JPS6020050B2 - フイルタ−装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、特にクリーンルーム等に用いる高性能フィル
夕一取付時の気密性や作業性を考慮したフィルター装置
に関する。

一般に、クリーンルー．ムにおいて天井の空気吹出口に
取付けられる高性能フィルターは、フィルター（フィル
ター支持枠）外周囲からの非炉過空気の漏洩が完全に防
止される気密構造であること、及びフィルターの交換作
業が容易であることの条件が特に要求される。

ところで、従釆のこの種のフィルター装置としては、第
１図ａの如く、天井１の空気吹出口２の内周囲下部に取
付けた取付枠３に、天井１内からパッキン４を介してフ
ィルター５を乗せ置き、押え金具６を用いてボルト７で
締結する取付方法があるが、天井１内に作業者が入り込
む空間を必要とするうえ、交換作業性もきわめて悪かっ
た。

このため、第１図ｂの如く、天井１の空気吹出口２の内
周囲上部に取付けた取付枠３に、クリ−ンルーム８内か
らパッキン４を介してフィルター５を押し当て、押え金
具６を用いてボルト７で締結する取付方法があるが、フ
ィルター５の位置決めが困難であり、多数本のボルト７
の均一な締付けが困難で、フィルター５が傾いて押し当
てられる場合があり、気密性に欠けるうえ、フィルター
（フィルター支持枠）５の外周圏に付着した塵挨がクリ
ーンルーム８内に落下するので、落下塵挨量が減少する
まで（長時間）清浄度が維持できなかつた。一方、パッ
キン４としては、ゴムシート等の他に、第２図ａの如く
、フィルター５の支持枠９の外周圏に形成された溝１０
内に、楓性の高い液状シール材１ １（ベトロラタムｐ
ｅ○ｏｌａｔｍｍ）を予じめ充填して、取付枠３の立下
り３ａを鉄合させるものが特公昭５２−２３１０３号等
で提案されているが、現場で支持枠９を取付けるに際し
て、敬付枠３との位置合わせのために、第２図ｂの如く
、支持枠９を上下、水平方向に移動調節する場合が実際
には多々あり、このために液状シール材１１と取付枠３
の立下り３ａとの間に隙間ができてしまい気密性が極端
に低下するという問題があった。

．本発明は、上記従来の諸問題点に鑑みてなされたもの
で、基本的には、クリーンルーム側から容易に取付けら
れ、フィルターの外周園に付着した塵挨の影響も全くな
く、気密性も高いフィルター装置を新規に提供するもの
である。このため本発明は、フィルターの外周囲を気密
に保持するとともに下流側端部の外周囲に上流側向きの
パッキン溝を形成した支持枠と、該支持枠のパッキン溝
内に競装され、上流側向きに立上げた略Ｖ字状のひだ内
に液状シール材を充填したゴムパッキンと、空気吹出口
の内周囲に気密に取付けられる取付枠とを備え、上記支
持枠と下流側から取付枠に締結固定したとき、取付枠で
ゴムパツキンのひだを押し拡げ得るようにしたことを特
徴とするものである。

以下、本発明の実施例を添付図面について詳細に説明す
る。

第３図及び第４図ａに示すように、フィルター装置は、
直方体状の高性能フィルター１５の外周囲を気密に保持
する支持枠１６を備え、該支持枠１６の下流側端部の外
周図には、上流側向きに閉口したパッキン溝１７を形成
する。

クリーンル−ムー８の天井１９に開設された空気吹出口
２０の内周囲下部には、上記支持枠１６を僅かな隙間ｔ
を隔てて鉄合可能な立上り関口２１を形成した取付枠２
２を溶接等で取付けて、シール材２３で気密にシールす
る。

該取付枠２２の周面上の適所には、袋ナット２４を溶接
等で取付けてシール材２３で気密にシールすると共に、
該袋ナット２４のねじ部には、クリーンルーム１８側か
らスべ−サー２５ａとワツシヤー２５ｂを介してナット
２６によりボルト２７を螺合しておく。

上記支持枠１６のパッキン溝１７内には、上流側向きに
立上げた略Ｖ字状のひだ２８ａ，２８ｂを有するゴムパ
ッキン２８を鉄装する。

該ゴムパッキン２８のひだ２８ａ，２８ｂ間の空間ａと
、ひだ２８ｂと支持枠１６との間の空間ｂとに液状シー
ル材２９を予じめ充填する。

該液状シール材２９は、室温では準固体の鋼性の高い流
体であり、ベト．ロラタム（ｐｅｔｒｏｌａｔｕｍ）の
如きものが好適である。なお、パッキン溝１７の立上り
１７ａが高ければゴムパツキン２８のひだ２８ａとの間
の空間ｃにも液状シール材２９を充填することもできる
が、立上り１７ａが低くても、第５図ａのように、ゴム
パッキン２８に側ひだ２８ｃを設けて、その空間ｃに液
状シール材２９を充填することができる。

また、第５図ｂのように、ゴムパツキン２８に両ひだ２
８ｃ，２８ｄを設けて、その空間ｂ，ｃに液状シール材
２９を充填する構成としてもよい。上記取付枠２２のボ
ルト２７の螺合位置に対応して、支持枠１６のパツキン
溝１７部分に下方から当接する押え金具３０を設けて、
ワッシャー３１を介してナット３２によりボルト２７に
螺合する。

上記のようにフィルター装置を構成すれば、現場で空気
吹出口２川こ取付枠２２を取付ける。

一方、工場で支持枠１６に高性能フィルター１５を組込
み、パッキン溝１７にゴムパッキン２８を組込み、ひだ
２８ａ，２８ｂの空間ａ，ｂに液状シール材２９を予じ
め充填（現場で充填してもよい。）したものを現場に搬
入して、クリーンルーム１８内から取付枠２２の立上り
開□２１に支持枠１６を鉄合し、ボルト２７に仮止めし
た押え金具３０で支持枠１６を受け支えながら、１取付
枠２２との位置合わせをした後、第４図ｂのように、押
え金具３０がナット２６に当て止められるまでナット３
２を締め上げて、取付枠２２に対して支持枠１６を締結
固定する。この時、ゴムパツキン２８のひだ２８ａ，２
８ｂが取付枠２２に当接して左右に押し拡げられて取付
枠２２に密着すると共に、空間ａの液状シール材２９が
あふれて空間ｂ，ｃに流入し、空間ｃにも液状シール材
２９が充填されると同時に、空間ｂのシール材２９は取
付枠２２と支持枠１６との隙間ｔにも充填されるように
なる。

このように、ゴムパッキン２８と取付枠２２との間に広
範囲で均一に液状シール材２９が充填されるようになる
ので気密性が格段に向上するのである。

なお、使用中に、例えば第４図ｂの矢印Ａ箇所でエアー
洩れが発見された場合、その箇所の空間ｃに対して液状
シール材２９をクリーンルーム１８内から肉盛り状に追
加充填するだけで補修できる。

以上の説明からも明らかなように、本発明は、フィルタ
ー支持枠のパッキン溝に競装したゴムパッキンのＶ字状
ひだに液状シール材を充填して、支持枠を取付枠に締結
固定したとき、取付枠でゴムパッキンのひだを押し拡げ
るようにしたものであるから、ゴムパッキンと取付枠と
の間に液状シール材が広範囲で均一に充填されるので、
従来のように支持枠を移動調節した場合にしエアー洩れ
の原因となる隙間が生じる恐れは全くなく気密性が格段
に向上するようになる。

また、クリーンルーム側から取付けられるので交換作業
性がよく、さらに空気吹出口の下部側で取付枠に取付け
られるので、フィルター（フィルター支持枠）の外周因
に付着した塵挨がクリーンルームに落下することもない
。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ及び第１図ｂは従来のフィルター装置の略画的
断面図、第２図ａ及び第２図ｂは液状シール材を用いた
従来のフィルター装置の要部断面図、第３図は本発明に
係るフィルター装置の略画的断面図、第４図ａは第３図
の締結固定前の要部断面図、第４図ｂは第３図の要部断
面図、第５図ａ及び第５図ｂはゴムパッキンの変形例の
断面図である。 １５・・・・・・高性能フィルター、１６・・・・・・
支持枠、１７・・・…パッキン溝、２０・・・・・・空
気吹出口、２２・・・・・・・・・取付枠、２８・・・
・・・ゴムパツキン、２８ａ，２８ｂ・・…・ひだ、２
９……液状シール材、３０・・・・・・押え金具。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ フイルターの外周囲を気密に保持するとともに下流
   側端部の外周囲に上流側向きのパツキン溝を形成した支
   持枠と、 該支持枠のパツキン溝内に嵌装され、上流側
   向きに立上げた略Ｖ字状のひだ内に液状シール材を充填
   したゴムパツキンと、 空気吹出口の内周囲に気密に取
   付けられる取付枠とを備え、 上記支持枠を下流側から
   取付枠に締結固定したとき、取付枠でゴムパツキンのひ
   だを押し拡げ得るようにしたことを特徴とするフイルタ
   ー装置。