JPS5848484A - 封入型炭酸ガスレ−ザ管 - Google Patents
封入型炭酸ガスレ−ザ管Info
- Publication number
- JPS5848484A JPS5848484A JP56147659A JP14765981A JPS5848484A JP S5848484 A JPS5848484 A JP S5848484A JP 56147659 A JP56147659 A JP 56147659A JP 14765981 A JP14765981 A JP 14765981A JP S5848484 A JPS5848484 A JP S5848484A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- platinum
- carbon dioxide
- laser tube
- cathode
- nickel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は封入型炭酸ガスレーザ管に関する。
従来、封入型炭酸ガスレーザ管の電極材料として、主と
して白金が用いられて来た。その理由は白金は非常に優
れた酸化触媒作用を示す″ため、白金を電極に用いるこ
とにより、放電によるレーザ管内の炭酸ガスの解離を抑
制することが可能となり、レーザ出力の向上が図れるか
らである。しかし、白金はスパッタリングを起こしやす
いという欠点を有している。従って、白金を陰極に用い
るとスパッタリングが激しく起こり、レーザー内壁にス
パッタリング生成物が多量に付着する。一般に、スパッ
タリング生成物はガスを吸着する性質を有しており、白
金のそれも例外ではない。特に炭酸２ 、、。
して白金が用いられて来た。その理由は白金は非常に優
れた酸化触媒作用を示す″ため、白金を電極に用いるこ
とにより、放電によるレーザ管内の炭酸ガスの解離を抑
制することが可能となり、レーザ出力の向上が図れるか
らである。しかし、白金はスパッタリングを起こしやす
いという欠点を有している。従って、白金を陰極に用い
るとスパッタリングが激しく起こり、レーザー内壁にス
パッタリング生成物が多量に付着する。一般に、スパッ
タリング生成物はガスを吸着する性質を有しており、白
金のそれも例外ではない。特に炭酸２ 、、。
ガスは、炭酸ガスレーザに通常使用される他のガス、即
ち、窒素ガス、ヘリウムガスと比較して、著しくスパッ
タリング生成物に吸着されやすいという性質を有してい
るため、白金を陰極に用いた場合、封入型炭酸ガスレー
ザ管の長寿命化を図ることは非常に困難であった。なお
陽極ではスノ（ツタリングは起こらないので、白金を陽
極に用いても上述した問題は生じない。
ち、窒素ガス、ヘリウムガスと比較して、著しくスパッ
タリング生成物に吸着されやすいという性質を有してい
るため、白金を陰極に用いた場合、封入型炭酸ガスレー
ザ管の長寿命化を図ることは非常に困難であった。なお
陽極ではスノ（ツタリングは起こらないので、白金を陽
極に用いても上述した問題は生じない。
次に従来例を図面に基いて説明する。
第１の従来例としてはレーザ管は第１図に示した様に、
冷却部３を有するガラス製の二重構造になっており、放
電部２は内径１０■の円筒管で、両端はジンクセレナイ
ド（ＺｎＳｅ）製の光学窓１によって封止されている。
冷却部３を有するガラス製の二重構造になっており、放
電部２は内径１０■の円筒管で、両端はジンクセレナイ
ド（ＺｎＳｅ）製の光学窓１によって封止されている。
陽極４は直径２−の白金製円柱電極である。陰極６は外
径１ｏｆｉの白金製円筒電極で肉厚は０．１１ＩＩＩＩ
＋であり、有効放電長は４００瓢である。′このレーザ
管に、混合比が１１％Ｃｏ２゜２０％Ｎ２？ ａ ｅ
ｆａ Ｈｅで全圧３０Ｔｏｘｒノ混杏ガスを封入した後
、ミラー間隔６００ｍ＋ａのレーザ共振器に設置し、冷
却部３を水道水で冷却しつつ、直流２０ ｍＡの放電電
流でレーザ発振させた。その時の動作時間対レーザ出力
特性は第２図に破線ａで示したが、初期レーザ出力は１
６Ｗ、出力が初期値の％に減衰する時間は１１０時間で
あった。
径１ｏｆｉの白金製円筒電極で肉厚は０．１１ＩＩＩＩ
＋であり、有効放電長は４００瓢である。′このレーザ
管に、混合比が１１％Ｃｏ２゜２０％Ｎ２？ ａ ｅ
ｆａ Ｈｅで全圧３０Ｔｏｘｒノ混杏ガスを封入した後
、ミラー間隔６００ｍ＋ａのレーザ共振器に設置し、冷
却部３を水道水で冷却しつつ、直流２０ ｍＡの放電電
流でレーザ発振させた。その時の動作時間対レーザ出力
特性は第２図に破線ａで示したが、初期レーザ出力は１
６Ｗ、出力が初期値の％に減衰する時間は１１０時間で
あった。
第２の従来例として陽極４にニッケル製円柱電極、陰極
６にニッケル製円筒電極を使用した以外は従来例１と全
く同じ条件でレニザ発振を行った。
６にニッケル製円筒電極を使用した以外は従来例１と全
く同じ条件でレニザ発振を行った。
その時の動作時間対レーザ出力特性は第２図に破線すで
示したが、初期レーザ出力は３Ｗ、出力が初期値のＨに
減衰する時・間は３，２９０時間であった。
示したが、初期レーザ出力は３Ｗ、出力が初期値のＨに
減衰する時・間は３，２９０時間であった。
２・°以上の・様に、電極に白金を用いた場合にはレー
ザ出力は高いが寿命が短いという欠点を有しており、ま
た、電極にスパッタリングに強いニッケルを用いた場合
には寿命は長いが、ニッケルは酸化触媒能力を有してい
ないためレーザ出力が低いという欠点を有していた。、
２ 、 本発明はこの様な点に鑑みてなされたものでありレーザ
出力が高ぐ、且つ、・長寿命の封入型炭酸ガスレーザ管
を提供するものである。
ザ出力は高いが寿命が短いという欠点を有しており、ま
た、電極にスパッタリングに強いニッケルを用いた場合
には寿命は長いが、ニッケルは酸化触媒能力を有してい
ないためレーザ出力が低いという欠点を有していた。、
２ 、 本発明はこの様な点に鑑みてなされたものでありレーザ
出力が高ぐ、且つ、・長寿命の封入型炭酸ガスレーザ管
を提供するものである。
本発明の封入型炭酸ガスレーザ管は陰極に白金−ニッケ
ル合金を用いたことを特徴とする。即ち、本発明者は白
金にスパッタリングに強いニッケルを添加することによ
り、白金の酸化触媒作用を著しく損うことなく、スパッ
タリングをかなりの程度迄抑制できることを確認した。
ル合金を用いたことを特徴とする。即ち、本発明者は白
金にスパッタリングに強いニッケルを添加することによ
り、白金の酸化触媒作用を著しく損うことなく、スパッ
タリングをかなりの程度迄抑制できることを確認した。
そこで、白金−ニッケル合金を封入型炭酸ガスレーザ管
の陰極に用いた結果、白金を陰極に用いた場合と比較し
てレーザ出力はある程度低下するが、封入型炭酸ガスレ
ーザ管の長寿命化が可能となった。なお、レーザ出力お
よび封入型炭酸ガスレーザ管の寿命はニッケルの添加量
に依存し、それぞれは相反する事項であるので、目的に
応じてニッケルの添加量を選択すれば良い。又、電極形
状は、通常、円筒状電極が、用いられるが、円柱状ある
いはその他の形状においても、本発明の効果は何ら損わ
れない。
の陰極に用いた結果、白金を陰極に用いた場合と比較し
てレーザ出力はある程度低下するが、封入型炭酸ガスレ
ーザ管の長寿命化が可能となった。なお、レーザ出力お
よび封入型炭酸ガスレーザ管の寿命はニッケルの添加量
に依存し、それぞれは相反する事項であるので、目的に
応じてニッケルの添加量を選択すれば良い。又、電極形
状は、通常、円筒状電極が、用いられるが、円柱状ある
いはその他の形状においても、本発明の効果は何ら損わ
れない。
次に本発明による実施例を図面に基いて説明する。
）・ 〈実施例１〉 第１図における陰極４にＮｉＰｔ３（三白金・ニラ６ベ
ーミ′ ケル合金）製内筒電極を使用した以外は従来例１と全く
同じ条件でレーザ発振を行った。その時の動作時間対−
レーザ出力特性は第２図に実線Ａで示したが、初期レー
ザ出力は１６Ｗ、出力が初期値の％に減衰する時ｒ５は
４２０時間であ？た。従来例１と比較して出力は約６％
減、少したが、寿命は約４信仰びている。
）・ 〈実施例１〉 第１図における陰極４にＮｉＰｔ３（三白金・ニラ６ベ
ーミ′ ケル合金）製内筒電極を使用した以外は従来例１と全く
同じ条件でレーザ発振を行った。その時の動作時間対−
レーザ出力特性は第２図に実線Ａで示したが、初期レー
ザ出力は１６Ｗ、出力が初期値の％に減衰する時ｒ５は
４２０時間であ？た。従来例１と比較して出力は約６％
減、少したが、寿命は約４信仰びている。
〈実施例２〉
陰極４にＮｉＰｔ製円筒電極を使用した以外は従来例１
と全く同じ条件でレーザ発振を行った。その時の動作時
間対レーザ出力特性は第２図に実線Ｂで示したが、初期
レーザ出力は１３Ｗ、出力が初期値の％に減衰する時間
は１，７７０時間であった。従来例１と比較して出力は
約１９チ減少したが、寿命は約１６信仰びている。
と全く同じ条件でレーザ発振を行った。その時の動作時
間対レーザ出力特性は第２図に実線Ｂで示したが、初期
レーザ出力は１３Ｗ、出力が初期値の％に減衰する時間
は１，７７０時間であった。従来例１と比較して出力は
約１９チ減少したが、寿命は約１６信仰びている。
〈実施例３〉 。
陰極４にＮ １３Ｐ を製内筒電極を使用した以外は従
来例１と全く同じ条件でレーザ発振を行った。その時の
動作時間対レーザ出力特性は第２図に実線Ｃで示したが
、初期レーザ出力は１ｏｅ、出力が初期値の％に減衰す
る時間は２，８２０時間であった。従来例１と比較して
出力は約３８チ減少したが、寿命は約２６信仰びている
。又、従来例２と比較して寿命は約１４％減少したが、
出力は約３倍向上している。
来例１と全く同じ条件でレーザ発振を行った。その時の
動作時間対レーザ出力特性は第２図に実線Ｃで示したが
、初期レーザ出力は１ｏｅ、出力が初期値の％に減衰す
る時間は２，８２０時間であった。従来例１と比較して
出力は約３８チ減少したが、寿命は約２６信仰びている
。又、従来例２と比較して寿命は約１４％減少したが、
出力は約３倍向上している。
以上述べた様に、本発明は陰極材料として白金−ニッケ
ル合金を用いることによりレーザ出力が高く、且つ、長
寿命の封入型炭酸ガス、レーザ管を提供するものであり
、その工業的価値は極めて大なるものである。
。
ル合金を用いることによりレーザ出力が高く、且つ、長
寿命の封入型炭酸ガス、レーザ管を提供するものであり
、その工業的価値は極めて大なるものである。
。
第１図は封入型炭酸ガスレーザ管を示す側面図、第２図
は本発〜明および従来の封入型炭酸ガスレーザ管の動作
時間対レーザ出力特性を示す図である。 １・・・・・・光学窓、２・・・・・・放電部、３・・
・・・・冷却部、４・・・・・・陽極、６・・・・・・
陰極。
は本発〜明および従来の封入型炭酸ガスレーザ管の動作
時間対レーザ出力特性を示す図である。 １・・・・・・光学窓、２・・・・・・放電部、３・・
・・・・冷却部、４・・・・・・陽極、６・・・・・・
陰極。
Claims (1)
- 陰極に白金−ニッケル合金を用いた事を特徴とする封入
型炭酸ガスレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56147659A JPS5848484A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 封入型炭酸ガスレ−ザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56147659A JPS5848484A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 封入型炭酸ガスレ−ザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848484A true JPS5848484A (ja) | 1983-03-22 |
Family
ID=15435355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56147659A Pending JPS5848484A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 封入型炭酸ガスレ−ザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848484A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01286473A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-17 | Amada Co Ltd | ガスレーザ発振器 |
| US5187716A (en) * | 1990-07-06 | 1993-02-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Excimer laser device |
| US6474895B2 (en) | 1998-11-27 | 2002-11-05 | Hics Corporation | Writing instrument and method of producing the same |
-
1981
- 1981-09-17 JP JP56147659A patent/JPS5848484A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01286473A (ja) * | 1988-05-13 | 1989-11-17 | Amada Co Ltd | ガスレーザ発振器 |
| US5187716A (en) * | 1990-07-06 | 1993-02-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Excimer laser device |
| US6474895B2 (en) | 1998-11-27 | 2002-11-05 | Hics Corporation | Writing instrument and method of producing the same |
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