JPS5838905A - 固体撮像素子用色分解フイルタ - Google Patents
固体撮像素子用色分解フイルタInfo
- Publication number
- JPS5838905A JPS5838905A JP56137998A JP13799881A JPS5838905A JP S5838905 A JPS5838905 A JP S5838905A JP 56137998 A JP56137998 A JP 56137998A JP 13799881 A JP13799881 A JP 13799881A JP S5838905 A JPS5838905 A JP S5838905A
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- JP
- Japan
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- color separation
- solid
- state image
- separation filter
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- Prior art date
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- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は固体撮像素子用色分解フィルタに関するもので
ある。
ある。
例えば、ＣＣＤ （チャージ・カップルド・デバイス）
又はＢＢＤ （パケット・プリゲート・デバイス）等の
電荷転送素子では、その撮像素子の受光面１忙色分解フ
ィルタを形成させなければカラー画偉の信号は得られな
い。
又はＢＢＤ （パケット・プリゲート・デバイス）等の
電荷転送素子では、その撮像素子の受光面１忙色分解フ
ィルタを形成させなければカラー画偉の信号は得られな
い。
色分解フィルタは従来からいろいろな方法で形成され、
ており、有機染色フィルタ、グイクロイックフィルタ等
各種のフィルタ素子が、本発明では適用でき、従来の製
造法を利用して行うことが可能である。
ており、有機染色フィルタ、グイクロイックフィルタ等
各種のフィルタ素子が、本発明では適用でき、従来の製
造法を利用して行うことが可能である。
さらに色分解フィルタは透明基板、例えばガラス上に形
成された後、撮儂素子上に貼合せられるか又は直接撮像
素子上に形成されるが、本発明はいずれの場合にも適用
出来る。
成された後、撮儂素子上に貼合せられるか又は直接撮像
素子上に形成されるが、本発明はいずれの場合にも適用
出来る。
本発明は色分解フィルタを同一基板上に多数個配列して
作成される場合忙、有効な手段を提供するものである。
作成される場合忙、有効な手段を提供するものである。
即ち、第１図に示すようＫ、ガラス等の透明基板（１１
上に色分解フィルタ（２）が多数形成された場合、所定
寸法に切断された後、撮像素子に貼合せられる。又直接
撮像素子上に色分解フィルタが形成される場合は、多数
個が配列した同一基板上に形成されるので、最終的には
切断される。上記切断の場合、通常ダイシングソーが使
用されるが、その際に色分解フィルタにおいて、膜剥れ
やヒビワレ等が発生し、年表の原因となり、さらに切断
速度を上げられない問題があった。
上に色分解フィルタ（２）が多数形成された場合、所定
寸法に切断された後、撮像素子に貼合せられる。又直接
撮像素子上に色分解フィルタが形成される場合は、多数
個が配列した同一基板上に形成されるので、最終的には
切断される。上記切断の場合、通常ダイシングソーが使
用されるが、その際に色分解フィルタにおいて、膜剥れ
やヒビワレ等が発生し、年表の原因となり、さらに切断
速度を上げられない問題があった。
本発明者は上記の問題を解決する為Ｋ、種々、検討を行
なりた結果、色分解フィルタのトップコート層として、
シリコーン系高分子硬質膜を形成する事により、上記の
問題が解決する事を見い出した。
なりた結果、色分解フィルタのトップコート層として、
シリコーン系高分子硬質膜を形成する事により、上記の
問題が解決する事を見い出した。
即ち、第２図に示すように１例えばガラス等の透明基板
（３）上に所要色数を有する色分解フィルタ（４）を複
数個形成した後、第３図に゛示すように、トップコート
層（５）としてシリコーン系高分子をエタノール、イン
ブタノール、セロソルブアセテート等で希釈した溶液を
ディップ、スプレー、スピンナー等でフィルター上に均
一な膜を形成させ、１００℃〜１５０℃で約１時間程加
熱乾燥して硬化させる。
（３）上に所要色数を有する色分解フィルタ（４）を複
数個形成した後、第３図に゛示すように、トップコート
層（５）としてシリコーン系高分子をエタノール、イン
ブタノール、セロソルブアセテート等で希釈した溶液を
ディップ、スプレー、スピンナー等でフィルター上に均
一な膜を形成させ、１００℃〜１５０℃で約１時間程加
熱乾燥して硬化させる。
均一な膜を形成させろには、通常スピンナーによる回転
塗布方法が有効である。
塗布方法が有効である。
シリコーン系高分子の具体例としてはシラノール（ＲＳ
ｉ（ＯＨ） ｓ ： Ｒ＆を炭素Ｗ子＊ １〜３ ノー
ｙルキル基、アニール基またはそれらの誘導基）の縮合
生成物や、該シラノールと５ｔ（ＯＨ）、の縮合物等を
あげることができる◎ トップコート膜を硬質にして本発明・に適するようにす
るには、一般＆ＣＲ／Ｓ ｒ の比を小さい値とする
こと、およびＲに含まれる炭素原子数は少ないほうが良
いが、塗布組成物としての塗布適性の見地から、適当な
成分および組成を決めるべきである。
ｉ（ＯＨ） ｓ ： Ｒ＆を炭素Ｗ子＊ １〜３ ノー
ｙルキル基、アニール基またはそれらの誘導基）の縮合
生成物や、該シラノールと５ｔ（ＯＨ）、の縮合物等を
あげることができる◎ トップコート膜を硬質にして本発明・に適するようにす
るには、一般＆ＣＲ／Ｓ ｒ の比を小さい値とする
こと、およびＲに含まれる炭素原子数は少ないほうが良
いが、塗布組成物としての塗布適性の見地から、適当な
成分および組成を決めるべきである。
上記したような塗布組成物は塗布後加熱乾燥することに
より硬膜となる。
より硬膜となる。
シリコーンは分子構造の骨格はケイ酸塩鉱物と同じく、
シロキサン結合−８ｉ −０−８ｉ−０−からできてお
り、ケイ素原子にさらにアルキル、アニールまたはそれ
らの誘導基が結合した側鎖をもち、半無機半有機的構造
である。
シロキサン結合−８ｉ −０−８ｉ−０−からできてお
り、ケイ素原子にさらにアルキル、アニールまたはそれ
らの誘導基が結合した側鎖をもち、半無機半有機的構造
である。
第３図のように、硬質のトップコート層（５）を施され
た固体撮像素子用色分解フィルタ（４）は、個々に分割
すべく透明基板（３）ごと切断されて、第４図に示すよ
うに固体撮像素子（６）に接着層を介して貼り合わされ
る。
た固体撮像素子用色分解フィルタ（４）は、個々に分割
すべく透明基板（３）ごと切断されて、第４図に示すよ
うに固体撮像素子（６）に接着層を介して貼り合わされ
る。
その結果、色分解フィルタ上に形成されたシリコーン膜
はガラス基板とはソ同等の硬さが得られるので、最終工
程での切断において、従来トップコートとしてアクリル
、エポキシ、ポリウレタン樹脂等を使用している場合に
比較して、膜剥れやヒビワレ又キズの発生が非常に減少
し、良好な色分解フィルタを得る事が可能になりだ。又
切断スピードを上げても良好な結果が得られた。
はガラス基板とはソ同等の硬さが得られるので、最終工
程での切断において、従来トップコートとしてアクリル
、エポキシ、ポリウレタン樹脂等を使用している場合に
比較して、膜剥れやヒビワレ又キズの発生が非常に減少
し、良好な色分解フィルタを得る事が可能になりだ。又
切断スピードを上げても良好な結果が得られた。
さらに、撮像素子に直接色分解゛フィルタを形成ゝする
場合も全く同様であった。
場合も全く同様であった。
（実施例）
ガラス基板上に染色法により、最終色まで色分解フィル
タを形成させた後、東芝シリコーン■製ハードコートレ
ジン 商品名ＸＲ３１−９１２（シリコーン高分子組成物）を
セロソルブアセテートで溶解した２０％液を、スピンナ
ーで１．００ Ｏｒｐｍで塗布し、２５〜３０℃、５０
±５％団の清浄な環境で３０分程度セッテングを行なっ
た後、１２０℃６０分で加熱乾燥を行なった。その後、
ディスコダイシングソーでブレード＄１５０．０．０５
．で切断スピード５ Ｑ Ｑ／Ｓｅｃで切断した。
タを形成させた後、東芝シリコーン■製ハードコートレ
ジン 商品名ＸＲ３１−９１２（シリコーン高分子組成物）を
セロソルブアセテートで溶解した２０％液を、スピンナ
ーで１．００ Ｏｒｐｍで塗布し、２５〜３０℃、５０
±５％団の清浄な環境で３０分程度セッテングを行なっ
た後、１２０℃６０分で加熱乾燥を行なった。その後、
ディスコダイシングソーでブレード＄１５０．０．０５
．で切断スピード５ Ｑ Ｑ／Ｓｅｃで切断した。
その結果、剥れ、ガラスの欠けが無い良好なフィルタを
得る事が出来た。
得る事が出来た。
以上、本発明により、色分解フィルタ作成上の大きな問
題であった、切断時の問題か解決され、さらに耐薬品性
、耐摩耗性の強い色分解フィルタを製造する事が可能に
なり、取扱いが容易となり製品歩留り率も向上するもの
である。
題であった、切断時の問題か解決され、さらに耐薬品性
、耐摩耗性の強い色分解フィルタを製造する事が可能に
なり、取扱いが容易となり製品歩留り率も向上するもの
である。
第１図は固体撮像素子用色分解フィルタが同一の透明基
板上に多数形成された様子を示す平面図であり、第２図
から第４図までは、本発明の色分解フィルタの製造工程
の一実施例を示す説明図である。
板上に多数形成された様子を示す平面図であり、第２図
から第４図までは、本発明の色分解フィルタの製造工程
の一実施例を示す説明図である。
Claims (3)
- （１）固体撮像素子用色分解フィルタにおいて、トップ
コート層をシリコーン系の硬質高分子で形成した事を特
徴とする固体撮像素子用色分解フィルタ。 - （２）色分解フィルタが、透明基板上に形成されてなる
特許請求の範囲第１項記載の色分解フィルタ。 - （３）色分解フィルタが、固体撮像素子上に形成されて
なる特許請求の範囲第１項記載の色分解フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56137998A JPS5838905A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 固体撮像素子用色分解フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56137998A JPS5838905A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 固体撮像素子用色分解フイルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5838905A true JPS5838905A (ja) | 1983-03-07 |
| JPH041321B2 JPH041321B2 (ja) | 1992-01-10 |
Family
ID=15211669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56137998A Granted JPS5838905A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 固体撮像素子用色分解フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5838905A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58137940A (ja) * | 1982-02-10 | 1983-08-16 | Jeol Ltd | イオン源 |
| JPS61211937A (ja) * | 1985-11-15 | 1986-09-20 | Hitachi Ltd | 電界放出型イオン源 |
| JPS62140340A (ja) * | 1985-12-14 | 1987-06-23 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 電界放射型イオン源 |
| JPS6329432A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-08 | Anelva Corp | 液体金属イオン源 |
| JPH01276739A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-07 | Tokin Corp | Ｌｄ励起固体レーザ素子の製造方法 |
| JPH0272303A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-12 | Konica Corp | カラーフィルターおよび液晶カラー表示装置 |
| JPH02250032A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-10-05 | Seiko Instr Inc | 多色液晶表示装置の製造方法 |
| US5399865A (en) * | 1992-06-18 | 1995-03-21 | Hitachi, Ltd. | Liquid metal ion source with high temperature cleaning apparatus for cleaning the emitter and reservoir |
| JPWO2021015039A1 (ja) * | 2019-07-23 | 2021-01-28 |
-
1981
- 1981-09-02 JP JP56137998A patent/JPS5838905A/ja active Granted
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58137940A (ja) * | 1982-02-10 | 1983-08-16 | Jeol Ltd | イオン源 |
| JPS61211937A (ja) * | 1985-11-15 | 1986-09-20 | Hitachi Ltd | 電界放出型イオン源 |
| JPS62140340A (ja) * | 1985-12-14 | 1987-06-23 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 電界放射型イオン源 |
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| JPH01276739A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-07 | Tokin Corp | Ｌｄ励起固体レーザ素子の製造方法 |
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| US5399865A (en) * | 1992-06-18 | 1995-03-21 | Hitachi, Ltd. | Liquid metal ion source with high temperature cleaning apparatus for cleaning the emitter and reservoir |
| JPWO2021015039A1 (ja) * | 2019-07-23 | 2021-01-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH041321B2 (ja) | 1992-01-10 |
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