JPS585275U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

Info

Publication number
JPS585275U
JPS585275U JP8462782U JP8462782U JPS585275U JP S585275 U JPS585275 U JP S585275U JP 8462782 U JP8462782 U JP 8462782U JP 8462782 U JP8462782 U JP 8462782U JP S585275 U JPS585275 U JP S585275U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
secondary electrons
electron microscope
scanning electron
relay electrode
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8462782U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5854783Y2 (ja
Inventor
永谷隆
山田満彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP8462782U priority Critical patent/JPS5854783Y2/ja
Publication of JPS585275U publication Critical patent/JPS585275U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS5854783Y2 publication Critical patent/JPS5854783Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はＷＤを縮小した場合に二次電子を検出するため
に中継電極を設けた従来の装置の例を示す図、第２図は
本考案の一実施例図、第３図はバイアス電圧ＥＢと光電
子増倍管出力電流との関係を第１図に示した従来の例の
培場合と第２図に示した本考案実施例の場合とについて
示した図、第４図は集束電極を円筒状にした本考案の実
施例図、第５図は集束電極を角筒状にした本考案の実施
例図である。 １・・・−次（走査）電子線、３・・・試料、５・・・
シンチレータ、７・・・試料表面で発生した二次電子、
８・・・中継電極表面で発生した二次電子、９・・・中
継電極、１２・・・集束電極。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料の近傍に中継電極を設け、該中継電極にバイアス電
    圧を印加して、−次電子線が試料面を走査照射すること
    によって発生した二次電子を前記中継電極に衝突させ、
    ７該中継電極において発生した二次電子を二次電子検出
    器で検出して信号電流を得るようにした走査電子顕微鏡
    において、二次電子の通路に沿って集束電極を配設し、
    該集束電極にバイアス電圧を印加して二次電子を導かせ
    ることによって、二次電子検出器に到達する二次電子量
    が増加するようにしたことを特徴とする走査電子顕微鏡
    。
JP8462782U 1982-06-09 1982-06-09 走査電子顕微鏡 Expired JPS5854783Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8462782U JPS5854783Y2 (ja) 1982-06-09 1982-06-09 走査電子顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8462782U JPS5854783Y2 (ja) 1982-06-09 1982-06-09 走査電子顕微鏡

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS585275U true JPS585275U (ja) 1983-01-13
JPS5854783Y2 JPS5854783Y2 (ja) 1983-12-14

Family

ID=29879971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8462782U Expired JPS5854783Y2 (ja) 1982-06-09 1982-06-09 走査電子顕微鏡

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5854783Y2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5854783Y2 (ja) 1983-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB2229854A (en) Electron detector
JPH0129021B2 (ja)
JPS6119774U (ja) 走査電子顕微鏡を用いた電位測定装置
JPS616253U (ja) 電子顕微鏡における検出器
JPH01115042A (ja) 走査型電子顕微鏡の試料台
JPH067557Y2 (ja) ２次電子検出器
JPS5833643Y2 (ja) 質量分析装置におけるイオンビ−ム電流検出装置
JPS5854783Y2 (ja) 走査電子顕微鏡
JPS6065967U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS59125058U (ja) 荷電粒子線装置における二次電子検出装置
JPS6073163U (ja) 走査形電子顕微鏡
JPS59171444A (ja) イオン線応用装置
JP3114583B2 (ja) 二次電子検出装置
JPS60100349A (ja) ２次電子検出器
JPS63108156U (ja)
JPS58173161U (ja) 低速電子線防止スリツト
JPS59134539A (ja) 電界放射形電子銃を有する装置
JPS6059398U (ja) イメ−ジ管装置
JPS63106055U (ja)
JPS63131059U (ja)
JPS59219844A (ja) 電子線照射型分析装置の試料電流検出装置
JPS6037163U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS619761U (ja) 電子線装置
JPS59148064U (ja) イオンビ−ムスパツタリング装置
JPS59150155U (ja) 走査電子顕微鏡