JPS5845620A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１） 平面状に磁気コア及びプレーナ・ホール素子を配設し、
パターニング工程を少なく、薄形に構成し得る磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。

磁気テープに例えばＰＯＭ録音されたオーディオ信号を
再生する薄膜侶気ヘッドとして、例えば磁気抵抗効果素
子（以下、Ｍ几紫子という）或いはプレーナ・ホール素
子等を用いた再生専用の磁気ヘッドが従来開発されてい
る。Ｍ　Ｔ−Ｌ素子を用いた磁気ヘッドとしては例えば
、第１図に示す如く、ガラス基板１」二にテープ摺動面
１ａを一部としてＭＲ累壬子２薄膜状に蒸着され、その
両端部にＡＵ等の端子３ａ，３ｂが設けられており、磁
化された磁気テープ４の浮遊磁場の垂直成分の大きさに
よって変化するＭ　Ｒ素子２の抵抗値変化を電気信号の
変化として端子３ａ，３ｂからとり出し、テープ４に記
録されたオーディオ信号情報を再生する。

ところで、ＭＲ累壬子２一般にテープ４の磁性体面から
垂直方向に離れるに従って受ける磁界の強さが弱くなる
ので、出力信号の大きさは指数間（２） 数的に減少し、特に記録波長が短かい領域ではこの信号
減衰が大きく、第１図示のもののようにＭＲＲ子２をテ
ープ４に直接当接させて出力信号を得るタイプのものは
、再生出力を十分とり出すためにＭＲ累壬子２テープ４
表面に密着するように構成されている。

ところがＭＲＲ子２の蒸着膜厚は一般に数１００Ｘ以下
であるため、第１図示のもののようにＭＲ累壬子２テー
プ４に密着させる構成のものは、Ｍ　Ｒ素子２がテープ
４との摺動によって摩耗し易く、これに伴ってノイズを
生じ、再生特性が悪い欠点があった。

一方、従来、第２図に示す如く、ガラス基板５」二にパ
ーマロイ等のコア６ａが形成され、更にこの上の一部に
非磁性材７が形成されてその一部にＭＲＲ子８が蒸着さ
れ、更にＭ　Ｒ，素子８を包むように絶縁膜９が形成さ
れており、絶縁膜９の上にコア６ｂ、コア６ａ及び絶縁
膜９の上にコア６Ｃが形成されている磁気ヘッドがある
。このものは、テープ摺動面１０をテープ４に当接させ
てコア６ａ（３） 一コア６ｃｍＭＲ素子８−コア６ｂなるリング形磁路を
形成し、この磁路を通過する磁束Ｃζよって変化するＭ
Ｒ累壬子８抵抗値変化を電気信号変化としてＭ　Ｒ素子
８の両端番ご設（ハ）られた端子（図示せず）から占り
出す。

このものは、Ｍｌｌ、素子８がテープ４と伯接当接しな
いのでこれの摩耗を避けられるが、薄膜積層構造となっ
ているために多くのパターニング工程を必要とし、製造
工程が多く、又、薄形に構成しに＜＜、更に、パターニ
ングによる加熱及び冷却の繰返しによってＭＴ（、素子
８の特性が劣化する欠点があった。そこで、ＭＲ累壬子
８加熱及び冷却の済んだ最終工程で形成することが考え
られるが、パターニング後の薄１ＩＩＩ表面は凹凸が多
いため、Ｍｌｌ。

素子８を蒸着する前に研磨を必要とする等工程が多くな
る欠点があった。

ところで、ＭＲ素子の磁界の強さ対抵抗値特性は一般に
第３図に示す如くである。同図より明らかな如（、ＭＲ
累素子バイアス磁界をかけすに磁界零の点を動作点とし
て用いると、テープからの（４） 磁界の例えば一方向の変化が抵抗値の一方向の変化とし
てとり出し得ないが、ＭＴ％素子に同図中ＨＢのバイア
ス磁界をかけてこの点を動作点として用いれば、磁界の
一方向の変化を抵抗値の一方向の変化としてとり出し得
る。即ち、ＭＲ累素子用いた薄膜磁気ヘッドは必ずバイ
アス磁界をかけて使用する必要があり、このためバイア
ス点の調整作業が必要であり、特に多チャンネル・＼ラ
ドを構成する場合、その調整作業に多くの時間を必要と
する等の欠点があった。

一方、プレーナ・ホール素子を用いたＮＲｕ　？ｔｎ気
ヘッドとして第１図或いは第２図に示す如き構成のもの
があるが、このものも上記したのと同様の欠点があった
。

本発明は上記欠点を除去したものであり、ｇｇ４図以下
と共にその一実施例について説明する。

第４図及び第５図は本発明になる薄膜磁気ヘッドの一実
施例の斜視図及びその一部横断面図を示す。同図におい
て、１１はガラス基板で、図中左端下部に平坦部１１ａ
から高さｈの突部１１ｂが一体（５） 的に設けられている。１２ａ　、　１２１）はパーマロ
イ等の高透磁率材料から４「るコアで、コア１２ａは−
Ｘ［１１の右端に、コア１２ｂは基板１１の左端及び突
部］、１ｂに夫々パターニングされており、コア１２ａ
の下部１２ａ’、コア１２ｂの下部１２１）’、基板１
１の夫々の下端面は面一に形成されてテープ摺動面１３
を構成する。コア１２ａ’　、　１２ｂ’・、基板１１
の下部を横断して上方から視た図を第５図に示す如く、
コア１２ａ′とコア１２１）’とは突部１１１）の高さ
ｈと同じ距離テープ４の走行方向Ａにずれている。なお
、距＠ｈは、磁化によってテープ４の走行方向Ａｌこそ
の向きをもつＮｉ極からＳ　（ｉ？極にかけて存在する
浮遊磁場の垂直成分（その大きさはテープ４の走行方向
Ａに差がある）の差が十分大きくとり出されるように設
宇されている。

１４はプレーナ・ホール素子で、基板１１上その略中央
付近に蒸着されており、コア１２ａ　、　１２ｂと電気
的及び磁気的に接続されている。１５ａ　。

１５ｂはホール電極で、基板１１の平坦部１１ａ上に蒸
着されており、電極１５ａの先端は出力端子１５ａ’、
（６） 電極１５ｂはコア１２ａと基板１１との間を絶縁膜１６
を介して々Ｔ〔在されてその先端を出力端子１５ｂ′と
されている。出力端子１５ａ’　１１５ｂ’はコア１２
ａ　、　１２ｂの長手方向に設けられている。プレーナ
・ホール素子は周知の如く、電流の流れている面内に電
流と同一方向或いは逆方向に磁界をかけることによりそ
の面と直角方向に起電力を生じるものである。

プレーナ・ホール素子の磁界の強さ対抵抗値特性は一般
のホール素子と同様であり、例えば第６図に示す如くで
ある。即ち、磁界の強さ零の点近傍において（１召界を
一方向に変化さセるとポール電圧を一方向の変化として
とり出し得る。

このように構成されたヘッドにはテープ・ｌの（磁性体
（例えばＮ極）−コア１２ｂ−プレーナ・ホール素子１
４−コア１２ａ−テープ４の磁性体（Ｓ極）なる磁路が
形成され、プレーナ・ポール索子】４は記録信号に応じ
て磁化された磁性体による浮遊磁場の垂直成分の大きさ
に応じ°Ｃホール電圧を発生し、このホール電圧が出力
端子１５ａ’　、　１５ｂ’よりとり出される。この場
合、コア１２ａ　、　１２ｂ間には（７） プレーナ・ホール素子１４の磁路に電流が流されている
。

なお、テープ４の走行方向人吉直角方向の磁化の強さは
同じであるので、コア１２ａ　、　１２ｂ’が方向Ａと
直角方向にずれて構成されていてもコア１２ｂ′から距
離り離れた真後にコア１２ａが存在するのと略同じであ
り、コア１２ａの上端面及びコア１２ｂ′の下端面との
間の距離ｄなるギャップをもつ磁気ヘッドが構成された
のと略同じである。

このように１単に、基板１１の表面にコア１２ａ。

１２ｂ、プレーナ・ホール素子１４を略同一平面状にパ
ターニングしただけの簡単な構成であるため、第２図に
示す如き数層積層したものに比して製造工数が少なく、
又、薄形に構成し得、しかも、プレーナ・ホール素子１
４はテープ摺動面１３にないために第１図示のものの如
き摩耗の虞れはない。

又、ホール素子は第６図に示す如＜、？ｆＢ界零の近傍
の磁界変化を正及び負のホール電圧変化としてとり出し
得るので、磁界零の点を動作点として（８） 用い得、ＭＲ累素子用いた薄膜磁気ヘッドの如きバイア
ス磁界をかける必要がない。

なお、第４図に示す如き構成のコア及びプレーナ・ホー
ル素子の組を、その磁路がテープ４の走行方向Ａと直角
をなす方向に複数組形成されるように配設すれば、多チ
ャンネル磁気ヘッドとして用い得る。

上述の如く、本発明になる薄膜磁気ヘッドは、基板上に
略同一平面状に磁気コア及びプレーナ・ホール素子を薄
膜状に配設してこの基板の平面と直角をなす面における
このコアの夫々の端部及び基板の端部を面一として磁気
テープ摺動面とし、２個のコアをプレーナ・ポール素子
を介して接続してこれらにて形成される略平面状磁路を
少なくとも１組設け、磁路において隣り合うコアのテー
プ摺動面となる端部を基板の平面と直角をなす方向にず
らして設けたため、単に、基板の表面にコアやプレーナ
・ホール素子を略同一平面状にパターニングするだけの
少ない工程で製造し得、基板上にコア、非ａＨ性材、Ｍ
Ｒ素子、絶縁膜等を積層（９） した従来のものに比してパターニング工程が少なくて済
み、又、この従来のものに比して薄形に構成でき、更に
、プレーナ・ポール素子を用いているためにバイアス磁
界をかけないでも出力電圧を得ることができ、Ｍｌ’Ｌ
素子を甲いたものに出し、てバイアス磁界の発生源が不
必要なために装置を小形に構成し得、しかも、バイアス
点の調整作業がいらず、特１こ多チャンネルの磁気ヘッ
ドを作成し易い等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は従来磁気ヘッドの各側の斜視図、第
３図は磁気抵抗効果素子の特性図、第４図及び第５図は
夫々本発明磁気ヘッドの一実施例の斜視図及びその一部
横断面図、＠６図はプレーナ・ホール素子の特性図であ
る。 ４・拳−磁気テープ、１１−・カラス基板、１１１）・
・・突部、１２ａ　、　１２ａ’　、　ｉ２１〕、　１
２１）’　ａｒｍ　磁気コア、１３−−＠テープ摺動面
、１４−１ｌ◆プレーナ・ホール素子、１．５ａ　、　
１５１）　ａｍ−ホール電極、１５ａ’　、　１５ｂ’
拳・・出力端子。 （１０）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （Ｉ）基板上略同一平面状に磁気コア及びプレーナ・ホ
   ール素子を薄膜状に配設して該基板の平面と直角をなす
   面における該コアの夫々の端部及び該基板の端部を面一
   として磁気テープ摺動面とし、２個の該コアを該プレー
   ナ・ホール素子を介して接続してこれらにて形成される
   略平面状磁路を少なくとも１組設け、該磁路における隣
   り合うコアの磁気テープ摺動面となる端部を該基板の平
   面と直角をなす方向にずらして設けてなることを特徴と
   する薄膜磁気ヘッド。 （２）該磁気コアを、該磁路が磁気テープ走行方向と直
   角をなす方向に複数組形成されるように配設してなるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜磁気ヘ
   ッド。