JPH01276739A - Ｌｄ励起固体レーザ素子の製造方法 - Google Patents
Ｌｄ励起固体レーザ素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH01276739A JPH01276739A JP63104330A JP10433088A JPH01276739A JP H01276739 A JPH01276739 A JP H01276739A JP 63104330 A JP63104330 A JP 63104330A JP 10433088 A JP10433088 A JP 10433088A JP H01276739 A JPH01276739 A JP H01276739A
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- Japan
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- state laser
- solid
- cut
- laser element
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、電子微細加工・測距、レーザレーダー等に用
いられるＬＤ励起固体レーデ装置に係夛。
いられるＬＤ励起固体レーデ装置に係夛。
特に、それに使用される固体レーデ素子の製造方法に関
する。
する。
〈従来の技術〉
従来のＬＤ励起固体レーデ装置は、第６図に示すように
ＬＤ （半導体レーデ）１と、集光レンズ２と、固体レ
ーデロッド（ＬＤ励起固体レーザ素子）３と、出力ミラ
ー４とを励起光とレーザ光が同一方向になるように配設
している。固体レーデ素子３はインゴットから丸棒状に
打ち抜くか、あるいは角棒に切断した後に丸目加工して
、その端面を鏡面研磨した上にそこにコーティングを施
すことで作られている。
ＬＤ （半導体レーデ）１と、集光レンズ２と、固体レ
ーデロッド（ＬＤ励起固体レーザ素子）３と、出力ミラ
ー４とを励起光とレーザ光が同一方向になるように配設
している。固体レーデ素子３はインゴットから丸棒状に
打ち抜くか、あるいは角棒に切断した後に丸目加工して
、その端面を鏡面研磨した上にそこにコーティングを施
すことで作られている。
く考案が解決しようとする課題〉
上述の従来方法で量産しようとすると、固体レーザ素子
３を多数本同時に同一の治具で加工する必要がある。し
かし固体レーデ素子３を治具に固定する除に数分程度の
ずれが生じるため、２０秒以下の平行度を要する固体レ
ーデ素子ではこの方法が使えない。したがって大量の治
具を用いて。
３を多数本同時に同一の治具で加工する必要がある。し
かし固体レーデ素子３を治具に固定する除に数分程度の
ずれが生じるため、２０秒以下の平行度を要する固体レ
ーデ素子ではこの方法が使えない。したがって大量の治
具を用いて。
単品で研磨行程を進めなければならない。
また、コーティングにおいても固体レーザ素子３を固定
する治具が大量に必要となるため非常に高価なものとな
っていた。
する治具が大量に必要となるため非常に高価なものとな
っていた。
それ故に本発明の課題は、大量生産可能なＬＤ励起固体
レーデ素子の製造方法を提供することにある。
レーデ素子の製造方法を提供することにある。
く課題を解決するだめの手段〉
本発明によれば、固体レーデ素子用インゴットを切断し
、切断面を光学的平行平面で鏡面研磨してウェーハを作
り、該ウェーハの鏡面研磨された面にコーティングを施
した後に所定寸法でコーティングを施した面に垂直に切
断加工してＬＤ励起固体レーデ素子を得ることを特徴と
するＬＤ励起固体レーデ素子の製造方法が得られる。
、切断面を光学的平行平面で鏡面研磨してウェーハを作
り、該ウェーハの鏡面研磨された面にコーティングを施
した後に所定寸法でコーティングを施した面に垂直に切
断加工してＬＤ励起固体レーデ素子を得ることを特徴と
するＬＤ励起固体レーデ素子の製造方法が得られる。
〈実施例〉
以下２本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例によって製造された固体レー
ザ素子３を組み込んだＬＤ励起固体レーザ装置の概略構
成図である。このＬＤ励起固体レーデ装置の固体レーザ
素子３は角棒状である。通常、ロッドタイプの励起ラン
プを円筒楕円型集光器で固体レーザ素子に集光する場合
は、励起光が円筒状に集光されるためにロッドタイプの
固体レーザ素子を用いている。ＬＤ励起固体レーザ装置
では、楕円状の励起光を絞り込んで固体レーザ素子に入
射させ光路上の部分のみ励起状態にしてその部分のみで
レーザ発振するために、励起光の断面積以上の大きさを
もつ固体レーデ素子であれば。
ザ素子３を組み込んだＬＤ励起固体レーザ装置の概略構
成図である。このＬＤ励起固体レーデ装置の固体レーザ
素子３は角棒状である。通常、ロッドタイプの励起ラン
プを円筒楕円型集光器で固体レーザ素子に集光する場合
は、励起光が円筒状に集光されるためにロッドタイプの
固体レーザ素子を用いている。ＬＤ励起固体レーザ装置
では、楕円状の励起光を絞り込んで固体レーザ素子に入
射させ光路上の部分のみ励起状態にしてその部分のみで
レーザ発振するために、励起光の断面積以上の大きさを
もつ固体レーデ素子であれば。
固体レーザ素子がどのような形状であっても良い。
したがって第１図に示す角棒状の固体レーデ素子３を用
いても丸棒状のものと同じ発振効率とモードが得られる
。
いても丸棒状のものと同じ発振効率とモードが得られる
。
角棒状の固体レーザ素子３の製造方法を、第２図乃至第
５図を用いて説明する。
５図を用いて説明する。
丸棒状に育成された６０φｎの固体レーザ素子用インゴ
ットを第２図のように厚さ４ＩＩＩＥの円板状に切断し
、その断面を平行度２０秒以下、平面度λ／１０で鏡面
研磨加工してウエーノ・１０を得る。
ットを第２図のように厚さ４ＩＩＩＥの円板状に切断し
、その断面を平行度２０秒以下、平面度λ／１０で鏡面
研磨加工してウエーノ・１０を得る。
このウェーノ・１０を洗浄し、第３図に示すように。
真空蒸着装置で片面にＬＤ励起固体レーザ光の波長に対
して無反射コーティング１１を施し２反対面にはＬＤ励
起固体レーザ光の波長に対して９９．５％以上の高反射
率でＬＤレーザ光に対して無反射コーティングとなるよ
うなダイクロイックコーティング１２を施す。次に、ダ
イヤモンドカッターで第４図に縦切断線１３と横切断線
１４で示すように３ ｔｍ Ｘ ３ ｍｌｌ Ｘ ４
ＩＩの角棒状に切断して固体レーザ素子３を得る。
して無反射コーティング１１を施し２反対面にはＬＤ励
起固体レーザ光の波長に対して９９．５％以上の高反射
率でＬＤレーザ光に対して無反射コーティングとなるよ
うなダイクロイックコーティング１２を施す。次に、ダ
イヤモンドカッターで第４図に縦切断線１３と横切断線
１４で示すように３ ｔｍ Ｘ ３ ｍｌｌ Ｘ ４
ＩＩの角棒状に切断して固体レーザ素子３を得る。
６θφ日のウェーハ１０からは第５図に示すごとき３ｕ
角の角棒状の固体レーデ素子３を１００個以上取ること
ができる。ここで角棒状の固体レーデ素子３は両端面に
ダイクロイックミラー膜５と無反射コート膜６を有した
構造を呈する。
角の角棒状の固体レーデ素子３を１００個以上取ること
ができる。ここで角棒状の固体レーデ素子３は両端面に
ダイクロイックミラー膜５と無反射コート膜６を有した
構造を呈する。
研磨工数は３φ顛のロッドとほぼ同じなので研磨費が３
φ絽のロッドの１００分の１以下になる。
φ絽のロッドの１００分の１以下になる。
蒸着においては３φの場合、同時に２０本までしかでき
ないため、１枚のウエーノ・だけ蒸着したとしても蒸着
費用は５分の１以下になる。
ないため、１枚のウエーノ・だけ蒸着したとしても蒸着
費用は５分の１以下になる。
ＬＤのレーザ光の拡がシ角度はｌ ５ ｒａｄ程度ある
ため小さく絞り込むことができないが、 ＬＤ励起レー
ザにした場合共振器を自由に設計ｌでき拡がり角度を数
ｍｒａｄにすることができ、ビームを小さく絞る必要の
ある電子微細加工等で有利である。
ため小さく絞り込むことができないが、 ＬＤ励起レー
ザにした場合共振器を自由に設計ｌでき拡がり角度を数
ｍｒａｄにすることができ、ビームを小さく絞る必要の
ある電子微細加工等で有利である。
〈発明の効果〉
以上述べた如く２本発明によれば、質の良いレーデ光を
発するＬＤ励起固体レーザ素子を安価に製造する方法を
提供することが可能となった。
発するＬＤ励起固体レーザ素子を安価に製造する方法を
提供することが可能となった。
第１図は本発明の一実施例にて得られた固体レーデ素子
を用いたＬＤ励起固体レーデ装置の概略構成図である。 第２図乃至第５図は第１図における固体レーザ素子の製
造方法を示し、第２図は斜視図、第３図は側面図、第４
図は平面図、第５図は斜視図である。第６図は従来のＬ
Ｄ励起固体し−ザ装置の概略構成図である。 １・・・ＬＤ、２・・・集光レンズ、３・・・固体レー
サ素子、４・・・出力ミラー、５・・・ダイクロイック
ミラー膜、６・・・無反射コート膜、１０・・・ウエー
ノ・。 第１図 第４図 第６図
を用いたＬＤ励起固体レーデ装置の概略構成図である。 第２図乃至第５図は第１図における固体レーザ素子の製
造方法を示し、第２図は斜視図、第３図は側面図、第４
図は平面図、第５図は斜視図である。第６図は従来のＬ
Ｄ励起固体し−ザ装置の概略構成図である。 １・・・ＬＤ、２・・・集光レンズ、３・・・固体レー
サ素子、４・・・出力ミラー、５・・・ダイクロイック
ミラー膜、６・・・無反射コート膜、１０・・・ウエー
ノ・。 第１図 第４図 第６図
Claims (1)
- （１）固体レーザ素子用インゴットを切断し、切断面を
光学的平行平面で鏡面研磨してウェーハを作り、該ウェ
ーハの鏡面研磨された面にコーティングを施した後に所
定寸法でコーティングを施した面に垂直に切断加工して
ＬＤ励起固体レーザ素子を得ることを特徴とするＬＤ励
起固体レーザ素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63104330A JPH0658982B2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | Ｌｄ励起固体レーザ素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63104330A JPH0658982B2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | Ｌｄ励起固体レーザ素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01276739A true JPH01276739A (ja) | 1989-11-07 |
| JPH0658982B2 JPH0658982B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=14377924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63104330A Expired - Fee Related JPH0658982B2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | Ｌｄ励起固体レーザ素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658982B2 (ja) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5456324A (en) * | 1977-10-14 | 1979-05-07 | Hitachi Ltd | Manufacture of filter |
| JPS5838905A (ja) * | 1981-09-02 | 1983-03-07 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子用色分解フイルタ |
| JPS59139007A (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-09 | Dainippon Printing Co Ltd | カラ−固体撮像素子の製造方法 |
| JPS59198420A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-11-10 | Hitachi Ltd | 光合分波器用多層フイルタの製法 |
| JPS60205502A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
| JPS60262102A (ja) * | 1984-06-09 | 1985-12-25 | Horiba Ltd | チツプ型多層干渉フイルタ及びその製造方法 |
| JPS6360401A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-16 | Fujitsu Ltd | 光学膜部品の製造方法 |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP63104330A patent/JPH0658982B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5456324A (en) * | 1977-10-14 | 1979-05-07 | Hitachi Ltd | Manufacture of filter |
| JPS5838905A (ja) * | 1981-09-02 | 1983-03-07 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子用色分解フイルタ |
| JPS59139007A (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-09 | Dainippon Printing Co Ltd | カラ−固体撮像素子の製造方法 |
| JPS59198420A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-11-10 | Hitachi Ltd | 光合分波器用多層フイルタの製法 |
| JPS60205502A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-17 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
| JPS60262102A (ja) * | 1984-06-09 | 1985-12-25 | Horiba Ltd | チツプ型多層干渉フイルタ及びその製造方法 |
| JPS6360401A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-16 | Fujitsu Ltd | 光学膜部品の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0658982B2 (ja) | 1994-08-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |