JPS5873852A - 結露センサ - Google Patents
結露センサInfo
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- JPS5873852A JPS5873852A JP56171414A JP17141481A JPS5873852A JP S5873852 A JPS5873852 A JP S5873852A JP 56171414 A JP56171414 A JP 56171414A JP 17141481 A JP17141481 A JP 17141481A JP S5873852 A JPS5873852 A JP S5873852A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dew condensation
- porosity
- sensor
- metal oxide
- electrodes
- Prior art date
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、水容の付着すなわち結露状ｌ１ｒｔ電気抵抗
の変化として検出する結露センサに関するものである。
の変化として検出する結露センサに関するものである。
従来知られている結露検出方法は、（１）光の反射量や
水の吸収スペクシルで検出する光学的方法、（２）圧電
共振子の共振周波数の変化やＱの低下で検出する方法、
（３）容量の変化で検出する方法、（４−気抵抗の変化
で検出する方法などがある・これらの方法のうち、上記
（１）の方法は高精度な光学系が必要で持ち運びがしに
＜＜、シかも高価格なため、一般の民生用製品への適用
はできないという欠点があり、上記（２） 、 （３）
の方法は検出電気回路が複雑となる欠点があり、上記（
４）の電気抵抗の変化で検出する方法は検出回路が比較
、的単純で最も好ましいものと考えられる〇従来、電気
抵抗の変化で検出する方法には、検出回路の電源により
、交流式と直流式の二法がある。交流式の結露センサと
しては、その感湿膜に塩化物やリン酸塩などの電解質を
用いることが知られている。しかし、このような結露セ
ンサを、特に小型軽量が要求される製品（例えばポータ
プル型ＶＴＲ）に適用する場合には直流式に比べて回路
上複雑なため、不利である。
水の吸収スペクシルで検出する光学的方法、（２）圧電
共振子の共振周波数の変化やＱの低下で検出する方法、
（３）容量の変化で検出する方法、（４−気抵抗の変化
で検出する方法などがある・これらの方法のうち、上記
（１）の方法は高精度な光学系が必要で持ち運びがしに
＜＜、シかも高価格なため、一般の民生用製品への適用
はできないという欠点があり、上記（２） 、 （３）
の方法は検出電気回路が複雑となる欠点があり、上記（
４）の電気抵抗の変化で検出する方法は検出回路が比較
、的単純で最も好ましいものと考えられる〇従来、電気
抵抗の変化で検出する方法には、検出回路の電源により
、交流式と直流式の二法がある。交流式の結露センサと
しては、その感湿膜に塩化物やリン酸塩などの電解質を
用いることが知られている。しかし、このような結露セ
ンサを、特に小型軽量が要求される製品（例えばポータ
プル型ＶＴＲ）に適用する場合には直流式に比べて回路
上複雑なため、不利である。
直流式結露センサは、感湿膜に、（ａ）有機高分子と導
体粉末、１（ｂ）半導体粉末、（Ｃ）絶縁体粉末な＼・
′ どが用いられ・士いる。これら感湿膜は、有機高分子中
に粉末力髪分散している状態あるいは有機高分子と粉体
とが混合している状態となっている。すなわち、感湿膜
に実質的に有機高分子が存在している。このため結露検
出の応答速度が遅い、結露検出状態が安定に保持されに
くいなどの欠点がある。
体粉末、１（ｂ）半導体粉末、（Ｃ）絶縁体粉末な＼・
′ どが用いられ・士いる。これら感湿膜は、有機高分子中
に粉末力髪分散している状態あるいは有機高分子と粉体
とが混合している状態となっている。すなわち、感湿膜
に実質的に有機高分子が存在している。このため結露検
出の応答速度が遅い、結露検出状態が安定に保持されに
くいなどの欠点がある。
ＶＴＲのシリンダは、温度などの急激な変化に対し結露
しやすい部位であり、またシリンダニ結露するとテープ
の巻き込みなどの障害が起こるので結露状態を速やかに
検知すること、ざらにはシリンダの結露が除去されるま
で長く結露状１Ｉｉｒｔ検知することが要求される。し
かし、従来の結露センサでは、これらの要求を十分に満
たすことは難しい。
しやすい部位であり、またシリンダニ結露するとテープ
の巻き込みなどの障害が起こるので結露状態を速やかに
検知すること、ざらにはシリンダの結露が除去されるま
で長く結露状１Ｉｉｒｔ検知することが要求される。し
かし、従来の結露センサでは、これらの要求を十分に満
たすことは難しい。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくシ、結
露状態を途やかに検知し、ざらには結露状態を安定に長
く検知する結露センナを提供するにある。
露状態を途やかに検知し、ざらには結露状態を安定に長
く検知する結露センナを提供するにある。
上記の点にかんがみ直、流式結露センサの構成、□
要素を考察し、ざらに−一的検討な重ねた結果、本発明
の結露センサを得“械。
の結露センサを得“械。
すなわち、本発明の結露センナは、対向電極を覆う感湿
部が２０〜６０％の気孔率をもつ絶縁性の有機高分子を
含まない多孔質金属酸化物からなり、ざらにこの金属酸
化物感湿材を被覆が有機高分子からなるものである。
部が２０〜６０％の気孔率をもつ絶縁性の有機高分子を
含まない多孔質金属酸化物からなり、ざらにこの金属酸
化物感湿材を被覆が有機高分子からなるものである。
次に本発明の結露センナの作成法を説明する。
対向電極には、例えばＡｕ、Ｐｔ、Ｐｄ などの金属
線や金属板、セラミックスなどの絶縁基板上にＡｕ。
線や金属板、セラミックスなどの絶縁基板上にＡｕ。
Ｐｔ、Ｐｄ、ＲｕＯ，すどの導電ペーストをスクリーン
印刷し、焼成して形成したものが用いられる。対向電極
の形状は、直線状、曲線状、らせん状、くし歯状など種
々用いられる。また対向電極の電極間隔は通常０．５〜
ｔＯＷであり電極長さは通常５〜５［ｍである。
印刷し、焼成して形成したものが用いられる。対向電極
の形状は、直線状、曲線状、らせん状、くし歯状など種
々用いられる。また対向電極の電極間隔は通常０．５〜
ｔＯＷであり電極長さは通常５〜５［ｍである。
この対同電極間を覆うように形成する絶縁性の多孔質金
属酸化物としては、ＴＩＯ！ ｅ Ａ”ｍｏｓ 。
属酸化物としては、ＴＩＯ！ ｅ Ａ”ｍｏｓ 。
８４０＠ ｅ ＺｒＯ２、ＢａＴｉ０． 、５ｒＴｉＯ
１などが用いられる。また、これらの酸化物にＮｉＯ，
ＺｎＯ。
１などが用いられる。また、これらの酸化物にＮｉＯ，
ＺｎＯ。
ＭｎＯ，などのｊ１讐、導体鎌化物、ＲｕＯ□ などの
導体酸化物を少量−′・１加した酸化物も絶縁性があれ
ば用いられる。
導体酸化物を少量−′・１加した酸化物も絶縁性があれ
ば用いられる。
これらの酸化物は、上記対向電極間を覆うよウニ成形シ
、２０〜６０％の気孔率となる条件で焼成し、多孔質金
属酸化物□からなる感湿部を形成する。
、２０〜６０％の気孔率となる条件で焼成し、多孔質金
属酸化物□からなる感湿部を形成する。
次に、ＰＶＡ、セルロース、ポリアミド樹脂などの有機
高分子をそれぞれの溶媒に適量溶解させた溶液を上記多
孔質金属酸化物に塗布後乾燥し、有機高分子被覆を形成
する０ 塗布の方法は通常、ディップ法、スプレー法、回転塗布
法などが用いられる。有機高分子被覆の厚さは、通常０
．０５〜２７Ｉｎが適当であるＯなお、金属酸化物の気
孔率が２０％未満の時と、６０％を越える時には、結露
状態を速やかに検知することがしにくいことが実験によ
りわかった。
高分子をそれぞれの溶媒に適量溶解させた溶液を上記多
孔質金属酸化物に塗布後乾燥し、有機高分子被覆を形成
する０ 塗布の方法は通常、ディップ法、スプレー法、回転塗布
法などが用いられる。有機高分子被覆の厚さは、通常０
．０５〜２７Ｉｎが適当であるＯなお、金属酸化物の気
孔率が２０％未満の時と、６０％を越える時には、結露
状態を速やかに検知することがしにくいことが実験によ
りわかった。
以下、本発明を実施例により説明する。
実施例１
第１図に示すように、（Ｌ２１１１１−のｐｔ 線で
対向電［１１ｒｔ形成した。対向電極間隔はα５■、対
向電極長さは５０ＩＮ１とした。この対向電極間を覆う
ようにＢａＴｉ０．系酸化物２を形成したＯこのＢａＴ
ｉ０．中には焼結を促進するため、Ｂｉ、（％−八へ、
−８ｉｎ、系ガラスを５〜５０ＷｔｌＧ添加した０また
成型しやすくするため３％ＰＶＡ水溶液を適量加えた。
対向電［１１ｒｔ形成した。対向電極間隔はα５■、対
向電極長さは５０ＩＮ１とした。この対向電極間を覆う
ようにＢａＴｉ０．系酸化物２を形成したＯこのＢａＴ
ｉ０．中には焼結を促進するため、Ｂｉ、（％−八へ、
−８ｉｎ、系ガラスを５〜５０ＷｔｌＧ添加した０また
成型しやすくするため３％ＰＶＡ水溶液を適量加えた。
これを６００〜１０５０℃の種々の濃度で焼成し、第１
表の気孔率をもつＢａＴｉ０．焼結体を形成し−た。こ
の焼結体中には有機成分は存在しない。このＢａＴｉ０
．からなる感湿部を、種々のエチルセルロース濃度のα
−テルピネオール溶液に、ディップ後、１７０℃で３０
分間乾燥し、エチルセルロースの被膜５を形成した。被
膜〕厚さは、同一濃度のエチルセルシース−α−テルピ
ネオール溶液中にガラス板をディップし、上記と同一条
件で乾燥後、形成されたエチルセルロース被膜の厚さを
通常の触針法で測定して求めた。作成した結露センサ試
料の結露応答時間と結露保持時間を第１表に示した。結
露応答時間は結露センサｒｔｏ℃に冷却した後、２５℃
７騙田に保った恒温恒湿槽内に入れた時点から結露セン
サの抵抗が２ＭΩ以下に低下するのに要する時間である
。結露保持時間は上記恒温恒湿槽内に入れた結露センサ
の抵抗が２ＭΩ以下である時間である。また結露センサ
試料の相対第 １ 表 （試料番号に秦印を付したものは本発明の範囲外である
。） 濃度と抵抗との関係を図２に示す。なお、結露センサ試
料の抵抗の測定は、センナ試料に直列に１ＭΩの抵抗を
接続した回路に直流５■を印加し、ＩＭΩの抵抗に印加
される電圧を電圧計で銃み取り、センサの抵抗を計算で
求めた。なお、第２図中の番号は、第１表の試料番号と
一致する。
表の気孔率をもつＢａＴｉ０．焼結体を形成し−た。こ
の焼結体中には有機成分は存在しない。このＢａＴｉ０
．からなる感湿部を、種々のエチルセルロース濃度のα
−テルピネオール溶液に、ディップ後、１７０℃で３０
分間乾燥し、エチルセルロースの被膜５を形成した。被
膜〕厚さは、同一濃度のエチルセルシース−α−テルピ
ネオール溶液中にガラス板をディップし、上記と同一条
件で乾燥後、形成されたエチルセルロース被膜の厚さを
通常の触針法で測定して求めた。作成した結露センサ試
料の結露応答時間と結露保持時間を第１表に示した。結
露応答時間は結露センサｒｔｏ℃に冷却した後、２５℃
７騙田に保った恒温恒湿槽内に入れた時点から結露セン
サの抵抗が２ＭΩ以下に低下するのに要する時間である
。結露保持時間は上記恒温恒湿槽内に入れた結露センサ
の抵抗が２ＭΩ以下である時間である。また結露センサ
試料の相対第 １ 表 （試料番号に秦印を付したものは本発明の範囲外である
。） 濃度と抵抗との関係を図２に示す。なお、結露センサ試
料の抵抗の測定は、センナ試料に直列に１ＭΩの抵抗を
接続した回路に直流５■を印加し、ＩＭΩの抵抗に印加
される電圧を電圧計で銃み取り、センサの抵抗を計算で
求めた。なお、第２図中の番号は、第１表の試料番号と
一致する。
これらの結果かられかるように、ＢａＴｉ０１焼結体の
気孔率と結露応答時間との間には相関がアリ、エチルセ
ルロース被膜の厚さ０．３ ／Ｊｎ の時、気孔率が２
０〜６０％の範囲内では、結露応答時間が５．５ｍｉ
ｏ以内という優れた特性を示す。さらにこの場合、結露
保持時間は４５ｍ ｉ ｎ以上であり、抵抗−相対湿度
の特性も十分実用的特性である。気孔率が２０％より小
さい場合と６０％より大きい場合は、結露応答時間は５
ｍ１ｎ以上と長くなるので、本発明の目的に適さないと
考え、本発明の範囲外とした。
気孔率と結露応答時間との間には相関がアリ、エチルセ
ルロース被膜の厚さ０．３ ／Ｊｎ の時、気孔率が２
０〜６０％の範囲内では、結露応答時間が５．５ｍｉ
ｏ以内という優れた特性を示す。さらにこの場合、結露
保持時間は４５ｍ ｉ ｎ以上であり、抵抗−相対湿度
の特性も十分実用的特性である。気孔率が２０％より小
さい場合と６０％より大きい場合は、結露応答時間は５
ｍ１ｎ以上と長くなるので、本発明の目的に適さないと
考え、本発明の範囲外とした。
またＢａＴｉ０．焼結体を被覆するエチルセルロース膜
の厚さと結露応答時間との間には相関があり、ＢａＴｉ
０．の気孔率が４０％の時、エチルセルロース被膜の厚
さが増大するにつれて、結露応答時間が長くなる傾向に
ある。また、エチルセルロース被膜の厚さが０．０５
Ｒｎと極めて小さい時には、９５％ＲＨ以上の高湿度で
抵抗値が２ＭΩ以下となり、結露センサとして、誤動作
が多くなる傾向にある。エチルセルロース被膜の厚さと
しては、α０５〜２．ｇａｎの・範囲内が適当である。
の厚さと結露応答時間との間には相関があり、ＢａＴｉ
０．の気孔率が４０％の時、エチルセルロース被膜の厚
さが増大するにつれて、結露応答時間が長くなる傾向に
ある。また、エチルセルロース被膜の厚さが０．０５
Ｒｎと極めて小さい時には、９５％ＲＨ以上の高湿度で
抵抗値が２ＭΩ以下となり、結露センサとして、誤動作
が多くなる傾向にある。エチルセルロース被膜の厚さと
しては、α０５〜２．ｇａｎの・範囲内が適当である。
金属酸化物としてＢ ａ Ｔ ｉ Ｏ，のかわりにＴｉ
ｅ、。
ｅ、。
ＡＩ、０．を用いてもほぼ同様の結果が得られた。
サラに、有機高分子としてエチルセルロースのかわりに
、メチルセルロース、アセチルセルロース、ＰＶＡ、ナ
イロンを用いてもほぼ同様の結果が得られた。
、メチルセルロース、アセチルセルロース、ＰＶＡ、ナ
イロンを用いてもほぼ同様の結果が得られた。
実施例２
第３図、第４図に示すように、１５ Ｘ １５ Ｘｏ、
８簡の大きさのアルミナ基板４にＡｕとガラス７リツト
を含む導体ペーストを印刷・焼成して、長さ５０Ｍ、線
幅α−１電極間隔０．５ｍの対向電極５を形成した。こ
の対向電極間を覆うように、ＢａＴｉ０＠ と有機ビヒ
クルからなるペーストを印刷した後、６００〜１０５０
℃ の種々の濃度で焼成し、第２表の気孔率をもつＢａ
Ｔｉ０．焼結体層６を形成した。ＢａＴｉ０．ペースト
中には、焼結を促進するため、Ｂｉ、０．− Ｂ、０．
− Ｓ ｉｏ２系ガラスを５〜１ｗｔ％添加した。有機
ビヒクルにはα−テルピネオールにエチルセルロースｆ
５ｗｔ％溶解したものを用いた。６００〜１０５０℃
の濃度で焼成した結果、ＢａＴｉ０．焼結体層中には、
有機成分は存在していなかった。なおりａＴｉＯ，層の
厚さは約６０／１１ｒｒＩであ−た。このＢａＴｉ０．
からなる感ＩＬ部を種々のエチルセルロース濃度のα−
テルピネオール溶液にディップ後、１７０℃で３吟間乾
燥し、エチル七ル四−スの被膜７を形成した。この方法
で作成した結露センサ試料を実施例１と同様にして種々
の特性を測定した。測定結果を第２表、第５図に示した
。なお、第５図中の番号は、第２表の試料番号に一致す
る。
８簡の大きさのアルミナ基板４にＡｕとガラス７リツト
を含む導体ペーストを印刷・焼成して、長さ５０Ｍ、線
幅α−１電極間隔０．５ｍの対向電極５を形成した。こ
の対向電極間を覆うように、ＢａＴｉ０＠ と有機ビヒ
クルからなるペーストを印刷した後、６００〜１０５０
℃ の種々の濃度で焼成し、第２表の気孔率をもつＢａ
Ｔｉ０．焼結体層６を形成した。ＢａＴｉ０．ペースト
中には、焼結を促進するため、Ｂｉ、０．− Ｂ、０．
− Ｓ ｉｏ２系ガラスを５〜１ｗｔ％添加した。有機
ビヒクルにはα−テルピネオールにエチルセルロースｆ
５ｗｔ％溶解したものを用いた。６００〜１０５０℃
の濃度で焼成した結果、ＢａＴｉ０．焼結体層中には、
有機成分は存在していなかった。なおりａＴｉＯ，層の
厚さは約６０／１１ｒｒＩであ−た。このＢａＴｉ０．
からなる感ＩＬ部を種々のエチルセルロース濃度のα−
テルピネオール溶液にディップ後、１７０℃で３吟間乾
燥し、エチル七ル四−スの被膜７を形成した。この方法
で作成した結露センサ試料を実施例１と同様にして種々
の特性を測定した。測定結果を第２表、第５図に示した
。なお、第５図中の番号は、第２表の試料番号に一致す
る。
これら結果かられかるように、ＢａＴｉＯｓ焼結体層の
気孔率と結露応答時間との間には相関がアリ、エチルセ
ルロース被膜の厚さがｏ、 ｓ ＩＩｍ（７）時、気孔
率が２０〜６０％ の範囲内では、結露応第 ２
表 （試料番号に秦印を付ルたものは本発明の範囲外である
）′ｊ 答時間が５． Ｏｍｉｎ以内という優れた特性を示す。
気孔率と結露応答時間との間には相関がアリ、エチルセ
ルロース被膜の厚さがｏ、 ｓ ＩＩｍ（７）時、気孔
率が２０〜６０％ の範囲内では、結露応第 ２
表 （試料番号に秦印を付ルたものは本発明の範囲外である
）′ｊ 答時間が５． Ｏｍｉｎ以内という優れた特性を示す。
ざらにこの場合、結露保持時間は３０ｍ１ｎ以上であり
、抵抗−相対湿度の特性も十分実用的特性である。気孔
率が２０％より小さい場合と６０％より大きい場合は、
結露応答時間は５ｍ１ｎ以上と長くなるので、本発明の
目的に適さないと考え、本発明の範囲外とした。またＢ
ａ’ｒｉＯ，焼結体層を被覆するエチルセルロース膜の
厚ざと結露応答時間との間には相関があり、Ｂ ａ Ｔ
ｊ Ｏ，焼結体層の気孔率が４０％の時、エチルセル
ロース被膜の厚さが増大するにつれて、結露応答時間が
長くなる傾向にある。また、エチルセルロース被７膜ノ
厚さが０．０３縄と極めて小さい時には、９０％ＲＨ以
上の高湿度で抵抗値が２ＭΩ以下となり、結露センサと
して、誤動作が多くなる傾向にある。エチルセルロース
被膜の厚さとしては、Ｏ，ＯＳ〜２Ａｎ’ｌの範囲が適
当である。
、抵抗−相対湿度の特性も十分実用的特性である。気孔
率が２０％より小さい場合と６０％より大きい場合は、
結露応答時間は５ｍ１ｎ以上と長くなるので、本発明の
目的に適さないと考え、本発明の範囲外とした。またＢ
ａ’ｒｉＯ，焼結体層を被覆するエチルセルロース膜の
厚ざと結露応答時間との間には相関があり、Ｂ ａ Ｔ
ｊ Ｏ，焼結体層の気孔率が４０％の時、エチルセル
ロース被膜の厚さが増大するにつれて、結露応答時間が
長くなる傾向にある。また、エチルセルロース被７膜ノ
厚さが０．０３縄と極めて小さい時には、９０％ＲＨ以
上の高湿度で抵抗値が２ＭΩ以下となり、結露センサと
して、誤動作が多くなる傾向にある。エチルセルロース
被膜の厚さとしては、Ｏ，ＯＳ〜２Ａｎ’ｌの範囲が適
当である。
金属酸化物としてＢ ａ Ｔ ｉ Ｏ，のかわりにＴｉ
ｅ、。
ｅ、。
ＡＩ、０．を用いてもほぼ同様の結果が得られた。
′１
さらに、有機高分子としてエチルセルロースのかわりに
、メチルセルロース、アセチルセルローＸ 、 ＰＶＡ
、ナイロンを用いてもほぼ同様の結果か得られた。
、メチルセルロース、アセチルセルローＸ 、 ＰＶＡ
、ナイロンを用いてもほぼ同様の結果か得られた。
以上述べたように、本発明によれば、水分の付着すなわ
ち結露に対して抵抗値が著しく変化し、結露センサとし
ての誤動作がなく、結露応答時間もｏ、５ｍｉ ｎ〜ｔ
ｓｍｉｎと短かく、シかも結露保持時間が５０ｍ１ｎ以
上という実用１優れた特性をもつ結露センサか得られる
。
ち結露に対して抵抗値が著しく変化し、結露センサとし
ての誤動作がなく、結露応答時間もｏ、５ｍｉ ｎ〜ｔ
ｓｍｉｎと短かく、シかも結露保持時間が５０ｍ１ｎ以
上という実用１優れた特性をもつ結露センサか得られる
。
第１因は本発明による結露センサの一実施例を示す断面
図、第２図はこの実施例による各試料の相対湿度と抵抗
値の関係を示す図、第３図は本発明による結露センサの
一実施例を示す平面図、ｔｓ４図は第３図ノＡ−Ａ＠断
面図、第５図はこの実施例による各試料の相対湿度と抵
抗値の関係２示す図である。 １・・・対向電極、 ２・・・金属酸化物焼
結体、３・・・有機高分子被膜、 ５・・・対向電極、
６・・・金属酸化物焼結体層、 ７・・・有機高分子被膜。 代理人弁理士 薄 １）利 幸； オ ＩｒＥ３ オ ２ 図 （ 第３但 オ ４ 固 オ ５ の
図、第２図はこの実施例による各試料の相対湿度と抵抗
値の関係を示す図、第３図は本発明による結露センサの
一実施例を示す平面図、ｔｓ４図は第３図ノＡ−Ａ＠断
面図、第５図はこの実施例による各試料の相対湿度と抵
抗値の関係２示す図である。 １・・・対向電極、 ２・・・金属酸化物焼
結体、３・・・有機高分子被膜、 ５・・・対向電極、
６・・・金属酸化物焼結体層、 ７・・・有機高分子被膜。 代理人弁理士 薄 １）利 幸； オ ＩｒＥ３ オ ２ 図 （ 第３但 オ ４ 固 オ ５ の
Claims (1)
- 基板、この基板上に形成された対向電極、この対向電極
間と対向電極が気孔率２０〜６０−の絶縁性気孔質金属
酸仕給で覆われるように形成された感湿部、この感湿部
が覆われるように形成された有機高分子被覆よりなるこ
とを特徴とする結露センサ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56171414A JPS5873852A (ja) | 1981-10-28 | 1981-10-28 | 結露センサ |
| US06/436,944 US4481813A (en) | 1981-10-28 | 1982-10-27 | Dew sensor |
| DE8282109934T DE3272754D1 (en) | 1981-10-28 | 1982-10-27 | Dew sensor |
| EP82109934A EP0078058B1 (en) | 1981-10-28 | 1982-10-27 | Dew sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56171414A JPS5873852A (ja) | 1981-10-28 | 1981-10-28 | 結露センサ |
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