JPS5843896B2 - 温度・湿度検知装置 - Google Patents
温度・湿度検知装置Info
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- JPS5843896B2 JPS5843896B2 JP54072558A JP7255879A JPS5843896B2 JP S5843896 B2 JPS5843896 B2 JP S5843896B2 JP 54072558 A JP54072558 A JP 54072558A JP 7255879 A JP7255879 A JP 7255879A JP S5843896 B2 JPS5843896 B2 JP S5843896B2
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title description 8
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003781 PbTiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 ZnnCr Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000026041 response to humidity Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は温度、湿度検知装置に関するものである。
従来、湿度測定装置や湿度調節装置のセンサとして、F
e203 s A l 203など吸水性に優れた金
属酸化物を主成分とし湿度に感応して変化するその抵抗
値から湿度か検出される感湿抵抗体が一般に用いられて
いた。
e203 s A l 203など吸水性に優れた金
属酸化物を主成分とし湿度に感応して変化するその抵抗
値から湿度か検出される感湿抵抗体が一般に用いられて
いた。
しかしながら、たとえば空調システムにおいては湿度制
御と同時に温度制御が行なわれるなど、一般には湿度の
みを単独に検知する場合よりも湿度と温度を併せて検知
することを要請される場合の方がむしろ多く、この要請
に応えるためには、たとえば湿度検知用として前記感湿
抵抗体を、温度検知用としてサーミスタをそれぞれ別個
に用い、湿度検知回路と温度検知回路とをおのおの独立
させて2系統の回路構成を採らなければならなかった。
御と同時に温度制御が行なわれるなど、一般には湿度の
みを単独に検知する場合よりも湿度と温度を併せて検知
することを要請される場合の方がむしろ多く、この要請
に応えるためには、たとえば湿度検知用として前記感湿
抵抗体を、温度検知用としてサーミスタをそれぞれ別個
に用い、湿度検知回路と温度検知回路とをおのおの独立
させて2系統の回路構成を採らなければならなかった。
そのため回路構成が複雑となり装置の製造コストも増大
するという欠点を有していた。
するという欠点を有していた。
したかって、この発明の目的は、簡単かつ安価な回路構
成で温度および湿度の両方を検知することができる温度
、湿度検知装置を提供することである0 以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
成で温度および湿度の両方を検知することができる温度
、湿度検知装置を提供することである0 以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
最初に、この温度、湿度検知装置に用いられる温度、湿
度検知素子の一例について第1図により詳しく説明する
。
度検知素子の一例について第1図により詳しく説明する
。
まず出発原料として、PbO,TiO2を湿式混合した
後、乾燥して乾燥粉末とする。
後、乾燥して乾燥粉末とする。
つぎに、この粉末原料を4×4×0.25mmに成形(
成形圧750kg/ail ) L、焼結体1としてT
bTi0aの酸化物磁器を生成する。
成形圧750kg/ail ) L、焼結体1としてT
bTi0aの酸化物磁器を生成する。
さらに前記焼結体1にRuO2系電極ペーストを塗布し
て800℃で焼き付は電極2を形成して温度、湿度検知
素子を構成する。
て800℃で焼き付は電極2を形成して温度、湿度検知
素子を構成する。
前記電極材料としては、RuO2系以外にAg。
Ni、ZnnCr、Pd、Au、Pt、Sn。
Cu s A l x I nを電極ペースト焼付法、
溶射法、蒸着法などで塗布しても同様の効果が得られる
。
溶射法、蒸着法などで塗布しても同様の効果が得られる
。
このような方法で酸化ニッケル、酸化亜鉛、酸化インジ
ウムを主成分とした金属酸化物および半導体などからな
る電極についても形成することかできる0 前記構成を有する温度、湿度検知素子の特性について、
実験結果に基づき以下に説明する。
ウムを主成分とした金属酸化物および半導体などからな
る電極についても形成することかできる0 前記構成を有する温度、湿度検知素子の特性について、
実験結果に基づき以下に説明する。
第2図に示すグラフは、温度20℃において両電極2,
2間に1OHz−IVの低周波電源を印加した場合の、
前記温度、湿度検知素子の相対湿度変化に伴なう電気イ
ンピーダンスの変化を示すもので、温度が上昇するにつ
れて電気インピーダンスが減少していることがわかる。
2間に1OHz−IVの低周波電源を印加した場合の、
前記温度、湿度検知素子の相対湿度変化に伴なう電気イ
ンピーダンスの変化を示すもので、温度が上昇するにつ
れて電気インピーダンスが減少していることがわかる。
また、同一印加電源の条件のもとに温度80℃において
行なった前記特性の実験では、温度の相違による影響は
ほとんど受けないことか判明し、この結果、この温度、
湿度検知素子は、低周波電源を印加した条件のもとては
、電気インピーダンスの変化は湿度にのみ依存すること
が判明した。
行なった前記特性の実験では、温度の相違による影響は
ほとんど受けないことか判明し、この結果、この温度、
湿度検知素子は、低周波電源を印加した条件のもとては
、電気インピーダンスの変化は湿度にのみ依存すること
が判明した。
第3図に示すグラフは、温度50%RH(1〜958C
)において両電極2,2間にl O0OKHz −tV
の高周波電源を印加した場合の、温度変化に伴なう温度
、湿度検知素子の電気インピーダンスの変化を示すもの
で、温度変化に対応してその電気インピーダンスか変化
していることかイっかる。
)において両電極2,2間にl O0OKHz −tV
の高周波電源を印加した場合の、温度変化に伴なう温度
、湿度検知素子の電気インピーダンスの変化を示すもの
で、温度変化に対応してその電気インピーダンスか変化
していることかイっかる。
また、同一印加電源の条件のもとに相対湿度を10%、
99%とした場合にも、前記特性にほとんど変化はない
ことか判明した。
99%とした場合にも、前記特性にほとんど変化はない
ことか判明した。
第4図に示すグラフは、湿度をパラメータとした場合の
温度20℃における周波数−電気インピーダンス特性で
あり、Aは湿度20%RH,Bは湿度40%RH。
温度20℃における周波数−電気インピーダンス特性で
あり、Aは湿度20%RH,Bは湿度40%RH。
Cは湿度60%RH、]、)は湿度80%RHの場合の
特性であるが、高域周波数においては湿度変化の影響を
まったく受けていないことがわかる。
特性であるが、高域周波数においては湿度変化の影響を
まったく受けていないことがわかる。
以上の実験結果から、この温度、湿度検知素子は、低周
波電源印加条件のもとではその電気インピーダンスの変
化が湿度に依存し、高周波電源印加条件のもとではその
電気インピーダンスの変化が温度に依存する特性を有す
ることかわかる。
波電源印加条件のもとではその電気インピーダンスの変
化が湿度に依存し、高周波電源印加条件のもとではその
電気インピーダンスの変化が温度に依存する特性を有す
ることかわかる。
この温度、湿度検知素子の構成は前記PbTiO3の成
分のものに限られるものではなく、これにBaT +0
3 s S rTt03 s CaT t03 s P
bZrO35KNb03sNaNb03.LiNbO3
,LiTaO31Pb(MgV3Nb〆3)03 およ
びその他のペロブスカイトタイプ、タングステンブロン
ズタイプ、パイロクロアタイプ、スピネルタイプさらに
は金属酸化物などの化合物を1種または複数種加えても
、応答性か早く、特性劣化の極めてすくない高感度でし
かも温度と湿度検出時の温度および湿度の分離がすぐれ
た素子を得ることができる。
分のものに限られるものではなく、これにBaT +0
3 s S rTt03 s CaT t03 s P
bZrO35KNb03sNaNb03.LiNbO3
,LiTaO31Pb(MgV3Nb〆3)03 およ
びその他のペロブスカイトタイプ、タングステンブロン
ズタイプ、パイロクロアタイプ、スピネルタイプさらに
は金属酸化物などの化合物を1種または複数種加えても
、応答性か早く、特性劣化の極めてすくない高感度でし
かも温度と湿度検出時の温度および湿度の分離がすぐれ
た素子を得ることができる。
また、さらにはそれ以外の添加物を加えることによっで
ある限られた湿度あるいは温度検知範囲内で、高感度と
なるようその特性を制御することもできる。
ある限られた湿度あるいは温度検知範囲内で、高感度と
なるようその特性を制御することもできる。
また、この温度、湿度検知素子は耐熱性に優れた性質を
も有しており、大気中の浮遊物質によってこの素子が汚
染した場合でも、加熱クリーニングを行なってもとの状
態に戻すこともできる。
も有しており、大気中の浮遊物質によってこの素子が汚
染した場合でも、加熱クリーニングを行なってもとの状
態に戻すこともできる。
なお、この素子の寸法、形状および構造については、前
記の例のもとに限定されるものではなく、種々の寸法、
形状のものか可能である。
記の例のもとに限定されるものではなく、種々の寸法、
形状のものか可能である。
第5図は、前記温度、湿度検知素子を用いた温度、湿度
検知装置の一実施例を示し、60Hz−IVのオシレー
タOS C−1と500KHz−IVのオシレータ08
C−2を並列に構成するとともに、切換スイッチSWに
よって前記各オシレータ08C−1,08C−2に切換
接続できるようにした電源に対し、前記温度、湿度検知
素子Sと抵抗器(lOKg)R8を直列に接続して構成
する。
検知装置の一実施例を示し、60Hz−IVのオシレー
タOS C−1と500KHz−IVのオシレータ08
C−2を並列に構成するとともに、切換スイッチSWに
よって前記各オシレータ08C−1,08C−2に切換
接続できるようにした電源に対し、前記温度、湿度検知
素子Sと抵抗器(lOKg)R8を直列に接続して構成
する。
このように構成したことにより、たとえば、切換スイッ
チSWをa側に倒すと、オシレータ08C1に接続され
、抵抗器Rsに湿度変化に応じた出力信号が得られ、ま
た切換スイッチSWをb側に倒すと、オシレータ08C
−2に接続され、抵抗器R8に温度変化に応じた出力信
号が得られる。
チSWをa側に倒すと、オシレータ08C1に接続され
、抵抗器Rsに湿度変化に応じた出力信号が得られ、ま
た切換スイッチSWをb側に倒すと、オシレータ08C
−2に接続され、抵抗器R8に温度変化に応じた出力信
号が得られる。
なお、この実施例の構成によるときは、温度O℃〜30
0℃、湿度lO%RH〜100%RHの範囲に亘る検知
が可能である。
0℃、湿度lO%RH〜100%RHの範囲に亘る検知
が可能である。
以上のように、この温度、湿度検知装置によれば、温度
と湿度の検出を1つの回路構成によって行なうことがで
き、空調管理、気象、食品工業、医化学関係などの分野
における温度、湿度制御のための装置の構成が簡略化で
き、装置コストの低減化を果たすことができる。
と湿度の検出を1つの回路構成によって行なうことがで
き、空調管理、気象、食品工業、医化学関係などの分野
における温度、湿度制御のための装置の構成が簡略化で
き、装置コストの低減化を果たすことができる。
第1図はこの発明の一実施例で用いられる温度、湿度検
知素子の一例を示す斜視図、第2図は温度、湿度検知素
子の湿度対インピーダンス特性を示す図、第3図は温度
、湿度検知素子の温度対インピーダンス特性を示す図、
第4図は温度、湿度検知素子の周波数対インピーダンス
特性を示す図、第5図は温度、湿度検知装置の一実施例
を示す回路図である。 1・・・・・・焼結体(酸化物磁器)、2・・・・・・
電極、08C−1,08C−2・・・・・・オシレータ
、SW・・・10.切換スイッチ、S・・・・・・温度
、湿度検知素子、Rs・・・・・・抵抗器。
知素子の一例を示す斜視図、第2図は温度、湿度検知素
子の湿度対インピーダンス特性を示す図、第3図は温度
、湿度検知素子の温度対インピーダンス特性を示す図、
第4図は温度、湿度検知素子の周波数対インピーダンス
特性を示す図、第5図は温度、湿度検知装置の一実施例
を示す回路図である。 1・・・・・・焼結体(酸化物磁器)、2・・・・・・
電極、08C−1,08C−2・・・・・・オシレータ
、SW・・・10.切換スイッチ、S・・・・・・温度
、湿度検知素子、Rs・・・・・・抵抗器。
Claims (1)
- I P bT 1O3p分を主成分とする酸化物磁器
に電極面を設けた温度、湿度検知素子と、周波数を選択
的に変更できる電源回路とを接続したことを特徴とする
温度、湿度検知装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54072558A JPS5843896B2 (ja) | 1979-06-09 | 1979-06-09 | 温度・湿度検知装置 |
| US06/107,183 US4319485A (en) | 1978-12-28 | 1979-12-26 | Temperature·humidity detecting apparatus |
| EP79105393A EP0013030B1 (en) | 1978-12-28 | 1979-12-28 | Temperature-humidity detecting apparatus |
| DE7979105393T DE2962487D1 (en) | 1978-12-28 | 1979-12-28 | Temperature-humidity detecting apparatus |
| CA342,757A CA1132368A (en) | 1978-12-28 | 1979-12-28 | Temperature-humidity detecting element and detecting apparatus using the element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54072558A JPS5843896B2 (ja) | 1979-06-09 | 1979-06-09 | 温度・湿度検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55165512A JPS55165512A (en) | 1980-12-24 |
| JPS5843896B2 true JPS5843896B2 (ja) | 1983-09-29 |
Family
ID=13492799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54072558A Expired JPS5843896B2 (ja) | 1978-12-28 | 1979-06-09 | 温度・湿度検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5843896B2 (ja) |
-
1979
- 1979-06-09 JP JP54072558A patent/JPS5843896B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55165512A (en) | 1980-12-24 |
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