JPS5839036U - 横型気相成長炉基板回転装置 - Google Patents

横型気相成長炉基板回転装置

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Publication number
JPS5839036U
JPS5839036U JP13441581U JP13441581U JPS5839036U JP S5839036 U JPS5839036 U JP S5839036U JP 13441581 U JP13441581 U JP 13441581U JP 13441581 U JP13441581 U JP 13441581U JP S5839036 U JPS5839036 U JP S5839036U
Authority
JP
Japan
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vapor phase
phase growth
growth furnace
rotation device
horizontal vapor
Prior art date
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Pending
Application number
JP13441581U
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English (en)
Inventor
野田　正一
嶋ノ江　琢二
和明 瀬川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS5839036U publication Critical patent/JPS5839036U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の横型気相成長炉における基板の保持方法
を説明するための図、第２図はこの考案の一実施例を示
す構成略図である。−゛図中、１は基板、２は保持具、
３は石英反応管、４は回転羽根、５は基板固定部、６は
回転軸受、７は回転軸、８（８すべり止め円板、９はす
べり止め受、１０は基板固定用爪である。なお、図中の
同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 横型気相成長炉において、基板取り付けのための基板固
    定部を回転自在に設け、一方、ガス流で回転する羽根を
    設け、この羽根と前記基板固定部−とを連動して回転す
    るように連結したことを特徴とする横型気相成長炉基板
    回転装置。
JP13441581U 1981-09-09 1981-09-09 横型気相成長炉基板回転装置 Pending JPS5839036U (ja)

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ID=29927844

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61228648A (ja) * 1985-01-22 1986-10-11 アプライド　マテリアルズ　インコ−ポレ−テツド 半導体ウェハ製造装置、半導体ウェハ処理装置及びチャック装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61228648A (ja) * 1985-01-22 1986-10-11 アプライド　マテリアルズ　インコ−ポレ−テツド 半導体ウェハ製造装置、半導体ウェハ処理装置及びチャック装置

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