JPS5842002A - 多層誘電体膜フイルタ装置 - Google Patents

多層誘電体膜フイルタ装置

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JPS5842002A
JPS5842002A JP14017681A JP14017681A JPS5842002A JP S5842002 A JPS5842002 A JP S5842002A JP 14017681 A JP14017681 A JP 14017681A JP 14017681 A JP14017681 A JP 14017681A JP S5842002 A JPS5842002 A JP S5842002A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
multilayer
support plate
film
filter device
electric
Prior art date
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Pending
Application number
JP14017681A
Other languages
English (en)
Inventor
Junichiro Minowa
箕輪 純一郎
Yoji Fujii
藤井 洋二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP14017681A priority Critical patent/JPS5842002A/ja
Publication of JPS5842002A publication Critical patent/JPS5842002A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/28Interference filters
    • G02B5/285Interference filters comprising deposited thin solid films

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本尭明は、複数の多層lII電体膜が光軸上番ζ臘次配
されてなる構成を有する多層誘電体膜フィルタ装置に関
する。
斯池多Fa銹電体膜フィルタ装置として従来。
第1図に示す如き構成のものが提案されている。
即ち互に特性の同じ複数例えば2枚の多層−電体MA、
及びム、が光軸O上にそれと直交する面と平行な順次の
11iiP1及びP、上に配され、面して多層#電体d
A、及びA2が透光性支持体BIfと共に、多層#4体
膜A、及びA2を透光性支持体B12に密接せしめた関
係で一体化されている。
この場合透光性支持体B1.が互に平行に相対向してい
る主f7J1及び2を、有する透光性支持板G12でな
る。又多層aIl1体膜ム、及びA2tls夫々互に平
行に相対向している主wJ3及び4を有する透光性支持
板H1及びF2の主Ifi3及び4の何れ必一方に例え
ば蒸着により被着形成されて。
透光性支持&H1と、多層誘電体膜A、とで多FiIm
電体膜フィルタF、が、又透光性支持板H2と多層−電
体膜A2  とで多jII#電体楓フィ#りF2  が
構成されている・而して夢層#電体膜フィルタF、及び
F2がそn等の多層#電体属人。
及びム2 を透光性支持板012儒としてその相対向す
る主面1及び2に接着剤6を用いて接着固定されている
以上が従来提案されている多層誘電体膜フィルタ装置の
構成であるが、斯−構成によれば。
多層−電体膜フィルタF、及びF、が光軸0上に順次配
されている構成を有するのて、多層#電体膜フィルタF
、及び?、が共に第2図にで曲線1に示す如き帯域阻止
特性を有する場合、*置全体として所期デシベル加算さ
れた82図にて―mbに示す如き、若し多層誘電体膜フ
ィルタF、又は?、のみを使用した場合に比し改善され
た帯域阻止特性が得られるものである。
又嬉1図に示す従来の多層−電体膜フィルタ装置の場合
、全体が一体化されているので、使用に便なものである
然し乍ら嬉1114(示す従来の多層酵電体膜フィルタ
装置の場合、多層−電体膜A、及びム2が。
光軸と直交する互に平行な@P、及びP、上に配されて
いるので、多層誘電体膜ム、及び人、での一方の反射光
の影響を他方が受け、この為多層銹電体膜ム、及びム2
が個々の所期の帯域阻止特性を以って作用せず、依って
装置全体として所期の帯域阻止特性が得られないという
欠点を有していた。又これを回避するには、多層−電体
膜ム、及びA2間の間隔lを十分大とすわば良いが、斯
くする場合装置が全体として大型になるという欠点を有
していた・このようなことは。
第1図に於ては多層誘電体膜がム、及びA、と2枚であ
る場合につき述べたが、多層−°電体膜の枚数を十分大
とし、より良好な帯域阻止特性を得んとすれば、尚更で
あった。
依って本発明は、上述せる欠点のない新規な多層誘電体
膜フィルタ装置を提案せんとする亀ので、以下述べる所
より明らかとなるであろう。
嬉3図及び第4図は本発明による多層a電体膜フィルタ
装置の実施例を示し、互に同じ帯域阻止特性を有する複
数n個の多層m1ec体膜ム、。
A2.・−・・・・・・札が、光軸0上にそれと直交す
る面に対して所定の角度−だけ傾斜している順次のra
p  p−、、、、、、p、  上に配されている。
−2 この場合−F、、 P、、 P、  −、−、、−が光
軸0と直交するmE対して角度0だけ傾斜している方向
トwa IfP2 e F4 s F4  ”””・カ
光軸oと直交している面に対して角変−だけ傾斜してい
る方向″とが互に逆関係を有する。
又多層誘電体膜ム1.ム2 = = ・−A、が、透光
性支持体BS2 m ”21 e −−”−B(n−1
)nと共に。
多層鱒電体膜ム1及びム2.ム2及びムs ”” ””
 −’・ム(II−1)及び札 と透光性支持体”12
mB2B−・−”’ B(n−1)B IIc密接せし
めた関係で一体化さnでいる。この場合透光性支持体B
i(i−N) (但しCI(1+1)と、互に上述せる
角[#の2倍2#だ妙傾斜して対向している主面fs及
びf4を有す多層−電体膜ム(μ、)が伺えは蒸着によ
り被着形成されて、透光性支持板Ci (i+1 )と
多層篩電体属人(sat)  とで多層1電体膜71ル
タF(i+1)が構成されている。而して多Sat体膜
フィルタF(:+r ) が、その多層I電体属人0や
、)ヲ透剤6を用いて接着固定されている。尚多層銹電
体膜ム、は透光性支持板C1(i+1)と同様の透光性
支持板C0を上に被着形成されて、多層−電体膜フィル
タF、が構成され、而してその多ms電体膜フィルタF
、がその多層紡電体膜A、を透光性支持板り、2@とじ
てその主面f、上に接層剤を用いて接着固定されている
・又多層sg+を体膜”tn’、透光性支持板Di(i
や1.と同様の透光性支持板Dn(n+1)がその主1
ii f4’を多層鰐電体膜ム。側として接着剤6を用
いて接着固定されている。
又第4図の場合、透光性支持板C1(i□、の主面f1
  に多層911体膜A+ (sat )が被着形成さ
れて、透光性支持板C4(iや、)と多層#電体−ムム
とで多層−電体膜フィルタ均 が構成されている・画し
て多層鍔電体膜フィルタ杓 が、その多層誘電体膜ムi
 を透光性支持板D(Mヤ、)i備として、透光性支持
板D(i−*)j及びDI(i+1)の主面f!  に
接着剤6を用いて接着固定されている。
崗多層−電体膜A、−ζ、透光性支持板り、■、)と同
様の透光性支持板D01がその主WJf、  を多層酵
電体膜ム、側として接着剤を用いて接着固定されている
・又多層1電体膜へは透光性支持板C4(i+1)と同
様の透光性支持板C1゜ヤ、)上に被着形成されて、多
層−一体膜フィルタFnが構成され、而してその多層#
詰膜フィルタFfiがその多層誘電体膜へ を透光性支
持板c(n−1)n側としてその主面f4  上に接着
剤を用いて接着固定されている。
以上が本発明による多層誘電体WXフィルタ装置の実施
例の構成であるが、斯る構成によれば。
複数膳枚の多層酵電体膜ム1 # A2 ”’−・−”
 Am が光軸0上に順次記事れている構成を有するの
で。
多層1電体膜フィル−F、、F、・・・・−−−−Pn
 が共に第5図にて曲Jimに示す如き帯域阻止特性を
有する場合、装置全体として所−デジベル加算されたg
s図にて曲@bに示す如き、若し多層−電体練フィルタ
F、〜Fn中の1つのみを使用した場合に比し改l!さ
れた帯域阻止時”性が得られるものである。
又第5図及び第4図に示す本発明による多層#電体膜フ
ィルタ装置の場合J全体が一体化されているので、使用
に便なものである。
更−こ第5図及び第4図に示す本発明による多層酵電体
膜フィルタ装置の場合、多層誘電体膜ム1.ム2・・・
・・・・・・ム1 中、多層誘電体膜ム1.A。
ム5 ・−・・・・・・が光軸Oと直交する面に対して
角度−だけ傾斜している一PI I Pl # PS 
 ”’・・・・・・上に配され、又多層誘電体膜A3.
ム4.A6 ・・・−・・・・が光軸0と直交する面に
対して角度θだけ。
面P2. P、、 P、  ・・・−・・−とは逆方向
に傾斜しているtTiP、 、 P4. P、  −・
・・・・・上に配されているので、相隣る多層誘電体膜
ムi及びA(i+ 1 )での一方の反射光の影響を他
方が受けることが、縞1図の従来の場合に比し大きく緩
和され、この為多一層鍔電体膜A1.ム2・−・・・・
・・九  の個々が所期の帯域阻止特性を以って作用し
、依って装置全体として゛−域阻止特性が得られるもの
である・尚斯る特性は、上述せる角度−をα5゜以上と
する場合、顕著であった。又角度−をα5°より大とす
るに応じて上述せる特徴が良に発揮された・尚角度−は
偏波特性等を考慮すると810°程度が限度となろう。
尚更に第5図及び第4図に示す本発明による多層−電体
aフィルタ装置によれ紅、上述せる特徴を有するが為、
透光性支持体Bi (1+1 )の平均厚さを2−程度
、従って相隣る多層防電体膜ムム及びム(i+1 )間
の平均間隔を2■程度とし。
11M1図の従来の場合に比し格段的に小とすることが
出来、依って装置を全体として第1図の従来の場合に比
し格段的に小にし得る等の大なる4I像を有するもので
ある・ 次V−嬉6図及び第7図を伴なって本発明による多層銹
電体膜フィルタ装置の他の実施例を述べるに、115図
及び第4図との対応部分には同一符号を附して詳細説明
はこれを省略するも。
次の事項を除いて第5図及び第4図の場合と同様の構成
を有する。
即ち、透光性支持体Bi(i+t)が、透光性支持板D
I(i+t)と同様に、互に上述せる角度−の2倍2−
だけ傾斜して対向している主面f5及びf4  を有す
る透光性支持体嶌・   でなる。“鳳(i+1 ) 又71116図の場合、透光性支持板”i (i+1 
)  の主1iif5又$1 f、 ニ多層s電体膜ム
(i+1)  ”’被着形成されて、透光性支持体E・
   と多jll#電寡(i+1 ) 体膜A(1+1)  とで多層誘電体膜フィルタ’(1
+1)が構成されている・而して多層−電体膜フィルタ
’(i+1)  が、その多層誘電体膜ム(i+1 )
  を透光性支持板”(i+、)(i+2)側として透
光性支持板”(i+*)(i+2)の主面f5又はf6
に接着剤6を用いて接着固定されている・尚多層−電体
膜A。
は透光性支持板”i (s+1 )  と同様の透光性
支持板B、、上に被着形成されて、多層#電体膜フィル
タF、が構成され、而してその多*#IIE体績フイA
fりF、が透光性支持板”12に接着剤6を用いて固定
されている・又多層−電体膜九 に。
透光性支持板”i (i+oと同様の透光性支持板Bn
(a+1)が同様に接着剤を用いて固定されている。
更に第7図の場合、透光性支持板Bi(1+1)の主面
f5又はf4に多層−電体膜A、  が被着形成されて
、透光性支持板も(神、)と多層誘電体膜ム1 とで多
層−電体膜フィルタF、  が構成されている・而して
多層−電体MIフィル#y、が。
その多層誘電体膜ムi を透−光性支持板g(、ヤ、)
i側として透光性支持11”(1−1)rに接着剤6を
用いて固定されている。尚多層−電体膜ム、に透光性支
持板Bi(i+1)と同様の透光性支持板101が接着
剤6を用いて固定されている。又多層−電体膜ム、は透
光性支持板FSi(i。、)と同様の透光性支持”II
(in+1)上に被着形成されて、多層−電体膜フィル
タFわが構成され、而してその多層−電体膜フィルタI
pHがその多層防電体膜A4  を透光性支持板B(、
−1)nIlとして接着剤を用いて接着固定されている
以上が本発明による多層SW体編フィルタ装置の他の実
施例の構成であるが、斯る構成によれば、それが上述せ
る事項を除い″′5縛第5図及び第45AJJ場合と一
様であるので、詳lIP説明はこれを省略するも813
図及び5第4図の場合と同様の優れた特徴を有すると恭
に、透光性支持板町(ムや、)が、透光性支持板、町0
1.)のみで構成されているので、第6図及び第4図の
場合に比し全体として構成が極めて簡島である等の特徴
を有するものである。
向上述に於ては本発明の僅かの例を示したに留まり1本
発明の精神を脱することなしに櫨々の変型変更をなし得
るであろう。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の多層I電体膜フィルタ装置を示す路線的
@面図、I!2図はその帯域阻止特性を示す図、第3図
及び第4図は本発明による多層#電体膜フィルタ装置の
実施例を示す路線的側面図bgs図はそれ等の帯域阻止
特性を示す図、m6図及びta7図は本発明による多層
誘電体膜フイルタ装置の他の実施例を示す路線的側面図
である。 図中−A1 、 A2. A3  ・・・・・・・・・
−は多層−電体膜。 P、、B2.P、・・・−・i・は面S B129 B
25 # B34・・・・・・・・・は透光性支持体%
C,,,C□、C,4,、・・・・””e  B121
  B211  B34  ”・・””’#  ”tz
*  ”2sIE、4・・・・・・・・・は透光性支持
板を夫々示す。 出願人 日本電信電話公社 /(J−p)’4−奪yが−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 t 複数の多層酵電体膜ム、、 A2. A、  −−
    −−・・・−が、光軸上にそれと直交する面に対して所
    定の角度丈は傾斜している順次のmPl、P2゜P、−
    、、−、′・・・上に配され、上、配向P1.P、、P
    。 ・・・−・・・・が上記光軸と直交する面に対して所定
    の角度だけ傾斜している方向と、上記tl P2 eP
    4.P、・・・・・・・−が上記光軸と直交する面に対
    して所定の角度だけ傾斜している方向とが互に逆関係を
    有し、上記多層−電体膜A1.ム2゜ム3”””””が
    、a光性支持体B12 # B25 #B54・−−・
    ・・と共に、上記多層騎電体gA、及びA2.ム2及び
    ムS、ムS及びム4  ”” −””を上記透光性支持
    体8121 B21 I B54 ””” ””密接せ
    し吟た関係で一体化されてなる事を特徴とする多層−電
    体膜フィルタ装置・ 2、特許請求の範囲嬉1項所載の多層n電体膜フイ#り
    装置に於て、上記透光性支持板町(1+1) (但し1
    5m1,2,5−−−)が亙に平行に対向しているIl
    l及び第2の工面を有する透光性支持板CI(l+1)
    と、互に上記所定−一92倍だけ傾斜して対向している
    第3及び11114のニーを有する透光性支持板Di 
    (l+1)とでなり、上記透光性支持板Ci(1+t 
    )の1lt1及びII2のニーの何れか一方に上記多層
    誘電体膜ム(++1)  又はム1tIs被着形成され
    てなる事を特徴とする多層霞電体膜フイヘタ装置。  
    。 !L411許請求の範!8第1項所載の多層−電体膜フ
    イルタ装置に於て、透光性支持体Bi(神、)(但しi
    ml、2,5−−−−−)が互に上記所定の角度の2倍
    だけ傾斜して対向しているB5及びB6の正画を有する
    透光性支持体町(1+1)でなり、該透光性支持板の第
    5及び86の工面の何れか一方に上記多層1iilt体
    膜A(i+t)又はAl  が被着されてなる事を特徴
    とする多層−電体膜フイルタ装置。
JP14017681A 1981-09-05 1981-09-05 多層誘電体膜フイルタ装置 Pending JPS5842002A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0466403A1 (en) * 1990-07-06 1992-01-15 Optical Coating Laboratory, Inc. Leakage-corrected linear variable filter
US6873464B1 (en) * 1999-12-09 2005-03-29 Femtolasers Produktions Gmbh Multilayer mirror
JPWO2006088155A1 (ja) * 2005-02-18 2008-07-03 株式会社村田製作所 誘電体多層周期構造体
JP2018534622A (ja) * 2015-11-03 2018-11-22 マテリオン コーポレイション 迷光が低減された集束光を有するフィルタアレイ

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