JPS5847936Y2 - 空気濾過器の取付構造 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本案は空気濾過器の取付は取はすしが簡単な空気濾過器
の取付構造に関するものである。

最近における半導体技術その他の技術の発達は超ＬＳＩ
装置の出現を可能とした。

しかしその製作に当っては空気中の粉塵が性能に大きな
影響を及ぼし、例えば半導体拡散時付着した極めて微細
の塩分粒子が半導体中に拡散して性能を大きく低下させ
る。

このため製作に当っては極めて性能の高い空気濾過器に
より、厳重に除塵した空気が送りこまれる無塵室におい
て作業が行われる。

ところで空気濾過器の取付構造として、従来第１図に示
す斜視図の如きものが広（採用されている。

これは取付体１の空気放出口２に合せて、漏気防止パツ
キン３を介して空気濾過器単位４をおき、その枠体５（
なお６は濾材）の四隅を取付体１に植立されたポルトγ
、ナツト８、締付金具９などにより締付けて取付ける方
法である。

しかし無塵室の天井には＝般に１００箇以上の空気濾過
器単位が取付けられることも稀ではない。

従って上記のような取付構造では取付は取はずしに当っ
て、多数のナツトを締めたり緩めたりしなげればならず
、その回数は空気濾過器単位を１００箇とした場合には
４００箇所にも及ぶため、操作が極めて面倒であって多
くの時間を必要とする。

しかも最も犬ぎな欠点は使用するうちに強く締付けられ
ている漏気時にパツキン３が老化して取付体１の取付面
と枠体５の端面間に隙間を作り、この隙間を通して空気
流入口側の除塵されない空気が、濾材６を介することな
く直接空気流出口側に漏れることである。

このため１００％に近い集塵効果を有する空気濾過器が
開発されても、その性能を完全に発揮することができず
、高性能の無塵室の実現は不可能である。

そこで従来から簡単な操作で空気濾過器の取付け、取は
すしができ、しかも長期に亘って漏気な生ずることのな
い取付構造の研究が行われ、各種の構造が提案されてい
る。

その一つは第２図ａ、ｂに示す斜視図および側断面図の
如く、空気放出口２を作るように断面がＵ字状の部材を
格子状に組合せて作った取付体１０の溝１１内に、空気
濾過単位４の周囲に気密に設けた脚板１２を入れたのち
、溝１１内に次の性質を有する充填材、即ち常時液状で
あって空気中に放置しても硬化しないシール材１３を注
入する方法である。

この方法はシール材を流しこむのみでよいので、第１図
で前記したボルトなどによる締付方法に比べて取付けが
非常に簡単であり、パツキンも使用しないのでその老化
による漏気のおそれがない。

しかしこの方法では空気濾過器単位の周囲に気密に脚板
を設けなければならないなどの欠点がある。

また他の方法の一つは第３図ａに示す側断面図のように
、例えば角筒状の部材を格子状に組合せて作った、取付
体１４の平担な取付面１５上に、充填材の漏洩防止材１
６を介して空気濾過器単位４をのせるか、または第３図
すのように取付面１５上にグリースなどの充填材の漏洩
防止材兼剥離材１６を塗布したのち空気濾過器単位４を
のせ、しかるのち自然放置によって硬化するコーキング
材のような充填材１７を、濾過器単位の各枠体５間に充
填して取付け、またその取はずしに当っては第３図ａ、
ｂ中に示すように、刃先１８が取付面１４上に達するよ
うに、例えばカッターナイフ１９により切れ目を入れて
取はずす方法である。

この方法は取付面が平面であって前記第２図に示した方
法のように溝状とする必要がない。

従って空気濾過器単位の枠体の周囲に気密に脚板な設け
る必要がないので製作が簡単となるなどの利点が得られ
る。

しかしその一方作業の制約を受けることが太きい、狭い
天井裏に入って硬化した充填材１７に切れ目を入れなけ
ればならない面倒がある。

そこで更にこの方法の改良提案として、充填材として自
然放置によって硬化し、硬化後加熱することによって熔
融するものを用い、取はずし時これを空気源過器単位の
下端周囲に予め設けた、電熱線によって熔融軟化させる
方法が提案された。

この方法によれば電熱線の電源端子を空気放出口側に露
呈して設けておくことにより、狭い天井裏に入ることな
く充填材を直接加熱して空気濾過器単位を部屋側から簡
単に取はずすことができるので上記した作業上の難点は
大きく解消される。

しかしこれではまだ取はずしに時間を要するばかりか、
電熱線を設けなければならないため、濾過器単位の製作
が面倒である難点がある。

本案は上記した従来の取付構造の各種の難点を一挙に除
去Ｌ５る、取付は取はずＬの極めて簡単な取付構造の提
供と目的とするもので、次に図面を用いてその詳細を説
明する。

一般に無塵室においては空気の循環などの面から空気濾
過器を天井に取付けることが多（、その方法として水平
に天井に取付けられた取付体の空気放出口に合せてのせ
られる。

このため落下の危険が全くなく空気濾過器単位はその自
重によって取付体面上に落着き、特に大きな震動が与え
られない限り、空気濾過器単位は空気放出口からずれる
おそれは少ない。

従って前記した従来方法のように取付面を溝状にして、
ここに濾過器を設けた脚板を入れるようにすることによ
り、空気放出口からのずれを強制的に防止したり、或い
は接着性を有ししかも自然放置によって硬化する充填材
を用いて、取付面と空気源過器単位間を強固に固着して
、空気放出口からのずれを強制的に防止したりする必要
がなく、漏気の防止に重点が置かれればよい。

本案は上記の点に着目し、充填材として常時粘性を有す
る非硬化性のものを用いて、漏気の防止を図ると同時に
、充填材の濾過器単位取付面への粘着力により空気放出
口からの位置ずれを防止することを着想したものである
。

第４図ａ、ｂは本案の実施例を示す側断面図であって、
例えば枠体５の端面に常時粘性を有する非硬化性のシー
ル材２０を適当な厚さで塗着した空気濾過器単位４を第
４図ａのように空気放出口２に合せて格子状取付体１４
の平担な取付面１５上にのせるか、第４図すのように取
付体１４の取付面１５とその上にのせられた空気濾過器
単位４０枠体５が形成する角部に、常時粘性を有する非
硬化性のシール材２０を充填して、枠体５と取付面１５
間の隙間をシールして取付けることを特徴とするもので
、シール材２０としては次のようなものが使用される。

例えばインブチレンを主体とし、一部のｎ−ブテンが反
応した共重合物質、或いは不乾性油を主体とし、これに
微粉末を混合して粘度を調整したものなどが使用される
。

このようにすれば粘度が適当に選定された〔べとべと〕
としたシール材は、各濾過器単位の枠体面と取付体面に
よく密着して、枠体と取付体間に隙間を作るのをよく防
ぎ、漏気を確実に防止する。

また充填材は枠体と取付体面に〔べとべと〕と密着し、
その粘性により枠体と取付体とを連結するので、空気濾
過器単位を取付面上に係止する力を発揮する。

従って特に激しい震動が加えられない限り、空気放出口
からの空気濾過器単位の移動を確実に防止することがで
き、これによる漏気のおそれを実用上防ぐことができる
。

また取付けに当っては従来と殆ど変らない時間で取付け
を行うことができ、また従来の液状の充填材を用いる場
合のように、取付体の取付面を充填材が流れ出さないよ
うにＵ字溝とする必要がないので、濾過器の下端面周囲
に脚板を設けることな〈実施できる。

また取はずしに当っても、充填材の粘度にもとづく固着
力を上まわるような力を与えればよく、その力はそれ程
太きいものではない。

従って従来の硬化する充填材を用いた場合のように、加
熱、切り裂きなどの手段を用いることな（、空気放出口
側から濾過器単位を押し上げることによって簡単に取は
ずすことができ、前記した従来の取付構造の各種の難点
は一挙に除去される。

なお本案に使用されろ充填材としては、その粘性が高い
方が濾過器単位の固着力は太きいが、枠体や取付面によ
く密着させるための手段を必要とする。

また粘性が低いときには充填のみで枠体面などによく密
着するが、その反面濾過器単位の固着力は減退する。

従って必要に応じて充填材の粘性を適当に選定する必要
がある。

なお必要に応じて第４図す中に点線によって示すように
、角部のみでなく空気濾過器単位４の各枠体５間に充填
材２０を充填してシールしてもよい。

以上の説明から明らかなように、本案によれば取付体上
へ空気濾過器の取付は取はすしが著しく簡単な空気濾過
器の取付構造を提供しうるもので、その実用的効果は極
めて太きい。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図ａ、ｂおよび、第３図ａ、ｂはそれぞれ
従来の取付構造を示す図、第４図ａ、ｂは本案の一実施
例を示す側断面図である。 １・・・・・・取付体、２・・・・・・空気放出口、３
・・・・・・パツキン、４・・・・・・空気濾過器単位
、５・・・・・・枠体、６・・・・・偉材、γ・・・・
・・ボルト、８・・・・・・ナツト、９・・・・・・締
付金具、１０・・・・・幀面Ｕ字状の格子状取付体、１
１・・・・・・溝、１２・・・・・・濾過器の脚板、１
３・・・・・・液状のシール材、１４・・・・・幀面が
角筒状の格子状取付体、１５・・・・・・充填材の漏洩
防止材、１６・・・・・・剥離材、１７・・・・・・硬
化性の充填材、１９・・・・・・カッターナイフ、１８
・・・・・・その刃先、２０・・・・・・常時粘性を有
する非硬化性のシール材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 空気濾過器の枠体端面と取付体の平坦な空気濾過器取付
   面間に、空気濾過器の固定に必要な量の常時粘性を有す
   る非硬化性のシール材を設けて、空気漏れなく取付体に
   空気濾過器を固定したことを特徴とする空気濾過器の取
   付構造。