JPS5840836U - ウエ−ハ洗浄乾燥装置 - Google Patents
ウエ−ハ洗浄乾燥装置Info
- Publication number
- JPS5840836U JPS5840836U JP13568481U JP13568481U JPS5840836U JP S5840836 U JPS5840836 U JP S5840836U JP 13568481 U JP13568481 U JP 13568481U JP 13568481 U JP13568481 U JP 13568481U JP S5840836 U JPS5840836 U JP S5840836U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- wafer cleaning
- lid
- nozzles
- drying equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のウェーハ洗浄乾燥装置の縦断面図、第２
図はこの考案の一実施例によるウェーハ洗浄乾燥装置の
縦断面図である。 １・・・洗浄容器、１ａ・・・
側板、３・・・電動機、６・・・ターンテーブル、８・
・・回転わく、９・・・収納用具、１０・・・ウェーハ
、１１・・・ふた、１３・・・ノズル取付棒、１４・・
・ノズル、２１・・・阻止環。なお、図中同一符号は同
−又は相当部分を示す。
図はこの考案の一実施例によるウェーハ洗浄乾燥装置の
縦断面図である。 １・・・洗浄容器、１ａ・・・
側板、３・・・電動機、６・・・ターンテーブル、８・
・・回転わく、９・・・収納用具、１０・・・ウェーハ
、１１・・・ふた、１３・・・ノズル取付棒、１４・・
・ノズル、２１・・・阻止環。なお、図中同一符号は同
−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 筒状をなし開口した上部にふたがかぶせられた洗浄容器
と、この洗浄容器内の下方に配設され回転されるターン
テーブル上に固着された回転わくと、この回転わくに円
周方向に対し等間隔に保持され、それぞれ多数枚のウェ
ーハを上下のすき間をあけて収容した複数の収納用具と
、上記ふたの下面中央に取付けられ側部に複数のノズル
が設けられ、上記回転わくの軸中心に位置しており、上
記各ノズルから洗浄液を噴射させ、後、乾燥ガスを噴出
させるためのノズル取付棒とを備えたウェーハ洗浄乾燥
装置において、筒状をなし上記ふたの下面に下方に突出
し′そ固着され、下部が上記回転わ（の上部に接近して
おり、上記洗浄液の霧状混合気の上記洗浄容器側板内面
に沿う上方の循環を防ぐ阻止環を備えたことを特徴とす
るウェーハ洗浄乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13568481U JPS5840836U (ja) | 1981-09-12 | 1981-09-12 | ウエ−ハ洗浄乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13568481U JPS5840836U (ja) | 1981-09-12 | 1981-09-12 | ウエ−ハ洗浄乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5840836U true JPS5840836U (ja) | 1983-03-17 |
Family
ID=29929038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13568481U Pending JPS5840836U (ja) | 1981-09-12 | 1981-09-12 | ウエ−ハ洗浄乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5840836U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57183038A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-11 | Toshiba Corp | Wafer drying machine |
| JPS5818927A (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-03 | Seiichiro Sogo | 水切乾燥装置 |
-
1981
- 1981-09-12 JP JP13568481U patent/JPS5840836U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57183038A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-11 | Toshiba Corp | Wafer drying machine |
| JPS5818927A (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-03 | Seiichiro Sogo | 水切乾燥装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3041225A (en) | Method and apparatus for surface treatment of p-n junction semiconductors | |
| JPS5840837U (ja) | ウエ−ハ洗浄乾燥装置 | |
| JPS5844838U (ja) | ウエ−ハ洗浄乾燥装置 | |
| US2839769A (en) | Brushing machine for cleaning bowling pins | |
| JPS58155833U (ja) | 回転式半導体ウエハ−洗浄装置 | |
| JPS5877044U (ja) | 薄膜剥離装置 | |
| JPS6049628U (ja) | 半導体用レジスト塗着装置 | |
| JPS612856U (ja) | 金属製容器の洗浄装置 | |
| JPS59192836U (ja) | ジエツトスクラバ−装置の載置台 | |
| JPS59172238A (ja) | スピンドライ装置 | |
| JPS62114229A (ja) | 半導体基板の乾燥方法 | |
| JPS60119988U (ja) | ワ−ク洗浄装置 | |
| JPS583033U (ja) | ウエハ−洗浄装置 | |
| JPS5979000U (ja) | 原子炉容器フランジ面錆除去装置 | |
| JPS6030534U (ja) | ウエフア洗浄用シャワ−槽 | |
| JPS58114042U (ja) | シリコンウエハ−の洗浄装置 | |
| JPS6068640U (ja) | 半導体ウエ−ハ超音波洗浄装置 | |
| JPS607951U (ja) | バレル研摩装置 | |
| JPS60111041U (ja) | 半導体ウエ−ハの洗浄装置 | |
| JPS6099534U (ja) | 半導体ウエハの洗浄用容器 | |
| JPS6037064U (ja) | クロメ−トメッキ装置 | |
| JPS58189999U (ja) | 除染装置 | |
| JPS59178331U (ja) | 金属粉末製造用噴霧タンク | |
| JPS5948788U (ja) | 洗浄装置 | |
| JPS60146647U (ja) | 研摩装置 |