JPS58426U - ダイシング装置 - Google Patents

ダイシング装置

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JPS58426U
JPS58426U JP9496481U JP9496481U JPS58426U JP S58426 U JPS58426 U JP S58426U JP 9496481 U JP9496481 U JP 9496481U JP 9496481 U JP9496481 U JP 9496481U JP S58426 U JPS58426 U JP S58426U
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JP
Japan
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dicing
nozzle
rotating blade
dicing equipment
abstract
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JP9496481U
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JPS6331927Y2 (ja
Inventor
飛田　清文
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Landscapes

  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Details Of Cutting Devices (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は半導体ウェーハの平面図、第２図はダイシング
装置によるダイシング加工時の正面図、第３図および第
４図は異なるダイシング加工法を説明するための半導体
ウェーハの平面図、第５図　　　′および第６図は従来
のダイシング装置によるダイシング加工時の側面図、第
７図および第８図はこの考案の一実施例のダイシング装
置によるダイン、ング加工時の側面図である。 １・・・・・・被加工物（半導体ウェーノリ、３．４・
・・・・・溝、６・・・・・・回転ブレード、７ａ、　
　７ｂ・・・・・・ノズル、ｇａ、　　３ｂ・・・・・
・純水。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転ブレードと、この回転ブレードのダイシング加工部
    近傍に液を噴射するノズルとを備えるダイシング装置に
    おいて、前記ノズルを回転ブレードの前後に譚けて、ダ
    イシング加工の進行方向によって前記ノズルを切り換え
    使用するようにしたことを特徴とするダイシング装置。
JP9496481U 1981-06-25 1981-06-25 ダイシング装置 Granted JPS58426U (ja)

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JP9496481U JPS58426U (ja) 1981-06-25 1981-06-25 ダイシング装置

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JP9496481U JPS58426U (ja) 1981-06-25 1981-06-25 ダイシング装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58426U true JPS58426U (ja) 1983-01-05
JPS6331927Y2 JPS6331927Y2 (ja) 1988-08-25

Family

ID=29889886

Family Applications (1)

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JP (1) JPS58426U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008192682A (ja) * 2007-02-01 2008-08-21 Nec Electronics Corp ダイシング方法およびダイシング装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5145691U (ja) * 1974-10-02 1976-04-03
JPS55112761A (en) * 1979-02-20 1980-08-30 Disco Abrasive Sys Ltd Dry type cutting method

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5145691U (ja) * 1974-10-02 1976-04-03
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JP2008192682A (ja) * 2007-02-01 2008-08-21 Nec Electronics Corp ダイシング方法およびダイシング装置

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Publication number Publication date
JPS6331927Y2 (ja) 1988-08-25

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