駆動装置ａ９が
動作することにより、可動部（１０１）はマイクロ波出
力が現われた直後に動き始め、数ミリ秒〜１秒後に、金
属メツシュ板（７１が空胴壁（４）開口端部。
つまり図示Ａ線の位置まで動き、金属メッシユ板（７：
と空胴壁（４）開口端部が接触したことを検知して、駆
動装置（至）を停止させ、可動部（１０１）の動きを停
止させる。この場合、可動部００１）と空胴壁（４）の
円筒部（６）の外壁が接触不良になると放電やマイクロ
波漏洩の恐れがあるため、接触子（ｌ（２）を設けて接
触不良の状態を避けている。
と空胴壁（４）開口端部が接触したことを検知して、駆
動装置（至）を停止させ、可動部（１０１）の動きを停
止させる。この場合、可動部００１）と空胴壁（４）の
円筒部（６）の外壁が接触不良になると放電やマイクロ
波漏洩の恐れがあるため、接触子（ｌ（２）を設けて接
触不良の状態を避けている。
この様に可動部（１０１）が空胴壁（４）開口端部上方
から開口端部まで動くことにより、空胴壁（４）と金属
メツシュ板（７）とで構成されるマイクロ波空胴（１１
１の共振周波数が見比するため、マイクロ波空胴ａ１１
の共振周波数とマイクロ波の周波数、すなわちマグネト
ロン（１）の発振周波数が一致してマイクロ波空胴叩内
の電磁界が共振電磁界となる時がある。この共振電磁界
は放電灯０が点灯しない状態ではインピーダンス整合が
取れていないが、上記で述べた漏れ電磁界よりも強いも
のであり９例え漏れ電磁界だけで放電灯（至）が点灯し
なくとも、マイクロ波空胴叩内が共振電磁界になった時
、放電灯ａ３は確実に点灯されることになるものである
。そして、放電灯（至）が始動後は、マイクロ波空胴Ｉ
内のインピーダンスが低下するため、マイクロ波エネル
ギーが注入され易くなり、放電灯ａ３の放電が維持され
、安定点灯状態に移行されるものである。なお、放電灯
（至）の始動後は可動部（１０１）が空胴壁（４１開口
端部（図示Ｃ線に示す位置）に位置し、放電灯（至）の
放電が安定状態においてマイクロ波整合が良好な状態と
なっているものである。
から開口端部まで動くことにより、空胴壁（４）と金属
メツシュ板（７）とで構成されるマイクロ波空胴（１１
１の共振周波数が見比するため、マイクロ波空胴ａ１１
の共振周波数とマイクロ波の周波数、すなわちマグネト
ロン（１）の発振周波数が一致してマイクロ波空胴叩内
の電磁界が共振電磁界となる時がある。この共振電磁界
は放電灯０が点灯しない状態ではインピーダンス整合が
取れていないが、上記で述べた漏れ電磁界よりも強いも
のであり９例え漏れ電磁界だけで放電灯（至）が点灯し
なくとも、マイクロ波空胴叩内が共振電磁界になった時
、放電灯ａ３は確実に点灯されることになるものである
。そして、放電灯（至）が始動後は、マイクロ波空胴Ｉ
内のインピーダンスが低下するため、マイクロ波エネル
ギーが注入され易くなり、放電灯ａ３の放電が維持され
、安定点灯状態に移行されるものである。なお、放電灯
（至）の始動後は可動部（１０１）が空胴壁（４１開口
端部（図示Ｃ線に示す位置）に位置し、放電灯（至）の
放電が安定状態においてマイクロ波整合が良好な状態と
なっているものである。
次に、この様に始動性が向上した点についてさらに詳細
に説明を加える。
に説明を加える。
マイクロ波発振器（１）として公称２４５０ＭＨｚのマ
グネトロンを用いると、とのマグネトロンは一般に±５
〜１０ Ｍ）（ｚのばらつきを持ってお９．一方。
グネトロンを用いると、とのマグネトロンは一般に±５
〜１０ Ｍ）（ｚのばらつきを持ってお９．一方。
マイクロ波空胴Ｉを直径１１５ｍの半球からなる球面部
（５）と長さ２５ｍの円筒部（６）で構成すると。
（５）と長さ２５ｍの円筒部（６）で構成すると。
このマイクロ波空胴αυの放電灯（３）の非点灯時の共
振周波数が２５４０Ｍ）ｈとなる。そして、このマイク
ロ波空胴Ｑｌｌの共振状態のＱは数百、すなわち半値巾
が数Ｍ）ｈとなり、この共振周波数から数ＭＨｚ−れた
周波数で共振電磁界は１０分の１程度になるものである
。さらにこのマイクロ波空胴ａυは、放電灯（至）の点
灯時に共振周波数が２４５０ＭＨｚ付近になり、放電灯
０にマイクロ波エネルギーを効率よく与えることができ
る。すなわちマイクロ波整合を良好にできるものである
。又この時のＱは数十となってマグネトロンの発振周波
数にばらつきがあっても、マイクロ波整合状態にはほと
んど影響がないものである。ところで、放電灯（１３の
非点灯時のマイクロ波空胴（Ｉｌｌの共振周波数は２円
筒部（６）の長さが５ｕ＋変化すれば約８０ ＭＨｚ変
化するものである。すなわち。
振周波数が２５４０Ｍ）ｈとなる。そして、このマイク
ロ波空胴Ｑｌｌの共振状態のＱは数百、すなわち半値巾
が数Ｍ）ｈとなり、この共振周波数から数ＭＨｚ−れた
周波数で共振電磁界は１０分の１程度になるものである
。さらにこのマイクロ波空胴ａυは、放電灯（至）の点
灯時に共振周波数が２４５０ＭＨｚ付近になり、放電灯
０にマイクロ波エネルギーを効率よく与えることができ
る。すなわちマイクロ波整合を良好にできるものである
。又この時のＱは数十となってマグネトロンの発振周波
数にばらつきがあっても、マイクロ波整合状態にはほと
んど影響がないものである。ところで、放電灯（１３の
非点灯時のマイクロ波空胴（Ｉｌｌの共振周波数は２円
筒部（６）の長さが５ｕ＋変化すれば約８０ ＭＨｚ変
化するものである。すなわち。
円筒部（６）の長さが５鶏増加すれば共振周波数は８０
Ｍ）ｈ低下し、５ｍ減少すれば８０ＭＨｚ上昇する。
Ｍ）ｈ低下し、５ｍ減少すれば８０ＭＨｚ上昇する。
したがって、金属メツシュ板（７）を第２図図示Ｃ線の
位置に配設すると円筒部（６）の長さは２５０であり、
マイクロ波空胴Ｑ１１の共振周波数は２５４０Ｍ）ｈと
なり、また、可動部（１０１）の可動範囲の上限を７龍
にすれば、金属メツシュ板（７）は第２図図示Ｃ線より
上方７Ｂの位置で移動でき、この位置に金属メツシュ板
＋７）を配設すれば円筒部（６）の長さは実質３２ｆｉ
（２５＋７）となり、マイクロ波空胴０の共振周波数は
約２４３０ ＭＨｚ （中２５４０−ｓ ｏ ｘ ｓ
）となるものである。したがって、金属メツシュ板（７
１を可動部（＋０１）により移動させることにより、放
電灯０３の非点灯時にマイクロ波空胴ａυの共振周波数
を約２４３０ ＭＨｚから２５４０ＭＨｚまで連続的に
変化させることができ、マイクロ波空胴ｕ１１の共振周
波数とマグネトロンの発振周波数が一致、つまり両者と
も２４５０ ＭＨｚ付近になったとき、マイクロ波空胴
ａｎ中に共振電磁界が生じることとなり、この時、単な
る漏れ電磁界に比べて強い電磁界となるため、放電灯（
至）の放電開始が容易となり２点灯確率が上昇するもの
である。なお、放電灯［相］が点灯した後はマイクロ波
空胴［１１＋のＱが低下し、マイクロ波エネルギーが注
入され易くなり、放電灯（３１の放電が維持され、金属
メツシュ（９１が第２図図示０線に固定されると、放電
灯（１３の放電が安定状態になれば。
位置に配設すると円筒部（６）の長さは２５０であり、
マイクロ波空胴Ｑ１１の共振周波数は２５４０Ｍ）ｈと
なり、また、可動部（１０１）の可動範囲の上限を７龍
にすれば、金属メツシュ板（７）は第２図図示Ｃ線より
上方７Ｂの位置で移動でき、この位置に金属メツシュ板
＋７）を配設すれば円筒部（６）の長さは実質３２ｆｉ
（２５＋７）となり、マイクロ波空胴０の共振周波数は
約２４３０ ＭＨｚ （中２５４０−ｓ ｏ ｘ ｓ
）となるものである。したがって、金属メツシュ板（７
１を可動部（＋０１）により移動させることにより、放
電灯０３の非点灯時にマイクロ波空胴ａυの共振周波数
を約２４３０ ＭＨｚから２５４０ＭＨｚまで連続的に
変化させることができ、マイクロ波空胴ｕ１１の共振周
波数とマグネトロンの発振周波数が一致、つまり両者と
も２４５０ ＭＨｚ付近になったとき、マイクロ波空胴
ａｎ中に共振電磁界が生じることとなり、この時、単な
る漏れ電磁界に比べて強い電磁界となるため、放電灯（
至）の放電開始が容易となり２点灯確率が上昇するもの
である。なお、放電灯［相］が点灯した後はマイクロ波
空胴［１１＋のＱが低下し、マイクロ波エネルギーが注
入され易くなり、放電灯（３１の放電が維持され、金属
メツシュ（９１が第２図図示０線に固定されると、放電
灯（１３の放電が安定状態になれば。
マイクロ波空胴圓、とマグネトロンとのマイクロ波整合
は良好な状態となるため、放電灯０は安定点灯を接続す
ることとなるものである。
は良好な状態となるため、放電灯０は安定点灯を接続す
ることとなるものである。
なお、上記実施例ではマイクロ波空胴（Ｉｌｌを構成す
る金属メツシュ板（７）を可動としたが、マイクロ波空
胴αυを構成する空胴壁（４）の一部を可動としてもよ
く、要するにマイクロ波空胴（４）を構成する少なくと
も１部を可動器として、放電灯０の非点灯時のマイクロ
波空胴叩の共振周波数を可変にできるようにすれば良い
ものである。
る金属メツシュ板（７）を可動としたが、マイクロ波空
胴αυを構成する空胴壁（４）の一部を可動としてもよ
く、要するにマイクロ波空胴（４）を構成する少なくと
も１部を可動器として、放電灯０の非点灯時のマイクロ
波空胴叩の共振周波数を可変にできるようにすれば良い
ものである。
この発明は以上述べたように、マイクロ波を発生するマ
イクロ波発振器、このマイクロ波発振器により発生され
たマイクロ波を伝送する導波管、この導波管に給電口を
介して接続された空胴壁とこの空胴壁の開口を塞ぐメツ
シュ板とで構成されたマイクロ波空胴、このマイクロ波
空胴内に配設された無電極の放電灯とを備えたマイクロ
波放電光源装置において、マイクロ波空胴の少なくとも
一部を可動部とし、マイクロ波発振器の電源と同期して
動作する駆動装置により可動部を駆動するようにしたの
で、放電灯の非点灯時、アイクロ波空胴内に共振電磁界
を生じさせることができ、放電灯の点灯開始を容易に々
るという効果があるものである。
イクロ波発振器、このマイクロ波発振器により発生され
たマイクロ波を伝送する導波管、この導波管に給電口を
介して接続された空胴壁とこの空胴壁の開口を塞ぐメツ
シュ板とで構成されたマイクロ波空胴、このマイクロ波
空胴内に配設された無電極の放電灯とを備えたマイクロ
波放電光源装置において、マイクロ波空胴の少なくとも
一部を可動部とし、マイクロ波発振器の電源と同期して
動作する駆動装置により可動部を駆動するようにしたの
で、放電灯の非点灯時、アイクロ波空胴内に共振電磁界
を生じさせることができ、放電灯の点灯開始を容易に々
るという効果があるものである。
第１図は、従来のマイクロ波放電光源装置の要部を示す
縦断面図、第２図は、この発明の一実施例によるマイク
ロ波放電光源装置の要部を示す縦断面図、第３図は第２
図の電源を示す回路図である。 図において、（１）はマグネトロン、（３）は導波管。 （４）は空胴ｌｉ！、 １７＋は金属メツシュ板、αυ
はマイクロ波空胴、ｕＦｉ放電灯、 （１Ｇ＋）ｕ可
動部、 （ＩＩハ駆動装置を示す。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 −
縦断面図、第２図は、この発明の一実施例によるマイク
ロ波放電光源装置の要部を示す縦断面図、第３図は第２
図の電源を示す回路図である。 図において、（１）はマグネトロン、（３）は導波管。 （４）は空胴ｌｉ！、 １７＋は金属メツシュ板、αυ
はマイクロ波空胴、ｕＦｉ放電灯、 （１Ｇ＋）ｕ可
動部、 （ＩＩハ駆動装置を示す。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 −
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 は） マイクロ波を発生するマイクロ波発生器。 このマイクロ波発生器により発生されたマイクロ波を伝
送する導波管、との導波管に給電口を介して接続された
空胴壁の開口を塞ぐメツシュ板とで構成されたマイクロ
波空胴、このマイクロ波空胴内に配設された無電極の放
電灯とを備えたマイクロ波放電光源装置において、上記
マグネトロンの電源と同期して動作する駆動装置により
駆動される可動部を上記マイクロ波空胴の少なくとも一
部に設けたことを特徴とするマイクロ波放電光源装置。 （２）可動部を、マイクロ波空胴を構成するメツシュ板
としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のマ
イクロ波放電光源装置。 （３） 可動部空胴壁の少なくとも１部としたことを
特徴とをマイクロ波空胴を構成する特許請求の範囲第１
項記載のマイクロ波放電光激装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13465281A JPS5835861A (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | マイクロ波放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13465281A JPS5835861A (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5835861A true JPS5835861A (ja) | 1983-03-02 |
| JPH0158621B2 JPH0158621B2 (ja) | 1989-12-12 |
Family
ID=15133373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13465281A Granted JPS5835861A (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5835861A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62208595A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-12 | 三菱電機株式会社 | マイクロ波放電装置 |
| DE3831273A1 (de) * | 1987-09-23 | 1989-04-13 | Fusion Systems Corp | Lampe zum beleuchten einer objektflaeche |
-
1981
- 1981-08-27 JP JP13465281A patent/JPS5835861A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62208595A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-12 | 三菱電機株式会社 | マイクロ波放電装置 |
| DE3831273A1 (de) * | 1987-09-23 | 1989-04-13 | Fusion Systems Corp | Lampe zum beleuchten einer objektflaeche |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0158621B2 (ja) | 1989-12-12 |
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