JPS5854522B2 - 水晶発振器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は水晶発振器に関するものであって、水晶振動子
の周波数の微調整に際して発振回路の半導体回路素子に
なんら影響をおよぼすことなく、また効率の良い微調が
可能な高精度の水晶発振器を提供するものである。

図において１は水晶振動子であって、片面２は平面であ
り、鏡面研磨により仕上げられている。

他面３は凸面であり、ラッピングにより仕上げられてい
る。

両面２，３にたとえばＡｕ、Ａｇ、Ａｌなどの蒸着によ
り電極膜４，５が形成しである。

６．７は保持バネで導電性接着剤８により電極膜に接続
されると共に水晶振動子１を保持している。

保持バネ６．７は基板９上に起立する端子１０゜１１に
連結しである。

基板９上にＩＣやＬＳＩなどの半導体回路素子１２が配
設しである。

１３・・・・・・・・・は基板９を貫通突出している外
部端子ピンであり、回路素子１２に接続しである。

１４は気密容器で、水晶振動子１、回路素子１２などを
一緒に封止している。

水晶振動子１の周波数を調整するには、基板９上に回路
素子１２．水晶振動子１などを固着し、真空ペルジャー
（図示せず。

）内に位置させ、所定の端子を接続して水晶振動子１を
発振させる。

周波数を測定し、所望の周波数と一致しないとき、レー
ザガンからのレーザビーム（図示せず。

）を水晶振動子１の平面の鏡面仕上げ面２の電極膜４に
照射する。

レーザビームを面に直角の入射光とすると、照射面は鏡
面であるので乱反射はなく、したがって電極面に不揃い
な径の穴があげられることがなく、一定のレーザビーム
の照射により一定量の膜を蒸発させて一定の径の穴を効
率良くあげることができる。

レーザビームが電極膜４を一定量蒸発させて穴をあげ、
水晶振動子１内を通過して他面３に到達しても、この面
は凸面でありかつラッピング面であるので光は乱反射し
、電極膜５を損傷するには致らない。

またこの乱反射によリレーザ光のエネルギ密度が下がる
ので、電極膜４に再び到達したときにはもはや電極膜４
を損傷するエネルギを有しない。

またレーザ光の上記凸面での乱反射により、回路素子１
２にレーザ光のエネルギが及ぶことはなく、したがって
回路素子を損傷することはない。

このようにして水晶振動子の周波数を調整後、気密容器
１４を抵抗溶接法、またはコールドウェルド法にて封止
する。

このように本発明によれば水晶振動子の平面でかつ鏡面
仕上げされた側が上向きに、凸面でかつラッピング仕上
げされた側が下向きに位置し、凸面側に対向して回路素
子が位置するので、振動子の周波数の微調整の際に所定
の位置以外の電極膜の損傷がなく、かつ回路素子にも悪
影響を生ずることがないなどの優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示す一部切欠正面図である。 １ ・・水晶振動子、 ２・・・片面、 ３・・・他面、 ・・・電極膜、 １２・・・回路素子、 １４・・・気密容器。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 片面を平面でかつ鏡面に仕上げ、他面を凸面でかつ
   ラッピング面に仕上げ、上記両面に電極膜を形成した水
   晶振動子を設け、上記水晶振動子の凸面側を下に向けて
   配設し、かつこの凸面側の下方向に発振回路を構成する
   回路素子を配した水晶発振器。