JPS5844415A - 回転鏡光偏向器 - Google Patents
回転鏡光偏向器Info
- Publication number
- JPS5844415A JPS5844415A JP57143325A JP14332582A JPS5844415A JP S5844415 A JPS5844415 A JP S5844415A JP 57143325 A JP57143325 A JP 57143325A JP 14332582 A JP14332582 A JP 14332582A JP S5844415 A JPS5844415 A JP S5844415A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical deflector
- mirror optical
- magnet
- tilting
- rotating shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
- F16C17/03—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with tiltably-supported segments, e.g. Michell bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0402—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means combined with other supporting means, e.g. hybrid bearings with both magnetic and fluid supporting means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0427—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for axial load mainly
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回転鏡光偏向器に関し、特にその回転軸と軸受
の故実に関するものである。
の故実に関するものである。
第１図は、従来の回転鏡光偏向器の断面図である。多面
鏡ｌは回転軸２にナツト３によって固定されている。回
転軸は軸心４に上部ジャーナル５と駆動モータのロータ
６とスペーサ７と下部ジャーナル８と浮上用マグネ、ト
９が結合したものである。回転軸は半径方向には、ケー
シング１０４Ｃ支持されるピボット１１に保持されるテ
ィルティングツド１２によって、また、軸方向には、マ
グネ、トホルダ１３に固定される反撥マグネット１４と
浮上用マグネ、トの相互反撥力によって保持されている
。ティルティングツく、ド１２は動圧形の空気軸受であ
るので、回転軸がステータ１５の回転磁界によって回転
すると半径方向の保持力を発生する。したがって、回転
軸にとりつく多面鏡は静止物体とは非接触状態で回転で
きるので、高速で安定した偏向をすることができる。
鏡ｌは回転軸２にナツト３によって固定されている。回
転軸は軸心４に上部ジャーナル５と駆動モータのロータ
６とスペーサ７と下部ジャーナル８と浮上用マグネ、ト
９が結合したものである。回転軸は半径方向には、ケー
シング１０４Ｃ支持されるピボット１１に保持されるテ
ィルティングツド１２によって、また、軸方向には、マ
グネ、トホルダ１３に固定される反撥マグネット１４と
浮上用マグネ、トの相互反撥力によって保持されている
。ティルティングツく、ド１２は動圧形の空気軸受であ
るので、回転軸がステータ１５の回転磁界によって回転
すると半径方向の保持力を発生する。したがって、回転
軸にとりつく多面鏡は静止物体とは非接触状態で回転で
きるので、高速で安定した偏向をすることができる。
ところが、従来の回転鏡光偏向器には、大きな問題が２
つある。
つある。
その１つが回転軸である。駆動モータのロータと浮上用
マグネットが磁石であるため、軸心とスペーサを非磁性
体とし、一方、上部ジャーナルと下部ジャーナルを鋼材
としたため、回転軸は合計７つの部材で構成しなければ
ならない。したがって、加工工程がきわめて複雑である
上、加工の精度が悪いため偏向精度が□向上しないとい
う致命的な欠陥があった。
マグネットが磁石であるため、軸心とスペーサを非磁性
体とし、一方、上部ジャーナルと下部ジャーナルを鋼材
としたため、回転軸は合計７つの部材で構成しなければ
ならない。したがって、加工工程がきわめて複雑である
上、加工の精度が悪いため偏向精度が□向上しないとい
う致命的な欠陥があった。
もう１つは、半径方向の軸受であるティルティングパッ
ドである。このティルティングパ、ドは起動時と停止時
にはジャーナルと接触する。その丸め、焼付きの防止の
ため虻ティルティングパッドには、鋼合金系統の軟質全
域を材料としていたが、ジャーナルとのエネルギレベル
が違い、さらに双方が金属であるため、これらの間で電
流が流れ、ジャーナル側が侵される一電蝕現象が起るこ
とがわかった。
ドである。このティルティングパ、ドは起動時と停止時
にはジャーナルと接触する。その丸め、焼付きの防止の
ため虻ティルティングパッドには、鋼合金系統の軟質全
域を材料としていたが、ジャーナルとのエネルギレベル
が違い、さらに双方が金属であるため、これらの間で電
流が流れ、ジャーナル側が侵される一電蝕現象が起るこ
とがわかった。
本発明はこれらの点に着目してなされたものであシ、偏
向特性のすぐれた回転鏡光偏向器を提供するものである
。
向特性のすぐれた回転鏡光偏向器を提供するものである
。
以下、本発明を実施例を参照して説明する。
第２図は１本発明の鼻施例あ断面図である。
まず、回転軸の改良である。基本的には、上部ジャーナ
ルに当る部分２７と下部ジャーナル２５の表面を硬化処
理したことである。
ルに当る部分２７と下部ジャーナル２５の表面を硬化処
理したことである。
多面鏡２１を固定する回転軸３２は軸心２３と駆動モー
タのロータ２４と下部ジャーナル２５と浮上用マグネ、
ト２６の４つの部材のみで構成される。軸心は非磁性の
不銹鋼で、上部ジャーナルになる部分２７と多面鏡と接
する部分は表面硬化処理しである。ｔた、下部ジャーナ
ルも不銹鋼製で表面硬化処理がしである。このように下
部ジャーナルが非磁性体であるため、従来必要であった
スペーサが不要となシ、上部ジャーナルが軸心と共通と
なったため、構成部材は４個で済むようになった。
タのロータ２４と下部ジャーナル２５と浮上用マグネ、
ト２６の４つの部材のみで構成される。軸心は非磁性の
不銹鋼で、上部ジャーナルになる部分２７と多面鏡と接
する部分は表面硬化処理しである。ｔた、下部ジャーナ
ルも不銹鋼製で表面硬化処理がしである。このように下
部ジャーナルが非磁性体であるため、従来必要であった
スペーサが不要となシ、上部ジャーナルが軸心と共通と
なったため、構成部材は４個で済むようになった。
したがって、回転軸の加工がきわめて容易になるととも
に、軸心と上部ジャーナルになる部分が一体であるため
、加工精度が急激に向上し、それによって、偏向特性を
大幅に向上することができたＯ 第２の改良はテイルティ／グパッド２８である。
に、軸心と上部ジャーナルになる部分が一体であるため
、加工精度が急激に向上し、それによって、偏向特性を
大幅に向上することができたＯ 第２の改良はテイルティ／グパッド２８である。
従来、テイルティ／グパ、ド２Ｂとジャーナルが異種の
金属であったために電蝕を起したので、ティルティング
パ、ド側に薄い非金属−（例えば、四弗化エチレン系統
など）の膜２９（あるい線板）を張シつけた。第３図は
テイルティングパッドの拡大図である。この結果、電蝕
はまったく、起らなくなシ、起動停止時の焼きつきも防
止することができた。
金属であったために電蝕を起したので、ティルティング
パ、ド側に薄い非金属−（例えば、四弗化エチレン系統
など）の膜２９（あるい線板）を張シつけた。第３図は
テイルティングパッドの拡大図である。この結果、電蝕
はまったく、起らなくなシ、起動停止時の焼きつきも防
止することができた。
以上、本発明によって、加工が容易でかつ、加工精度の
高い回転軸と電蝕の起きない軸受を得る仁とができた。
高い回転軸と電蝕の起きない軸受を得る仁とができた。
その結果、安価でかつ、偏向特性のすぐれた回転鏡光偏
向器を提供することができるようになった。
向器を提供することができるようになった。
第１図は、従来の回転鏡光偏向器を示す縦断面略図ｊ第
２図は、本発明の一実施例を示す縦断面略図、および第
３図は、テイルティングバ、ド部分の拡大図である。 ２１・・・多面鏡、２２・・・回転軸、２３・・・軸心
、２４・・・駆動モータのロータ、２５・・・下部ジャ
ーナル、２６・・・浮上用マグネット、２７・・・上部
ジャーナル、２８・・・テイルティ／グパッド、２９・
・・膜。 扇 １ 図 第 ２ 図 第３図
２図は、本発明の一実施例を示す縦断面略図、および第
３図は、テイルティングバ、ド部分の拡大図である。 ２１・・・多面鏡、２２・・・回転軸、２３・・・軸心
、２４・・・駆動モータのロータ、２５・・・下部ジャ
ーナル、２６・・・浮上用マグネット、２７・・・上部
ジャーナル、２８・・・テイルティ／グパッド、２９・
・・膜。 扇 １ 図 第 ２ 図 第３図
Claims (1)
- 多面鏡を取付けた回転軸を、その径方向をケーシングに
保持されたティルティングツドにより、またその軸方向
をマグネ、トホルダに固定された反撥マグネ、トと浮上
用マグネットの相互反撥力によって保持されてなる回転
鏡光偏向器において、該回転軸の該ティルティノグパ、
ドと相対するジャーナル部分に、その表面を硬化処理せ
しめた非磁性の金属を当てて該回ｉ軸を軸心と駆動用モ
ータのロータとジャーナル部分と浮上用マグネ、トとで
構成し、かつ該ティルティングツドの軸受面に非金属の
膜をはりつけてなることを特徴とする回転鏡光偏向器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57143325A JPS5844415A (ja) | 1982-08-20 | 1982-08-20 | 回転鏡光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57143325A JPS5844415A (ja) | 1982-08-20 | 1982-08-20 | 回転鏡光偏向器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5844415A true JPS5844415A (ja) | 1983-03-15 |
Family
ID=15336158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57143325A Pending JPS5844415A (ja) | 1982-08-20 | 1982-08-20 | 回転鏡光偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5844415A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186820A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-24 | Toshiba Corp | 光偏向装置 |
| US4717223A (en) * | 1984-05-21 | 1988-01-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical deflector |
| JPH0743669U (ja) * | 1994-12-22 | 1995-09-05 | 光洋精工株式会社 | 動圧軸受 |
| CN108953377A (zh) * | 2018-08-22 | 2018-12-07 | 合肥工业大学 | 一种面向可重复使用火箭涡轮泵的液磁复合轴承 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4993027A (ja) * | 1973-01-08 | 1974-09-04 |
-
1982
- 1982-08-20 JP JP57143325A patent/JPS5844415A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4993027A (ja) * | 1973-01-08 | 1974-09-04 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186820A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-24 | Toshiba Corp | 光偏向装置 |
| US4717223A (en) * | 1984-05-21 | 1988-01-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical deflector |
| JPH0743669U (ja) * | 1994-12-22 | 1995-09-05 | 光洋精工株式会社 | 動圧軸受 |
| CN108953377A (zh) * | 2018-08-22 | 2018-12-07 | 合肥工业大学 | 一种面向可重复使用火箭涡轮泵的液磁复合轴承 |
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