JPS5854782Y2 - 電子顕微鏡等における試料引張装置 - Google Patents
電子顕微鏡等における試料引張装置Info
- Publication number
- JPS5854782Y2 JPS5854782Y2 JP13356878U JP13356878U JPS5854782Y2 JP S5854782 Y2 JPS5854782 Y2 JP S5854782Y2 JP 13356878 U JP13356878 U JP 13356878U JP 13356878 U JP13356878 U JP 13356878U JP S5854782 Y2 JPS5854782 Y2 JP S5854782Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holder
- applying
- piezoelectric element
- tension device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子顕微鏡等に使用される試料引張装置の改良
に関する。
に関する。
斯かる試料引張装置における引張駆動手段としてはモー
タとネジ或いは油圧機構とテコとを組合せたものが従来
広く使用されている。
タとネジ或いは油圧機構とテコとを組合せたものが従来
広く使用されている。
しかし乍ら斯様な引張駆動手段では試料の引張速度を微
小（例えば１×１０−２μｍ／５ｅｃ）にコントロール
することが困難である。
小（例えば１×１０−２μｍ／５ｅｃ）にコントロール
することが困難である。
そのため金属試料等における転位移動の如き微小に変形
する状態を観察することができない。
する状態を観察することができない。
本考案は斯様な不都合を解決することを目的とするもの
で、以下図面に基づき詳説する。
で、以下図面に基づき詳説する。
添付図面は本考案の一実施例を示す平面断面であり、１
は電子顕微鏡の鏡体である。
は電子顕微鏡の鏡体である。
２は該鏡体１の側壁を貫通して取付けられた保持体で、
該保持体はその軸心（長手方向）が光軸と略直交するよ
うに配置されている。
該保持体はその軸心（長手方向）が光軸と略直交するよ
うに配置されている。
該保持体２の真空側の端部は対物レンズの上磁極（図示
せず）と下磁極３ａとの間に挿入され、又光軸と交叉す
る部分には開口４が形成しである。
せず）と下磁極３ａとの間に挿入され、又光軸と交叉す
る部分には開口４が形成しである。
更に該保持体２の大気側には把持部５が設けである。
６は前記保持体２の開口４部分におかれた薄膜状試料で
、該試料は２つの試料保持部材７ａ及び７ｂにより保持
されている。
、該試料は２つの試料保持部材７ａ及び７ｂにより保持
されている。
該両試料保持部材の内７ａは前記保持体２に固定され、
他方の７ｂは後述する圧電素子８を介在して駆動棒９に
取付けられている。
他方の７ｂは後述する圧電素子８を介在して駆動棒９に
取付けられている。
該駆動棒９の他端は保持体２の中央部を移動可能に貫通
して大気中に取り出され、その先端部に雄ネジ１０が形
成されている。
して大気中に取り出され、その先端部に雄ネジ１０が形
成されている。
又該駆動棒９はキー１１ ａ及びキー溝１１ｂにより回
転が阻止されており、更に該駆動棒に形成した雄ネジ体
１３が螺合されている。
転が阻止されており、更に該駆動棒に形成した雄ネジ体
１３が螺合されている。
従ってモーター用駆動電源１４を操作することによりモ
ーター１２を駆動すると、雌ネジと雄ネジの螺合により
駆動棒９が図中矢印Ａ方向に移動し、圧電素子８及び試
料保持部材７ｂが同方向に移動するため、試料６に引張
が与えられる。
ーター１２を駆動すると、雌ネジと雄ネジの螺合により
駆動棒９が図中矢印Ａ方向に移動し、圧電素子８及び試
料保持部材７ｂが同方向に移動するため、試料６に引張
が与えられる。
尚モーター１２は把持部５に設けた板体１５に固定され
ている。
ている。
前述した圧電素子８は電圧を印加することにより機械的
歪を生ずる物質で形成され、又該圧電素子には２つの電
極板１６ａ及び１６ｂが貼着しており、その電極板に電
源１７から電圧を印加することにより圧電素子８は駆動
棒９の軸方向に伸長又は収縮するように構成されている
。
歪を生ずる物質で形成され、又該圧電素子には２つの電
極板１６ａ及び１６ｂが貼着しており、その電極板に電
源１７から電圧を印加することにより圧電素子８は駆動
棒９の軸方向に伸長又は収縮するように構成されている
。
ここで圧電素子８の歪量は数μｍ以下であり、しかも歪
量は印加する電圧に比例している。
量は印加する電圧に比例している。
従って該圧電素子８の歪を利用して試料６に引張を与え
ることになせば、容易に例えばＩ Ｘ １０＝μｍ／ｓ
ｅｃ以下の遅い引張速度を得ることが可能となる。
ることになせば、容易に例えばＩ Ｘ １０＝μｍ／ｓ
ｅｃ以下の遅い引張速度を得ることが可能となる。
そこで試料６に転位変化が生じる直前までモーター１２
によって試料６を引張る。
によって試料６を引張る。
しかる後モーター１２の駆動を停止させ、電源１７より
電極板１６ａと１６ｂ間に電圧を印加して圧電素子８を
収縮させれば、試料６に微小な引張量を与えることがで
きるため、試料の転位移動状態を正確に観察することが
できる。
電極板１６ａと１６ｂ間に電圧を印加して圧電素子８を
収縮させれば、試料６に微小な引張量を与えることがで
きるため、試料の転位移動状態を正確に観察することが
できる。
尚前述の説明は本考案の例示であり、実施にあたっては
幾多の変形が考えられる。
幾多の変形が考えられる。
例えば、圧電素子は試料保持部材７ｂと駆動棒９との間
に設けたが、他の例えば試料と各試料保持部材との接続
部分や保持体２と試料保持部材９ａとの接続部分に設け
てもよい。
に設けたが、他の例えば試料と各試料保持部材との接続
部分や保持体２と試料保持部材９ａとの接続部分に設け
てもよい。
又試料の引張駆動手段としてはモーターとネジの組合せ
を利用したが、これに限定されることなく、例えばテコ
と油圧機構との組合せによって試料に引張を与えてもよ
い。
を利用したが、これに限定されることなく、例えばテコ
と油圧機構との組合せによって試料に引張を与えてもよ
い。
更に試料の引張にあたっては試料の一端に引張力を加え
る場合を示したが、試料の両端に引張力を与えるように
構成してもよい。
る場合を示したが、試料の両端に引張力を与えるように
構成してもよい。
添付図面は本考案の一実施例を示す平面断面図である。
図中 １は鏡体、２は保持体、３ａは対物レンズの上磁
極、４は開口、５は把持部、６は試料、７ａ及び７ｂは
試料保持部材、８は圧電素子、９は駆動棒、１０は雄ネ
ジ、１２はモーター、１３は雌ネジ体、１は駆動電源、
１６ａ及び１６ ｂは電極板、１７は電源である。
極、４は開口、５は把持部、６は試料、７ａ及び７ｂは
試料保持部材、８は圧電素子、９は駆動棒、１０は雄ネ
ジ、１２はモーター、１３は雌ネジ体、１は駆動電源、
１６ａ及び１６ ｂは電極板、１７は電源である。
Claims (1)
- 鏡体に取付けられた保持体と、該保持体に取付けられ且
つ試料を保持するための試料保持部材と、該試料保持部
材に引張力を加えて前記試料を引張るための駆動手段と
を備え、前記駆動手段とは独立して前記試料に引張を与
えるための電圧を印加することにより機械的歪を生ずる
物質を前記試料と保持体間或いは試料と駆動手段間の部
材に設け、該物質に電圧を印加するための手段を設けて
なる電子顕微等における試料引張装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13356878U JPS5854782Y2 (ja) | 1978-09-29 | 1978-09-29 | 電子顕微鏡等における試料引張装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13356878U JPS5854782Y2 (ja) | 1978-09-29 | 1978-09-29 | 電子顕微鏡等における試料引張装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5549472U JPS5549472U (ja) | 1980-03-31 |
| JPS5854782Y2 true JPS5854782Y2 (ja) | 1983-12-14 |
Family
ID=29102150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13356878U Expired JPS5854782Y2 (ja) | 1978-09-29 | 1978-09-29 | 電子顕微鏡等における試料引張装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5854782Y2 (ja) |
-
1978
- 1978-09-29 JP JP13356878U patent/JPS5854782Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5549472U (ja) | 1980-03-31 |
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